JPS6052423B2 - 剥離剤 - Google Patents
剥離剤Info
- Publication number
- JPS6052423B2 JPS6052423B2 JP4303179A JP4303179A JPS6052423B2 JP S6052423 B2 JPS6052423 B2 JP S6052423B2 JP 4303179 A JP4303179 A JP 4303179A JP 4303179 A JP4303179 A JP 4303179A JP S6052423 B2 JPS6052423 B2 JP S6052423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- methylene chloride
- peeling
- weight
- stripping
- nitroalkane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/42—Stripping or agents therefor
- G03F7/422—Stripping or agents therefor using liquids only
- G03F7/426—Stripping or agents therefor using liquids only containing organic halogen compounds; containing organic sulfonic acids or salts thereof; containing sulfoxides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Lubricants (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特定の組成からなる不燃性剥離剤であり、特
にプリント基板用剥離剤に関するものである。
にプリント基板用剥離剤に関するものである。
プリント基板製造において重要な工程を占めるものと
して露光後のレジスト剥離工程がある。
して露光後のレジスト剥離工程がある。
即ち、最も代表的な銅箔エッチング法によるプリント基
板製造工程は、まず、表面に銅箔を有する基板に光重合
性の高い樹脂をフィルム状にしたもの（フォトポリマー
レジストフィルム）をラミネートする。次に原画を通し
て光をあて未露光部分を１、１、１−トリクロルエタン
等の溶剤で除去する（現像処理）。さらに過硫酸アンモ
ニウム、塩化第二鉄、クロム酸等を用いて露出部分の銅
箔をエッチングし、最後に露光部分のレジストプール剥
離工程における剥離剤としてメチレンクロライド系溶剤
が使用され、その不燃性、低温における剥離性の良さ、
速乾性が利用されている。例えば特公昭５２−４５２４
１号には、塩化メチレンとメタノールからなる混合物を
用いて印刷回路板からレジストを除去する方法が示され
ている。しカルながら、上記剥離剤はなおレジストの剥
離時間が長く、また剥離後の基板表面にレジストの薄膜
が残るなど剥離効果においてさらに検討する余地を残し
ているばかりでなく、レジスト剥離中に剥離剤のｐＨが
変化するなど十分な安定性を示さないことから、剥離剤
を蒸留して再使用する場合の液寿命に問題があつて、さ
らに高い剥離能力と十分な安定性を有する剥離剤の開発
が望まれている。 本発明者は、上記のような従来の剥
離剤の問題に鑑み鋭意研究を重ねた結果、メチレンクロ
ライドにアルコール及びニトロアルカンを添加すること
により、更に良好な剥離効果が得られ、しかも十分な安
定性を有することを見い出し本発明を完成するに至つた
。 即ち、本発明は、メチレンクロライドに対して０．
１〜２ 量％のアルコール及び０．０１〜３重量％のニ
トロアルカンを含有するメチレンクロライドからなり、
優れた剥離能力と高い安定性を有する不燃性の剥離剤を
提供するものである。
板製造工程は、まず、表面に銅箔を有する基板に光重合
性の高い樹脂をフィルム状にしたもの（フォトポリマー
レジストフィルム）をラミネートする。次に原画を通し
て光をあて未露光部分を１、１、１−トリクロルエタン
等の溶剤で除去する（現像処理）。さらに過硫酸アンモ
ニウム、塩化第二鉄、クロム酸等を用いて露出部分の銅
箔をエッチングし、最後に露光部分のレジストプール剥
離工程における剥離剤としてメチレンクロライド系溶剤
が使用され、その不燃性、低温における剥離性の良さ、
速乾性が利用されている。例えば特公昭５２−４５２４
１号には、塩化メチレンとメタノールからなる混合物を
用いて印刷回路板からレジストを除去する方法が示され
ている。しカルながら、上記剥離剤はなおレジストの剥
離時間が長く、また剥離後の基板表面にレジストの薄膜
が残るなど剥離効果においてさらに検討する余地を残し
ているばかりでなく、レジスト剥離中に剥離剤のｐＨが
変化するなど十分な安定性を示さないことから、剥離剤
を蒸留して再使用する場合の液寿命に問題があつて、さ
らに高い剥離能力と十分な安定性を有する剥離剤の開発
が望まれている。 本発明者は、上記のような従来の剥
離剤の問題に鑑み鋭意研究を重ねた結果、メチレンクロ
ライドにアルコール及びニトロアルカンを添加すること
により、更に良好な剥離効果が得られ、しかも十分な安
定性を有することを見い出し本発明を完成するに至つた
。 即ち、本発明は、メチレンクロライドに対して０．
１〜２ 量％のアルコール及び０．０１〜３重量％のニ
トロアルカンを含有するメチレンクロライドからなり、
優れた剥離能力と高い安定性を有する不燃性の剥離剤を
提供するものである。
本発明の剥離剤を使用した場合、剥離の始まるまでの
時間が短く、また、剥離が始まつてから完全剥離までの
時間が短いため、剥離工程に要する時間が短縮され、生
産量アップにつながる。
時間が短く、また、剥離が始まつてから完全剥離までの
時間が短いため、剥離工程に要する時間が短縮され、生
産量アップにつながる。
また、温度変化による剥離時間の変化が少なく、特に低
温時においても剥離性が高いため、外温変化による剥離
不良等のトラブルを避けることが可能となる。さらに安
定性の向上により、銅板その他への悪影響がなく高品質
のプリント基板が得られるばかりでなく、蒸留再使用す
ることにより液寿命が大幅に伸びる。本発明の三成分に
よる剥離能力の向上について、その機構は明確ではない
が、メチレンクロライドとアルコール、メチレンクロラ
イドとニトロアルカンの場合より、本発明のメチレンク
ロライド、アルコール及びニトロアルカンの方が剥離能
力が優れていることからするとアルコールとニトロアル
カンの組合せが互に相乗的に作用して、より大きな剥離
効果を示すものと思われる。
温時においても剥離性が高いため、外温変化による剥離
不良等のトラブルを避けることが可能となる。さらに安
定性の向上により、銅板その他への悪影響がなく高品質
のプリント基板が得られるばかりでなく、蒸留再使用す
ることにより液寿命が大幅に伸びる。本発明の三成分に
よる剥離能力の向上について、その機構は明確ではない
が、メチレンクロライドとアルコール、メチレンクロラ
イドとニトロアルカンの場合より、本発明のメチレンク
ロライド、アルコール及びニトロアルカンの方が剥離能
力が優れていることからするとアルコールとニトロアル
カンの組合せが互に相乗的に作用して、より大きな剥離
効果を示すものと思われる。
本発明に用いるアルコールとしては、Ｃ１〜Ｃ４のアル
コール類で、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノー
ル、ＩｓＯ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ＩｓＯ−
ブタノール、Ｓｅｃ−ブタノール、Ｔｅｒｔ−ブタノー
ル等が、また、ニトロアルカンとしてはＣ１〜Ｃ３の脂
肪族炭化水素のニトロ化合物で、ニトロメタン、ニトロ
エタン、１−ニトロプロパン、２−ニトロプロパン等が
好適に使用される。
コール類で、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノー
ル、ＩｓＯ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ＩｓＯ−
ブタノール、Ｓｅｃ−ブタノール、Ｔｅｒｔ−ブタノー
ル等が、また、ニトロアルカンとしてはＣ１〜Ｃ３の脂
肪族炭化水素のニトロ化合物で、ニトロメタン、ニトロ
エタン、１−ニトロプロパン、２−ニトロプロパン等が
好適に使用される。
更にまた本発明におけるアルコールの添加量は、メチレ
ンクロライドに対して一般には０．１〜２唾量％である
が、好ましくは１〜Ｗ重量％である。
ンクロライドに対して一般には０．１〜２唾量％である
が、好ましくは１〜Ｗ重量％である。
またニトロアルカンの添加量はメチレンクロライドに対
して一般には０．０１〜３重量％であるが、好ましくは
０．０２〜１重量％である。ニトロアルカンの添加量が
余りにも微量の場合には前記の効果が得られないし、ま
たこの範囲を越えて添加しても効果はほとんど変わらな
いために、経済的に不利であり実用的ではない。更に安
定性を向上させるため、既知の安定剤、例えばジイソプ
ロピルアミン、ジイソブチルアミン等の脂肪族アミン類
や、１，２−プロピレンオキサイド、１，２−ブチレン
オキサイド等のオキサイド類、フエノール類、その他酸
化防止剤等を一種又は二種以上組合せ混合することがで
きる。
して一般には０．０１〜３重量％であるが、好ましくは
０．０２〜１重量％である。ニトロアルカンの添加量が
余りにも微量の場合には前記の効果が得られないし、ま
たこの範囲を越えて添加しても効果はほとんど変わらな
いために、経済的に不利であり実用的ではない。更に安
定性を向上させるため、既知の安定剤、例えばジイソプ
ロピルアミン、ジイソブチルアミン等の脂肪族アミン類
や、１，２−プロピレンオキサイド、１，２−ブチレン
オキサイド等のオキサイド類、フエノール類、その他酸
化防止剤等を一種又は二種以上組合せ混合することがで
きる。
本発明を更に具体的に説明するために以下実施例および
比較例を挙げて説明するが、本発明はこれら実施例に限
定されるものではない。実施例 １〜１３ 感光性樹脂としてデユポン社製リストン１０１５（商品
名）を用い、これをエポキシ樹脂性のプリント配線用銅
張積層板（以下単に積層板と略す）上に通常の条件でラ
ミネートし、露光、現像処理した。
比較例を挙げて説明するが、本発明はこれら実施例に限
定されるものではない。実施例 １〜１３ 感光性樹脂としてデユポン社製リストン１０１５（商品
名）を用い、これをエポキシ樹脂性のプリント配線用銅
張積層板（以下単に積層板と略す）上に通常の条件でラ
ミネートし、露光、現像処理した。
これを５−（長さ）×５ｈ（幅）に切つたものを試験片
とした（以下単に試験片と略す）。この試験片をメタノ
ール０．１〜２０重量％、ニトロメタン０．０１〜３．
０重量％、ジイソプピルアミン（ＤＩＰＡと略す）０〜
０．０１重量％を含むメチレンクロライド８００ｍ１に
１６．５〜２ＣｆＣの液温度で浸漬し剥離させた。剥離
効果は、剥離時間と剥離後の試験片の外観で判定した。
即ち、剥離時間としては明らかに剥離をし始めるまでの
時間を採用し（この値の小さい方が剥離性能が大きい）
、また剥離後の試験片の外観については、剥離時間の経
過後さらに５秒間浸漬し、次いで別に用意した新しい液
で２秒間ジヤブ洗し、付着した膜を除去した後の外観を
調べた。結果を第１表に示した。比較例１〜１１に比べ
て剥離時間が短縮でぎ剥離後の試験片の外観も良好であ
つた。
とした（以下単に試験片と略す）。この試験片をメタノ
ール０．１〜２０重量％、ニトロメタン０．０１〜３．
０重量％、ジイソプピルアミン（ＤＩＰＡと略す）０〜
０．０１重量％を含むメチレンクロライド８００ｍ１に
１６．５〜２ＣｆＣの液温度で浸漬し剥離させた。剥離
効果は、剥離時間と剥離後の試験片の外観で判定した。
即ち、剥離時間としては明らかに剥離をし始めるまでの
時間を採用し（この値の小さい方が剥離性能が大きい）
、また剥離後の試験片の外観については、剥離時間の経
過後さらに５秒間浸漬し、次いで別に用意した新しい液
で２秒間ジヤブ洗し、付着した膜を除去した後の外観を
調べた。結果を第１表に示した。比較例１〜１１に比べ
て剥離時間が短縮でぎ剥離後の試験片の外観も良好であ
つた。
また液温度の剥離時間に及ぼす影響を小さい。
比較例 １〜１１実施例１〜１３と同様の方法で、メチ
レンクロライドのみ、メチレンクロライドにメタノール
を添加したもの、ニトロメタンを添加したもの、ＤＩＰ
Ａを添加したものについて剥離試験を行ない、その結果
を第１表に示した。
レンクロライドのみ、メチレンクロライドにメタノール
を添加したもの、ニトロメタンを添加したもの、ＤＩＰ
Ａを添加したものについて剥離試験を行ない、その結果
を第１表に示した。
実施例 １４
剥離剤の安定性試験のため、ソツクスレ一抽出器に鉄片
（７６７ＷＬＸ１３ｗＲ×１顛（厚み））及び銅片（７
０ｗｎ×２ｈ×０．２顛（厚み））を抽出器及びフラス
コに１枚ずつ投入し、メタノール３重量％、二トロメタ
ン０．１重量％、ＤＩＰＡＯ．Ｏｌ重量％を含むメチレ
ンクロライド３００ｍ１をフラスコに入れ、６０℃のオ
イルバスにて２４０１１１Ｖ間還流を行ない液のＰＨ及
び金属片の外観変化を観察した。
（７６７ＷＬＸ１３ｗＲ×１顛（厚み））及び銅片（７
０ｗｎ×２ｈ×０．２顛（厚み））を抽出器及びフラス
コに１枚ずつ投入し、メタノール３重量％、二トロメタ
ン０．１重量％、ＤＩＰＡＯ．Ｏｌ重量％を含むメチレ
ンクロライド３００ｍ１をフラスコに入れ、６０℃のオ
イルバスにて２４０１１１Ｖ間還流を行ない液のＰＨ及
び金属片の外観変化を観察した。
なお、液のＰＨは、１００ｍ１の分液ロードに液５０ｍ
１を採取し、さらに５０ｍ１の純水を加えた後振とう器
にて５分間振とうした。その後１〜２分間静置し、メチ
レンクロライドと水を分液し、水層のＰＨをＰＨメータ
ーにて測定した。結果を第２表に示したが、液のＰＨ及
び金属片外観には変化がなく良好であつた。
１を採取し、さらに５０ｍ１の純水を加えた後振とう器
にて５分間振とうした。その後１〜２分間静置し、メチ
レンクロライドと水を分液し、水層のＰＨをＰＨメータ
ーにて測定した。結果を第２表に示したが、液のＰＨ及
び金属片外観には変化がなく良好であつた。
比較例 １２〜１３
実施例１４と同様にして、メチレンクロライドのみ及び
メチレンクロライドにメタノールとＤＩＰＡを添加した
ものについて安定性試験を行つた。
メチレンクロライドにメタノールとＤＩＰＡを添加した
ものについて安定性試験を行つた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ メチレンクロライドに対して０．１〜２０重量％の
アルコール及び０．０１〜３重量％のニトロアルカンを
含有するメチレンクロライドからなる剥離剤。 ２ アルコールがメタノール、エタノール、ｎ−プロパ
ノール、ｉｓｏ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｉｓ
ｏ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔｅｒｔ−ブタ
ノールからなる群より選ばれた少くとも１種である特許
請求の範囲第１項記載の剥離剤。 ３ ニトロアルカンがニトロメタン、ニトロエタン、１
−ニトロプロパン、２−ニトロプロパンからなる群より
選ばれた少なくとも１種である特許請求の範囲第１項記
載の剥離剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4303179A JPS6052423B2 (ja) | 1979-04-11 | 1979-04-11 | 剥離剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4303179A JPS6052423B2 (ja) | 1979-04-11 | 1979-04-11 | 剥離剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55135836A JPS55135836A (en) | 1980-10-23 |
| JPS6052423B2 true JPS6052423B2 (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=12652561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4303179A Expired JPS6052423B2 (ja) | 1979-04-11 | 1979-04-11 | 剥離剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052423B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6234220U (ja) * | 1985-07-23 | 1987-02-28 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2679618B2 (ja) * | 1994-04-26 | 1997-11-19 | 日本電気株式会社 | 剥離液組成物および剥離洗浄方法 |
-
1979
- 1979-04-11 JP JP4303179A patent/JPS6052423B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6234220U (ja) * | 1985-07-23 | 1987-02-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55135836A (en) | 1980-10-23 |
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