JPS6238452A - 光可溶化組成物 - Google Patents
光可溶化組成物Info
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- JPS6238452A JPS6238452A JP60178714A JP17871485A JPS6238452A JP S6238452 A JPS6238452 A JP S6238452A JP 60178714 A JP60178714 A JP 60178714A JP 17871485 A JP17871485 A JP 17871485A JP S6238452 A JPS6238452 A JP S6238452A
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- Japan
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- acid
- compd
- compound
- photosensitive
- generating
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/72—Photosensitive compositions not covered by the groups G03C1/005 - G03C1/705
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する先回溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
a)活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及
び(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも7個有する化合物、全含有する新規な先回溶化組成
物に関する。
ッドプロジェクタ−用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する先回溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
a)活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及
び(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも7個有する化合物、全含有する新規な先回溶化組成
物に関する。
「従来の技術」
活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としテハ、例えば米国特許第2,7’jA、//
r号、同第λ。
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られており、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としテハ、例えば米国特許第2,7’jA、//
r号、同第λ。
7t7,092号、同第2,772.272号、同gg
2.try、ii、x号、同第J 、 907 、 J
6オ号、同第3.o4/Lt、iio号、同第J、Oa
t、lii号、同第J、01tt、//!号、同第3.
oats、tie号、同第J、OJf&、//2号、同
第3 、0416 、 /コO号、同第3.0≠1..
121号、同第J、01llp、/λλ号、同第3.0
弘4,123号、同第3.0乙/、≠30号、同第3.
ior、toり号、同第3,104゜≠6j号、同第3
.1.3!;、709号、同第3゜g4L7. 弘≠3
号の各明細書tはじめ、多数の刊行物に記されている。
2.try、ii、x号、同第J 、 907 、 J
6オ号、同第3.o4/Lt、iio号、同第J、Oa
t、lii号、同第J、01tt、//!号、同第3.
oats、tie号、同第J、OJf&、//2号、同
第3 、0416 、 /コO号、同第3.0≠1..
121号、同第J、01llp、/λλ号、同第3.0
弘4,123号、同第3.0乙/、≠30号、同第3.
ior、toり号、同第3,104゜≠6j号、同第3
.1.3!;、709号、同第3゜g4L7. 弘≠3
号の各明細書tはじめ、多数の刊行物に記されている。
これらのオルトキノ/ジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解奮起こしてj員環のカルボン酸全生じ、ア
ルカリ可溶性となること全利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率が/を越えないということに由来するものである。
射により分解奮起こしてj員環のカルボン酸全生じ、ア
ルカリ可溶性となること全利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率が/を越えないということに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物奮含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭4L♂−lハ211−2号、特
開昭!λ−ttoiλ!号、米国特許第≠、307./
73号などの明細書に記載された内容を挙げることがで
きる。
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭4L♂−lハ211−2号、特
開昭!λ−ttoiλ!号、米国特許第≠、307./
73号などの明細書に記載された内容を挙げることがで
きる。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにボジ
チブに作用させる感光性組成物に関j〜て、いくつかの
提案がされている。その7つとして、例えば特公昭j4
−21.!Pt号の明細書に記載されているオルトニト
ロカルビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙
げられる。しかし、この場合も、オルトキノンジアジド
の場合と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、
これとは別に接触作用により活性化される感光系を使用
し、感光性を高める方法として、光分解で生成する酸に
よって第λの反応全生起させ、それにより露光域を可溶
化する公知の原理が適用されている。
チブに作用させる感光性組成物に関j〜て、いくつかの
提案がされている。その7つとして、例えば特公昭j4
−21.!Pt号の明細書に記載されているオルトニト
ロカルビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙
げられる。しかし、この場合も、オルトキノンジアジド
の場合と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、
これとは別に接触作用により活性化される感光系を使用
し、感光性を高める方法として、光分解で生成する酸に
よって第λの反応全生起させ、それにより露光域を可溶
化する公知の原理が適用されている。
このような例として、例えば光分解により酸を発生する
化合物と、アセタール又はO%N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭弘r−zり003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭j1
−/λ07/lI−号)、主鎖にアセタール又はケター
ル基ヲ有するポリマーとの組合せ(特開昭!!−/jJ
≠λ2号)、エノールエーテル化合物との組合せ(特開
昭よ!−/2タタj号)、N−アシルアミノ炭酸化合物
との組合せ(特開昭3よ−/2j236号)、主鎖にオ
ルトエステル基金有するポリマーとの組合せ(特開昭j
A−173≠!号・)及びシリルエーテル化合物との組
合せ(特開昭bO−j7J−弘り号、同tO−/2/≠
≠6号)などを挙げることができる。これらは原理的に
量子収率が/を越える為、高い感光性を示す可能性があ
るが、アセタール又はO,N−アセタール化合物の場合
、及び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマ
ーの場合、光分解で生成する酸による第コの反応の速度
が遅い為、実際の使用に十分な感光性を示さない。また
オルトエステル又はアミドアセタール化合物の場合及び
、エノールエーテル化合物の場合、更にN−アシルイミ
ノ炭酸化合物の場合は確かに高い感光性を示すが、経時
での安定が悪く、長期に保存することができない。主鎖
にオルトエステル基を有するポリマーの場合も、同じく
高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いという欠
点を有する。上記シリルエーテル化合物の場合、他の化
合物及びポリマーに比べ高感度でおり、経時安定性に優
れてはいるが、実際に使用するには経時安定性が十分と
は言えない。
化合物と、アセタール又はO%N−アセタール化合物と
の組合せ(特開昭弘r−zり003号)、オルトエステ
ル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭j1
−/λ07/lI−号)、主鎖にアセタール又はケター
ル基ヲ有するポリマーとの組合せ(特開昭!!−/jJ
≠λ2号)、エノールエーテル化合物との組合せ(特開
昭よ!−/2タタj号)、N−アシルアミノ炭酸化合物
との組合せ(特開昭3よ−/2j236号)、主鎖にオ
ルトエステル基金有するポリマーとの組合せ(特開昭j
A−173≠!号・)及びシリルエーテル化合物との組
合せ(特開昭bO−j7J−弘り号、同tO−/2/≠
≠6号)などを挙げることができる。これらは原理的に
量子収率が/を越える為、高い感光性を示す可能性があ
るが、アセタール又はO,N−アセタール化合物の場合
、及び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマ
ーの場合、光分解で生成する酸による第コの反応の速度
が遅い為、実際の使用に十分な感光性を示さない。また
オルトエステル又はアミドアセタール化合物の場合及び
、エノールエーテル化合物の場合、更にN−アシルイミ
ノ炭酸化合物の場合は確かに高い感光性を示すが、経時
での安定が悪く、長期に保存することができない。主鎖
にオルトエステル基を有するポリマーの場合も、同じく
高感度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いという欠
点を有する。上記シリルエーテル化合物の場合、他の化
合物及びポリマーに比べ高感度でおり、経時安定性に優
れてはいるが、実際に使用するには経時安定性が十分と
は言えない。
「発明が解決しようとする問題点」
本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な先
回溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、且つ経時での安定性が優れ長期に保存が可能な新
規な光5r溶化組成物を提供することである。
回溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、且つ経時での安定性が優れ長期に保存が可能な新
規な光5r溶化組成物を提供することである。
本研究の別の目的は、製造が簡便で容易に取得できる新
規な先回溶化組成物全提供することである。
規な先回溶化組成物全提供することである。
[問題点を解決するための手段」
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた結
果新規な先回溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されること金兄い出し本発明に到達した。
果新規な先回溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されること金兄い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、
(a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、及
び(b)下記一般式(Ilで示される、酸により分解し
得るシリルエーテル基単位を少なくとも7個有し、現像
液中でのその溶解度が酸の作用により増大する化合物、
を含有する先回溶化組成物、を提供するものである。
び(b)下記一般式(Ilで示される、酸により分解し
得るシリルエーテル基単位を少なくとも7個有し、現像
液中でのその溶解度が酸の作用により増大する化合物、
を含有する先回溶化組成物、を提供するものである。
式中、R1、R4は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を
示す。好ましくは、親水性基、ウレタン基、ウレイド基
、アミド基、エステル基を有する2価の脂肪族又は芳香
族炭化水素を示す。
示す。好ましくは、親水性基、ウレタン基、ウレイド基
、アミド基、エステル基を有する2価の脂肪族又は芳香
族炭化水素を示す。
なお本発明でいう親水性基としては、具体的には下記に
示されるものがある。
示されるものがある。
+CF(2Ct−I2−0+、 。
−÷+CH2+−バ月1+CH2CH2−0士1、−+
CHCH2−0ガ汁C)12CH2−Oh %+CH
2CHCH2−o+−rl 1 H −1+CH2+?o+T1、→cHcH2−o+T! 前記の式中、lは/〜弘の整数?示し、mSnは2以上
の整数、好ましくはλ〜iooの整数、更に好ましくは
λ〜2Qの整数全示す。Rはアルキル、又は置換基を有
していてもよいフェニル基を示す。特に好ましい親水性
基は+CH2C1(2−0+。
CHCH2−0ガ汁C)12CH2−Oh %+CH
2CHCH2−o+−rl 1 H −1+CH2+?o+T1、→cHcH2−o+T! 前記の式中、lは/〜弘の整数?示し、mSnは2以上
の整数、好ましくはλ〜iooの整数、更に好ましくは
λ〜2Qの整数全示す。Rはアルキル、又は置換基を有
していてもよいフェニル基を示す。特に好ましい親水性
基は+CH2C1(2−0+。
である。
一般式(I)のR2、R3、R′2、R′3は同一でも
相異していてもよく、それぞれ水素原子、アルキル、ア
ルケニル、置換基含有していてもよいアリールもしくは
アラルギル、又は −ORs を示す。好ましくはアル
キル又は=oR5、更に好ましくは炭素数l−≠個のア
ルキル基を示す。R4は2価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。R5は置換基金庸していてもよいアルキル、
アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましくは炭
素数/〜!個のアルキル、又は炭素数6〜/J個のアリ
ール基を示す。また本発明に用いられる化合物(b)は
、一般式(I1で示されるシリルエーテル基準位t2種
以上含有していてもよい。
相異していてもよく、それぞれ水素原子、アルキル、ア
ルケニル、置換基含有していてもよいアリールもしくは
アラルギル、又は −ORs を示す。好ましくはアル
キル又は=oR5、更に好ましくは炭素数l−≠個のア
ルキル基を示す。R4は2価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。R5は置換基金庸していてもよいアルキル、
アリール、もしくはアラルキル基を示す。好ましくは炭
素数/〜!個のアルキル、又は炭素数6〜/J個のアリ
ール基を示す。また本発明に用いられる化合物(b)は
、一般式(I1で示されるシリルエーテル基準位t2種
以上含有していてもよい。
本発明の(b)における化合物の具体例としては、次に
示すものが含まれる。
示すものが含まれる。
A/
Aコ
&7
屋タ
ム/1
ム/コ
&r
A/ O
煮77
ノFz/J’
AI タ
憲λO
なお具体例中のnは2以上の整数全示す。またX% Y
はモル比を示し、化合物例屋7参〜λ弘では、x=t〜
りOモルチ、y = / 0〜り!モルチを示す。本発
明の伽)における化合物の分子量は、重量平均で200
以上、好ましくは/700−10o、oooである。
はモル比を示し、化合物例屋7参〜λ弘では、x=t〜
りOモルチ、y = / 0〜り!モルチを示す。本発
明の伽)における化合物の分子量は、重量平均で200
以上、好ましくは/700−10o、oooである。
これらの酸により分解し得るシリルエーテル基単位を少
なくとも1個有する化合物と組合せて用いる、本発明の
(a)における活性光線の照射により酸を発生し得る化
合物としては多くの公知化合物及び混合物、例えばジア
ゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及ヒヨードニ
ウムのBF4−1PF6−1A s F 6−1SbF
、−1SiF6 sα04− などの塩、有機ハロ
ゲン化合物、オルトキノンジアジドスルホニルクロリド
、及び有機金属/有機ハロゲン化合物の組合せ物が適当
である。
なくとも1個有する化合物と組合せて用いる、本発明の
(a)における活性光線の照射により酸を発生し得る化
合物としては多くの公知化合物及び混合物、例えばジア
ゾニウム、ホスホニウム、スルホニウム、及ヒヨードニ
ウムのBF4−1PF6−1A s F 6−1SbF
、−1SiF6 sα04− などの塩、有機ハロ
ゲン化合物、オルトキノンジアジドスルホニルクロリド
、及び有機金属/有機ハロゲン化合物の組合せ物が適当
である。
もちろん、米国特許第3,772,77を号及び西ドイ
ツ国特許第2.AI0.1≠λ号の明細書中に記載され
た光分解により酸を発生させる化合物も本発明の組成物
として適する。更に適当な染料と組合せて露光の際、未
露光部と露光部の間に可視的コントラスト?与えること
を目的とした化合物、例えば特開昭11−777弘λ号
、同!7−/43コ3I/L号の明細書に記載された化
合物も本発明の組成物として使用することができる。
ツ国特許第2.AI0.1≠λ号の明細書中に記載され
た光分解により酸を発生させる化合物も本発明の組成物
として適する。更に適当な染料と組合せて露光の際、未
露光部と露光部の間に可視的コントラスト?与えること
を目的とした化合物、例えば特開昭11−777弘λ号
、同!7−/43コ3I/L号の明細書に記載された化
合物も本発明の組成物として使用することができる。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中で特にトリ
ハロメチル基が置換したS−トリアジン及びトリハロメ
チル基が置換1−たオキサジアゾール化合物が好ましい
。
ハロメチル基が置換したS−トリアジン及びトリハロメ
チル基が置換1−たオキサジアゾール化合物が好ましい
。
本発明の(a)における活性光線の照射により酸?発生
し得る化合物と、(b)における酸により分解し得るシ
リルエーテル基単位を少なくとも/個有する化合物との
割合は、好ましくは重量比で0,0oi’、i−コニ/
であり、好ましくはO,O2:/−0,r:/の範囲で
使用される。
し得る化合物と、(b)における酸により分解し得るシ
リルエーテル基単位を少なくとも/個有する化合物との
割合は、好ましくは重量比で0,0oi’、i−コニ/
であり、好ましくはO,O2:/−0,r:/の範囲で
使用される。
本発明の売可溶化組成物は、上記活性光線の照射により
酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得るシリルエ
ーテル基単位を少なくとも/個有する化合物の組合せの
みで使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と混
合して用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂
には、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的に
は、フェノールホルムアルデヒド樹tlW、o−クレゾ
ールホルムアルデヒド樹’il¥z 、m−クレン°−
ルホルムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭j
O−iij♂06号公報に記されている様に上記のよう
なフェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルム
アルデヒド樹脂のような炭素数3〜rのアルキル基で置
換されたフェノールまたはクレゾールとホルム“アルデ
ヒドとの縮合物と全併用すると、一層好ましい。アルカ
リ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全重量
を基準として約≠θ〜約り0重量%、より好ましくは6
0〜t。
酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得るシリルエ
ーテル基単位を少なくとも/個有する化合物の組合せの
みで使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と混
合して用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂
には、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的に
は、フェノールホルムアルデヒド樹tlW、o−クレゾ
ールホルムアルデヒド樹’il¥z 、m−クレン°−
ルホルムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭j
O−iij♂06号公報に記されている様に上記のよう
なフェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルム
アルデヒド樹脂のような炭素数3〜rのアルキル基で置
換されたフェノールまたはクレゾールとホルム“アルデ
ヒドとの縮合物と全併用すると、一層好ましい。アルカ
リ可溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全重量
を基準として約≠θ〜約り0重量%、より好ましくは6
0〜t。
重量%含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所謂増感剤)など金含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的には、オイルイエロー#10/、
オイルイエローpi3o、オイルピンク*3ix、オイ
ルグリーンBG、オイルブルーBO8,オイルブルー#
603、オイルブラックBY、オイルブラックBS1
オイルブラックT−10j(以上、オリエント化学工業
株式会社製)クリスタルバイオレット、(CIIA2j
jj)、メチルバイオレット(C1172j3り、o−
ダミンB(CI弘j/70B)マラカイトグリ−7(C
I4Aコooo)、メチン/ブルー(CIj20/りな
どをあげることができる。
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所謂増感剤)など金含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的には、オイルイエロー#10/、
オイルイエローpi3o、オイルピンク*3ix、オイ
ルグリーンBG、オイルブルーBO8,オイルブルー#
603、オイルブラックBY、オイルブラックBS1
オイルブラックT−10j(以上、オリエント化学工業
株式会社製)クリスタルバイオレット、(CIIA2j
jj)、メチルバイオレット(C1172j3り、o−
ダミンB(CI弘j/70B)マラカイトグリ−7(C
I4Aコooo)、メチン/ブルー(CIj20/りな
どをあげることができる。
本発明の光可溶性組成物は、上記各成分全溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレンクリコール七ノエチルエーテル、2−メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒全単独あるいは混合して使用する。
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレンクリコール七ノエチルエーテル、2−メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あり、これらの溶媒全単独あるいは混合して使用する。
そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は、
コ〜jO重t%である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(固形分)はo、i〜λ!重量%である。また
、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷
版についていえば一般的に固形分として0.j〜3.0
t/m2が好ましい。
コ〜jO重t%である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度(固形分)はo、i〜λ!重量%である。また
、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷
版についていえば一般的に固形分として0.j〜3.0
t/m2が好ましい。
塗布量が少くなるにつれ感光性は犬になるが、感光膜の
物性は低下する。
物性は低下する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷成金製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理銅板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理銅板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
捷た印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
ィルム第2原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
ま九ホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の光可溶性組
成物を塗布して使用される。
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の光可溶性組
成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−f+、クリフトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−f+、クリフトンイオンレーザー、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物に対する現像液としては、珪酸
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1,10重量%、
好ま1〜くは0.j−7重量%になるように添加される
。
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1,10重量%、
好ま1〜くは0.j−7重量%になるように添加される
。
また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒2加えることもでき
る。
やアルコールなどのような有機溶媒2加えることもでき
る。
「実施例」
以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い。
ジヒドロキシエチルハイドロキノン/り、りV(O,/
(70mole)、ピリジ7/7,1lf(0゜2.
20mole)、rメチルエチルケトン100rrLl
に溶解し、これにビス(クロロジメチルシリル):cp
y2/ 、79 (0,100mole)のトルエフ2
0ゴ溶it攪拌しながら滴下ロートより30分間かけて
添加1−た。添加後zo 0cにて、5時間攪拌を続け
た。生成した白色の塩(ピリジンの塩酸塩)をテ別1/
、メチルエチルケトン溶液を3%重炭酸ナトリウム水溶
液100m1.続いて飽和食塩水100m1にて洗浄し
た。これを無水硫酸ナトリウムで乾燥した後、減圧下溶
媒を留去させると淡褐色粘稠固体が得られた。収量2μ
、oyONMHにより、その構造が化合物例A3である
ことを確認した。更にゲルバーミエーションクロマトグ
ラフィー(GPC,ボリスチレ/標準)により分子tを
測定したところit平均でM W= j !00であっ
た。
(70mole)、ピリジ7/7,1lf(0゜2.
20mole)、rメチルエチルケトン100rrLl
に溶解し、これにビス(クロロジメチルシリル):cp
y2/ 、79 (0,100mole)のトルエフ2
0ゴ溶it攪拌しながら滴下ロートより30分間かけて
添加1−た。添加後zo 0cにて、5時間攪拌を続け
た。生成した白色の塩(ピリジンの塩酸塩)をテ別1/
、メチルエチルケトン溶液を3%重炭酸ナトリウム水溶
液100m1.続いて飽和食塩水100m1にて洗浄し
た。これを無水硫酸ナトリウムで乾燥した後、減圧下溶
媒を留去させると淡褐色粘稠固体が得られた。収量2μ
、oyONMHにより、その構造が化合物例A3である
ことを確認した。更にゲルバーミエーションクロマトグ
ラフィー(GPC,ボリスチレ/標準)により分子tを
測定したところit平均でM W= j !00であっ
た。
合成例2(化合物何屋7の合成)
合成例1におけるジヒドロキシエチル/・イドロキノ/
の代わりにp−キシリレ/グリコール/J。
の代わりにp−キシリレ/グリコール/J。
ry<θ、10Qmole)k使用し、合成例1と同様
に反応、後処理を行った。無色粘稠固体、収量20,2
f。NMRにより、その構造が化合物何屋7であること
全確認し、GPCにより分子量を測定したところM w
= !弘00であった。
に反応、後処理を行った。無色粘稠固体、収量20,2
f。NMRにより、その構造が化合物何屋7であること
全確認し、GPCにより分子量を測定したところM w
= !弘00であった。
合成例1におけるジヒドロキシエチルハイドロキノ/の
代わりにl、φ−シクロヘキサンジオーに! 、I/
f ((7、OroomOle)、及びテトラエチレン
グリコールタ、719(0,0100mole)を使用
し、合成例1と同様に反応、後処理を行つ九。無色液体
、収量−3,3PONMHにより、その構造が化付物例
l61jであることを確認し、GPCにより分子量を測
定したところMw=Jrooであツタ。
代わりにl、φ−シクロヘキサンジオーに! 、I/
f ((7、OroomOle)、及びテトラエチレン
グリコールタ、719(0,0100mole)を使用
し、合成例1と同様に反応、後処理を行つ九。無色液体
、収量−3,3PONMHにより、その構造が化付物例
l61jであることを確認し、GPCにより分子量を測
定したところMw=Jrooであツタ。
実施例1
厚さ0.2≠露のJSアルミニウム板2ro0cに保っ
た第3燐酸ナトリウムのio%水溶液に3分間浸漬して
脱脂し、ナイロンブラシで砂目室てした後アルミン酸ナ
トリウムで約io秒間エツチングして、硫酸水素ナトリ
ウム3チ水溶液でデスマット処理を行った。このアルミ
ニウム板tJQ係硫酸中で電流密度2に/dm2におい
て2分間陽極酸化を行いアルミニウム板金作製した。
た第3燐酸ナトリウムのio%水溶液に3分間浸漬して
脱脂し、ナイロンブラシで砂目室てした後アルミン酸ナ
トリウムで約io秒間エツチングして、硫酸水素ナトリ
ウム3チ水溶液でデスマット処理を行った。このアルミ
ニウム板tJQ係硫酸中で電流密度2に/dm2におい
て2分間陽極酸化を行いアルミニウム板金作製した。
次に下記感光液[A]の本発明の化合物(b)の種類金
変えて、参種類の感光液[A)−/〜〔A〕−4At−
調整し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の
上に塗布し、ioo’cで2分間乾燥して、それぞれの
感光性平版印刷版(A)−/〜〔A〕−弘を作製した。
変えて、参種類の感光液[A)−/〜〔A〕−4At−
調整し、この感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の
上に塗布し、ioo’cで2分間乾燥して、それぞれの
感光性平版印刷版(A)−/〜〔A〕−弘を作製した。
このときの塗布量は全て乾燥重量で/、jf/m2であ
った。
った。
また感光液1:A)−/〜〔A〕−弘に用いた本発明の
化合物(b)は第1表に示す。
化合物(b)は第1表に示す。
感光液CA)
次に比較例として下記の感光液(B)及び〔C〕?感光
液〔A〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔B〕及び
[:C)−/〜〔C〕−コr作製した。
液〔A〕と同様に塗布し、感光性平版印刷版〔B〕及び
[:C)−/〜〔C〕−コr作製した。
感光液(B)
感光液〔C)
米)感光液〔C〕に使用した特開昭4O−J7j≠り号
に示される化合物。
に示される化合物。
CC:l−/
重量平均分子量M W : 3λ”0(GPc、ポリス
チレン標準) (C)−2 mf?F均分子量M w = a r o o < G
p C、ポリスチレン標準) 乾燥後の塗布重量は全て/ 、 j ? / @ 2で
あった。感光性平版印刷版[A〕−/〜〔A)−弘、C
B)、及び(C:)−/〜〔C〕−λの感光層上に濃度
差0./jのグレースケールを密着させ、30アンペア
のカーボンアーク灯で700mの距離から露光2行った
。
チレン標準) (C)−2 mf?F均分子量M w = a r o o < G
p C、ポリスチレン標準) 乾燥後の塗布重量は全て/ 、 j ? / @ 2で
あった。感光性平版印刷版[A〕−/〜〔A)−弘、C
B)、及び(C:)−/〜〔C〕−λの感光層上に濃度
差0./jのグレースケールを密着させ、30アンペア
のカーボンアーク灯で700mの距離から露光2行った
。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版(A)−/〜(A’)−≠、CB、l、及び(C
〕−/〜[C]−2をDP−≠(商品名:富士写真フィ
ルム■製)の!希釈水溶液でλj0Cにおいて60秒間
浸漬現像し、濃度差o、isのグレースケールで!段目
が完全にクリアーとなる露光時間を求めたところ第1表
に示すとおりとなつた。
印刷版(A)−/〜(A’)−≠、CB、l、及び(C
〕−/〜[C]−2をDP−≠(商品名:富士写真フィ
ルム■製)の!希釈水溶液でλj0Cにおいて60秒間
浸漬現像し、濃度差o、isのグレースケールで!段目
が完全にクリアーとなる露光時間を求めたところ第1表
に示すとおりとなつた。
第1表
第1表かられかるように本発明の化合物を用い”た感光
性平版印刷版(A〕−/〜[A’)−≠はいずれも[B
)、[C]−/より露光時間が少く、感度が高い。また
(C)−2と比較して同程度の感度を有する。
性平版印刷版(A〕−/〜[A’)−≠はいずれも[B
)、[C]−/より露光時間が少く、感度が高い。また
(C)−2と比較して同程度の感度を有する。
なお第1表における本発明の化合物屋/、7、/3、/
7の分子tGPc(ポリスチレン標準)でいずれもM
w =μjOO〜7000であった。
7の分子tGPc(ポリスチレン標準)でいずれもM
w =μjOO〜7000であった。
また化合物A/7ではx/yはモル比で60/jOであ
った。
った。
実施例2
本発明の優れた経時安定性を示す為、実施例1において
作製した感光性平版印刷版(A)−/〜(A)−≠、C
B)、及び(C〕−/〜〔C〕−2t一温度lAs0c
、湿度7j%の条件下、3日間放置した。上記条件下、
放置前と3日間放置後の感光性平版印刷版CAB−/〜
〔A〕−弘、CB)、及び[C)−/〜〔C〕−4の感
光層上に濃度差O1/!のグレースケールを密着させ、
30アンペアのカーボンアーク灯で70cIILの距離
から30秒間露光を行った。露光嘔れた感光性平版印刷
版[:A]−/〜(A)−弘、〔B〕、及び〔C〕−/
〜〔C)−2’e実施例1に示した方法により現像1−
1温度≠50C1湿度7!チの条件下、放置前と3日間
放置後における各感光性平版印刷版の完全にクリアーと
なるグレースケールの段数の藷?求めたところ、第−表
に示すとおりとなった。
作製した感光性平版印刷版(A)−/〜(A)−≠、C
B)、及び(C〕−/〜〔C〕−2t一温度lAs0c
、湿度7j%の条件下、3日間放置した。上記条件下、
放置前と3日間放置後の感光性平版印刷版CAB−/〜
〔A〕−弘、CB)、及び[C)−/〜〔C〕−4の感
光層上に濃度差O1/!のグレースケールを密着させ、
30アンペアのカーボンアーク灯で70cIILの距離
から30秒間露光を行った。露光嘔れた感光性平版印刷
版[:A]−/〜(A)−弘、〔B〕、及び〔C〕−/
〜〔C)−2’e実施例1に示した方法により現像1−
1温度≠50C1湿度7!チの条件下、放置前と3日間
放置後における各感光性平版印刷版の完全にクリアーと
なるグレースケールの段数の藷?求めたところ、第−表
に示すとおりとなった。
第2表
第2表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版[A)−/〜[A〕−4’はいずれもグレー
スケール段数差が[B)、CC:]−λより小さく、経
時安定性が優れたものである。
平版印刷版[A)−/〜[A〕−4’はいずれもグレー
スケール段数差が[B)、CC:]−λより小さく、経
時安定性が優れたものである。
また(C)−/と比較して同程度の経時安定性tする。
実施例1と合わせて、本発明の化合物を用いた組成物は
、高感度で且つ経時での安定性が優れたものであること
がわかる。
、高感度で且つ経時での安定性が優れたものであること
がわかる。
特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書
昭和乙O年2月λJ日
い
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合物、及
び(b)下記一般式( I )で示される、酸により分解
し得るシリルエーテル基単位を少なくとも1個有し、現
像液中でのその溶解度が酸の作用により増大する化合物
、を含有する光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 式中、R_1、R_4は2価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。R_2、R_3、R′_2、R′_3は同一
でも相異していてもよく、それぞれ水素原子、アルキル
、アルケニル、置換基を有していてもよいアリールもし
くはアラルキル、又は−OR_5を示す。R_5は置換
基を有していてもよいアルキル、アリール、もしくはア
ラルキル基を示す。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60178714A JPH067262B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60178714A JPH067262B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6238452A true JPS6238452A (ja) | 1987-02-19 |
JPH067262B2 JPH067262B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=16053281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60178714A Expired - Lifetime JPH067262B2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 光可溶化組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH067262B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6240450A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS63236029A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6010247A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS6037549A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS6052845A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | パタ−ン形成材料 |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP60178714A patent/JPH067262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6010247A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS6037549A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS6052845A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | パタ−ン形成材料 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6240450A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS63236029A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH067262B2 (ja) | 1994-01-26 |
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