JPS61102761A - 電子部品用樹脂パツケ−ジ - Google Patents

電子部品用樹脂パツケ−ジ

Info

Publication number
JPS61102761A
JPS61102761A JP22636584A JP22636584A JPS61102761A JP S61102761 A JPS61102761 A JP S61102761A JP 22636584 A JP22636584 A JP 22636584A JP 22636584 A JP22636584 A JP 22636584A JP S61102761 A JPS61102761 A JP S61102761A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
cavity
metal body
package
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22636584A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Nose
幸之 野世
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP22636584A priority Critical patent/JPS61102761A/ja
Publication of JPS61102761A publication Critical patent/JPS61102761A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3157Partial encapsulation or coating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子部品用樹脂パッケージであって、パッケ
ージの素子載置側に空洞を有し、他部の全桟構体(リー
ド)金属体を樹脂中に埋設したものの構造に関する。
従来例の構成とその問題点 半導体用パッケージは、中に塔載する半導体素子の機能
によって使い分けられるが、特に撮像を用途にして開発
された半導体素子や光で記憶情報を消去するメモリー用
半導体素子の塔載に用いる半導体用パッケージは、半導
体素子が塔載された時、半導体素子表面が不透明な物体
でさえぎられなくする目的から、半導体素子載置部とリ
ードの一部を露出させるために、半導体素子載置面側に
空洞を設ける。以上の半導体用パッケージの構造は、一
般に積層構造アルミナセラミックや、単層アルミナセラ
ミックの蓋と基体を低融点ガラスで貼り合わせることに
より作られている。しかしセラミックパッケージは製法
の点から安価にすることが難しく、軽量実装の点からは
その目的の達成が難しい等の問題があった。こうした問
題を克服するために、樹脂材料を用いて、半導体素子載
置部に空洞を有するパッケージの開発が行われており、
構造はプリモールド型でパッケージ化が図られている。
このプリモールド型パッケージの形成方法は、上型と下
型とからなる金型に、樹脂取入れ口、樹脂輸送溝、樹脂
注入口、パッケージ形状を有する空洞部を設けてあり、
下型の空洞部面上にリードフレームを載置して上型で挾
み込み、その隙間に液状樹脂を流し込み、樹脂が硬化後
に成形物を取り出す方法である。
第1図に成形時の断面図を示す。この方法では半導体装
置部空洞内でのインナーリード表裏面のうち表面は金型
の上型で押えられているが、裏面は押えられていないた
め、液状樹脂が金型のパッケージ形状空洞部に注入され
る際、インナーリードの変形により上型とインナーリー
ド表面の間に薄い層状に流れ込み、インナーリード表面
に樹脂の薄膜を形成する。これは、後の工程のワイヤー
ボンディングで、ワイヤーの接続を妨害していた。
この問題を避けるために、注入時の樹脂の粘度を高くす
ると、半導体装置部空洞外で樹脂とインナーリードの密
着性を損なうばかりでなく、樹脂注入圧の影響を受けて
インナーリード部全体が大きく変形し、さらには成形樹
脂中に多食の気泡を取り込む、等の問題が生じていた。
発明の目的 本発明は、安価で軽量な、半導体装置部空洞型樹脂パン
ケージの構造を提供することを目的とする。
発明の構成 本発明は、電子部品素子載置用に形成された上部平坦な
突出面と、その周辺部の一部もしくは全体が同突出面よ
り下部に位置する平坦面とを有した金属体に対して、前
記下部平坦面上に絶縁物を介して、リード用金属構体の
一部を配設し、かつ、前記リード用金属構体の一部およ
び前記金属体の突出面を空洞部に露出させ、他部を樹脂
中に埋設した構造の電子部品用樹脂パッケージであり、
これにより、インナーリードの変形がなく、また、同イ
ンナーリード面に樹脂被膜の形成されないものが実現で
きる。
実施例の説明 本発明を第2図〜第4図を参照しながら、実施例によっ
て説明する。
第2図において金型の上型1と下型2の各々に設けたパ
ッケージ形状空洞3部の下型2の底面にインナーリード
4を押えるための、アルミニウムまたは銅からなる金属
体5を入れる。この金属体5は第3図の斜視図に示すよ
うに、上部が平坦な台地状の突出した半導体素子載置面
6と、その周辺部が、半導体素子載置面6より下部に位
置するインナーリード固定面7とから形成されている。
このインナーリード固定面7上にはエポキシやポリイミ
ド樹脂からなる絶縁物8が載っている。
つぎに金型の下型2面上の所定の位置にリードフレーム
9を載置する。この時インナーリード4は絶縁物8上に
位置している。
この状態で上型1を閉じると、インナーリード4の表面
は上型1で、裏面は絶縁物8を介して金属体6のインナ
ーリード固定面で挾まれる。そしてここに液状樹脂1o
を注入して成形すると、第4図の外観図に示されるよう
に1パツケージの上側には半導体素子載置用の空洞部1
1を有し、下側には金属体5が埋め込まれて、インナー
リード4の表面に樹脂10が被らない外形の樹脂型プリ
モールドパッケージが得られる。
発明の効果 本発明の金属体埋め込み構造型樹脂プリモールドパッケ
ージによれば、第1に、半導体素子載置部の空洞内に位
置するインナーリード間の表面が同一面に制御される。
第2に、半導体素子載置部の空洞内に位置するインナー
リード表面上の樹脂の被りが防げる。第3に樹脂中の埋
め込み金属体にアルミニウムを使用することで、周囲の
樹脂と殆んど同程度の熱膨張率が達成でき、パッケージ
の機械的強度が改善できる。などの諸効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の樹脂空洞型パッケージの成形特断面図
、第2図は、本発明の金属体を埋め込んだ成形時の樹脂
空洞型パスケージ断面、第3図は、金属体斜視図、第4
図は本発明実施例のパッケージの外観図である。 1・・・・・・金型の上型、2・・・・・・金型の下型
、3・・・金型空洞、4・・・・・インナーリード、5
・・・・・金属体、6・・・・・・半導体素子載置面、
7・・・・・インナーリード固定面、8 ・・絶縁物、
9・・・リードフレーム、1o ・・・樹脂、11・・
・パッケージの半導体素子数、4用空洞部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  電子部品素子載置用に形成された上部平坦な突出面と
    、その周辺の一部もしくは全体が同突出面より下部に位
    置する平坦面とを有した金属体に対して、前記下部平坦
    面上に絶縁物を介して、リード用金属構体の一部を配設
    し、かつ、前記リード用金属構体の一部および前記金属
    体の突出面を空洞部に露出させ、他部を樹脂中に埋設し
    た構造を特徴とする電子部品用樹脂パッケージ。
JP22636584A 1984-10-26 1984-10-26 電子部品用樹脂パツケ−ジ Pending JPS61102761A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22636584A JPS61102761A (ja) 1984-10-26 1984-10-26 電子部品用樹脂パツケ−ジ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22636584A JPS61102761A (ja) 1984-10-26 1984-10-26 電子部品用樹脂パツケ−ジ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61102761A true JPS61102761A (ja) 1986-05-21

Family

ID=16843998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22636584A Pending JPS61102761A (ja) 1984-10-26 1984-10-26 電子部品用樹脂パツケ−ジ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61102761A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0297109A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Matsushima Kogyo Co Ltd 圧電発振器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0297109A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Matsushima Kogyo Co Ltd 圧電発振器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4663833A (en) Method for manufacturing IC plastic package with window
JPH07321139A (ja) 半導体装置およびその製造方法
KR880014671A (ko) 수지로 충진된 반도체 장치
KR100428271B1 (ko) 집적회로패키지와그제조방법
US9476788B2 (en) Semiconductor sensor with gel filled cavity
JP3129660B2 (ja) Sonパッケージの樹脂封止方法及び樹脂封止装置
JPS61102761A (ja) 電子部品用樹脂パツケ−ジ
JPS61102760A (ja) 電子部品用樹脂パツケ−ジ
JP2539111B2 (ja) 耐湿性の改良された半導体装置およびその製造方法
JPH0817855A (ja) 半導体装置の製造方法およびこれに用いられる積層体
JPS61102759A (ja) 電子部品用樹脂パツケ−ジ
JPH05175396A (ja) リードフレーム及びモールド方法
JP3212527B2 (ja) 光照射窓を有するbga型中空半導体パッケージ
JPH02258395A (ja) Icカードの製造方法
JP2917556B2 (ja) 絶縁物封止型電子部品の製造方法
JP2002289717A (ja) リードフレーム、電子部品装置及びその製造方法
JP2004193294A (ja) 半導体用中空樹脂パッケージ
JP3233990B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP3956530B2 (ja) 集積回路の製造方法
JPH01117348A (ja) 半導体パッケージの製造方法
JPH0621145A (ja) 半導体装置
JPH0392394A (ja) 薄形半導体装置
JPH0745663A (ja) 放熱体付半導体装置及びその製造方法
KR910007471B1 (ko) 회로기판과 그 제조방법
JPH0445563A (ja) 半導体装置の製造方法