JPS63308338A - 半導体基板搬送ベルト - Google Patents
半導体基板搬送ベルトInfo
- Publication number
- JPS63308338A JPS63308338A JP62145823A JP14582387A JPS63308338A JP S63308338 A JPS63308338 A JP S63308338A JP 62145823 A JP62145823 A JP 62145823A JP 14582387 A JP14582387 A JP 14582387A JP S63308338 A JPS63308338 A JP S63308338A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- conveyor belt
- carrier belt
- area
- projections
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Belt Conveyors (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板を搬送する際に使用される搬送ベル
トに関するものである。
トに関するものである。
従来、半導体基板の表面にパターンを形成する際に使用
されるレジスト塗布現像装置や縮小投影露光装置におい
ては、半導体基板を搬送するために第３図および第４図
に示すような搬送ベルトが使用されている。
されるレジスト塗布現像装置や縮小投影露光装置におい
ては、半導体基板を搬送するために第３図および第４図
に示すような搬送ベルトが使用されている。
第３図（ａ 、 ｂ）は従来の半導体基板搬送ベルト（
以下搬送ベルトという）の側面図と断面図、第４図は搬
送ベルトが半導体基板を搬送している状態を示す図であ
る。これらの図において、符号１は半導体基板２を搬送
する搬送ベルトで、この搬送ベルトはシリコンゴムから
なシ、円形断面を有する円環状に形成されている。３．
３は前記搬送ベルト１を張架すると共に、図示しなり駆
動装置に連結され搬送ベルト１を駆動するプーリーで、
この一対のグーＩＪ−３，３は搬送ベルト１が並列にな
るよう軸４．４によってもう一対のプーリーとそれぞれ
連結されている。すなわち、前記搬送ベルト１上に載置
され次子導体基板２は、図示しない駆動装置がグー’）
−３，３を第４図中に示す矢印の方向に回転させ、搬送
ベルト１を駆動することによって、搬送ベルト１の回転
方向へ搬送されることになる。
以下搬送ベルトという）の側面図と断面図、第４図は搬
送ベルトが半導体基板を搬送している状態を示す図であ
る。これらの図において、符号１は半導体基板２を搬送
する搬送ベルトで、この搬送ベルトはシリコンゴムから
なシ、円形断面を有する円環状に形成されている。３．
３は前記搬送ベルト１を張架すると共に、図示しなり駆
動装置に連結され搬送ベルト１を駆動するプーリーで、
この一対のグーＩＪ−３，３は搬送ベルト１が並列にな
るよう軸４．４によってもう一対のプーリーとそれぞれ
連結されている。すなわち、前記搬送ベルト１上に載置
され次子導体基板２は、図示しない駆動装置がグー’）
−３，３を第４図中に示す矢印の方向に回転させ、搬送
ベルト１を駆動することによって、搬送ベルト１の回転
方向へ搬送されることになる。
しかるに、このように構成された搬送ベルトにおいては
、空気中を浮遊する異物等がその表面上に落下すると、
半導体基板の裏面に付着することになシ、このため縮小
投影露光装置内で半導体基板が傾斜し、その表面の平面
度が悪化し焦点ずれを起こすという問題があった。
、空気中を浮遊する異物等がその表面上に落下すると、
半導体基板の裏面に付着することになシ、このため縮小
投影露光装置内で半導体基板が傾斜し、その表面の平面
度が悪化し焦点ずれを起こすという問題があった。
本発明に係る搬送ベルトは、半導体基板が載置される部
位に先端部の面積が基部より狭小に形成された突起を等
間隔おいて設けたものである。
位に先端部の面積が基部より狭小に形成された突起を等
間隔おいて設けたものである。
搬送ベルトは半導体基板を表面の突起によって支承し、
搬送する。
搬送する。
以下、本発明を図に示す実施例により詳細に説明する。
第１図（ａ、ｂ）は本発明に係る搬送ベルトを示す側面
図と断面図、第２図は半導体基板を搬送している状態を
示す図である。
図と断面図、第２図は半導体基板を搬送している状態を
示す図である。
こｎらの図において前記従来例と同一もしくは同等な部
材については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
材については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
符号１１は本発明に係る搬送ベルトで、この搬送ベルト
１１の上側、すなわち半導体基板２が載置される部位に
は突起１２が搬送ベルト１１と一体に等間隔おいて複数
個突設されている。また、この突起１２は本実施例では
略四角錐状に形成されており、その先端部１２ｍは基部
１２ｂより充分小さく形成されると共に、搬送ベルト上
に半導体基板を保持するための摩擦抵抗が得られる面積
をもって形成されている。
１１の上側、すなわち半導体基板２が載置される部位に
は突起１２が搬送ベルト１１と一体に等間隔おいて複数
個突設されている。また、この突起１２は本実施例では
略四角錐状に形成されており、その先端部１２ｍは基部
１２ｂより充分小さく形成されると共に、搬送ベルト上
に半導体基板を保持するための摩擦抵抗が得られる面積
をもって形成されている。
したがって、半導体基板２は搬送ベルト１１の突起１２
上に載置され、駆動装置（図示せず）がブー＋７−３．
３を第２図中に示す矢印の方向へ回転させ、搬送ベルト
１１を駆動することにより搬送ベルト１１の回転力向へ
搬送されることになる。
上に載置され、駆動装置（図示せず）がブー＋７−３．
３を第２図中に示す矢印の方向へ回転させ、搬送ベルト
１１を駆動することにより搬送ベルト１１の回転力向へ
搬送されることになる。
また、搬送ベルト１１の材質を、半導体基板の自重によ
り突起１２の先端部１２＆が弾性的に変形するようなも
のを使用すｎば、搬送ベルト１１上に半導体基板２が載
置された時に先端部１２轟が変形し、半導体基板裏面と
の接触面積が大きくなシ摩擦抵抗が増大するため、半導
体基板の裏面に異物が付着しにくくなるよう先端部１２
息の面積をさらに狭小に形成することができ、かつ搬送
中に半導体基板が位置ずれを起こさずに搬送することが
できる。
り突起１２の先端部１２＆が弾性的に変形するようなも
のを使用すｎば、搬送ベルト１１上に半導体基板２が載
置された時に先端部１２轟が変形し、半導体基板裏面と
の接触面積が大きくなシ摩擦抵抗が増大するため、半導
体基板の裏面に異物が付着しにくくなるよう先端部１２
息の面積をさらに狭小に形成することができ、かつ搬送
中に半導体基板が位置ずれを起こさずに搬送することが
できる。
なお、本実施例では突起１２を略四角錐状に形成した例
を示し次が、このような限定にとられれることなく、円
錐あるいは弾頭形等のような形状に形成しても同等の効
果が得られる。
を示し次が、このような限定にとられれることなく、円
錐あるいは弾頭形等のような形状に形成しても同等の効
果が得られる。
以上説明し次ように本発明によれは、半導体基板が載置
される部位に先端部の面ｆｉか基部より狭小に形成され
た突起を等間隔おいて設けたため、空気中の異物等が突
起の先端部に落下する確率が減少するから、半導体基板
の裏面に付着しにくくなる。したがって、半導体基板を
、その裏面の清浄度を保持させつつ搬送することかでき
、縮小投影露光装置内での焦点ずれを防止することがで
きる０
される部位に先端部の面ｆｉか基部より狭小に形成され
た突起を等間隔おいて設けたため、空気中の異物等が突
起の先端部に落下する確率が減少するから、半導体基板
の裏面に付着しにくくなる。したがって、半導体基板を
、その裏面の清浄度を保持させつつ搬送することかでき
、縮小投影露光装置内での焦点ずれを防止することがで
きる０
第１図（ａｌｂ）は本発明に係る搬送ベルトを示す側面
図と断面図、第２図はＡＰＬ９体基板全基板している状
態を示す図、第３図ｃａ＊ｂ）は従来の搬送ベルトを示
す側面図と断面図、第４図は従来の搬送ベルトが半導体
基板を搬送している状態を示す図である。 ２・・・・半導体基板、１１・拳・―搬送ベルト、１２
・・φ・突起、１２ａ・・・・先端部、１２ｂ−・・・
基部。
図と断面図、第２図はＡＰＬ９体基板全基板している状
態を示す図、第３図ｃａ＊ｂ）は従来の搬送ベルトを示
す側面図と断面図、第４図は従来の搬送ベルトが半導体
基板を搬送している状態を示す図である。 ２・・・・半導体基板、１１・拳・―搬送ベルト、１２
・・φ・突起、１２ａ・・・・先端部、１２ｂ−・・・
基部。
Claims (1)
- その上部に載置された半導体基板を搬送する半導体基板
搬送ベルトにおいて、半導体基板が載置される部位に先
端部の面積が基部より狭小に形成された突起を等間隔お
いて設けたことを特徴とする半導体基板搬送ベルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62145823A JPS63308338A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 半導体基板搬送ベルト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62145823A JPS63308338A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 半導体基板搬送ベルト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308338A true JPS63308338A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15393953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62145823A Pending JPS63308338A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 半導体基板搬送ベルト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308338A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006306593A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 物体の搬送装置 |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP62145823A patent/JPS63308338A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006306593A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 物体の搬送装置 |
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