JPS6040110B2 - 磁気バブルデバイスの検出器 - Google Patents
磁気バブルデバイスの検出器Info
- Publication number
- JPS6040110B2 JPS6040110B2 JP4411681A JP4411681A JPS6040110B2 JP S6040110 B2 JPS6040110 B2 JP S6040110B2 JP 4411681 A JP4411681 A JP 4411681A JP 4411681 A JP4411681 A JP 4411681A JP S6040110 B2 JPS6040110 B2 JP S6040110B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- magnetic bubble
- stretch
- bubble device
- stretch conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C19/00—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers
- G11C19/02—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements
- G11C19/08—Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements using thin films in plane structure
- G11C19/0866—Detecting magnetic domains
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気バブルデバイスのバブル検出器の改良に関
する。
する。
最近磁気バブルを利用した磁気バブルメモリデバイスに
も記憶密度の増加が要求されるため、1つの方法として
高密度化が可能なイオン注入法による転送パターンの形
成法が開発されている。
も記憶密度の増加が要求されるため、1つの方法として
高密度化が可能なイオン注入法による転送パターンの形
成法が開発されている。
以下、本発明はイオン注入磁気バブルデバイスを例にし
て説明する。この方法は、第1図の平面図および第2図
の断面図に示す如くガドリニウム・ガリウム・ガーネッ
ト(Q℃)基板1の上に磁性ガーネットの薄膜2を液相
ェピタキシヤル成長させて形成し、この磁性薄膜2に対
しパターン3以外の部分に水素、ネオン、ヘリウム等の
イオンを注入するのである。
て説明する。この方法は、第1図の平面図および第2図
の断面図に示す如くガドリニウム・ガリウム・ガーネッ
ト(Q℃)基板1の上に磁性ガーネットの薄膜2を液相
ェピタキシヤル成長させて形成し、この磁性薄膜2に対
しパターン3以外の部分に水素、ネオン、ヘリウム等の
イオンを注入するのである。
このようにパターン3を形成した素子はィオンを注入さ
れた部分4の磁化容易軸方向が矢印aの如く面内方向と
一致し、パターン部分3の磁化容易軸方向は矢印bの如
くもとのままの面内方向と垂直である。従ってバブル5
は回転磁界によってパターン3の周辺に沿って矢印cの
如く転送される。そしてパターン3は円形のパターンを
一部づつ重ねて連接させた形状であり、従来のパーマロ
ィパターンの如くギャップを必要としないため寸法精度
が緩くも良く、従ってパターンが小さくでき高密度化が
実現される。このようなイオン注入磁気バブルメモリデ
バイスにおいてはバブルの検出に従来の如きパーマロィ
パターンによるストレッチャ検出器が用し、れないので
、第3図に示す如きストレッチコンダク夕を用いた検出
器が用いられる。図の符号6は転送パターン、7はスト
レッチコンダクタ、8は磁気抵抗効果を利用するパーマ
ロイディテクタである。この検出器の動作を簡単に説明
すると、バブル9は回転磁界Hrにより矢印の如く転送
パターン6に左から右へ転送されるが、バブルがストレ
ッチコンダク夕7のヘアピンループに位置するカスプー
川こ滞在している間にストレッチコンダクタ7にストレ
ッチパルス電流を流しバブルを引伸ばしてストライプド
メインとなし、このストライプドメインによるパーマロ
ィディテクタ8の抵抗変化を検出するのである。第4図
はダミーを備えた検出器の実際例を示したもので、パー
マロイディテクタ8より端子11.11′へ至る引出線
12,12′はストレッチコンダク夕7とA及びB部で
交差している。
れた部分4の磁化容易軸方向が矢印aの如く面内方向と
一致し、パターン部分3の磁化容易軸方向は矢印bの如
くもとのままの面内方向と垂直である。従ってバブル5
は回転磁界によってパターン3の周辺に沿って矢印cの
如く転送される。そしてパターン3は円形のパターンを
一部づつ重ねて連接させた形状であり、従来のパーマロ
ィパターンの如くギャップを必要としないため寸法精度
が緩くも良く、従ってパターンが小さくでき高密度化が
実現される。このようなイオン注入磁気バブルメモリデ
バイスにおいてはバブルの検出に従来の如きパーマロィ
パターンによるストレッチャ検出器が用し、れないので
、第3図に示す如きストレッチコンダク夕を用いた検出
器が用いられる。図の符号6は転送パターン、7はスト
レッチコンダクタ、8は磁気抵抗効果を利用するパーマ
ロイディテクタである。この検出器の動作を簡単に説明
すると、バブル9は回転磁界Hrにより矢印の如く転送
パターン6に左から右へ転送されるが、バブルがストレ
ッチコンダク夕7のヘアピンループに位置するカスプー
川こ滞在している間にストレッチコンダクタ7にストレ
ッチパルス電流を流しバブルを引伸ばしてストライプド
メインとなし、このストライプドメインによるパーマロ
ィディテクタ8の抵抗変化を検出するのである。第4図
はダミーを備えた検出器の実際例を示したもので、パー
マロイディテクタ8より端子11.11′へ至る引出線
12,12′はストレッチコンダク夕7とA及びB部で
交差している。
この交差部A,Bは第5図の断面図に示す如く、ストレ
ッチコンダクタ7とパーマロイデイテクタ8は厚さ約2
000△のSi02層1 1aを介して交差している。
なお、図の符号12aは基板、13は絶縁層である。ま
たパーマロィディテクタ8には磁気抵抗効果を利用して
バブル検出するため2〜3hAの直流電流を流しており
、このためディテタク8の両端には1〜1.Wの電位が
生ずる。このため第4図のA部は低電位側であるためO
Vであるが、B部は1〜1.5Vとなる。またストレッ
チコンダクタ7にはパルス電流を流すけれども電位は約
OVであ。従ってストレッチコンダクタ7とディテクタ
8の高電位側との交差部BにはSi02層が薄いため強
電界(IV/2000A=50kV/cの)が生じSj
02層1 1 aが破壊され、これに伴いパーマロィデ
ィテクタ8が切断されることがある。本発明はこの問題
を解決するために案出されたものである。このため本発
明においては、ヘアピンループ状に形成したストレッチ
コンダクタと、その中心に配置したパーマロィディテク
夕とを具備した磁気バブルデバイスの検出器において、
パーマロィディテクタの高電位側の端子をストレッチコ
ンダクタと交差しないように配置したことを特徴とする
ものである。
ッチコンダクタ7とパーマロイデイテクタ8は厚さ約2
000△のSi02層1 1aを介して交差している。
なお、図の符号12aは基板、13は絶縁層である。ま
たパーマロィディテクタ8には磁気抵抗効果を利用して
バブル検出するため2〜3hAの直流電流を流しており
、このためディテタク8の両端には1〜1.Wの電位が
生ずる。このため第4図のA部は低電位側であるためO
Vであるが、B部は1〜1.5Vとなる。またストレッ
チコンダクタ7にはパルス電流を流すけれども電位は約
OVであ。従ってストレッチコンダクタ7とディテクタ
8の高電位側との交差部BにはSi02層が薄いため強
電界(IV/2000A=50kV/cの)が生じSj
02層1 1 aが破壊され、これに伴いパーマロィデ
ィテクタ8が切断されることがある。本発明はこの問題
を解決するために案出されたものである。このため本発
明においては、ヘアピンループ状に形成したストレッチ
コンダクタと、その中心に配置したパーマロィディテク
夕とを具備した磁気バブルデバイスの検出器において、
パーマロィディテクタの高電位側の端子をストレッチコ
ンダクタと交差しないように配置したことを特徴とする
ものである。
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例につき詳細に
説明する。
説明する。
第6図に実施例を示す。
本実施例は2個の検出器イ及び口を有しているが一方は
ダミーである。そしてストレッチコンダクタ14はヘア
ピン状に形成され、パーマロィディテク夕15,15′
はストレッチコンダクタの中央に設けれている。、号1
6及び17はストレッチコンダクタ14の子であり、1
8,18′はパーマロイデイテクタ15,15′の低電
位側の端子でストレッチコンダクタの端子16,17の
外側に配置されている。19,19′はパーマロイデイ
テクタ15,15′の高電位側の端子でありストレッチ
コンダクタの端子16,17の中間に配置されている。
ダミーである。そしてストレッチコンダクタ14はヘア
ピン状に形成され、パーマロィディテク夕15,15′
はストレッチコンダクタの中央に設けれている。、号1
6及び17はストレッチコンダクタ14の子であり、1
8,18′はパーマロイデイテクタ15,15′の低電
位側の端子でストレッチコンダクタの端子16,17の
外側に配置されている。19,19′はパーマロイデイ
テクタ15,15′の高電位側の端子でありストレッチ
コンダクタの端子16,17の中間に配置されている。
従ってパーマロィディテクタ15,15′より低位側の
端子18,18′への引出し線20,20′はストレッ
チコンダクタ14とC部で交差しているが、高電位側の
の端子19,19′への引出し線21,21′はストレ
ッチコンダクタ14とは交差しないよになっている。こ
のように形成された本実施例はバブルを検出するとき、
ストレッチコンダクタ14によりバフルはパーマロイデ
イテクタ15,15′上に引伸ばされ、該パーマロィデ
ィテクタ15,15′の両端にはそれぞれ約1〜1.5
Vの電圧が発生する。
端子18,18′への引出し線20,20′はストレッ
チコンダクタ14とC部で交差しているが、高電位側の
の端子19,19′への引出し線21,21′はストレ
ッチコンダクタ14とは交差しないよになっている。こ
のように形成された本実施例はバブルを検出するとき、
ストレッチコンダクタ14によりバフルはパーマロイデ
イテクタ15,15′上に引伸ばされ、該パーマロィデ
ィテクタ15,15′の両端にはそれぞれ約1〜1.5
Vの電圧が発生する。
このときパーマロイデイテクタ15,15′の引出し線
20,20′とストレッチコンダクタ14との交差部C
にはパーマロィディテク夕の低電位側であるため大きな
電位差は生じない。またパーマロィディテクタ15,1
5′の高電位側はストレッチコンダクタ14とは交差し
ていないため、何れも絶縁層の破壊を生ずることはない
。以上イオン注入バブルデバイスを例にして説明した如
く本発明の検出器はパーマロィディテクタの高電位側と
ストレッチコンダクタとが交差しないように形成するこ
とにより、絶縁層の破壊を防止し磁気バブルデバイスの
信頼性向上を可能としたものである。
20,20′とストレッチコンダクタ14との交差部C
にはパーマロィディテク夕の低電位側であるため大きな
電位差は生じない。またパーマロィディテクタ15,1
5′の高電位側はストレッチコンダクタ14とは交差し
ていないため、何れも絶縁層の破壊を生ずることはない
。以上イオン注入バブルデバイスを例にして説明した如
く本発明の検出器はパーマロィディテクタの高電位側と
ストレッチコンダクタとが交差しないように形成するこ
とにより、絶縁層の破壊を防止し磁気バブルデバイスの
信頼性向上を可能としたものである。
第1図はイオン注入磁気バブルデバイスの原理説明図、
第2図は第1図のローロ線における断面図、第3図はイ
オン注入磁気バブルデバイスの検出器の原理説明図、第
4図はイオン注入磁気バブルデバイスの従来の検出器の
構成図、第5図はそのストレッチコンダクタとパーマロ
イデイテクタの交差部の拡大断面図、第6図は本発明に
かかる実施例のイオン注入磁気バブルデバイスの検出器
の構成図である。 14……ストレッチコンダク夕、15,15′……パー
マロイデイテクタ、16,17……ストレッチコソダク
タの端子、18,18′・・・・・・パーマロィディテ
クタの低圧側の端子、19,19′……パーマロィディ
テクタの高圧側の端子。 第1図第2図 第3図 第4図 第5図 第6図
第2図は第1図のローロ線における断面図、第3図はイ
オン注入磁気バブルデバイスの検出器の原理説明図、第
4図はイオン注入磁気バブルデバイスの従来の検出器の
構成図、第5図はそのストレッチコンダクタとパーマロ
イデイテクタの交差部の拡大断面図、第6図は本発明に
かかる実施例のイオン注入磁気バブルデバイスの検出器
の構成図である。 14……ストレッチコンダク夕、15,15′……パー
マロイデイテクタ、16,17……ストレッチコソダク
タの端子、18,18′・・・・・・パーマロィディテ
クタの低圧側の端子、19,19′……パーマロィディ
テクタの高圧側の端子。 第1図第2図 第3図 第4図 第5図 第6図
Claims (1)
- 1 ヘアピンループ状に形成したストレツチコンダクタ
と、その中心の配置したパーマロイデイテクタとを具備
した磁気バブルデバイスの検出器において、パーマロイ
デイテクタの高電位側の端子をストレツチコンダクタと
交差しないように配置したとを特徴とする磁気バブルデ
バイスの検出器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4411681A JPS6040110B2 (ja) | 1981-03-27 | 1981-03-27 | 磁気バブルデバイスの検出器 |
DE8181304301T DE3176047D1 (en) | 1980-09-20 | 1981-09-18 | Magnetic bubble memory device |
EP81304301A EP0048606B1 (en) | 1980-09-20 | 1981-09-18 | Magnetic bubble memory device |
US06/303,588 US4445200A (en) | 1980-09-20 | 1981-09-18 | Magnetic bubble memory detection method and device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4411681A JPS6040110B2 (ja) | 1981-03-27 | 1981-03-27 | 磁気バブルデバイスの検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57162172A JPS57162172A (en) | 1982-10-05 |
JPS6040110B2 true JPS6040110B2 (ja) | 1985-09-09 |
Family
ID=12682626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4411681A Expired JPS6040110B2 (ja) | 1980-09-20 | 1981-03-27 | 磁気バブルデバイスの検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6040110B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03140007A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-14 | Daishinku Co | 表面実装用パッケージ |
JPH0518758A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5864691A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-18 | Nec Corp | コンテイギユアス・デイスク・バブル検出・消去器 |
JPS59117773A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-07 | Nec Corp | 磁気バブル検出器 |
JPH045532Y2 (ja) * | 1986-08-25 | 1992-02-17 |
-
1981
- 1981-03-27 JP JP4411681A patent/JPS6040110B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03140007A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-14 | Daishinku Co | 表面実装用パッケージ |
JPH0518758A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57162172A (en) | 1982-10-05 |
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