JPS6132888Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6132888Y2 JPS6132888Y2 JP1981074192U JP7419281U JPS6132888Y2 JP S6132888 Y2 JPS6132888 Y2 JP S6132888Y2 JP 1981074192 U JP1981074192 U JP 1981074192U JP 7419281 U JP7419281 U JP 7419281U JP S6132888 Y2 JPS6132888 Y2 JP S6132888Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- wafer
- photoresist
- semiconductor wafer
- belt body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、フオトレジストの塗布装置等にお
いて半導体ウエフアを送るために用いるウエフア
搬送用ベルトに関するものである。
いて半導体ウエフアを送るために用いるウエフア
搬送用ベルトに関するものである。
上記のような半導体ウエフアの加工装置におい
ては、ウエフアを１枚ずつ順次移送しつつ加工を
行なうが、このため搬送用ベルトやエアーベアリ
ング等が用いられる。
ては、ウエフアを１枚ずつ順次移送しつつ加工を
行なうが、このため搬送用ベルトやエアーベアリ
ング等が用いられる。
従来のウエフア搬送用ベルトは第１図に示すよ
うにゴムや合成樹脂等の弾力性を有する材料より
なる断面円形のベルト１を１対平行に配設して用
いていた。しかし、このような従来のベルトは断
面が円形であるため搬送に際して半導体ウエフア
の保持が不安定であり、たとえ両側にガイドを設
けたとしても半導体ウエフアがベルトの進行方向
から逸脱してこれを損傷させるおそれがあつた。
またこのベルト１は上面が線で半導体ウエフアを
支持する状態にあるので、搬送しようとするウエ
フアとの接触面積が狭く、この狭い面積でウエフ
アの重量を支えるためウエフア上に塗布されたフ
トレジスト層を傷つけ易く、また塗布されたフオ
トレジストがベルト１に付着して剥離したり、厚
さを減少させたりして製造歩留りを低下させてい
る。同時に接触面積の狭いことによる機械的摩耗
とフオトレジストが付着することによる化学的摩
耗が加わりベルト１自身の寿命を短かくす。欠点
があつた。
うにゴムや合成樹脂等の弾力性を有する材料より
なる断面円形のベルト１を１対平行に配設して用
いていた。しかし、このような従来のベルトは断
面が円形であるため搬送に際して半導体ウエフア
の保持が不安定であり、たとえ両側にガイドを設
けたとしても半導体ウエフアがベルトの進行方向
から逸脱してこれを損傷させるおそれがあつた。
またこのベルト１は上面が線で半導体ウエフアを
支持する状態にあるので、搬送しようとするウエ
フアとの接触面積が狭く、この狭い面積でウエフ
アの重量を支えるためウエフア上に塗布されたフ
トレジスト層を傷つけ易く、また塗布されたフオ
トレジストがベルト１に付着して剥離したり、厚
さを減少させたりして製造歩留りを低下させてい
る。同時に接触面積の狭いことによる機械的摩耗
とフオトレジストが付着することによる化学的摩
耗が加わりベルト１自身の寿命を短かくす。欠点
があつた。
この考案は上記の欠点を除去し、ベルト本体と
して断面において上部が略方形をなすとともに下
部が略円形をなすものを用いその上面にテフロン
層を形成することにより、半導体ウエフアの保持
が安定でウエフア並びにウエフア上に塗布された
フオトレジスト層を損傷させることが少なくベル
ト自身の寿命も長期化することのできるウエフア
搬送用ベルトを提供することを目的とする。
して断面において上部が略方形をなすとともに下
部が略円形をなすものを用いその上面にテフロン
層を形成することにより、半導体ウエフアの保持
が安定でウエフア並びにウエフア上に塗布された
フオトレジスト層を損傷させることが少なくベル
ト自身の寿命も長期化することのできるウエフア
搬送用ベルトを提供することを目的とする。
以下図面を参照してこの考案の一実施例を説明
する。
する。
第２図において１１は例えば弗素系ゴムのよう
な弾力性のある材料で構成され、断面において上
部が略方形をなし下部が略円形をなすベルト本体
であり、少くともその上面にテフロン層１２をコ
ーテイングして形成したものである。テフロン層
１２は、ベルト本体１１の両側面にまで延長して
形成されている。
な弾力性のある材料で構成され、断面において上
部が略方形をなし下部が略円形をなすベルト本体
であり、少くともその上面にテフロン層１２をコ
ーテイングして形成したものである。テフロン層
１２は、ベルト本体１１の両側面にまで延長して
形成されている。
テフロン層１２を有するベルト本体１１は無端
ベルトとして構成され、図示しない１対のプーリ
ー間に張設され同一構造のものを２本平行に配設
する。図中２点鎖線で示した１３は半導体ウエフ
アを示している。
ベルトとして構成され、図示しない１対のプーリ
ー間に張設され同一構造のものを２本平行に配設
する。図中２点鎖線で示した１３は半導体ウエフ
アを示している。
この考案のベルトは以上の構成を備えているの
で、プーリを回転させることによりベルトを移動
させればその上に載置された半導体ウエフア１３
を容易に一端より他端に搬送することができる。
で、プーリを回転させることによりベルトを移動
させればその上に載置された半導体ウエフア１３
を容易に一端より他端に搬送することができる。
この際、ベルト本１１の上部が略方形状をなし
ているので垂直方向にある程度厚味があり半導体
ウエフア１３の重量が加つても垂直方向に若干圧
縮されるのみで断面形状に著しい変形はなく、か
つベルト本体１１はプーリーに設けた比較的深さ
の深い溝中に収容されることになるのでこの溝の
垂直面によりベルト本体１１の両側面が規制され
るためベルト本体１１が長手方向に対する垂直面
を溝の弧面に沿つて滑るため捩れるようなおそれ
がなくベルト本体１１の上面を水平に保ち得ると
ともに比較的広い支持面を備えているので、半導
体ウエフア１３の保持が安定であり、両側に設け
たガイド等と相まつて進行方向に支障なく搬送で
き、半導体ウエフア１３を損傷させることがな
い。
ているので垂直方向にある程度厚味があり半導体
ウエフア１３の重量が加つても垂直方向に若干圧
縮されるのみで断面形状に著しい変形はなく、か
つベルト本体１１はプーリーに設けた比較的深さ
の深い溝中に収容されることになるのでこの溝の
垂直面によりベルト本体１１の両側面が規制され
るためベルト本体１１が長手方向に対する垂直面
を溝の弧面に沿つて滑るため捩れるようなおそれ
がなくベルト本体１１の上面を水平に保ち得ると
ともに比較的広い支持面を備えているので、半導
体ウエフア１３の保持が安定であり、両側に設け
たガイド等と相まつて進行方向に支障なく搬送で
き、半導体ウエフア１３を損傷させることがな
い。
またベルト本体１１の支持面は平面状をなし比
較的幅の広いものであるから長期間使用しても摩
耗等により変形することが少いので寿命を長期化
することができる。
較的幅の広いものであるから長期間使用しても摩
耗等により変形することが少いので寿命を長期化
することができる。
しかもこのベルトはベルト本体１１の上面にテ
フロン層１２が形成されているのでこの上に載置
されたものとの間で相互に付着することがない。
例えば半導体ウエフア１３の一方の面にフオトレ
ジストを塗着し、これを裏返して他方の面に再び
フオトレジストを塗着しようとするような場合
に、フオトレジスト塗着面がベルト本体１１の側
となつてもこのテフロン層１２によつて付着を阻
止されるのでフオトレジスト層を傷めることがな
い。
フロン層１２が形成されているのでこの上に載置
されたものとの間で相互に付着することがない。
例えば半導体ウエフア１３の一方の面にフオトレ
ジストを塗着し、これを裏返して他方の面に再び
フオトレジストを塗着しようとするような場合
に、フオトレジスト塗着面がベルト本体１１の側
となつてもこのテフロン層１２によつて付着を阻
止されるのでフオトレジスト層を傷めることがな
い。
しかも、この考案のベルトはテフロン層１２を
単にベルト本体１１の上面に設けたにとどまら
ず、これをベルト本体１１の両側面にまで延長し
て形成し、ホトレジストがベルト本体１１の側面
に垂れて付着し、これが次順位以降のウエフア１
３に付着してそのホトレジスト層の質を低下させ
ることがないように配慮されている。したがつて
単時間に半導体ウエフア１３の両面にフオトレジ
スト層を形成することができる。
単にベルト本体１１の上面に設けたにとどまら
ず、これをベルト本体１１の両側面にまで延長し
て形成し、ホトレジストがベルト本体１１の側面
に垂れて付着し、これが次順位以降のウエフア１
３に付着してそのホトレジスト層の質を低下させ
ることがないように配慮されている。したがつて
単時間に半導体ウエフア１３の両面にフオトレジ
スト層を形成することができる。
なお、この考案は上記実施例に限定されるもの
ではなく要旨を変更しない範囲において種々変形
して実施することができる。
ではなく要旨を変更しない範囲において種々変形
して実施することができる。
上記実施例においてはベルト本体１１に弗素系
ゴムを用いた場合を示したが、弾力性のある材料
であれば他のゴムあるいは合成樹脂、場合によつ
てはステンレス等の金属を利用することができ
る。
ゴムを用いた場合を示したが、弾力性のある材料
であれば他のゴムあるいは合成樹脂、場合によつ
てはステンレス等の金属を利用することができ
る。
以上述べたようにこの考案によれば、ベルト本
体として断面において上部が略方形をなすととも
に下部が略円形をなすものを用いその上面にテフ
ロン層を形成することにより、半導体ウエフアの
保持が安定でウエフア並びにウエフア上に塗布さ
れたフオトレジスト層を損傷させることが少なく
ベルト自身の寿命も長期化することのできるウエ
フア搬送用ベルトを提供することができる。
体として断面において上部が略方形をなすととも
に下部が略円形をなすものを用いその上面にテフ
ロン層を形成することにより、半導体ウエフアの
保持が安定でウエフア並びにウエフア上に塗布さ
れたフオトレジスト層を損傷させることが少なく
ベルト自身の寿命も長期化することのできるウエ
フア搬送用ベルトを提供することができる。
第１図は従来のウエフア搬送用ベルトの一例を
示す説明図、第２図はこの考案の一実施例の構成
を示す説明図である。 １……ベルト、１１……ベルト本体、１２……
テフロン層、１３……半導体ウエフア。
示す説明図、第２図はこの考案の一実施例の構成
を示す説明図である。 １……ベルト、１１……ベルト本体、１２……
テフロン層、１３……半導体ウエフア。
Claims (1)
- 断面において上部が略方形をなすとともに下部
が略円形をなし弾力性を有する材料よりなるベル
ト本体と、この本体の上面に形成されるとともに
両側面にまで延長して形成されたテフロン層とを
備えたことを特徴とするウエフア搬送用ベルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981074192U JPS6132888Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981074192U JPS6132888Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57188705U JPS57188705U (ja) | 1982-11-30 |
| JPS6132888Y2 true JPS6132888Y2 (ja) | 1986-09-25 |
Family
ID=29869970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981074192U Expired JPS6132888Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132888Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH068109Y2 (ja) * | 1988-03-31 | 1994-03-02 | 日本バルカー工業株式会社 | ウエハー搬送用ベルト |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55137548U (ja) * | 1979-03-22 | 1980-09-30 |
-
1981
- 1981-05-22 JP JP1981074192U patent/JPS6132888Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57188705U (ja) | 1982-11-30 |
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