JPS603625A - 光可溶化組成物 - Google Patents

光可溶化組成物

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JPS603625A
JPS603625A JP58112481A JP11248183A JPS603625A JP S603625 A JPS603625 A JP S603625A JP 58112481 A JP58112481 A JP 58112481A JP 11248183 A JP11248183 A JP 11248183A JP S603625 A JPS603625 A JP S603625A
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acid
ester group
group
photosensitive
compd
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Toshiaki Aoso
利明 青合
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/022Quinonediazides
    • G03F7/0226Quinonediazides characterised by the non-macromolecular additives

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−相図面、IC回II!’17r *
ホトマスクの製造に適する光可溶化組成物に閂する。更
に詳しくは、(a)活性光線の照射により1′?を発生
し得る化合物、及び(b)主要連鎖中に酸により分解し
得るエステル基を少なくとも1個有する化合物を含有す
る新規な光可溶化組成物に関する。
活性光線により可溶化する、いわゆるポジチヅに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知ら才しており、実際平版印刷版、ホトレジスト等
に広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジ
ド化付物としては例えば米国特許第λ、71.A、it
g号、同第2,7t7.θり2号、同第2,772,2
7.2号、同第コ、ffjり、//、2号、同第2.り
07.665号、同第3.0177、.110号、同第
3,01tt、ll1号、同第3,0グt、iij′号
、同第3.01tl、、1111号、同第3,01At
、//り号、同第3.01t7..120号、同第3.
0144.。
127号、同第3 、0416 、 /、2.2号、同
第3゜04’ A 、 / j 3+3F、同fi、3
.OAI、1130号。
同第3,10コ、109号、同第7,10t 、μ6j
号、同第3.ls3!、70り号、同第3.tμ7.μ
t3号の各明細壱先はじめ、多数の刊行、吻に記されて
いる。こわ、らのオルトキノンジアジド化合物は、活性
光紗の照射により分解ケ起こして夕員環のカルボン#全
生じ、アルカリ可溶性となることケ利用し罠ものである
が、いずれも感光性が不十分であるという欠点を有して
いた。これは、オルトキノンジアジド化合物の場合、本
a的に量子収率がlを越えないということに由来するも
のである。
オルトキノンジアジド化付物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みらf
′してき7こが、現像時の現像許容性ケ保持したまま感
光性を高めることは非常に困%ltであった。例えば、
このような試みの例として、特公昭4g−/ 2211
2号、特開昭!コーク0125号、米国特許第≠307
173号などの各四層1書に記載された内容ケ挙げるこ
とができる。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにボジ
チブに作用させる感光性組成物に13’、! l、て、
いくつかの揚案がされている。その1つとして−例えば
特公昭!t−λtり6号の明細71に記載されている、
オルトニトロカルビノールエステル;+、t“ 合有す
るポリマー化付物が挙げられる。し〃)シーこの場会モ
、オルトキノンジアジドの場仝1と回じ 1理由で感光
性が十分とは言えなかった。壕1ζ、これとは別に接触
作用により活性化さね、る感光系不〜使用し、感光性を
高める方法として、光分解で生成する酸によって第、2
I7)反応を生起させ、それに工り露光域を可溶化する
公知の原理が適用されている。
このような例として、例−えば光分解にエリ酸を発生す
る化合物と、アセタール又は0.N−アセタール化付物
との組付せ(米国特許第377277g号)、オルトエ
ステル又はアミドアセタール化合物との組付せ(西ドイ
ツ国特詐第コl、10♂412号)、主鎖にアセタール
又はケタール基を有するポリマーとの組合せ(西ドイツ
国特許第、271ざ264L号)、エノールエーテル化
合物との組付せ(西ドイツ国特許第21.22りl1号
)、N−アシルイミノ炭酸化付物との組会せ(西ドイツ
国特許第2122312号)、及び主鎖にオルトエステ
ル基ヲ有するポ11マーとの組付せ(西ドイツ国特許第
2りλIt、3/、号)を挙げることができる。これら
は原理的に量子収率が/’(iz越える為。
高い感光性を示す可能性があるが、アセタール又は0.
N−アセタール化合物の場合、及び主知にアセタール又
はケタール基を有するポリマーの、1・l″J台、光分
解で生成する酸による第2の反応の連間が遅さ為、実際
の使用に十分な感光性を示さない。
tytオルトエステル又はアミドアセタール化、/、)
、 、47.1の場合及び、エノールエーテル化8物の
j4に、 3NにN−アシルイミノ炭酸化付物の場合は
#かに高い感光性を示すが、経時での安定性が悪く、J
〈j3、t]に保存することができな〃λつ1こ。主鎖
にオルトエステル基を有するポリマーの場合も、同じく
高12・度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いとい
う欠点を有していた。
本発明の目的は、これらの問題点が解決さ:JL 7こ
 □新規な光用溶化組成物全提供することである。12
+]ち高い感光性を有し、現像時の現像許容性が広い新
規な光用溶化組成物を提供することである。
本発明の別の目的は、経時での安定性がイ!す1゜艮期
に保存が可能な新規な光用溶化組成物を1.′l″−イ
1(することである。
本発明の更に別の目的は、製造が簡便で容F+に取得で
きる新規な光用溶化組成物を提供することである。
本発明者は、上側目的を達成すべく、特に酸により開裂
する結合部分の構造に着目して鋭意検討を加えた結果、
主要連佃中に飲により分解しうるエステル基を有する化
合物を使用することにより前記目的が達成されることを
見い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、(a)活性光線の照射により酸を発生し
得る化付物、及び(b)主要連鎖中に酸により分鼾し得
るエステル基を少なくとも1個有し、現像液中でのその
溶解度が酸の作用にエリ増大する化付物を含有する先回
溶化組成物である。なお、本発明でいうエステル基とは
、カルボキシル基(−COOH)の水素原子Hが他の有
機残基に置き換ったもので、オルトエステル基は含まな
い。
更に本発明者は、上記成分(b)の化合物における酸に
より分解し得るエステル基の構造が特に一般式(I)で
表わさ九るものである場合、特に優れていることを見い
出した。
式中R1は置換基欠有していてもよいアルキレン又はア
リーレン基會示す。R2、R3は同一でも相異していて
もよく、それぞれ水素原子、アルとしては、直鎖、分枝
、環状のものが含まゎ7.その炭素数は/−10−Lり
好1しくけ/、<4のイ、のである。ま1ζ上記のアル
ケニル基としては、炭素数2〜10.エリ好ましくはλ
〜乙のものでど1つる。更に上記了り−ルWとしてはフ
ェニル基の、r−うな単環のものが飛しており、このア
リ−ルダ、IKは炭素数/ 、 / J−1より好1し
くは1〜6のアルキル基、炭素数/、4、より好まし0
才l−グのアルコキシなどの置換基を有していてもよい
。これらの内、特に好ましくはアルキル又は置換基を有
していても工いア+7−ル基である。但し、R2゜R3
は同時に水素原子とはならない。R4、R5゜R6,R
7は同一でも相異していてもよく、それぞノを水素ん〔
子、アルキル(好ましくは炭素数〕〜/オのもの、最も
好ましくは/〜tのもの)、アルケニルもしくはアルコ
キシ′4(好ましくは炭素数l−♂のもの、最も好まし
くはノー弘のもの)會示し、好ましくは水素原子又はア
ルコキシ基を示す。またR4、Rs、R6、R7のうち
2つが結合して芳香環又は脂肪族漂全形成してもよい。
A1お工びA2は同一でも異なっていてもよく。
それぞれ結合子又は水素原子を示す。
上記のような成分(b)の化付物は、低分子化付物から
比較的高分子のポリマーまでの広い範囲の中から選ぶこ
とができる。
成分(b)がポllマーである場合には、その数平均分
子量が約jθθ〜10万の職囲が適当であり。
より好ましくは1000−2万の範囲である。また成分
(b)がポリマーの場会、前記一般式(1)で示される
単位を有する単縮重会体もしくは共扁i石付体が含1れ
るが、一般式(1)で示されるエステル基の含有量は全
エステル基の5モル% 以上、好ましくは20モル係以
上とされる。成分(bl力S共縮S台体のJil、1会
にお0る共縮合成分とじ1←1、分子中にヒドロキシ基
及びカルボキシル基各’ (b’11%)有する化付物
、分子中にヒドロキシ411.2個又はプIルホキシル
基λ個を肩する化付物であって、その分子中にアミノ基
?!−有しないもの、好寸しく HJ、:記基を有する
二価のCI”−18の脂肪族、06〜24の芳香族もし
くはC3〜15の鞄素環化曾物である。
一般式(1)で示されるエステル基の具体t・11とし
ては、次に示すものが含まれる。
ノf6−2 53 漸l A第 6 扁7 罵ざ 屋i。
JK// ノfl;/2 ノ1613 届14A 1@is J 馬16 −!た前F具体例で表わし72ニ一般式(1)で示さ力
るエステル基を含有する化付物例としては、例えば以下
に示すものが含まれる。
Al1 扁it 茄lり A+20 篇、!j 篇23 篇24 扁λ j 扁、27 これらの酸に工す分解し得るエステルノみを有する化付
物は対応するカルボ゛ン酸及びアルコール化合物を既知
の方法にて脱水縮合することにより容易に甘酸すること
ができる。iyc使用1゛るアルコールに対しては、芳
香族アルデヒド、ケトン父はエステル化付物に有機マグ
ネシウム試薬(いイpゆるグ1]ニヤー試薬)又は有様
IJチウム化合物(イ)・反応させる〃・、芳香族ケト
ン化付物に水素化試べ(〈水素化リチウムアルミニウム
又は水素化ホウ素ナトリウム)を反応させることに工り
176他にキ・1りむ骨格のものを台底できる。
上記のエステル基を含む酸に工す分解しイ(7るエステ
ル基な主要連鎖中に少なくとも/個イjす7.、化付物
と組付せて用いる、活性光線の擢射によりI、′lを発
生し得る化付物としては、多くの公知化付物及び混合物
、例えばジアゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、
及びヨードニウム塩、有機ハロゲン化付物、オルトキノ
ンジアジドスルホニルクロリド、及び有機金縞/有機ハ
ロゲン化付物組付せ物が適当である。もちろん米国特許
第377277g号及び西ドイツ国特許第2t10♂4
′2号の明細書中に記載され窺光分解により醋を発生さ
せる化付物も本発明の組成物として適する。更に適当な
染料と組合せて露光の際、未露光部と露光部の間に可視
的コントラストを与えることを目的とした化付物、例え
ば特開昭13−777≠2号、同s7−/A323弘号
の明卸l書に記載された化付物も本発明の組成物として
使用することができる。
上記光分解にエリ酸を発生させる化合物の中では、特に
オルトキノンジアジドスルホニルクロリドが好ましい。
というのは、露光の際、3つの酸基(即ち塩酸、スルホ
ン酸、カルボン酸)が形成される為、比較的大きい増度
で前記エステル基金分解させることができるからである
これらの活性光線の照射に↓すHk発生し得る化付物と
、前記主要連鎖中に醪にエリ分解し得るエステル基を少
なくとも1個有する化付物との割付は1重量比で0.0
1:1,2:lであり、好ましくは0.2:/、/:/
で使用され゛る。
本発明の光可溶性組成物は上記活性光線の照射にエリ酸
を発生し得る化合物と、主要連釦中に醒に工り分解し得
るエステル基を少なくとも1個有する化合物の組合せの
みで使用rることかできるが、アルカリ可溶性樹脂と混
合して用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂
には、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的に
は、フェノールホルムアルデヒド樹脂、0−クレゾール
ホルムアルデヒド樹脂、nl−クレゾールホルムアルデ
ヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭jθ−12、tざ
06号公報に記されている様に」二記のよウナフェノー
ル樹脂と共に% を−−y”チルフェノ−1ルホルムア
ルデヒド樹脂のような炭素数3〜gσ〉アルキル基で置
換さfl 7jフエノールまたはクレゾールとホルムア
ルデヒドとの縮合物と衛併用すると、−J9好ましい。
アルカ11可溶性樹脂は、感光性レジスト形成組成物の
全型′@を基準として約jO〜約♂!重量係、より好ま
しくはt o、tr o重量係含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤などを含有させることができる。好適な染
料としては油溶性染料及び塩基性染料がある。具体的に
は、オイルイエロー#lOl、オイルイエロー#/30
’、オイルピンク#3/、2、オイルグリーンBG、オ
イルブルーDO8゜オイルブルー#6θ3、オイルブラ
ックBY、オイルブラックBS、オイルブラック’1’
 −t o s(以上、オリエント化学工業株式会社製
)クリスタルバイオレット(cIa、2s、tt)、メ
チルバイオレット(□Iu、zs3s)、ローダミンB
(CIμJ/70B)−マラカイトグ11−ン(CI4
tコooo)、メチレンブルー(c工zxois>など
をあげることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、’x−
/)キシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなど
があり、これらの溶媒を単独あるいは混合して1史用す
る。
そして上記成分中の濃度(固形分)は、λ〜、10重量
係である。また、塗布量は用途により異なるが、例えば
感光性平版印刷版についていえば一般的に固形分として
0.j〜3,0g7m2がftT ’fしい。塗布量が
少くなるにつれ感光性は大になるが、感光膜の物性は低
下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水住処ユ甲したアルミニ
ウム板、7bとえはシリケート処理アルミニウム板、陽
極酸化アルミニウム板、砂目5’llてしたアルミニウ
ム板、シ1)ケート電着しfこアルミニウム板があり、
その他部鉛板、ステンレス、仮、クローム処理鋼板、親
水化処理し7ζプラスチックフィルムや紙を上げること
ができる。
また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
付合やクロムヶ蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
捷たホトレジストとじて上記以外の種々の支持体例えば
銅板、銅メツキ板、カラス板上に本発明の光可溶性組成
物を塗布して使用される。
本発明の光可溶性組成物にたいする現像液としては、珪
酸ナト11ウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナト11ウ
ム、第ニリン酸ナトリウム、第三1)ン酸アンモニウム
、第ニリン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭
醪ナトリウム、アンモニウム水などのような無機アルカ
リ剤の水溶液が適当であシ、それらの濃度が06l−、
、lO重亀係、好ましくはo’、s−s重量係になるよ
うに冷力υされる。
また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じシ゛1−面
活性剤やアルコールなどのような翁機洛媒を加えること
もできる。
以下、本発明を合成例、実施例により更に1j(i 、
i:il+に説明するが1本発明の内容がこれにより限
定δれるものではない。
合成例1 既知の方法にて調整し1ζメチルマグネシウムプロミド
sx、sgのテトラヒドロフランjθOp+/の溶#に
、水浴にて冷却及び拵拌しなからデレソタル酸ジメチル
lり、り9のベンゼン≠oor、°tt H’H’j液
f30液間30分間7JAしに。氷冷しながら史に1時
間攪拌した後、1時間加熱還流させた。放冷 1ψ 後濃硫酸30m1及び氷iooog中に反応混合物を投
入し、酢酸エチルにて抽出し、オ循炭酊水素す) 11
ウム水溶液続いて1ψ和食塩水にて洸浄した。
酢酸エチル抽出液を乾燥後、減圧下の酪を行い得られた
淡黄色固体を酢DJエチル/11−ヘキサン系にてp]
結晶し罠。その結果、白色針状結晶/7゜!Iが得らt
t7ζ。N MR1元素分析、マスクはクトルエリ、/
、ll−ビス−(−2−ヒドロキシ−λであることをイ
:iM nQ L、 yζO7,4t−ビス−(l−ヒ
ドロキシ−1−プロピル)ベンゼン//、7g及びテレ
フタル(’9 / 0 。
’ g 7.rジクロロメタン300m1中、水冷下、
枠拌しながらこれにJ−ジメチルアミノ−ピリレフ0フ イミド、27.3jiのジクロロメクン100m1溶液
を添加した。氷冷下更に/時間借拌後、室温にてg時間
俗拌を薪けた。反応晶付物を濾過後、炉液、2gが得ら
れた。VPOK.cり分子量を測定し,罠結果、数平均
分子量ii.zoであった。
合成例2 合成例1と同様に6成した/,&ービス(2−ヒドロキ
シ−λープロピル)ベンゼン/ / 、7 、47及び
アジピン酸ざ.ggfジクロロメタ7300プ中,氷冷
下借拌しながら、これKg−ジメ千ルタ7100tnl
溶液?+7深加し1?:、。氷冷下史に/ Il.4i
 1ii1攪拌後,室温にてg時間攪拌を続け7ζ。反
応!j6’jj物を濾過後、炉液を0縮し得られ7こ白
色固体を.[1J沈殿により精製した。その結果、白色
のややfi’i l’l:のある固体/ A 、 3g
が得られた。VPOにより分子量を測定し7こ結果、数
平均分子量12!0であつ1ζ0 合成例3 既知の方法にて調整し1こフェニルマグネシウムプロミ
ド/9/9のテトラヒドロフラン6oozt′の溶液に
、水浴にて冷却及びtF/拌しながら、デレフタル酸ジ
メチル≠4.4gのベンゼンll溶液>po分間かけ″
7滴下した。氷冷しながら更に1時間借拌した後、1時
間加熱還流させた。放冷後濃硫咽jOml及び氷/ !
;00g中に反応混合物を投入し1口゛[酸エチルにて
抽出し、srs炭酸水素ナトリウム水溶液、続いて飽和
食塩水にて洗浄した。
酢酸エチル抽出液を乾燥後、減圧下a縮を行い、得らf
′L′tc黄色固体を酢酸エチル/n−へキサン系にて
再結晶し7ζ、その結果、白色結晶7! 、 j′gが
得られ7ζ。NMR,元素分析、マススペクトルにより
、l、4t−ビス−(ジフェニルーヒドロキであること
を確認した。
l、l−ビス−(ジフェニル−ヒドロキシメチル)ベン
ゼン26.7g及びアジピン酸r、rgヲシクロロメタ
ン300Q中、氷冷下母拌しながら、これに4−ジメチ
ルアミノピリジンθ、7.q更に脱水剤としてジシクロ
へギシル力ルボ゛ジイミドコタ、7Fのジクロロメタン
/θOme溶液を・爺加した。氷冷下更に/時間臂拌後
、字溝にて一!〃時間借拌を続け1ζ。反応混合物をP
 z、’>後、炉液台濃縮(7得らnた淡t′C色固体
を再沈殿に工り桔辺した。その結果淡黄色の固体22.
2g力脣j)らノア1こ、VPOKより分子量を測定し
た結果、数平均分子量1110であった。
実施例1 厚さ0,211q7BのλSアルミニウム版全♂θ0C
に保った第3燐酸ナトIJウムの10例水溶飲(て3分
間浸漬して脱脂【7、ナイロンブラシで砂目立てした後
アルミン酎ナト11ウムで約70秒13tJエツf−ン
グして、硫酸水素ナト+1ウム3係水溶液Tデスマット
処理ヲ行つ1こ。このアルミニウム板’i、2θ弼硫酸
中で電流密度2A / d m ” Kおい12分間“
16“l″″0″yb 、X =7″′1′″(J )
*+vs:v t、、7″° 1このアルミニウム板(
1)に次の感光液〔人〕を塗布し、/θθ0Cで2分間
転傾り一て、木が一:)・+Jの感光性平版印刷版rA
]を作製した。
/i戊光液[A’) 台成例1で得られた化合物 0.29 クレゾール−ホルムアルデヒド ([・1脂 i、op l2.2−ナフトキノン−2−ジ アジド−4−スルホニルクロ 1jド 。、0♂l オイルブルー#t03(オリエ ント化学工業@製) o、oi!! エチレンジクロ1)ド 10jq メチルセロソルブ 10ji 乾燥後の塗布重量は’ −’ fl / m 2であっ
た。
次に比較例として感光液[B]’に!光液[A]と同様
に塗布し、感光性平版印刷版[B:)v作製l、 7t
 。
感光液[131 クレゾール−ホルムアルデヒド 樹脂と/、2−ナフトキノン −2−ジアジド−ま−スルホ ニルクロリドとの縮合生成物 o、tsgクレゾール−
ホルムアルデヒド 樹脂 t、og” /、2−ナフトキノン−2−ジ アジド−μmスルホニルクロ リ ド o 、oxg オイルブルー−$tO3(第11エ ンド化学工業例)製) o、oig エチレンジクロリド 70g メチルセロソルブ 10g 乾燥後の塗布″B【量は/、3−9/@2であった。を
感光性平版印刷版〔A〕及び[B]の感光ハ[;十に、
弓e差0 、/−tのグレースケールケ密沼させ、30
アンペアのカーボンアーク灯で70Cmの距i、□1t
から露光を行った。
本発明の優′rL、た感光性を示す為に露光さfi−7
仁感光性平版印刷版[AI]及び[1) ]をDP−/
(1′j品名:富士写真フィルム昭3製、ケイ−ナトリ
ウム水溶液)のio倍希釈液で、23°CKs−いて6
0秒間現像し、濃度差o、isのグレースケールで!段
が完全にクリアーとなる露光時間をめたところ、本発明
の感光性平版印刷版[A]がaO秒であるのに対し2、
比較例の感光性平版印刷版[B]の場合、ざ0秒であっ
た。
実施例2 実施例1のアルミニウム板(1)に感光液[C)を実施
例1と同様に塗布し5、本発明の感光性平版印刷版〔C
〕ケ作製した。
感光液CC) 台成例2で得ら力、た化付物 0.29クレゾール−ホ
ルムアルデヒド 樹脂 i、og /、2−ナフトキノン〜λ−ジ アジド−μmスルホニルクロ リ ド 0 、 θ ♂ 3? オイルブルー’:103(オリエ ント化学工業■製) o、otg エチレンジクロリド 10g メチルセロソルブ tog 乾燥後の塗布電量は/ 、jj;l/雇2であった。
次K 比較例として、感光液[B〕のクレゾール−ホル
ムアルデヒド樹脂と1,2−ナフトキノン−2−ジアジ
ド−よ−スルホニルクロリトトの1ili;会生酸物の
代′わりに、フェノール−ボルムアルデヒド樹脂とl、
2−ナフトキノンーコージアジドー!−スルホニルクロ
l)ドとの縮曾生成物を用いた感光液CD、1を実施例
1と同様に塗布し1、感光性平版印刷版CD]全作fJ
’U シーた。ま7こ4mの比較例として感光液[E〕
を用い一同様に感光性平版印刷版[E)を作製し7ζ。
乾燥後の塗布′¥ト旦はIiC<光性平版印刷版〔D〕
及び〔E〕とも/、夕Fl 7m 2であった。
感光液〔E〕 西ドイツ国特許第、2り、2rt3を 号の第−表、化付物の番号7の オルトエステルポリマー 0 、3.57クレゾールー
ホルムアルデヒド樹 脂 l 、09 ト1)スー(トリクロロメチノ1暑− 8−ト17アジン θ、θj 、9 オイルブルー#403(第1]エン ド化学工業6彩製) 0,0/f! 酢酸ブチル 10g メチルセロソルブ 109 感光性平版印刷版[CL [D]及び[E]の感光層の
土に濃度差0./夕のグレースケールを密着させ、 −
30アンペアのカーボンアーク灯で70儂の距離から3
θ秒間鱈光を行った。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 L (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化付物
    、及び(b)主要連鎖中に酸により分解し得るエステル
    基を少なくとも1個有し、現像液中でのその溶#度が酸
    の作用に工り増大する化付物を含有する光可溶化組成物
    。 2 該化付物(b)における、酸にエリ分解し得るエス
    テル基が一般式(1)で表わされるエステル基である特
    許請求範囲第一項記載の光可溶化組成物。 式中R,は置換基を有していてもよいアルキレン又はア
    リーレン基を示す。R2、R3は同一でも相異していて
    もよく、それぞれ水素原子、アルキル、アルケニル、ア
    ラルキル、もしくは置換ノ;(・を有していてもよいア
    リール基を示す。但し、R2、R3は同時に水素原子で
    はない。R4、R5、R6、R7は同一でも相異してい
    てもよく、それぞれ水素原子、アルキル、アルケニル、
    もL<はアルコキシ基を示す。ま7CR4、R5、R6
    、R7のうちλつが結付して芳香環又は脂肪族環を形成
    してもよい。 A1およびA2は同一でも相異していてもよく。 それぞれ結仕手又は水素原子を示す。
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