JPS6054979A - 窒化けい素焼結体の製造法 - Google Patents
窒化けい素焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS6054979A JPS6054979A JP58164711A JP16471183A JPS6054979A JP S6054979 A JPS6054979 A JP S6054979A JP 58164711 A JP58164711 A JP 58164711A JP 16471183 A JP16471183 A JP 16471183A JP S6054979 A JPS6054979 A JP S6054979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- weight
- sintering
- silicon nitride
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高温強度のすぐれた窒化けい素焼粘体の製造法
に関する。
に関する。
窒化けい素焼粘体は、強度、耐酸化性、耐摩耗性などに
すぐれ、特に高温域において、金属材料では得られない
高い強度、その他の機械的緒特性、並びに化学的安定性
を備えており、昨今高温用途における構造材料等として
注目されている。
すぐれ、特に高温域において、金属材料では得られない
高い強度、その他の機械的緒特性、並びに化学的安定性
を備えており、昨今高温用途における構造材料等として
注目されている。
窒化けい素(Si3N+)粉末は、自己焼結性に乏しい
物質であるので、その焼結体の製造には焼結助剤を配合
するのが一般である。焼結助剤としては、従来よりMg
o などの金属酸化物が用いられ、また近時はイツトリ
ウム酸化物(Y2O3)などの希土類酸化物等の使用が
提案されている(特開昭55−109277号)。これ
ら助剤は、焼結過程で窒化けい素粉末の粒子界面に溶融
相を形成して焼結を促進する。こうして得られる焼結体
は、焼結助剤とSi3N4 とからなる粒界層を介して
粒子相互が結合され、その粒界層の物性が焼結体の高温
強度を支配する第一の要因であることは周知のとおりで
ある。
物質であるので、その焼結体の製造には焼結助剤を配合
するのが一般である。焼結助剤としては、従来よりMg
o などの金属酸化物が用いられ、また近時はイツトリ
ウム酸化物(Y2O3)などの希土類酸化物等の使用が
提案されている(特開昭55−109277号)。これ
ら助剤は、焼結過程で窒化けい素粉末の粒子界面に溶融
相を形成して焼結を促進する。こうして得られる焼結体
は、焼結助剤とSi3N4 とからなる粒界層を介して
粒子相互が結合され、その粒界層の物性が焼結体の高温
強度を支配する第一の要因であることは周知のとおりで
ある。
しかるに、従来の窒化けい素焼粘体は、常温での強度は
良好であっても、1000°Cを越る高温域での強度低
下が著しく、しばしば粒界すべり現象に起因する塑性的
破壊を呈する。例えば、焼結助剤としてMgOを5重量
%配合してホットプレス法により製造された焼結体は、
常温において35/C17f/−前後の強度を示すが、
1300°Cではわずか22kqf/−程度と、常温時
の30%にも満たないレベルに激減する。また、希土類
酸化物を焼結助剤とし、例えばY2O3とセリウム酸化
物(CeO)などを適量配合して焼成された焼結体にお
いても、1300°Cでの強度レベルは、常温時のせい
ぜい40〜60%程度に過ぎない。
良好であっても、1000°Cを越る高温域での強度低
下が著しく、しばしば粒界すべり現象に起因する塑性的
破壊を呈する。例えば、焼結助剤としてMgOを5重量
%配合してホットプレス法により製造された焼結体は、
常温において35/C17f/−前後の強度を示すが、
1300°Cではわずか22kqf/−程度と、常温時
の30%にも満たないレベルに激減する。また、希土類
酸化物を焼結助剤とし、例えばY2O3とセリウム酸化
物(CeO)などを適量配合して焼成された焼結体にお
いても、1300°Cでの強度レベルは、常温時のせい
ぜい40〜60%程度に過ぎない。
本発明者等は、上記実情に対処するために焼結助剤につ
いて詳細な実験を重ね、希土類酸化物群から選らばれる
特定の酸化物の組合せにより焼結体の高温強度を大きく
改善し得ることを知見し、既出願において、それを助剤
とする焼結体の製造法を提供した(特願昭57−141
.892号、同57−188796号、同58−167
11号)。
いて詳細な実験を重ね、希土類酸化物群から選らばれる
特定の酸化物の組合せにより焼結体の高温強度を大きく
改善し得ることを知見し、既出願において、それを助剤
とする焼結体の製造法を提供した(特願昭57−141
.892号、同57−188796号、同58−167
11号)。
本発明は、焼結助剤に関する一連の研究の結果、ランタ
ン酸化物(La203)、プラセオジム酸化物(Pr6
011)およびネオジム酸化物(Nd203)を主構成
分とする複酸化物もしくは酸化物混合物を助剤として使
用することにより、焼結体の高温強度を更に向上さぜ、
1000“Cをこえる高温域での強度低下の問題を実質
的に完全に解消することに成功したものである。
ン酸化物(La203)、プラセオジム酸化物(Pr6
011)およびネオジム酸化物(Nd203)を主構成
分とする複酸化物もしくは酸化物混合物を助剤として使
用することにより、焼結体の高温強度を更に向上さぜ、
1000“Cをこえる高温域での強度低下の問題を実質
的に完全に解消することに成功したものである。
本発明の窒化りい素焼粘体の製造法は、窒化けい素粉末
に焼結助剤として希土類酸化物が配合された混合物を成
形、焼結することからなる焼結体の製造法において、焼
結助剤として、ランタン・ネオジム・プラセオジム複酸
化物もしくはランタン酸化物・ネオジム酸化物・プラセ
オジム酸化物混合物が5〜35重量%配合されること、
およびこの複酸化物または酸化物混合物は、酸化物換算
値で、20〜80重量%のランタン酸化物、20〜50
重量%のネオジム酸化物および3〜20重量%のプラセ
オジム酸化物が合計で80重量%以上を占め、これに不
純物として付随することもあるセリウム酸化物は15重
量%以下、その他の希土類酸化物は5重量%以下である
成分構成を有する、ことを特徴とする。
に焼結助剤として希土類酸化物が配合された混合物を成
形、焼結することからなる焼結体の製造法において、焼
結助剤として、ランタン・ネオジム・プラセオジム複酸
化物もしくはランタン酸化物・ネオジム酸化物・プラセ
オジム酸化物混合物が5〜35重量%配合されること、
およびこの複酸化物または酸化物混合物は、酸化物換算
値で、20〜80重量%のランタン酸化物、20〜50
重量%のネオジム酸化物および3〜20重量%のプラセ
オジム酸化物が合計で80重量%以上を占め、これに不
純物として付随することもあるセリウム酸化物は15重
量%以下、その他の希土類酸化物は5重量%以下である
成分構成を有する、ことを特徴とする。
本発明方法により得られる窒化けい素焼粘体の強度レベ
ルは、むろん成形・焼結プロセス(例えば、ホットプレ
ス法、常圧焼結法など)により一様ではないが、同じプ
ロセスにより得られる従来材に比し卓抜した高温強度を
有する。とりわけ、従来法による焼結体は温度上昇に伴
う強度低下が著しいのに対し、本発明による焼結体は昇
温に伴う強度低下が全くないばかりか、後記実施例にも
示されるように、常温時よりもむしろ1000°C以上
の高温域においてより高い強度を呈する。その強度上昇
は、焼結体内に生起する若干量の塑性変形に伴って微小
欠陥に対する切欠感受性が低減することによるものと考
えられるが、このような顕著な強度上昇は、従来法によ
る焼結体では全く認められない現象である。
ルは、むろん成形・焼結プロセス(例えば、ホットプレ
ス法、常圧焼結法など)により一様ではないが、同じプ
ロセスにより得られる従来材に比し卓抜した高温強度を
有する。とりわけ、従来法による焼結体は温度上昇に伴
う強度低下が著しいのに対し、本発明による焼結体は昇
温に伴う強度低下が全くないばかりか、後記実施例にも
示されるように、常温時よりもむしろ1000°C以上
の高温域においてより高い強度を呈する。その強度上昇
は、焼結体内に生起する若干量の塑性変形に伴って微小
欠陥に対する切欠感受性が低減することによるものと考
えられるが、このような顕著な強度上昇は、従来法によ
る焼結体では全く認められない現象である。
本発明において焼結助剤として使用される希土類元素の
複酸化物または酸化物混合物(以下、単に「助剤酸化物
」とも言う)の成分構成を前記のように、ランタン酸化
物20〜80重量%、ネオジム酸化物20〜50重量%
およびプラセオジム酸化物3〜20重1社%(複酸化物
の場合は各元素の酸化物換算値)とし、その合計量を8
0重重量以上とするのは、各酸化物の相剰作用による焼
結促進並びに焼結体の高温強度の確保のためである。
複酸化物または酸化物混合物(以下、単に「助剤酸化物
」とも言う)の成分構成を前記のように、ランタン酸化
物20〜80重量%、ネオジム酸化物20〜50重量%
およびプラセオジム酸化物3〜20重1社%(複酸化物
の場合は各元素の酸化物換算値)とし、その合計量を8
0重重量以上とするのは、各酸化物の相剰作用による焼
結促進並びに焼結体の高温強度の確保のためである。
このものは、酸化物とじて天然に産出するランタン系列
希土類元素から、セリウム(酸化物)を除去することに
より製造することができ、希土類の単金属の酸化物を混
合調製するよりも安価に入手できる点でも有利である。
希土類元素から、セリウム(酸化物)を除去することに
より製造することができ、希土類の単金属の酸化物を混
合調製するよりも安価に入手できる点でも有利である。
」二記の助剤酸化物に不純物として付随するセリウム(
Ce)、サマリウム(Sm)などの希土類元素の含有量
は、得られる焼結体の高温強度改善の点から少い程良い
。この酸化物におけるセリウムは酸化物換算値で15重
量%以下、サマリウムなどのその他の希土類元素は酸化
物換算値で5重量%以下、合計20重量%以下であれば
特段の支障はないが、より好ましくはセリウム酸化物は
5重量%以下、サマリウム等の酸化物は1重量%以下、
これらの合計量6%以下(いずれも酸化物換算値)とす
る。
Ce)、サマリウム(Sm)などの希土類元素の含有量
は、得られる焼結体の高温強度改善の点から少い程良い
。この酸化物におけるセリウムは酸化物換算値で15重
量%以下、サマリウムなどのその他の希土類元素は酸化
物換算値で5重量%以下、合計20重量%以下であれば
特段の支障はないが、より好ましくはセリウム酸化物は
5重量%以下、サマリウム等の酸化物は1重量%以下、
これらの合計量6%以下(いずれも酸化物換算値)とす
る。
また、窒化けい素粉末との混合物における助剤酸化物の
割合を5重量%以上とするのは、それより少いと、焼結
促進効果および焼結体の高温強度向上効果が不足するか
らである。より好ましくは7重量%以上である。また、
配合量の上限を規定するのは、あまり多く配合しても、
配合量に見合う程の効果はなく、経済的負担が増すばか
りか、混合物中に占める窒化けい素粉末の相対的割合の
低下に伴って窒化けい素焼粘体本来の特徴が低減するか
らである。このため、助剤酸化物の配合量の上限を35
重量%とする。より好ましくは30%以下である。
割合を5重量%以上とするのは、それより少いと、焼結
促進効果および焼結体の高温強度向上効果が不足するか
らである。より好ましくは7重量%以上である。また、
配合量の上限を規定するのは、あまり多く配合しても、
配合量に見合う程の効果はなく、経済的負担が増すばか
りか、混合物中に占める窒化けい素粉末の相対的割合の
低下に伴って窒化けい素焼粘体本来の特徴が低減するか
らである。このため、助剤酸化物の配合量の上限を35
重量%とする。より好ましくは30%以下である。
なお、主原料である窒化けい素粉末の結晶構造にはα型
とβ型とがあり、周知のように焼結体の強度に関連する
焼結体内粒界層の結晶化を助長する点から、α型が有利
であり、α化率90%以上の粉末が好ましく使用される
。
とβ型とがあり、周知のように焼結体の強度に関連する
焼結体内粒界層の結晶化を助長する点から、α型が有利
であり、α化率90%以上の粉末が好ましく使用される
。
本発明によれば、窒化けい素粉末に、前記規定を満たす
ように助剤酸化物を配合して調製された混合物を成形し
、焼結することにより目的とする焼結体を得る。むろん
、成形・焼結に付される混合物は、通常のそれと同様に
必要に応じて適宜の成形助剤が混和されたものであって
よい。なお、「成形し、焼結する」というのは、適用さ
れるプロセスにより、成形と焼結とが各別の工程として
実施され、あるいは成形と焼結とが一工程で実施される
ことを意味する。
ように助剤酸化物を配合して調製された混合物を成形し
、焼結することにより目的とする焼結体を得る。むろん
、成形・焼結に付される混合物は、通常のそれと同様に
必要に応じて適宜の成形助剤が混和されたものであって
よい。なお、「成形し、焼結する」というのは、適用さ
れるプロセスにより、成形と焼結とが各別の工程として
実施され、あるいは成形と焼結とが一工程で実施される
ことを意味する。
成形・焼結法としては、調製された混合物を所定形状の
型に充」ハし、ダイスによる加圧下に焼結を行うホット
プレス法、または熱間静水圧焼結法CHTP法)などの
加圧焼結法、あるいは混合物をあらかじめ所望の形状に
成形したのち、焼結を行う常圧焼結法など、任意の方法
が適用される。
型に充」ハし、ダイスによる加圧下に焼結を行うホット
プレス法、または熱間静水圧焼結法CHTP法)などの
加圧焼結法、あるいは混合物をあらかじめ所望の形状に
成形したのち、焼結を行う常圧焼結法など、任意の方法
が適用される。
これらの成形・焼結条件に特別の制限はないが、例えば
ホットプレス法では、加圧力約200〜400kqf/
cf焼成温度約16oo〜1850′c11−I I
P法では加圧先約500〜2500kqf/lyl、焼
成温度約1600〜1850°Cの条件下に好結果を得
ることができる。また、常圧焼結法では、助剤酸化物と
ともに適当な成形助剤を適量(例えば、メチルセルロー
スを0.1〜2.0%)混和して調製された混合物を適
宜の成形法(例えば、−軸プレス、ラバープレス、射出
成形、押出し、スリップキャスティングなど)にて成形
したのち、例えば1〜10に9f/cylの窒素ガス雰
囲気下、約1600〜1850°Cで焼結を完了するこ
とができる。なお、その窒素ガス雰囲気は約1.5 k
gf /cyl以下の低圧力側においても十分好結果を
得ることができる。
ホットプレス法では、加圧力約200〜400kqf/
cf焼成温度約16oo〜1850′c11−I I
P法では加圧先約500〜2500kqf/lyl、焼
成温度約1600〜1850°Cの条件下に好結果を得
ることができる。また、常圧焼結法では、助剤酸化物と
ともに適当な成形助剤を適量(例えば、メチルセルロー
スを0.1〜2.0%)混和して調製された混合物を適
宜の成形法(例えば、−軸プレス、ラバープレス、射出
成形、押出し、スリップキャスティングなど)にて成形
したのち、例えば1〜10に9f/cylの窒素ガス雰
囲気下、約1600〜1850°Cで焼結を完了するこ
とができる。なお、その窒素ガス雰囲気は約1.5 k
gf /cyl以下の低圧力側においても十分好結果を
得ることができる。
次に本発明の実施例について説明する。
実施例1
窒化けい素粉末(α化率95%、平均粒径0.6μm)
に、第1表に示すように焼結助剤を配合した混合物を調
製し、ホットプレス法により加圧力400kQf/d、
温度1800°C1保持時間1時間の条件で焼結体(4
0朋X2(1*X(、r*)を製造し、それぞれについ
て常温および1300°Cにおける曲げ強さを測定した
。賦香(1)〜(3)は本発明例、賦香(4)、(5)
は比較例である。
に、第1表に示すように焼結助剤を配合した混合物を調
製し、ホットプレス法により加圧力400kQf/d、
温度1800°C1保持時間1時間の条件で焼結体(4
0朋X2(1*X(、r*)を製造し、それぞれについ
て常温および1300°Cにおける曲げ強さを測定した
。賦香(1)〜(3)は本発明例、賦香(4)、(5)
は比較例である。
曲げ強さ試験は、焼結体から、8 Mys X 8 *
ytt X4ONMの試験片を調製し、三点曲げ法(但
し、スパン距離20羽)にて行った。試験結果を第1表
に併記する。表中、「高温/常温強度比」は[1800
°Cでの曲げ強さく kgf /writ ) /常温
での曲げ強さく kgf /yJ ) ]の比である。
ytt X4ONMの試験片を調製し、三点曲げ法(但
し、スパン距離20羽)にて行った。試験結果を第1表
に併記する。表中、「高温/常温強度比」は[1800
°Cでの曲げ強さく kgf /writ ) /常温
での曲げ強さく kgf /yJ ) ]の比である。
実施例2
窒化けい素粉末(α化率および平均粒径は実施例1と同
じ)に、第2表に示す焼結助剤を配合するとともに、成
形助剤として0.5%メチルセルロース水溶液を添加(
窒化けい素粉末80fに対して10 cc )、混合し
、−軸プレス法にて円板体を成形したのち、常圧焼結法
により、1.8ktjf/clの窒素ガス雰囲気下、1
750°Cに2時間保持して焼結を完了し、直径50寵
×厚さ6朋の円板状焼結体を得た。各焼結体について実
施例1と同じ要領で曲げ強さ試験を行い、第2表に示す
結果を得た。賦香(6)は本発明例、(7)および(8
)は比較例である。
じ)に、第2表に示す焼結助剤を配合するとともに、成
形助剤として0.5%メチルセルロース水溶液を添加(
窒化けい素粉末80fに対して10 cc )、混合し
、−軸プレス法にて円板体を成形したのち、常圧焼結法
により、1.8ktjf/clの窒素ガス雰囲気下、1
750°Cに2時間保持して焼結を完了し、直径50寵
×厚さ6朋の円板状焼結体を得た。各焼結体について実
施例1と同じ要領で曲げ強さ試験を行い、第2表に示す
結果を得た。賦香(6)は本発明例、(7)および(8
)は比較例である。
各試験結果に示されるとおり、イツトリウム酸化物など
が焼結助剤として使用された比較例では、いづれも昇温
に伴う強度低下が著しいのに対し、本発明によりランタ
ン酸化物、ネオジム酸化物およびプラセオジム酸化物か
らなる焼結助剤を用いて得られた焼結体は、成形・焼結
のプロセスのいかんにかかわらず、1300°Cの高温
においても強度低下を生じないばかりか、むしろ常温時
を上回る値を示し、従来の焼結体をはるかに凌く高温強
度を有する。また、常温での強度レベルも、同じプロセ
スによる従来材よりすぐれていることがわかる。
が焼結助剤として使用された比較例では、いづれも昇温
に伴う強度低下が著しいのに対し、本発明によりランタ
ン酸化物、ネオジム酸化物およびプラセオジム酸化物か
らなる焼結助剤を用いて得られた焼結体は、成形・焼結
のプロセスのいかんにかかわらず、1300°Cの高温
においても強度低下を生じないばかりか、むしろ常温時
を上回る値を示し、従来の焼結体をはるかに凌く高温強
度を有する。また、常温での強度レベルも、同じプロセ
スによる従来材よりすぐれていることがわかる。
以−ヒのように、本発明により得られる窒化けい素焼給
体は、常温のみならず高温域において卓抜した強度を有
するので、各種高温用途、ことに1000°Cをこえる
苛酷な使用環境にもよく耐え、従来の焼結体では得られ
ないすぐれた安定性・耐久性を保証するものである。
体は、常温のみならず高温域において卓抜した強度を有
するので、各種高温用途、ことに1000°Cをこえる
苛酷な使用環境にもよく耐え、従来の焼結体では得られ
ないすぐれた安定性・耐久性を保証するものである。
工業技術院長復代理人 弁理士 宮 崎 新八部久保田
鉄工株式会社代理人 弁理士 宮 崎 新八部427−
鉄工株式会社代理人 弁理士 宮 崎 新八部427−
Claims (1)
- (])窒化けい素粉末に希土類酸化物からなる焼結助剤
が配合された混合物を成形、焼結することからなる焼結
体の製造法において、焼結助剤として、酸化物換算値で
、ランタン酸化物20〜80重量%、ネオジム酸化物2
0〜50重量%、プラセオジム酸化物3〜20重量%、
セリウム酸化物15重量%以下、その他の希土類酸化物
5重量%以下の組成を有するランタン・ネオジム・プラ
セオジム複酸化物またはランタン酸化物・ネオジム酸化
物・プラセオジム酸化物混合物が5〜35重量%配合さ
れることを特徴とする窒化けい素焼粘体の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58164711A JPS6058191B2 (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 窒化けい素焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58164711A JPS6058191B2 (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 窒化けい素焼結体の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6054979A true JPS6054979A (ja) | 1985-03-29 |
JPS6058191B2 JPS6058191B2 (ja) | 1985-12-18 |
Family
ID=15798429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58164711A Expired JPS6058191B2 (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 窒化けい素焼結体の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6058191B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5030599A (en) * | 1990-07-19 | 1991-07-09 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Silicon nitride sintered materials |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625377A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | 株式会社 タカラ | ゼンマイ式二輪車玩具 |
JPH0416711Y2 (ja) * | 1985-10-28 | 1992-04-14 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58164711A patent/JPS6058191B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5030599A (en) * | 1990-07-19 | 1991-07-09 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Silicon nitride sintered materials |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6058191B2 (ja) | 1985-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5823345B2 (ja) | セラミックス焼結体の製造方法 | |
JPS5860677A (ja) | 高靭性窒化珪素焼結体の製造法 | |
JPS62153169A (ja) | 窒化ケイ素セラミツクス焼結体 | |
JPS5851910B2 (ja) | チツカケイソケイシヨウケツタイノセイゾウホウホウ | |
JPH07118070A (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス焼結体 | |
JPH0777986B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体の製法 | |
JPS6054979A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JPS5953235B2 (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JPS59190274A (ja) | 窒化けい素質焼結体およびその製造法 | |
KR890002158B1 (ko) | 질화규소 세라믹스 소결체 및 그 제조방법 | |
JPS6319473B2 (ja) | ||
JPS5935869B2 (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JPS605078A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JP2970131B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
JPH03141161A (ja) | 複合焼結体 | |
JPS6319472B2 (ja) | ||
JPS5930771A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JPS6359992B2 (ja) | ||
JPS5935868B2 (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
JPH05238829A (ja) | 窒化けい素セラミックス焼結体 | |
JP2720201B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
JPS61186265A (ja) | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
JPS63134568A (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
JPS581073B2 (ja) | チツカケイソシツシヨウケツタイノセイゾウホウホウ | |
JPH05339061A (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |