JPH0677340B2 - 電子ビーム記録用ディスク - Google Patents
電子ビーム記録用ディスクInfo
- Publication number
- JPH0677340B2 JPH0677340B2 JP58096184A JP9618483A JPH0677340B2 JP H0677340 B2 JPH0677340 B2 JP H0677340B2 JP 58096184 A JP58096184 A JP 58096184A JP 9618483 A JP9618483 A JP 9618483A JP H0677340 B2 JPH0677340 B2 JP H0677340B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- information
- recording
- disk
- recording disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/10—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electron beam; Record carriers therefor
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、電子ビームを利用して情報の記録及び再生を
なす電子ビーム記録再生装置に使用される情報記録媒体
の改良に関する。特に、レーザビーム書き込み・読み出
し方式の情報記録用部材に比し、単位面積当り記録容量
が格段に大きい電子ビーム記録用ディスクにおいて、書
き込み効率と読み出し効率とを向上させる改良に関す
る。
なす電子ビーム記録再生装置に使用される情報記録媒体
の改良に関する。特に、レーザビーム書き込み・読み出
し方式の情報記録用部材に比し、単位面積当り記録容量
が格段に大きい電子ビーム記録用ディスクにおいて、書
き込み効率と読み出し効率とを向上させる改良に関す
る。
（２）技術の背景 電気パルス信号等の形で与えられる情報を記録再生する
装置として、磁気ディスク装置、光ディスク装置、更に
は、レーザディスク装置等が知られている。
装置として、磁気ディスク装置、光ディスク装置、更に
は、レーザディスク装置等が知られている。
これらの情報記録再生装置は、電気信号として入力され
た情報を磁束信号、光信号、レーザ信号等に変換して、
これらの変換された信号をもってディスク状の情報記録
媒体に物理的化学的変化を与えて情報の書き込みをな
し、この物理的化学的変化に起因する何らかの物理量の
変化を検出して情報の読み出しをなすことを基本原理と
するが、これらの情報記録再生装置に共通する問題点は
情報記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記録
容量が必ずしも満足すべき程度に大きくないことであ
る。
た情報を磁束信号、光信号、レーザ信号等に変換して、
これらの変換された信号をもってディスク状の情報記録
媒体に物理的化学的変化を与えて情報の書き込みをな
し、この物理的化学的変化に起因する何らかの物理量の
変化を検出して情報の読み出しをなすことを基本原理と
するが、これらの情報記録再生装置に共通する問題点は
情報記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記録
容量が必ずしも満足すべき程度に大きくないことであ
る。
まず、磁気ディスク装置にあっては１ビットの所要面積
が２μｍ×20μｍ程度である。次に、比較的大きな単位
面積当り記録容量を有する光ディスク装置にあっても、
１ビットの所要面積は１μｍ×２μｍ程度であり、必ず
しも満足すべきものではない。
が２μｍ×20μｍ程度である。次に、比較的大きな単位
面積当り記録容量を有する光ディスク装置にあっても、
１ビットの所要面積は１μｍ×２μｍ程度であり、必ず
しも満足すべきものではない。
この欠点は上記各種の信号媒体、すなわち、磁束、光、
レーザ等をもって微細なビームを形成したときその断面
積の下限に限界があることに起因する点に着目して、よ
り細いビームとなしうる電子ビームを信号媒体となした
電子ビーム記録再生装置が提案されており、この電子ビ
ーム記録再生装置においては、１ビットの所要面積を50
0Å×500Å程度に減少しうることが確認されている。
レーザ等をもって微細なビームを形成したときその断面
積の下限に限界があることに起因する点に着目して、よ
り細いビームとなしうる電子ビームを信号媒体となした
電子ビーム記録再生装置が提案されており、この電子ビ
ーム記録再生装置においては、１ビットの所要面積を50
0Å×500Å程度に減少しうることが確認されている。
この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体した微細な
電子ビームをもって情報記録ディスクに物理的化学的変
化例えば電子ビーム照射点の溶融にもとづく微細開口・
微細領域における表層の剥離等の形成を実現して情報を
書き込み、一方、情報の書き込まれた領域から得られる
ある種の物理量と書き込まれていない領域から得られる
同種の物理量との差例えば二次電子放出量、反射電子放
出量、Ｘ線放出量、けい光量、りん光量等の差を検出し
て情報の読み出しをなすものである。
電子ビームをもって情報記録ディスクに物理的化学的変
化例えば電子ビーム照射点の溶融にもとづく微細開口・
微細領域における表層の剥離等の形成を実現して情報を
書き込み、一方、情報の書き込まれた領域から得られる
ある種の物理量と書き込まれていない領域から得られる
同種の物理量との差例えば二次電子放出量、反射電子放
出量、Ｘ線放出量、けい光量、りん光量等の差を検出し
て情報の読み出しをなすものである。
3.従来技術の問題点 上記の電子ビーム記録再生装置の性能を向上するには、
情報の書き込み効率と読み出し効率のすぐれた情報記録
ディスクの開発が望ましいが、従来技術において使用さ
れているシリコンディスク上に情報記録層としてのアル
ミニウム（Al）層が形成されている情報記録ディスクに
おいては、情報書き込み効率と情報読み出し効率が必ず
しも満足すべきものではなく、これらの効率が更にすぐ
れた電子ビーム記録用ディスクの開発が望まれていた。
情報の書き込み効率と読み出し効率のすぐれた情報記録
ディスクの開発が望ましいが、従来技術において使用さ
れているシリコンディスク上に情報記録層としてのアル
ミニウム（Al）層が形成されている情報記録ディスクに
おいては、情報書き込み効率と情報読み出し効率が必ず
しも満足すべきものではなく、これらの効率が更にすぐ
れた電子ビーム記録用ディスクの開発が望まれていた。
（４）発明の目的 本発明の目的はこの要請に応えることにあり、情報書き
込み効率と情報読み出し効率がすぐれた、電子ビーム記
録用ディスクを提供することにある。
込み効率と情報読み出し効率がすぐれた、電子ビーム記
録用ディスクを提供することにある。
（５）発明の構成 本発明の構成は、シリコンディスク上に、テルル、セレ
ン、または、アンチモンの薄膜が形成されており、電子
ビームを照射して情報を記録し、電子ビームを照射して
二次電子を放出させて情報を読み出す電子ビーム記録用
ディスクである。なお、これらの薄膜の厚さは出来るだ
け薄いことが望ましく、200Å程度が適切である。
ン、または、アンチモンの薄膜が形成されており、電子
ビームを照射して情報を記録し、電子ビームを照射して
二次電子を放出させて情報を読み出す電子ビーム記録用
ディスクである。なお、これらの薄膜の厚さは出来るだ
け薄いことが望ましく、200Å程度が適切である。
本発明は、情報の書き込み方式として、情報を化体した
電子ビームをもって情報記録ディスク表層の情報記録層
に微細開口を形成して情報記録層である表層を剥離する
方式を使用し、情報の読み出し方式として、情報の書き
替えをなすことのない程度の比較的弱い電子ビームを照
射して、これにより放出される二次電子量を検出する方
式を前提としたものであり、情報記録層の材料として、
融点が低く、かつ、二次電子効率の大きい低融点金属ま
たはそれらの化合物を使用することとしたものである。
以下に、各種の低融点金属の融点と二次電子効率とを表
記する。
電子ビームをもって情報記録ディスク表層の情報記録層
に微細開口を形成して情報記録層である表層を剥離する
方式を使用し、情報の読み出し方式として、情報の書き
替えをなすことのない程度の比較的弱い電子ビームを照
射して、これにより放出される二次電子量を検出する方
式を前提としたものであり、情報記録層の材料として、
融点が低く、かつ、二次電子効率の大きい低融点金属ま
たはそれらの化合物を使用することとしたものである。
以下に、各種の低融点金属の融点と二次電子効率とを表
記する。
材料 融点 二次電子効率 ℃ セレン 221 1.75 テルル 450 1.35 アンチモン 631 1.83 アルミニウム 660 0.79 シリコン 1,412 0.73 上表より、テルル（Te）、セレン（Se）、アンチモン
（Sb）がすぐれていることが明らかである。
（Sb）がすぐれていることが明らかである。
（６）発明の実施例 以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施例に係る電子
ビーム記録用ディスクについて更に説明する。
ビーム記録用ディスクについて更に説明する。
第１図参照 厚さ2.0mmのシリコン（Si）よりなり、直径20cmの円板
１上に真空蒸着法を使用して厚さ200Åのテルル薄膜２
を形成し、この円板を使用して情報記録ディスクを製造
した。
１上に真空蒸着法を使用して厚さ200Åのテルル薄膜２
を形成し、この円板を使用して情報記録ディスクを製造
した。
第２図参照 上記の情報記録ディスクに、10-3Pa程度の真空中におい
て、スポット径が500Åの電子ビームを50KeVに加速して
照射して照射領域においてテルル薄膜２を溶融して開口
を形成して情報の書き込みをなした。
て、スポット径が500Åの電子ビームを50KeVに加速して
照射して照射領域においてテルル薄膜２を溶融して開口
を形成して情報の書き込みをなした。
次に、比較的弱い電子ビームを照射したところ、テルル
薄膜２からは高効率をもって二次電子が放出され、テル
ル薄膜２が剥離されている開口部（下地はシリコン１）
からは少量の二次電子が放出され、情報の読み出し効率
が極めて優れていることが確認された。（図にカーブＡ
をもって示す）。
薄膜２からは高効率をもって二次電子が放出され、テル
ル薄膜２が剥離されている開口部（下地はシリコン１）
からは少量の二次電子が放出され、情報の読み出し効率
が極めて優れていることが確認された。（図にカーブＡ
をもって示す）。
比較のために、アルミニウム（Al）膜を情報記録層とす
る従来技術における情報記録ディスクに対して同一条件
で情報を書き込み二次電子放射をさせたところ、二次電
子放出量は上例の1/2程度であることが確認された（図
に破線をもって示すカーブＢをもって示す）。
る従来技術における情報記録ディスクに対して同一条件
で情報を書き込み二次電子放射をさせたところ、二次電
子放出量は上例の1/2程度であることが確認された（図
に破線をもって示すカーブＢをもって示す）。
（７）発明の効果 以上説明せるとおり、本発明によれば、レーザビーム書
き込み・読み出し方式の情報記録用部材に比し、単位面
積当り記録容量が格段に大きい電子ビーム記録用ディス
クにおいて、情報書き込み効率と情報読み出し効率とを
２倍程度に向上する改良を提供することができる。
き込み・読み出し方式の情報記録用部材に比し、単位面
積当り記録容量が格段に大きい電子ビーム記録用ディス
クにおいて、情報書き込み効率と情報読み出し効率とを
２倍程度に向上する改良を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例に係る電子ビーム記録用ディ
スクの断面図である。第２図は本発明の効果確認試験の
結果を示すグラフである。 １……円板（ディスク）、２……テルル薄膜（情報記録
層）、Ａ……本発明の一実施例に係る電子ビーム記録用
ディスクの放出二次電子量を示すカーブ、Ｂ……従来技
術に係る電子ビーム記録用ディスクの放出二次電子量を
示すカーブ。
スクの断面図である。第２図は本発明の効果確認試験の
結果を示すグラフである。 １……円板（ディスク）、２……テルル薄膜（情報記録
層）、Ａ……本発明の一実施例に係る電子ビーム記録用
ディスクの放出二次電子量を示すカーブ、Ｂ……従来技
術に係る電子ビーム記録用ディスクの放出二次電子量を
示すカーブ。
Claims (1)
- 【請求項１】シリコンディスク上に、テルル、セレン、
または、アンチモンの薄膜が形成されてなり、電子ビー
ムを照射して情報を記録し、電子ビームを照射して二次
電子を放出させて情報を読み出す ことを特徴とする電子ビーム記録用ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096184A JPH0677340B2 (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 電子ビーム記録用ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096184A JPH0677340B2 (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 電子ビーム記録用ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221847A JPS59221847A (ja) | 1984-12-13 |
| JPH0677340B2 true JPH0677340B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=14158225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58096184A Expired - Lifetime JPH0677340B2 (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 電子ビーム記録用ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677340B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2616763B2 (ja) * | 1985-12-13 | 1997-06-04 | 新技術事業団 | 情報記録再生方法 |
| JPS63171446A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Mitsubishi Kasei Corp | 光学的記録用媒体の製造方法 |
| JPH07101514B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1995-11-01 | 富士写真フイルム株式会社 | 記録再生方法 |
| JP2892022B2 (ja) * | 1989-01-13 | 1999-05-17 | シャープ株式会社 | 記録素子 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5935356B2 (ja) * | 1976-03-15 | 1984-08-28 | 株式会社日立製作所 | 情報の記録用部材 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP58096184A patent/JPH0677340B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59221847A (ja) | 1984-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5154957A (en) | Optical information recording medium | |
| GB1574065A (en) | Information recording methods using laser | |
| US6214431B1 (en) | Optical data storage materials for blue-light DVD-R | |
| JPH0377578B2 (ja) | ||
| JPH0677340B2 (ja) | 電子ビーム記録用ディスク | |
| JPH0411928B2 (ja) | ||
| JPS62245530A (ja) | 微細ビ−ム利用超高密度記録方式 | |
| JP2993973B2 (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JPH0263261B2 (ja) | ||
| JPS62154248A (ja) | 電子ビ−ム記録用媒体 | |
| JPH0462138B2 (ja) | ||
| JPH0462139B2 (ja) | ||
| JPH0421936B2 (ja) | ||
| JPS6029952A (ja) | 電子ビーム記録装置 | |
| JPH02187945A (ja) | 記録素子 | |
| JP2981461B2 (ja) | 再生装置 | |
| JPS6381632A (ja) | 光デイスクの記録方法 | |
| JPS6057551A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPS6310494B2 (ja) | ||
| JPS5862094A (ja) | 記録媒体 | |
| JPS6381630A (ja) | 光デイスクの記録方法 | |
| JPH0628710A (ja) | 光情報記録媒体、その製造方法及びその初期化方法 | |
| JPS63316336A (ja) | 電子線ディスク | |
| JPH0553018B2 (ja) | ||
| JPH048859B2 (ja) |