JPS6018229B2 - 自動水洗装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、自動水洗装置に関する。

一般に半導体装置の製作にあたっては、シリコンウェー
ハ等の被処理物にフオトェッチングを行なって所望のパ
ターンの拡散用マスクを設けたのち拡散不純物を熱拡散
して素子能動領域となるＰＮ接合を得るウェーハ処理を
行なう必要があるが、熱拡散処理を行なうにあたっては
、シリコンゥェーハ等の被処理物表面には塵芥や有害な
コンタミネーションが存在しないようにしておき、それ
らによるデバイスの特性劣化や不良発生を未然に防ぐ必
要がある。

しかしながら、従来のこの種のウェーハ処理においては
、シリコンウェーハ等の被処理物をフオトェッチングし
たのちの薬品処理後のものを水洗したのち、ただちに乾
燥を行なって熱拡散処理作業を行なうまで被処理物を窒
素雰囲気中の保管箱に保管しておくか、あるいは水洗後
の被処理物を水中に保管しておき、熱拡散処理作業を行
なう際に被処理物を水中から取り出して乾燥を行なって
いるものである。

そのため、前者の方法では、保管中に外気に含まれてい
るチリやホコリそれに浮遊している有害な不純物が被処
理物に付着するという問題がある。また、後者の方法は
、第１図に図示するように、フオトェッチングされた被
処理物１を搬送機２を用いて薬品槽３にチャージし、数
個の薬品槽３〜５によって薬品処理を行なったのち、水
洗槽６にチャージしてこれまた数個の水洗槽６〜８によ
って水洗を行なったのち、搬送機９によって水中保管槽
１０に被処理物１を入れて、これを水中保管しておくと
いうものである。そのため、この種の装置は、数個の水
洗槽６〜８と、順次搬送されてくる被処理物１を保管し
ておくための大きなスペースを要する水中保管槽１０を
必要とするため規模の大きなものであると共に、水中保
管槽１０内で汚染されやすい。また人手による被処理物
１の搬送作業をどうしても必要とすること等のため、処
理所要時間の短縮、省力化という面より合理化を行なう
必要があるものである。それゆえ、本発明の目的は、上
述したような諸欠点を解消し、常にクリーンな被処理物
を得るための水洗と保管を無人化操業をもって行ない、
しかもコンパクトを自動水洗装置を提供することにある
。

このような目的を達成するために本発明においては、水
洗槽と水中保管槽とを１つの槽によって兼備させ、被処
理物の取り扱かいや搬送を機械化した自動水洗装置とす
るもので、以下、本発明の一実施例である自動水洗装置
を図面を参照しながら詳述する。

第２図は、本発明にかかる自動水洗装置を薬品処理装置
に付設したものを示す概略図であり、第３図は本発明に
かかる自動水洗装置を示す平面図、第４図は第３図にお
けるＡＡ′失視断面図を示すものである。

本発明にかかる自動水洗装置１１は、外槽１２に内槽１
３がセットされており、この内槽１３には、被処理物１
を間欠搬送する搬送装置１４が設けられている。

この搬送装置１４は、駆動モータ１５からベルト１６を
介して回転する駆動論１７と、この駆動論１７により内
槽１３の長手方向に被処理物１を直線搬送するベルトコ
ンベア１８とから構成されている。また、このベルトコ
ンベア１８に薬品処理された被処理物１が搬送機２をも
って敦層されると、ベルトコンベア１８が所定量移送す
るために駆動モータ１５を動作させるための信号源とし
て被処理物の有無を検出するフオトトランジスタ１９が
ｏーダ側に設けられ、アンローダ側にも被処理物１が搬
送されてきたことを検出するフオトトランジスタ２０が
設けられている。一方、外槽１２には、洗練水２１が流
入されており、これが外槽１２をオーバフローした際、
流出させるドレィン２２が外槽１２の片側に設けられて
いる。また、この外槽１２内には、被処理物１が水洗縦
される際に窒素ガスの気泡が噴出する窒素バブリング拾
具２３が設けられている。したがって本発明にかかる自
動水洗装置１１は、被処理物１の有無検出用フオトトラ
ンジスタ１９にて被処理物１がチャージされたことを確
認して駆動モータ１５がタイム設定時間だけ回転し、被
処理物１を搬送するベルトコンベア１８を間欠駆動し被
処理物１を複数個、外槽１２にプールする。この時、窒
素をパージして被処理物１の水洗液を行なう。そして、
複数個移送チャージされたことを確認するには、満杯検
出用フオトトランジスタ２０にて、ブザーとかパイロッ
トランプ等の警報器を動作ごせて行なうことができる。
この間の無人化継続時間は、アンローダの全長すなわち
外槽１２の長手方向を適度に選択することにより、時間
の延長が計れると共に、この時間は、被処理物１の水中
での保管時間として利用できるものである。それゆえ、
本発明にかかる自動水洗装置１１は、薬品処理後の被処
理物１を水洗糠しながら、かつ水中に保管しておくこと
ができるもので、従来のような数個の水洗槽と水中保管
槽それにそれらの間を被処理物を搬送する搬送機が不要
となる。

そのため、コンパクトで場所をとらず、無人化の作業を
もって洗練効果の大なる水洗ができ、保管中に彼処理物
が汚染されることない（保管中の水は外槽１２の下方か
ら上方に向かっており、オーバフローして流出されてい
ることにより、被処理物は常に新鮮な水によって保管さ
れていることになる）。本発明は、上述した実施例に限
定されず、種々の態様の自動水洗装置とすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従釆の薬品処理、水洗処理、水中保管槽を示す
概略図、第２図は本発明にかかる自動水洗装置を薬品処
理装置に付設したものを示す概略図、第３図は本発明に
かかる自動水洗装置を示す平面図、第４図は第３図のＡ
Ａ′矢視断面図である。 １・・・・・・被処理物、２，９・…・・搬送機、３〜
５・・・・・・薬品槽、６〜８・・・・・・水洗槽、１
０・・・・・・水中保管槽、１１・・・・・・本発明に
かかる自動水洗装置、１２・・・・・・外槽、１３・・
・・・・内槽、１４・・・・・・搬送装置、１５・・・
・・・駆動モータ、１６・・・・・・駆動ベルト、１７
・・・・・・駆動輪、１８・・・・・・ベルトコンベア
、１９，２０．．・．．・フオトトランジスタ、２１・
・・・・・洗液水、２２・・・・・・ドレィン、２３・
・・・・・窒素バブリング拾具。 第１図第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 水が下方から流入し、上方においてオーバフローさ
   れている水槽内に被処理物を間欠搬送する搬送装置と水
   槽内の水に窒素バブルを発生させるバブリング治具とが
   装備され、水槽のローダおよびアンローダ部に被処理物
   の存在を検知する検出器が具備されてなり、水槽内で被
   処理物を水洗すると共に所定期間保管しておくことを特
   徴とする自動水洗装置。