JPS61166543A - 光可溶化組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−用図面、ＩＣ回路、ホトマスクの製
造に適する光可溶化組成物に関する。更に詳しくは、（
ａ）活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及
び（ｂ）酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも１個有する化合物、及び（Ｃ）活性光線の照射によ
りラジカル禁止ｍｔ−発生し、（ａ）から発生した酸又
は酸前１嘔体のラジカル種を捕捉し得る化合物、を含有
する新規な光可溶化組成物に関する。

「従来の技術」 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノンジアジド化合
物が知られて督り、実際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきｔｏこのようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第２，７４＆、１１１
号、同第２゜７４７　、ＯＦ２号、同第コ、７７コ、２
７２号、同第コ、ｒｚり、１１１号、同第コ、りｏ７，
６６ｊ号、同第３．ｏ４ｃｔ、ｉｉｏ号、同第Ｊ、１７
４ＡＡ、／／／号、同第３，０１１−４，１１１号、同
第Ｊ、Ｏｕ＆、／／を号、同第Ｊ、０４４．／／？号、
同第Ｊ、０４４４．／２０号、同第Ｊ、０弘４、／λ１
号、同第Ｊ、０ダＡ、／ココ号、同第Ｊ、０４Ａｔ、／
２Ｊ号、同第Ｊ、０６／、４に３０号、同第３，１０２
，１０９号、同第３．ＩＯ＆。

４１４１号、同第３，４３１．７０Ｐ号、同第３゜４１
Ａ７　、　＄≠３号の各明細書金はじめ、多数の刊行物
に記されている。

これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こして！員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものであるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率がｌ上越えないということに由来するものである。

オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困難であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭ＩＡｌｒ−／Ｊハ―号、特開昭
！２−μｏｉコｊ号、米国特許第Ｖ、３１７７、／７Ｊ
号などの明細書に記載された内容を挙げることができる
。

また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チプに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その７つとして、例えば特公昭！≦−
コｔりを号の明細書に記載されているオルトニトロカル
ビノールエステル基金有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない、、また、これ
とは別に接触作用により活性化される感光系を使用し、
感光性を高める方法として、光分解で生成する酸によっ
て第２の反応全生起させ、それにより露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されているうこのような例として、
例えば光分解により酸を発生する化合物と、アセタール
又はＯ，Ｎ−アセタール化合物との組合せ（特開昭ａｔ
−ｒり００３号）、オルトエステル又はアミドアセター
ル化合物との組合せ（特開昭ｓｔ−／２０７／≠号）、
主鎖にアセタール又はケタール基金有するポリマーとの
組合せ（特開昭！！−／ＪＪμコタ号）、エノールエー
テル化合物との組会せ（特開昭ｊｊ−ｌコタ？！号）、
Ｎ−アシルイミノ炭酸化合物との組合せ（特開昭１ｊ−
／コロ２３６号）、及び主鎖にオルトエステル基金有す
るポリマーとの組合せ（特開昭ｆＡ−／７Ｊμｊ号）ｆ
ｅ挙げることができる。これらは原理的に量子収率がｌ
ｔ−越える為、高い感光性金示す可能性があるが、アセ
ター　ル又ハ０　、　Ｎ−アセタール化合物の場合、及
び主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマーの
場合、光分解で生成する酸による第１の反応の速度が遅
い為、実際の使用に十分な感光性を示さない。ま九オル
トエステル又はアミドアセタール化合物の場合及び、エ
ノールエーテル化合物の場合、更にＮ−アシルイミノ炭
酸化合物の場合は確かに高い感光性を示すが、経時での
安定が悪く、長期に保存することができない。主鎖にオ
ルトエステル基を有するポリマーの場合も、同じく高感
度ではあるが、現像時の現像許容性が狭いという欠点を
有する。

更にこのような酸分解性の化合物を基礎とする組成物の
実質感度は露光と現像の間に経過する時間により、徐々
に増大するという欠点を有するつ「発明が解決しようと
する問題点」 本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な光
度溶化組成物全提供することであるう即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な売可溶化組成物
を提供することである。

本研究の別の目的は、感度が露光と現像の間の経過時間
に依らない新規な先回溶化組成物を提供することでちる
。

本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な先回溶化組成物を提供することである。

「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を加えた結
果新規な先回溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。

即ち本発明は、 （ａ）活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、
Φ）分子中に下記一般式（Ｉ）で示される酸により分解
し得るシリルエーテル基七少なくともｌ個有する化合物
、及び（Ｃ）活性光線の照射によジラジカル禁止種を発
生し、（ａ）から発生した酸又は酸前駆体のラジカル種
を捕捉し得る化合物、全含有する先回溶化組成物、を提
供するものである。

本発明のΦ）に用いられる一般式（１）で示される酸に
より分解し得るシリルエーテル基を有する化合物として
は、好ましくは下記一般式（ｎ）の繰返し単位によって
化合物全表わすことができる。

式中ｔよけ２価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示す。好
ましくは、親水性基、ウレタン基、ウレイド基、アミド
基、エステル基を有するコ価の脂肪族又は芳香族炭化水
素を示す。

なお本発明でいう親水性基としては、具体的には下記に
示されるものがある。

÷ＣＨ２Ｃｌ２−Ｕ＋。

（（Ｃｆ−１２＋、（Ｊ塗ＣＨ，Ｃ）ｉ、−０÷０　。

÷ＣＨＣＨ，−０ガけＣｌ−１２ＣＩ（２−０チ。　。

１゛ 式中、ｌは／〜弘の整数を示し、ｍ、ｎは２以上の整数
、好ましくは２〜１００の整数、更に好ましくはコ〜−
〇の整数を示す。ａはアルキル、又は置換ａ＝を有して
いてもよいフェニル基を示す。

特に好ましい親水性基は＋Ｃｌ２Ｃ）１２−０＋。

である。

ＦＬ２、Ｒ３は同一でも相異していてもよく、それぞれ
水素原子、アルキル、アルケニル、置換基を有していて
もよいアリール又はアラルキル、もしくは−０Ｒ４″に
、示す。好ましくは炭素数／−，４１１１ｉ１のアルキ
ル、又は−ＯＲ，４＝ｉ示す。Ｒ４は置換基を有してい
てもよいアルキル、アリール、もしくはアラルキル基、
好ましくは炭素数／、１個のアルキル、又は炭素数４〜
／！個のアリール基を示す。また本発明に用いられる化
合物（ｂ）は、一般式（ＩＩ）で示される繰返し単位金
λ種以上含有していてもよい。

本発明のΦ）における化合物の具体例としては、次に示
すものが含まれる。

（Ｉ−／　） （■−コ） （Ｉ−Ｊ） （Ｉ−μ） 柄喝卜 −ノ　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｎノ　　　
　　　　　　　　　　　　　　　〜ノーノ　　　　　　
　　　　　　　　　　　　ｙ　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　−ノ＋　　　　　　　　　　　１　　　
　　　　　　　１一一 ！　　　　　　　　ψ　　　　　　　　ν一一 一　　　　　　　　−− なお具体例中のｎは２以上の整数を示す。また、ｘｓ　
　Ｙｓ　　ｚはモル比全示し、化合物例１−４ＣＪ〜弘
！ではｘ＝ｘｌ　Ｏ〜Ｆ　！モｋＴｏ、ｙ−ｊ　〜ｒ　
Ｏモルチ、ｚｘｌｏ−ｔ！モルチである。また化合物例
１−１．／７、　ｌ−／り、　■−コφ、　■−３！、
及び■−３ＰＮ１！では、ｚｗ！−Ｐｏモル嗟、ｙ＝１
０〜り！そル％を示す。

これらの酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも１個有する化合物と組合せて用いる、本発明（ａ）
の活性光線の照射によシ酸を発生し得る化合物としては
、多くの公知化合物及び混合物、例えば、ジアゾニウム
、ホスホニウム、スルホニウム、及びヨードニウムのＢ
Ｆ２−１ＰＦ、−１８ｂＦ　　−１ＳｉＦ、−１α０４
−などの塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジ
ドスルホニルクロリド、及び有機金属／有機ハロゲン化
合物組合せ物が適当である。もちろん、米国特許第ｊ　
、７７Ｆ　、７７／号及び西ドイツ国特許第２゜ｔｌｏ
、ｔ≠λ号の明細書中に記載された光分解により酸全発
生させる化合物も本発明の組成物として適する。更に適
当な染料と組合せて露光の際、未露光部と露光物の間に
可視的コントラストラ与えることを目的とし良化合物、
例えば特開昭！！−７７７４Ｃコ号、同！７−／乙３２
３参号の明細書く記載された化合物も本発明の組成物と
して使用することができる。

上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にオ
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換した３−トリアジン誘導体又はオキサジアゾ
ール訪導体が好ましいうというのは、例えばオルトキノ
／ジアジドスルホニルクロリドの場合、露光の際３つの
酸基（即ち塩酸、スルホン酸、カルボン酸）が形成され
る為、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基金分解
させることができるからである。

本発明（ａ）における活性光線の照射により酸七発生し
得る化合物と、（ｂ）における酸により分解し得るシリ
ルエーテル基を少なくとも１個有する化合物との割合は
、重電比で０．００／：／−コニｌであり、好ましくは
ｏ、ｏコニ／−、ＩＯ，ｒ：／で使用されるう また、本発明の（Ｃ）における活性光線の照射によりラ
ジカル禁止種を発生し、（ａ）から発生した酸又は酸前
駆体のラジカル種全捕捉し得る化合物（所謂ｒａｄｉｃ
ａｌ　１ｎｈｉｂｉｔｏｒ　ｐｒｅｃｕｒｓｏｒ）とし
ては、例えば芳香族ニトロ化合物、チウラムジスルフィ
ド化合物、ジスルフィド化合物、スルフィド化合物、メ
ルカプト化合物等が挙げられる。

具体的には以下の化合物が含まれるつ （Ｃ−／）　　　　　　　（Ｃ−−２）（Ｃ−Ｊ　）　
　　　　　　（Ｃ−４’　）（Ｃ−＋） （Ｃ−７） ＜ｃ−ｒ＞ α α （Ｃ−２） ｅｅ＋ 豐啼＠す Ｑ　　　　　　　　　　　　　Ｑ　　　　　　　　　　
　　　Ｑ（Ｃ−コ０） （Ｃ−コ１） （Ｃ−２２） （Ｃ−２３） （Ｃ−２≠） （Ｃ−コｊ） （Ｃ−コｔ） （Ｃ−２７） （Ｃ−２Ｉｒ） （Ｃ−２９）　　　　　　（Ｃ−３０）＜　ｃ　＋＋　
Ｊ　ｉ　）　　　　　　（Ｃ−Ｊ　−２）（Ｃ−ＪＪ） 上記本発明（Ｃ）の化合物と、本発明（ａ）Ｋおける活
性光線の照射により酸を発生し侍る化合物との割合は、
モル比で０，０／：／〜ｉｏ：ｉであり、好ましくは０
．／：／〜ｌ：ｌで使用される。

本発明の売可溶化組成物は、上記（ａ）、（ｂ）、及び
（Ｃ）の化合物の組合せのみで使用することができるが
、アルカリ可溶性樹脂と混合して用いた方が好まし′Ａ
、、好適なアルカリ可溶性樹脂には、ノボラック型フェ
ノール樹脂が含まれ、具体的には、フェノールホルムア
ルテ辷ドｍ脂、ｏ−クレゾールホルムアルデヒド樹脂、
ｍ−クレゾールホルムアルデヒド樹脂などが含まれる。

更に特開昭ｊＯ−７λｚｒｏｔ号公報に記されている様
に上記のよウナフェノール樹脂と共に、ｔ−ブチルフェ
ノールホルムアルデヒド樹脂のような炭素数３〜ｒのア
ル中ル基で置換されたフェノールまたはクレゾールとホ
ルムアルデヒドとの縮合物とを併用する　　　　　　　
１゜と、一層好ましＩ／−ｈ６アルカリ可溶性樹脂は、
感光性フジスト形成性組成物の全重量に基準として約参
〇〜約り０重量％、よシ好ましくはｔｏ、ｔ。

重量％含有させられる。

本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物（所謂増感剤）などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的には、オイルイエローｇ１０／、
オイルイエロー＃／３０．オイルピンク＃Ｊ／、２、オ
イルグリーンＢＧ、オイルブルーＢ（ＪＳ、オイルブル
ー＃６０３、オイルブラックＢＹ、オイルブラックＢＳ
、オイルブラックＴ−，ｔＯ！（以上、オリエント化学
工業株式会社製）クリスタルバイオレット（ＣＩ≠２！
！Ｊ）、メチルバイオレット（ＣＩＩＡ２１Ｊｊ）、０
−１１”ミ７Ｂ（ＣＩ４ｃＪ−／７０Ｂ）、マラカイト
グリーン（ＣＩ４！λ０００）、メチレンブルー（ＣＬ
ｔλ９１りなど金あげることができる。

本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かし°〔支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒
としては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、
メチルエチルケトン、エチレンクリコールモノメチルエ
ーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、コー
メトキシエチルアセテート、トルエ、ン、酢酸エチルな
どがあり、これらの溶媒全単独あるいは混合して使用す
る。

そして上記成分中の濃度（添加物金倉む全固形分）は、
２〜３０重量％である。このうち、本発明の組成の好ま
しい濃度（固形分）は０．／〜２を重量％である。を九
、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷
版についていえば一般的に固形分として（７，ｊ〜Ｊ、
０７７ｍ２が好ましいう塗布量が少くなるにつれ感光性
は大になるが、感光膜の物性は低下する。

本発明の光可溶性組成物上用いて平版印刷成金製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理銅板、親水化処理し九プラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。

また印刷用校正版、オーバーヘッドプロジェクタ−用フ
ィルム第２原図用フィルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
もの七あげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロム金蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。

またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば銅板、銅メツキ板、ガラス板上に本発明の光可溶性組
成物を塗布して使用される。

本発明に用いられる活性光線の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーボンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム（レーザービーム又は電子線）による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−”ｊ’−、クリソトンイオンレーザ−、ヘリウ
ム・カドミウムレーザーなどが挙げられる。

本発明の光可溶性組成物にたいする現像液としでは、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であり、それらの濃度が０　、　／、／　０
１ｉ：！１％、好ましくはｏ、ｒ〜！重量−になるよう
に添加される。

また、該アルカリ性水溶液には、必要に応−じ界面活性
剤やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもで
きる。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１′□
「実施例」 以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本
発明の内容がこれＫよシ限冗されるものではない。

実施例　１ 厚さ０．２≠ｍｍの２８アルミニウム板ｔ？ｒ。

０Ｃに保った第３燐酸ナトリウムのｌｏチ水溶液に３分
間浸漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てした後ア
ルミン酸ナトリウムで約１０秒間エツチングして、硫酸
水素ナトリウムＪ％水溶液でデスマット処理を行った。

このアルミニウム板をＪ（７ｅｓ硫酸中で電流密度λＡ
　／　ｄ　ｍ　”において１分間陽極酸化金行いアルミ
ニウム板を作製した。

次に下記感光液（Ａ）の本発明の化合物（Ｃ）の種類を
変えて２種類の感光液（Ａ）−ｔ〜〔Ａ〕−ｌを調整し
、この感光液を陽極酸化され九アルミニウム板の上に塗
布し、ｔｏｏ”ｃで２分間乾燥して、それぞれ感光性平
版印刷版（Ａ）−／〜（Ａ）−ｒ２作製し九。また感光
液ＣＡ）の本発明の化合物（ｂ）としては、化合物例（
Ｉ−／コ）（ｎ＝４ｃ、ｘ／ｙ＝ｔｌｏ／ｇｏ、分子量
はＧＰＣ（Ｇｅｌ　　Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ　　Ｃｈｒ
ｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）ポリスチレン標準でＪ　、！
００であっ九。）で示されるもの全使用した。このとき
の塗布量は全て乾燥重量で／、１９７ｍ２であつ九つ また、感光液（Ａ）−／〜（Ａ）−Ｆに用いた本発明の
化合物ｒｅ）及びその添加ｔＵ第１表に示す。

感光液（Ａ〕 次に比較例として下記の感光液ＣＢ）、及び感光液（Ａ
）において本発明の化合物（Ｃ）　ｋ含まない感光液（
Ｃ）’ｉ−同様に塗布し、感光性平版印刷版ＣＢ）、（
Ｃ）を作製し九。

感光液ＣＢ） 乾燥後の塗布重量はともに／、１１７ｍ”であった。感
光性平版印刷版（Ａ）−／〜（Ａ）−１゜ＣＢ）、及び
（Ｃ）の感光層上に＃度差０．／！のグレースケール金
密着させ、３０アンペアのカーボンアーク灯で７０１の
距離から露光を行った。

本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版（Ａ）−／〜（Ａ）−Ｆ、ＣＢ）、及び（Ｃ：！
ＴｒＤＰ−ｐ（商品名：富士写真フィルム■製）の２倍
希釈水溶液でコｚ　’Ｃにおいて４０秒間浸漬現像し、
濃度差ｏ、ｉｓのグレースケールで３段目が完全にクリ
アーとなる露光時間を求めた。

更に露光、現像間の経時に対する優れた感度安定性を示
す為に感光性平版印刷版（Ａ）−／〜（Ａ）−ｒ、ＣＢ
）、及び（Ｃ）を上記方法により２０秒間露光後、３０
秒間及び６０分分間時させた。その後同様に現像を行い
、ＪＯ秒秒間時及びｔＯ分分間時において、濃度差ｏ、
ｉｓのグレー″′−′″″’ｉ＃Ｋ　″”７−′″″″
’ｉ’Ｒ１（ＤＭｋ＊　　　　Ｉ’・めたとこる第１表
に示すとおりとなったっ第７表かられかるように本発明
の化合物を用いた感光性平版印刷版（Ａ）−／〜（Ａ）
−ｒは、ナツト中ノンジアジド化合物を用いたＣＢ）よ
り、いずれも露光時間が少く、感度が高い。

更に本発明の化合物（Ｃ）　ｔ−含まない（Ｃ）に比べ
、経時によるグレースケール段数差が小さく、露光、現
像間の経時に対する感度安定性が優れる。

実施例　２ 実施例１の感光液（Ａ）において、本発明の化合物価）
の糧類を変えた感光液（Ａ）−タ〜（Ａ）−ｌコを用い
、実施例１と同様にして感光性平版印刷版（Ａ）−タ〜
（Ａ）−／コ金作製した。同じく、感光液（Ａ）−タ〜
（Ａ）−／コにおける本発明の化合物（Ｃ）　ｔ−含ま
ない感光液（Ｃ）−２〜（Ｃ）−／コを用い、感光性平
版印刷版〔Ｃ〕−２〜（Ｃ）−／コを作製した。なお感
光液（Ａ）−タ〜（Ａ）−／Ｊの本発明の化合物（Ｃ）
としては、化合物例（Ｃ−７７）のものを０．０２０１
使用した。塗布量はすべて乾燥重量で／、１１７ｍ”で
あった。また感光液（Ａ）−タ〜′（Ａ）−／コに用い
た本発明の化合物（ｂ）は第２表に示す。

感光性平版印刷版（Ａ）−２〜（Ａ）−／コ及び〔Ｃ〕
−２〜（Ｃ）−／コを実施例１に示した方法により、露
光、現儂を行い、露光後３０秒経時及びｔｏ分間経時に
おける、濃度差０．ｌ！のグレースケールで完全にクリ
アーとなる段数の差を求めたところ第２表に示すとおり
となった。

第２表 簀　比較例（本発明の化合物（Ｃ）を含まない）。

なお第２表における本発明の化合物（Ｉ−４）、（■−
／り）ではｘ　／　ｙ　＝　ｊ　Ｏ／　ｊ　Ｏ（モル比
）、ｎ＝係のものを使用した。また第２表における本発
明の化合物中）の分子量は、（１−Ａ）、（Ｉ−７り）
ではＶＰＯ（Ｖａｐｏｕｒ　　ＰｒｅｓｓｕｒｅＯｓｍ
ｏｍｅｔｅｒ　）で／１，００〜λ１００．（１−Ｊｊ
）、（Ｉ−ｊｒ）ｆは、ＧＰＣポリスチレ／標準で２！
ＯＯ〜ｚｏｏｏのものであった。

第２表かられかるように本発明の化合物を用い九感光性
平版印刷版（Ａ）−２〜（Ａ）−／コは、それぞれ対応
する本発明の化合物（Ｃ−／７）ｔ−含まない〔Ｃ〕−
タ〜（Ｃ）−／λに比べ、経時によるグレースケール段
数差が小さく、露光、現像間の経時に対する感度安定性
が優れる。

特許出願人　富士写真フィルム株式会社手続補正書（方
帽 昭和６０年！月シＺ日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、
   （ｂ）分子中に下記一般式（ I ）で示される酸により
   分解し得るシリルエーテル基を少なくとも１個有する化
   合物、及び（ｃ）活性光線の照射によりラジカル禁止種
   を発生し、（ａ）から発生した酸又は酸前駆体のラジカ
   ル種を捕捉し得る化合物、を含有する光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ）