JPS6031102B2 - 集積回路パツケージおよびその製作方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 この発明は、一般的には、集積回路パッケージに関する
ものであり、より特定的には、セラミックのデュアルイ
ンーラィンパッケージを封止するための方法および構造
に関するものである。

多くの種類の回路パッケージ構造が先行技術において知
られている。その課題は、経済的に製作でき、かつ高度
の機械的および電気的完全さを備えたパッケージを提供
することであった。最近、「サーデイツプ（ｃｅｒｄｉ
ｐ）」パッケージとして知られる特殊なデュアルインー
ラィンセラミック回路パッケージが特に有用で、信頼性
のあることがわかった。本質的には、このようなパッケ
ージは、集積回路チップを保持するセラミックベース・
ベース上にスクリーン処理されたりードガラス層、リー
ドガラス上に装着されたりードフレーム、ならびにガラ
ス層およびリードフレーム上にボンドされたセラミック
の蓋を含む。このようなパッケージの機械的性能は優れ
ているが、セラミックの蓋をガラス層およびリードフレ
ームにボンドする際に、４５０００なし、し４６５００
の熱を受ける必要があるため、収納された回路の完全性
については、かなり悪影響を受けていた。それゆえに、
この発明の目的は、改良された集積回路パッケージおよ
びそのようなパッケージを製作する改良された方法を提
供することである。

この発明の他の目的は、集積回路に悪影響を与えること
のない温度で、セラミックデュアルィンーラィン構造を
封入することである。この発明の他の目的は、パッケー
ジされた回路に、悪影響を与えることのない温度で封入
できるように、「サーデイツプ」型のセラミックデュア
ルインーラインパッケージを修正することである。発明
の概要 この発明のこれらのおよび他の目的ならびに利点は、析
出工程と加熱封止工程との組合わせによって達成される
。

集積回路チップを受入れるために、まず、セラミックベ
ースが準備される。次に、第１のリードガラス層がセラ
ミックベースに析出され、かつリードフレームがリード
ガラス上に設けられる。次に、ガラス層および金封止リ
ング層がセラミック窓フレームの一方側に与えられる。
第２のリードガラス層が、次に、セラミック窓フレーム
の他方側に与えられかつ固定される。得られた窓フレー
ムアセンブリが、次に、２個のりードガラス層を一体的
に溶融することによって、リードフレーム上にボンドさ
れる。集積回路チップは、次に、リードフレームと接続
状態に置かれ、キャップが金一錫はんだを用いて窓にボ
ンドされる。好ましい実施例の説明 図面は、この発明の好ましい実施例の集積回路パッケー
ジの分解斜視図である。

図面に示すように、この発明の好ましい実施例の集積回
路パッケージは、セラミックベース１１、集積回路チッ
プ付着用パッド１３、第１のリードガラス層１５、およ
び第１のリードガラス層１５に装着されるリードフレー
ム１７を含む。リードガラス層１９、窓フレーム２１、
ガラス層２３および金封止リング２５からなる中間アセ
ンブリ１８が、リードフレーム１７にボンドされる。こ
の中間アセンブリー８は集積回路チップ３３を囲む。集
積回路チップ３３は、集積回路チップ付着用パッド１３
にボンドされかつリードフレーム１７に接続される。パ
ッケージは、金一錫はんだリングプレフオーム２７によ
って、金封止リング２５にボンドされたキャップ２９に
より閉じられる。この発明の好ましい実施例のプリント
回路パッケージを製作するに際し、集積回路チップ付着
用パッド１３が、まず、セラミックベース１１に与えら
れる。

次に、リードガラス層１５がセラミックベース１１にス
クリーン印刷されかつ空気焼成され、集積回路チップ３
３を接続するための穴１６を残す。従来の技術に基づい
て形成されるＩＪ−ドフレーム１７が、次に、スクリー
ン印刷されたりードガラス層１５の上に位置決めされ、
所定位置へ、溶融することによって、取付けられる。次
に、先行技術の場合のように集積回路チップ上でセラミ
ックの蓋を溶融するよりもむしろ、中間アセンブリー８
が製作される。この作業において、ガラス層２３が窓２
２のまわりにスクリーン印刷されかつ空気焼成される。
次に、純金封止１′ング２５がガラス層２３にスクリー
ン印刷されかつ空気焼成される。最終的には、リードガ
ラス層１９が窓フレーム２１にスクリーン印刷されかつ
アセンブリ１８全体が再び空気焼成される。得られた窓
フレームアセンブリ、すなわち、中間アセンブリ１８は
、フレ−ム２１と、３個の層１９，２３および２５とを
含み、リードフレーム１７を越えてベース１１にボンド
される。リードガラス層１９がリードフレーム１７上に
置かれかつ熱が加えられてリードガラス層１５および１
９を溶融する。リードガラスの溶融の際、温度を４８０
００から６００ｑｏに保つことが重要である。さもなけ
れば、失透およびガラス流動性の損失を生じる。上述の
ように、これまでに詳細を述べたすべての作業は、空気
雰囲気中において行なってもよい。これらの作業の後、
集積回路チップ３３は、パッド１３に対しごしごしこす
ることによって穴１６，２０および２２を通して装着さ
れ、かつリードフレ−ムー７の露出したりード３１に接
続される。

チップが所定位置にある状態で、はんだのりングプレフ
オーム２７がスクリーンされた金封止リング２５に置か
れ、かつキャップ２９がはんだリング２７上に置かれる
。次に、パッケージが窒素雰囲気内で３２０ｑ０の温度
で加熱される。熱損失を許容しながら、パッケージ温度
がそれによって金一錫合金の融点、公称的には２８００
０に上昇される。この温度において、はんだリング２７
が溶融し、キャップ２９と金封止リング２５との間に密
封封止を形成し、チップ３３上の集積回路に対しては重
大な悪影響を与えることはない。パッケージのいくつか
の構造的な特徴が注目に価する。

好ましい実施例では、キャップ２９は金めつきされたコ
バールである。もし所望すれば、キャップもまたセラミ
ック材料で製作することができよう。さらに、ガラス、
金、金−錫封止を用いると、金がセラミックによく付着
しないという事実、および金一錫合金が純粋の金に最も
よく付着するという事実に適用させることができる。特
定のパッケージ状構造ならびにプリントおよび加熱工程
の組合せ全体として、商業的にも通した回路パッケージ
を提供する。明らかなように、この発明の好ましい実施
例の構造および技術の変形が、この発明の範囲から逸脱
することなく、当該技術分野の通常の知識を有するもの
によって可能である。

それゆえに、前掲の特許請求の範囲内において、この発
明は特定的に述べられた以外の態様でも実施可能である
ことを理解すべきである。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の好ましい実施例の集積回路パッケージ
の分解斜視図である。 図において、１１はセラミックベース、１３は集積回路
チップ付着用パッド、１５，１９はリードガラス層、１
６，２０は孔、１７はリードフレーム、２１は窓フレー
ム、２２は窓、２３はガラス層、２５は金封止リング、
２７はプレフオーム、２９はキャップ、３１はリード、
３３は集積回路チップ、および１８は中間アセンブリを
示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 集積回路チツプを装着するためのセラミツクベース
   と、前記セラミツクベース上に選択的にに付着固定され
   る第１のリードガラス層と、選択された第１の範囲の温
   度で前記第１のリードガラス層上の所定位置で、溶融す
   ることにより取り付けられるリードフレームと、前記セ
   ラミツクベース上に装着された前記集積回路チツプを、
   前記第１の範囲の温度よりも相対的に低い第２の範囲の
   温度で、被覆部材によつて封入する封入手段とを備え、
   前記封入手段は、 前記セラミツクベースの上側表面と実質的に同一の拡が
   りを持つセラミツク窓フレームを備え、前記セラミツク
   窓フレームは、前記セラミツクベース上でのかつ前記選
   択された第１の範囲の温度での溶融によつて平坦なプレ
   ーナ表面を実現して、前記セラミツクベース上の前記所
   定位置に前記リードフレームを維持し、かつ前記リード
   フレームの全表面を実質的に覆う保護層を与え、前記セ
   ラミツク窓フレームには、前記集積回路チツプを装着で
   きる大きさの窓が、その中心部に形成されており、前記
   封入手段はさらに、 前記セラミツク窓フレームの下側に選択的に付着される
   第２のリードガラス層を備え、前記第２のリードガラス
   層は、前記セラミツクベースの前記上側表面に前記セラ
   ミツク窓フレームを固定して、前記セラミツク窓フレー
   ムと前記セラミツクベースの前記上側表面との間に前記
   リードフレームを挾持し、前記封入手段はさらに、 前記集積回路チツプの電気的完全性を保護するように、
   前記相対的に低い第２の範囲の温度で、前記セラミツク
   窓フレームの前記窓上の前記被覆部材を溶融する手段を
   備え、前記溶融手段は、前記セラミツク窓フレームの上
   側で、前記窓の周囲を取囲みかつ前記窓に隣接するよう
   に付着固定される金リング層を含む、集積回路パツケー
   ジ。 ２ 集積回路パツケージの製作方法であつて、前記パツ
   ケージは、集積回路チツプを装着するためのセラミツク
   ベースと、前記セラミツクベース上に選択的に付着固定
   される第１のリードガラス層と、前記リードガラス層上
   の所定位置で溶融することにより取り付けられるリード
   フレームとを備え、次のステツプ、すなわち 前記セラミツクベースの上側表面と実質的に同一の拡が
   りを持つセラミツク窓フレームを形成するステツプと、
   前記集積回路チツプを装着できる大きさの窓を、前記セ
   ラミツク窓フレームの中心部に形成するステツプと、前
   記セラミツク窓フレームの下側に、第２のリードガラス
   層を選択的に付着するステツプと、前記セラミツク窓フ
   レームの上側の前記窓の周囲に金リング層を付着するス
   テツプとによつて、中間窓フレームアセンブリを形成す
   るステツプと、前記セラミツクベースの前記上側表面に
   付着された前記第１のリードガラス層上の所定位置に溶
   融することにより取り付けられた前記リードフレーム上
   に、前記中間窓フレームアセンブリを位置決めし、それ
   によつて前記リードフレームが、前記窓を通じて装着さ
   れる前記集積回路と電気的に接続され得るように、前記
   セラミツク窓フレームの前記窓を位置決めするステツプ
   と、選択された第１の範囲の温度で前記第１および前記
   第２のリードガラス層を一緒に溶融し、それによつて前
   記第１および前記第２のリードガラス層の間に前記リー
   ドフレームを挾持するステツプと、前記リードフレーム
   と適当に電気的に接続するように、前記セラミツクベー
   ス上に前記集積回路を固定し、前記集積回路チツプの電
   気的完全性を保護するように、前記第１の範囲の温度よ
   りも相対的に低い第２の範囲の温度で被覆手段を前記金
   リング上に固着して、前記集積回路チツプを封入するス
   テツプとを備える、集積回路パツケージの製作方法。 ３ 前記金リング層にはんだリングプレフオームを付着
   するステツプと、前記はんだリングプレフオーム上にキ
   ヤツプを位置決めするステツプと、窒素雰囲気内で前記
   パツケージを前記第２の範囲の温度に加熱し、前記キヤ
   ツプを前記金リング層に密封止するステツプとをさらに
   備える、特許請求の範囲第２項記載の集積回路パツケー
   ジの製作方法。 ４ 前記第１の範囲の温度は４８０度ないし５００度で
   あり、前記第２の範囲の温度は約３２０度前後の温度で
   ある。 特許請求の範囲第３項記載の集積回路パツケージの製作
   方法。