JPS6040321A - ウエハ−収納容器搬送装置 - Google Patents
ウエハ−収納容器搬送装置Info
- Publication number
- JPS6040321A JPS6040321A JP14690783A JP14690783A JPS6040321A JP S6040321 A JPS6040321 A JP S6040321A JP 14690783 A JP14690783 A JP 14690783A JP 14690783 A JP14690783 A JP 14690783A JP S6040321 A JPS6040321 A JP S6040321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- transport
- jet
- stream
- transport path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｉ、ＳＩ製造工程中の拡散工程に１月いられ
るウェノ・−収納容器（以下キャリアと呼ぶ）を純水流
により純水完全浸漬下で搬送する装置に関するものであ
る。
るウェノ・−収納容器（以下キャリアと呼ぶ）を純水流
により純水完全浸漬下で搬送する装置に関するものであ
る。
従来、キャリア搬送はクリーンル−ム内で露出のまま行
なわれていたが、その際１機械白り摺動部や人体から生
ずる塵埃が付着し、そＱ）ためにウェハーに多大なる影
＊’を与えるという欠点があった。
なわれていたが、その際１機械白り摺動部や人体から生
ずる塵埃が付着し、そＱ）ためにウェハーに多大なる影
＊’を与えるという欠点があった。
本発明はかかる従来の欠点を除くことをその目的とし、
純水の噴流で搬送台金浮かせ、その上にキャリアを置き
純水完全浸漬下で、純水がオーバーフローしている搬送
路全純水一様流によって搬送することにより、上記欠点
全除去するものである。
純水の噴流で搬送台金浮かせ、その上にキャリアを置き
純水完全浸漬下で、純水がオーバーフローしている搬送
路全純水一様流によって搬送することにより、上記欠点
全除去するものである。
以下不発明の実施例について第１図乃至第３図？用いて
詳細に説明する。第２図に示すように。
詳細に説明する。第２図に示すように。
キャリア１を置いた搬送台２は、第１図（／Ｊような搬
送路底部の噴出口３から出る純水噴流４により。
送路底部の噴出口３から出る純水噴流４により。
搬送路底部かられずかに浮き上がる。そして搬送方向に
流れる一様純水流５の圧力により純水完全浸漬下でキャ
リアを搬送する。搬送路６はオーバーフロ一槽７になっ
ており、常に新しい純水が噴出口３より供給され、オー
バーフローしている。
流れる一様純水流５の圧力により純水完全浸漬下でキャ
リアを搬送する。搬送路６はオーバーフロ一槽７になっ
ており、常に新しい純水が噴出口３より供給され、オー
バーフローしている。
＠３図はこの様子ヲ断面側から見たものである。
不発明において、テフロン等のガイドを搬送路に取り付
け、キャリア全溝らかに搬送させたり。
け、キャリア全溝らかに搬送させたり。
下方からの純水噴流の量を制御することにより、をキャ
リアのみならず、何枚のウェハーが入っていても関係な
く搬送することが可能である。
リアのみならず、何枚のウェハーが入っていても関係な
く搬送することが可能である。
このように本発明にはキャリアが純水完全浸漬下で外気
と触れる仁となく搬送されることにより。
と触れる仁となく搬送されることにより。
他の機械的摺動等によって発生する塵埃の付着を防ぐと
いう利点がある。
いう利点がある。
本発明社、以上説明した如く、完全純水浸漬下のオーバ
ーフロ一槽である搬送路内において搬送を行なうことか
ら、外気中に含まれる塵埃が付着せずに搬送を可能とす
る搬送装置全提供しうるものである。
ーフロ一槽である搬送路内において搬送を行なうことか
ら、外気中に含まれる塵埃が付着せずに搬送を可能とす
る搬送装置全提供しうるものである。
さらに１本発明は、］般送送に、以前に付着していた塵
埃を純水噴流と純水一様流の混流により除去する効果が
ある。
埃を純水噴流と純水一様流の混流により除去する効果が
ある。
第１図乃至第３図は各々本発明の実施例の水が噴出する
前の平面図、水が噴出した後の平面図及びその断面図、
である。 なお図において、 １・・・・・・搬送台、２・・・・・キャリア、３・・
・中綿水噴出０．４・・・・・・純水一様流、５川・・
・搬送路、６・・・−・ｍ水オー／（−７ｏ、 ７・・
・・・・オーバー７０−信。 である。 代理人 弁理士 内 Ｊｐ、 晋
前の平面図、水が噴出した後の平面図及びその断面図、
である。 なお図において、 １・・・・・・搬送台、２・・・・・キャリア、３・・
・中綿水噴出０．４・・・・・・純水一様流、５川・・
・搬送路、６・・・−・ｍ水オー／（−７ｏ、 ７・・
・・・・オーバー７０−信。 である。 代理人 弁理士 内 Ｊｐ、 晋
Claims (1)
- 搬送路と搬送台とから成り、ウニ／Ｓ−収納容器を搬送
路底部から噴出する純水噴流によって浮上させられた搬
送台の上に匝き、純水完全浸漬下で純水一様流にｊつて
オーツ（−フローしている搬送路を搬送することを特徴
とするウエノ・−収却３容＠ま搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14690783A JPS6040321A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | ウエハ−収納容器搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14690783A JPS6040321A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | ウエハ−収納容器搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6040321A true JPS6040321A (ja) | 1985-03-02 |
Family
ID=15418265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14690783A Pending JPS6040321A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | ウエハ−収納容器搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544928A (en) * | 1993-12-20 | 1996-08-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Mounting structure of sun visor for automobile |
-
1983
- 1983-08-11 JP JP14690783A patent/JPS6040321A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544928A (en) * | 1993-12-20 | 1996-08-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Mounting structure of sun visor for automobile |
| US5653496A (en) * | 1993-12-20 | 1997-08-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Mounting structure of sun visor for automobile |
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