JPS605411A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS605411A JPS605411A JP11273883A JP11273883A JPS605411A JP S605411 A JPS605411 A JP S605411A JP 11273883 A JP11273883 A JP 11273883A JP 11273883 A JP11273883 A JP 11273883A JP S605411 A JPS605411 A JP S605411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- core
- film
- polishing
- deterioration
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ビデオテープレコーダなトニ用いられる、磁
性膜を２枚の非磁性基板でサンドウィッチ構造とした薄
膜磁気ヘッドに関する。
性膜を２枚の非磁性基板でサンドウィッチ構造とした薄
膜磁気ヘッドに関する。
近年、ＶＴＲの記録密度の向上は目覚ましくこれに対応
できる狭トラツク幅ヘッド、メタルテープ対応ヘッド作
成の方法として、金属磁性膜を利用した薄膜磁気ヘッド
が開発されている。
できる狭トラツク幅ヘッド、メタルテープ対応ヘッド作
成の方法として、金属磁性膜を利用した薄膜磁気ヘッド
が開発されている。
従来のこの種の薄膜磁気ヘッドは、一層ごとにスキンデ
プスを考慮に入れた膜厚にするため非磁性基板上に電気
絶縁性層間膜を介して磁性膜を多層積層し、これを目的
のトラック幅にした後、もう１枚の非磁性基板を前記磁
性膜の上に接着してサンドウィッチ構造のコア半休を形
成し、このコア半休を付き合せ面で接着し、然る後、研
削や切削等の機械加工を施してヘッドチップを製造する
ものであった。
プスを考慮に入れた膜厚にするため非磁性基板上に電気
絶縁性層間膜を介して磁性膜を多層積層し、これを目的
のトラック幅にした後、もう１枚の非磁性基板を前記磁
性膜の上に接着してサンドウィッチ構造のコア半休を形
成し、このコア半休を付き合せ面で接着し、然る後、研
削や切削等の機械加工を施してヘッドチップを製造する
ものであった。
しかしながら、上述した従来方法では、機械加工の際、
磁性膜にかなりの加工変質層が生じると共に、コア材が
延性金属材料であるため、加工面の金属膜がだれ込み、
このため電気絶縁性層間膜を介した各磁性膜が接触して
エディ−カレントロスが増大し、結果的に高域での出力
劣化を招いていた。特に、巻線用窓の加工を施したコア
半休では、この出力劣化の対応策として窓の内部を研摩
加工することが考えられるが窓内部に研摩加工を施すこ
とは非常に困難な作業であった。
磁性膜にかなりの加工変質層が生じると共に、コア材が
延性金属材料であるため、加工面の金属膜がだれ込み、
このため電気絶縁性層間膜を介した各磁性膜が接触して
エディ−カレントロスが増大し、結果的に高域での出力
劣化を招いていた。特に、巻線用窓の加工を施したコア
半休では、この出力劣化の対応策として窓の内部を研摩
加工することが考えられるが窓内部に研摩加工を施すこ
とは非常に困難な作業であった。
〔発明の１的〕
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を除き研削や切削
等の機械加工による磁気特性劣化を防止し、広周波数帯
域にわたり高磁性特性含有する薄膜磁気ヘッドを提供す
ることにある。
等の機械加工による磁気特性劣化を防止し、広周波数帯
域にわたり高磁性特性含有する薄膜磁気ヘッドを提供す
ることにある。
この目的を達成するために、本発明は、巻線用窓を加工
した面とは反対側の面に研摩加工を施したことを特徴と
する。
した面とは反対側の面に研摩加工を施したことを特徴と
する。
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図（ａ）ないしくｅ）は、本発明における薄膜磁気
ヘッドの製造工程図である。
ヘッドの製造工程図である。
まず、第１図（ａ）において、非磁性基板１上にセンダ
スト等の金属磁性膜２をＳｉＯ□ 等の電気絶縁性層間
膜３を介しながら、蒸着、スノ（ツタリング等で被着積
層する。
スト等の金属磁性膜２をＳｉＯ□ 等の電気絶縁性層間
膜３を介しながら、蒸着、スノ（ツタリング等で被着積
層する。
然る後、第１図（ｂ）において、上記磁性膜２付き非磁
性基板１と蓋用非磁性基板４とを、低融点ガラス等の接
着剤５を介して互いに加重加熱接着し、サンドウィッチ
構造体６を形成する。
性基板１と蓋用非磁性基板４とを、低融点ガラス等の接
着剤５を介して互いに加重加熱接着し、サンドウィッチ
構造体６を形成する。
次に、第１図（Ｃ）において、上記サンドウィッチ構造
体６をアジマスを付けて切削して２つのコア半休７．７
′を形成腰これらコア半休７゜７′うち一方のコア半休
７に巻線用窓８を加工しこれらコア半休７．７′の切断
面をダイヤペースト等で鏡面ＣＩ庁してギャップ付き合
せ面７ａ。
体６をアジマスを付けて切削して２つのコア半休７．７
′を形成腰これらコア半休７゜７′うち一方のコア半休
７に巻線用窓８を加工しこれらコア半休７．７′の切断
面をダイヤペースト等で鏡面ＣＩ庁してギャップ付き合
せ面７ａ。
７／ ａを形成する。
次に、第１１１（ａ＞において、前記ギャップ付き合せ
面７ａに、８１０２等の非磁性のスペーサ材９をスパッ
タリング等で被着させ、前記２つのコア半休７．７”ｉ
突き合わせ接合し、コア体１０を形成する。そして、こ
のコア体１０の、前記ギャップ付き合せ面７ａと反対側
の切断面１０ａ、１０ｂをダイヤペースト等で鏡面研摩
する。
面７ａに、８１０２等の非磁性のスペーサ材９をスパッ
タリング等で被着させ、前記２つのコア半休７．７”ｉ
突き合わせ接合し、コア体１０を形成する。そして、こ
のコア体１０の、前記ギャップ付き合せ面７ａと反対側
の切断面１０ａ、１０ｂをダイヤペースト等で鏡面研摩
する。
さらに、第１図（ｅ）において、前記コア体１０に切断
、研削等の機械加工、およびヘッド摺動面・１０ｃの舟
型加工、研摩等を施してヘッドチップ１１を形成する。
、研削等の機械加工、およびヘッド摺動面・１０ｃの舟
型加工、研摩等を施してヘッドチップ１１を形成する。
なお、このヘッドチップ１１において、前記ヘッド摺動
面１０ｃ、及び窓８の反対面１０ａ、１０ｂのみに研摩
加工を施すことに限らず、ヘッド摺１ｉｉＩＪ面１０ｃ
の反対面１０ｄにも研摩加工を施しても良い。
面１０ｃ、及び窓８の反対面１０ａ、１０ｂのみに研摩
加工を施すことに限らず、ヘッド摺１ｉｉＩＪ面１０ｃ
の反対面１０ｄにも研摩加工を施しても良い。
ところで、ヘッド再生出力ＩＩ′ｉ、一般にコ“ア材の
実効透磁率μに比例する。つまり、【効透磁率μが高い
・らの程、ヘッド再生出力は増大する。
実効透磁率μに比例する。つまり、【効透磁率μが高い
・らの程、ヘッド再生出力は増大する。
第２図は、第１図で説明した工程によって製造したコア
半休の実効透磁率ＩＬと周波数との関係を示し／’Ｃも
のである。図中、Ａは第１図（ｃ）における巻線用窓８
ｆ：加工しない方のコア半休７′についてのもので、Ｂ
はこのコア半休７′のギャップ突き合せ面７ａとは反対
面を研摩加工したものについてのものである。Ｃは第１
図（ｃ）における巻線用窓８を加工し７′こ方のコア半
体７についてのもので、Ｄは同じくこのコア半体７の、
ギャップ付き合せ面７ａとは反対面を研摩加工したもの
についてのものであろうこの第２図から明らかなことは
、巻線用窓８を形成するために機械加工を施したコア半
体７は、高域においてかなりの磁気特性劣化を招くが（
曲線Ｃ）、このコア半体７の、窓加工を施した面とは反
対側の切断面１０ａ（第１図（ｄ））に研摩加工を施す
ことで、磁気特性は、高域において、６ないし６ ＋１
１程度回復するということである。すなわち研削、切削
等の機械加工により磁気特性劣化が生じても、その加工
を施した面に対し、磁性膜２をはさんだ反対側の面を研
摩加工することで磁気特性劣化を防止することができる
。
半休の実効透磁率ＩＬと周波数との関係を示し／’Ｃも
のである。図中、Ａは第１図（ｃ）における巻線用窓８
ｆ：加工しない方のコア半休７′についてのもので、Ｂ
はこのコア半休７′のギャップ突き合せ面７ａとは反対
面を研摩加工したものについてのものである。Ｃは第１
図（ｃ）における巻線用窓８を加工し７′こ方のコア半
体７についてのもので、Ｄは同じくこのコア半体７の、
ギャップ付き合せ面７ａとは反対面を研摩加工したもの
についてのものであろうこの第２図から明らかなことは
、巻線用窓８を形成するために機械加工を施したコア半
体７は、高域においてかなりの磁気特性劣化を招くが（
曲線Ｃ）、このコア半体７の、窓加工を施した面とは反
対側の切断面１０ａ（第１図（ｄ））に研摩加工を施す
ことで、磁気特性は、高域において、６ないし６ ＋１
１程度回復するということである。すなわち研削、切削
等の機械加工により磁気特性劣化が生じても、その加工
を施した面に対し、磁性膜２をはさんだ反対側の面を研
摩加工することで磁気特性劣化を防止することができる
。
第３図は、上述した研摩加工による表面荒さと実効透磁
率との関係を示す特性図である。第３図においで、Ｅは
前記コブ半体７の、巻線用窓８を施した加工面とは反対
の切断面１０ａ（第１図（山）に研摩加工を施しだ時、
この研摩面の表面荒さく Ｒｎｍｘ ）と実効透磁率μ
との関係を示したものである。この第３図から明らかな
ように、研摩面の表面荒さく Ｒｍａｘ ）を０８μｍ
以下にすることで研摩刃ロエを施−す効果が現われはじ
め、０２μｍ以下で５（ＩＢ程度回復する。
率との関係を示す特性図である。第３図においで、Ｅは
前記コブ半体７の、巻線用窓８を施した加工面とは反対
の切断面１０ａ（第１図（山）に研摩加工を施しだ時、
この研摩面の表面荒さく Ｒｎｍｘ ）と実効透磁率μ
との関係を示したものである。この第３図から明らかな
ように、研摩面の表面荒さく Ｒｍａｘ ）を０８μｍ
以下にすることで研摩刃ロエを施−す効果が現われはじ
め、０２μｍ以下で５（ＩＢ程度回復する。
以上説明したように、本発明によれば、研削や切削等の
機械加工によって生じた磁気特性劣化を、その加工面に
対し、磁性膜をはさんだ反対面に研摩加工を施すことに
よって回復できるので、特に、巻線用窓を施したコア半
体に対してはその効果が犬きく、高域での磁気特性劣化
を防止するのに好適な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
機械加工によって生じた磁気特性劣化を、その加工面に
対し、磁性膜をはさんだ反対面に研摩加工を施すことに
よって回復できるので、特に、巻線用窓を施したコア半
体に対してはその効果が犬きく、高域での磁気特性劣化
を防止するのに好適な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
第１図（−）〜（ｅ）は本発明による薄膜磁気ヘッドの
製造工程を示す外観１図、第２図は研摩加工にともなう
効果を示す特性図、第３図は研摩加工による表面粗さと
透磁率との関係を示す特性図である。
製造工程を示す外観１図、第２図は研摩加工にともなう
効果を示す特性図、第３図は研摩加工による表面粗さと
透磁率との関係を示す特性図である。
Claims (1)
- ２枚の非磁性基板間に複数の磁性膜と電気絶縁性層間膜
とを交互に積層してコア半休を形成し、前記磁性膜面を
付き合せ面として複数のコア半休を接合することにより
コア体を形成し、該コア体を構成する前記複数のコア半
休の少なくとも１方に巻線用窓を設けてなる薄膜磁気ヘ
ッドにおいて、該巻線用窓を設けたコア半休の窓加工面
とは反対面に研摩加工を施してなることを特徴とする薄
膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11273883A JPS605411A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11273883A JPS605411A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605411A true JPS605411A (ja) | 1985-01-12 |
| JPH0145138B2 JPH0145138B2 (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=14594308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11273883A Granted JPS605411A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605411A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109613A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic head |
| JPS5542379A (en) * | 1978-09-20 | 1980-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of magnetic head |
| JPS5764323A (en) * | 1980-10-06 | 1982-04-19 | Hitachi Ltd | Magnetic head and its manufacture |
| JPS5870418A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Sony Corp | 磁気ヘツドの製法 |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11273883A patent/JPS605411A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53109613A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic head |
| JPS5542379A (en) * | 1978-09-20 | 1980-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of magnetic head |
| JPS5764323A (en) * | 1980-10-06 | 1982-04-19 | Hitachi Ltd | Magnetic head and its manufacture |
| JPS5870418A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Sony Corp | 磁気ヘツドの製法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0145138B2 (ja) | 1989-10-02 |
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