JP2000318819A - 異物汚染防止搬送ベルト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送物裏面の汚染を防止できるとともに、既
存の製造工程に適用できる搬送ベルトを提供する。 【解決手段】 ベルト３のプーリ２に対向する面はプー
リ２の円弧状溝部に納まり得る円弧状断面形状として現
状の製造工程に適用できるようにし、ベルト３の搬送物
４と対向する面はベルト３の長手方向に沿って複数の突
起を配設して搬送物４が直接ベルト３に面接触しないよ
うにして異物による汚染を防止する。ベルト３にはプー
リ２外周部分と接触する張り出し部分を設けてネジレを
防止することができる。又ベルト材料には耐久性に優れ
たウレタンを使用し、長手方向に溝８や中空部９を設け
てその屈曲性を改善することができる。前記突起の先端
は欠落しにくい形状とし、別物を取り付けるようにして
もよい。本発明にかかるベルト３は、ウエハ搬送装置ほ
かへの使用に適する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送物がベルトに
付着した異物により汚染されることを回避する搬送用の
ベルトに関するものであり、例えば半導体、電子部品、
光学部品、薬品、食料などの搬送に使用されるベルトに
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体、電子部品、光学部品、薬品、食
料などの加工や搬送の間においては、異物汚染による障
害を防ぐため、できるだけ異物との接触機会を回避する
ことが望まれる。１つの例として、ウエハ搬送装置を例
に以下の説明を行う。従来のウエハ搬送ベルトを適用し
たウエハ搬送装置として、例えば図２１は、特公昭６４
−１３３４０号公報に記載されたウエハ搬送装置を示す
平面図である。図において、１は平行して配置される２
本の軸、２は軸１の両端に固定されたプーリ、３はプー
リ間に架けられた断面が丸形の無端のベルト、４はベル
ト３上に載置された搬送物すなわちウエハである。

【０００３】従来のウエハ搬送ベルトを適用したウエハ
搬送装置は上記のように構成され、その動作は、軸１の
いずれか―方を図示しない駆動機構で回転し、それによ
ってベルト３を回転移動させることにより、ベルト３上
に載置されたウエハ４を搬送するものである。

【０００４】上記のような従来のウエハ搬送ベルトを適
用したウエハ搬送装置では、断面が丸形のベルト３にウ
エハ４を載置して搬送するようにしているため、ウエハ
４の裏面とベルト３とが線状に接触し、ベルト３に付着
している異物がウエハ４の裏面に線状に転移してウエハ
４の裏面を汚染するという問題があった。

【０００５】また上記特公昭６４―１３３４０号公報に
は、ベルトの上面に複数の突起を配設して、ベルトとウ
エハの裏面との接触面積を低減することにより、ベルト
に付着した異物がウエハの裏面に転移することを防止し
たウエハ搬送装置について記載されている。図２２に、
そのウエハ搬送装置の平面図（ａ）および縦断面図
（ｂ）を示す。図において、５はベルト３の上面に設け
られた円錐形の複数の突起である。

【０００６】図２２（ｂ）に示されるように、上記の突
起５が配設されたベルト３では、プーリ２に対向する側
のベルトの断面形状は矩形状であり、プーリ２に設けら
れた溝の断面形状も矩形状となっている。従って図２１
に示されるような、従来から多数使用されている溝の断
面形状が円弧状のプーリ２に対して、断面が丸形のベル
ト３に替わり突起５が配設されたベルト３を適用する
と、プーリ２の溝形状と突起５が配設されたベルト３の
形状が適合しないために、プーリ２の回転時に突起５の
配設されたベルト３がプーリ２から外れ、ウエハ４の搬
送が困難となる。突起５が配設されたベルト３を利用す
るためには、従来から多数使用されている溝の断面形状
が円弧状のプーリ２の使用を廃止し、溝の断面形状が矩
形状のプーリ２を新たに製作し、交換する必要がある。
新規プーリ２の製作と新旧プーリの交換には、多大の費
用と労力ならびに期間が要求されるために、図２２に示
される突起５が配設されたベルト３を、既存の半導体製
造工程に適用し展開することは実際上極めて困難であ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように従来技術
による搬送ベルトでは、搬送物の裏面が汚染され易く、
又それを回避するための手段には、特殊なプーリが必要
となる、などの課題があった。

【０００８】本発明は上記のような従来の問題点を解消
するためになされたもので、搬送物の裏面の汚染を防止
できるとともに、既存の製造工程に適用できる搬送ベル
トを提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、所定の間隔を置いて平行に配置された２つの軸と、
その各軸に装着された外周部に円弧状の溝部を有する複
数のプーリと、そのプーリ溝部に架けられて両軸の対応
する位置にあるプーリ間をまたがって張られた複数のベ
ルトとから構成され、いずれかの軸のプーリを駆動する
ことにより、上記複数のベルト上に載置された搬送物を
搬送する装置に使用されるベルトにおいて、そのベルト
のプーリに対向する側は、上記プーリの円弧状溝部に納
まり得る円弧状断面形状であるとともに、ベルトの搬送
物と対向する側には、ベルトの長手方向に沿って複数の
突起を配設してあることを特徴としている。

【００１０】請求項２に記載の本発明にかかるベルト
は、上記プーリ溝部の両外側に位置するプーリ外周部分
と接触する張り出し部分を有することを特徴としてい
る。

【００１１】請求項３に記載の本発明にかかるベルト
は、プーリに対向する側にベルトの長手方向に沿った１
つまたは複数の溝部を有することを特徴としている。

【００１２】請求項４に記載の本発明にかかるベルト
は、ベルトの長手方向に沿った中空部を有することを特
徴としている。

【００１３】請求項５に記載の本発明にかかるベルト
は、上記複数配設した突起の内の一部が、他の突起に比
べて高さが高くなっていることを特徴としている。

【００１４】請求項６に記載の本発明にかかるベルト
は、上記突起の形状が、半球状または半球の一部の形状
であることを特徴としている。

【００１５】請求項７に記載の本発明にかかるベルト
は、長手方向に垂直な面における突起部分の断面形状が
三角形であることを特徴としている。

【００１６】請求項８に記載の本発明にかかるベルト
は、長手方向に垂直な面における突起部分の断面形状
が、円弧状の頂点を有する山形であることを特徴として
いる。

【００１７】請求項９に記載の本発明にかかるベルト
は、材質がウレタンであることを特徴としている。

【００１８】請求項１０に記載の本発明にかかるベルト
は、搬送物と対向する面に、金属またはセラミックで別
途作られた突起部がベルトの長手方向に沿って複数取り
付けられていることを特徴としている。

【００１９】請求項１１に記載の本発明にかかるベルト
は、ウエハ搬送装置に使用されるベルトであることを特
徴としている。

【００２０】そして請求項１２に記載の本発明は、所定
の間隔を置いて平行に配置された２つの軸と、その各軸
に装着された外周部に円弧状の溝部を有する複数のプー
リと、そのプーリ溝に架けられて両軸の対応する位置に
あるプーリ間をまたいで張られた複数のベルトとからな
り、いずれかの軸側のプーリを駆動することにより、前
記複数のベルト上に載置されたウエハを搬送するウエハ
搬送装置において、上記ベルトが請求項１ないし１０の
いずれかに記載のベルトであることを特徴としている。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施の形
態にかかるベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図
である。図２は、図１のＡ１−Ａ１線における縦断面図
である。なお、本図に示す搬送装置の例は、具体的には
ウエハ搬送装置であり、これ以降に示す例も同様であ
る。図１及び図２において、１は平行して配置される２
本の軸、２は軸１の両端に固定されたプーリ、３はプー
リ間に架けられた無端のベルト、４はベルト３上に載置
された搬送物（この場合はウエハ。以下同様。）であ
る。５はベルト３の上面に設けられた突起である。図２
に示すようにベルト３の断面形状は、丸形に突起部が付
随した形状である。ベルト３の断面におけるプーリ２に
対向する側の円弧の半径寸法は、プーリ２の溝部の円弧
の半径寸法以下であり、したがってベルト３は、プーリ
２の溝に納まり得る断面形状をしている。

【００２２】上記のように構成された搬送装置では、搬
送物４はベルト３に設けられた突起上に載置されるため
に、搬送物４の裏面とベルト３が接触する部分は従来の
線状から点状となり、搬送物４の裏面とベルト３が接触
する面積は大幅に減少する。従ってベルト３から搬送物
４の裏面に転移する異物数が減少する。また、ベルト３
のプーリ２に対向する側の断面形状は、従来からのプー
リ２の溝部に納まる形であり、新規のプーリを製作する
ことなく既存の搬送装置に適用することができる。

【００２３】図３は、本発明の第２の実施の形態にかか
るベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図である。
図４は、図３のＡ２―Ａ２線における縦断面図である。
図４において、６はプーリ２の溝部以外の外周部、７は
外周部６に対向するベルト３の張出した部分を示してい
る。

【００２４】上記のように構成された搬送ベルトでは、
ベルト３がプーリ２の回転に応じて駆動する際に、張出
し部７が適宣外周部６に接触することにより、図４中に
矢印で示すベルトのネジレを防止する。このことによ
り、ベルト３の駆動時の姿勢は安定し、搬送物４の裏面
と接触するべルト３の部位は確実に突起５に限定され、
搬送物４の裏面とベルト３の接触する面積は常に最小と
なる。従ってベルト３から搬送物４の裏面に転移する異
物数が減少する状態が保たれる。

【００２５】図５は、本発明の第３の実施の形態にかか
るベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図である。
図６は、図５のＡ３−Ａ３線における縦断面図である。
図６において、８はベルト３のプーリ２に対向する側に
設けられた溝部を示している。

【００２６】上記のように構成された搬送ベルトでは、
ベルト３の材質を耐摩耗性に優れた材質、例えばウレタ
ンなどとする際に生じる以下の課題を克服できる。すな
わち従来の搬送ベルトに用いられる材質は、例えばシリ
コン、バイトンなどであるが、これらに替えて耐摩耗性
に優れた材質、例えばウレタンを用いることにより、 （１）ベルト３の長寿命化 （２）ベルト３が搬送物４またはプーリ２と接触し摩耗
することが原因となる異物の発生抑制 という効果が得られる。しかしながら耐摩耗性に擾れた
材質は、従来から用いられている材質に比べ硬度が高く
屈曲性で劣る。このために例えば、第２の実施の形態に
示すベルト３の材質をウレタンとして従来のプーリ２に
適用すると、図３に示すようにプーリ２に架けるために
はベルト３に過大な張力が必要となり、軸１のいずれか
一方に接続された従来の駆動機構では回転するためのト
ルクが不十分で、プーリ２の回転とベルト３の駆動が不
可能となった。耐摩耗性に優れた材質をベルト３の材質
とするためには、ベルト３が屈曲性を有する構造である
ことが課題となる。

【００２７】第３の実施の形態では、図６に示すよう
に、ベルト３のプーリ２に対向する側に溝部８を設け、
ベルト３の断面積を減少することにより、ベルト３の屈
曲性を増している。従って耐摩耗性に優れた材質をベル
ト３の材質とした際においても、従来と同等の屈曲性を
確保することができる。この結果、耐摩耗性に擾れた材
質をベルト３の材質として従来のプーリ２と駆動機構に
適用し、プーリ２の回転とベルト３の駆動を実現するこ
とができる。なお、ベルト３に複数の溝部８を設けるこ
とにしても、同様の効果を奏する。

【００２８】実際に本実施の形態のベルト３を製作し、
ウエハを搬送した場合のベルト３からウエハの裏面に転
移する異物数が減少する効果を確認した。図７はこの実
験結集を示すグラフであり、図２１に示す従来例でウエ
ハを搬送した際のウエハの裏面異物数と、この従来例の
ベルトを本実施の形態のベルト３に交換してウエハを搬
送した際のウエハの裏面異物数を比較して示している。
本実施の形態のベルト３を用いることにより、ウエハの
裏面異物数は従来の１／２０以下に減少していることが
分る。

【００２９】図８は、本発明の第４の実施の形態にかか
るベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図である。
図９は、図８のＡ４―Ａ４線における縦断面図である。
図９において、９はベルト３に設けられた中空部を示し
ている。

【００３０】上記のように構成されたウエハ搬送ベルト
では、ベルト３に中空部９を設け、ベルト３の断面積を
減少することにより、ベルト３の屈曲性を増している。
従って本実施の形態のベルト３においても第３の実施の
形態と同様に、耐摩耗性に優れた材質をベルト３の材質
として従来のプーリ２と駆動機構に適用し、プーリ２の
回転とベルト３の駆動を実現することができる。

【００３１】図１０は、本発明の第５の実施の形態にか
かるベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図であ
る。図１１は、図１０のＡ５―Ａ５線における縦断面図
である。又図１２は、図１０のＢ−Ｂ線におけるベルト
断面部分を拡大した図である。図１０から図１２におい
て、１０はベルト３に配設された突起で、図１２に示す
ように突起１０の高さｈは突起５の高さＨに対してｈ＜
Ｈとしている。

【００３２】上記のように構成された搬送ベルトでは、
搬送物４が図示しない他の搬送装置から図１０に示す搬
送装置の上方よりベルト３に移載される際に、突起５間
に図中矢印で示す突起１０を設けているために、搬送物
４の裏面は図中破線の矢印で示すベルト３の平坦な部分
に面接触することなく、図中矢印で示す突起１０上に載
置され、図１０に示す搬送装置の下方に向かい搬送され
る。搬送物４が、他の搬送装置から図に示す搬送装置に
乗り移る箇所を通過すると、突起１０の高さｈを突起５
の高さＨに対してｈ＜Ｈとしたので、搬送物４の裏面は
突起５とは点接触するが、突起１０とは非接触の状態を
保つ。従って、搬送物４の裏面とベルト３が点接触する
頻度を抑えた上で、搬送物４が搬送装置間で移載される
際のベルト３と接触する面積を減少したので、ベルト３
から搬送物４の裏面への異物の転移を防止する効果を高
めることができる。

【００３３】上記搬送装置間での移載に際し、搬送物４
とベルト３との接触を回避するには、ベルト３上の突部
５の数を増やし、突部５を密にして両者の直接接触を防
ぐことも考えられるが、こうすると移載が完了した後に
はその増加した数全ての突起５と搬送物４裏面とが接触
することとなり、返って異物による汚染の機会が増すも
のとなることから、上記のような高さの異なる突起１０
を設け、移載時には搬送物４とベルト３との接触を回避
し、移載完了時には搬送物４との間では非接触となるよ
うにしたものである。

【００３４】図１３は、本発明の第６の実施の形態にか
かるベルトのベルト断面部分を示す縦断面図である。図
において、１１はベルト３に配設された突起で、図に示
すように突起１１の形状は半球状である。上記のように
構成された搬送ベルトでは、突起１１の搬送物４の裏面
と接触する部分は半球状のために点となり、搬送物４の
裏面とベルト３が接触する面積は最小限に抑えられる。
さらに図２２に示されるような従来の円錐状の突起５で
は、突起５の鋭利で脆弱な形状の先端が搬送物４の裏面
との接触により欠けて、搬送物４の裏面とベルト３が接
触する面積が増加する恐れや、突起５の欠けた部分が搬
送物４を汚染する異物源となる問題があるが、本発明に
よる突起１１では鋭利な部分が無いために、突起１１の
欠けや変形が防止される。

【００３５】図１４は、本発明の第７の実施の形態にか
かる搬送ベルトのベルト断面部分を示す縦断面図であ
る。図において、１２はベルト３に配設された突起で、
図に示すように突起１２の形状は半球状の一部である。
上記のように構成された搬送ベルトにおいても、本発明
の第６の実施の形態と同様に突起１２の搬送物４の裏面
と接触する部分は点となり、搬送物４の裏面とベルト３
が接触する面積は最小限に抑えられる。さらに突起１２
においても鋭利な部分が無いために、突起１２の欠けや
変形が防止される。

【００３６】図１５は、本発明の第８の実施の形態にか
かるベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図であ
る。図１６は、図１５のＡ６―Ａ６線における縦断面図
である。図１５及び図１６において、１３はベルト３に
配設された突起で、図１６に示すように突起１３の断面
形状は三角形である。上記のように構成された搬送ベル
トにおいても、従来の例にあるようなピン状の脆弱な先
端部分が無く、突起１３の先端を峰状としているために
欠けや変形が防止される。

【００３７】図１７は、本発明の第９の実施の形態にか
かるベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図であ
る。図１８は、図１７のＡ７−Ａ７線における縦断面図
である。図１７及び図１８において、１４はベルト３に
配設された突起で、図１８に示すように突起１４の断面
形状は円弧状の頂点を有する山形である。上記のように
構成された搬送ベルトにおいても、従来の例にあるよう
なピン状の脆弱な先端部分が無く、突起１４の先端を鈍
い峰状としているために欠けや変形が防止される。

【００３８】図１９は、本発明の第１０の実施の形態に
かかるベルトを用いた搬送装置の要部を示す平面図であ
る。図２０は、図１９のＡ８―Ａ８線における縦断面図
である。図１９及び図２０において、１５はベルト３に
配設された突起で、図に示すように突起１５はベルト３
に埋め込まれている。また突起１５はベルト３の材質と
は異なる耐摩耗性に優れた材質から成り、例えば金属ま
たはセラミックから成る。上記のように構成された搬送
ベルトでは、搬送物４の裏面と接触する突起１５を耐摩
耗性に優れた材質としているので、突起１５が搬送物４
の裏面と接触して摩耗し、異物源となることを防止でき
る。なお、本実施の形態では、突起１５はベルト３に埋
め込む構成としたが、突起１５をベルト３に接着または
融着など他の方法により取り付けた構成としてもよい。

【００３９】冒頭で述べたように、以上の詳細説明は主
にウエハ搬送ベルトを対象に行ってきたが、本発明の適
用は、ウエハ搬送装置に限定されるものではない。これ
以外にも、ベルトから転移する異物による汚染が好まし
くない例えばプリント基板などの電子部品、光学部品、
薬品、食品等の搬送装置にも適用することが可能であ
る。

【００４０】

【発明の効果】請求項１に記載の本発明にかかる搬送ベ
ルトによれば、ベルトから搬送物の裏面に転移する異物
数を減少でき、新規のプーリを製作することなく安価に
既存の搬送装置への適用が可能な搬送ベルトを得ること
ができる。

【００４１】請求項２に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、ベルトのネジレを防止できることから搬送
物の裏面とベルトとの接触する面積を常に最小に保つこ
とができ、ベルトから搬送物の裏面に転移する異物数が
減少する状態が保たれる搬送ベルトを得ることができ
る。

【００４２】請求項３に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、ベルトに耐摩耗性に優れた材質を用いるこ
とができ、ベルトの長寿命化とベルトが搬送物またはプ
ーリと接触し摩耗することが原因となる異物の発生を抑
制可能な搬送ベルトを得ることができる。

【００４３】請求項４に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、ベルトに耐摩耗性に優れた材質を用いるこ
とができ、ベルトの長寿命化とベルトが搬送物またはプ
ーリと接触し摩耗することが原因となる異物の発生を抑
制可能な搬送ベルトを得ることができる。

【００４４】請求項５に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、搬送物の裏面とベルトが点接触する頻度を
抑えた上で、搬送物が搬送装置間で移載される際にベル
トと接触する面積を減少したので、ベルトから搬送物の
裏面への異物の転移を防止する効果を高めることが可能
な搬送ベルトを得ることができる。

【００４５】請求項６に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、搬送物の裏面とベルトが接触する面積を最
小限に抑えられることができ、また突起の欠けや変形の
防止が可能な搬送ベルトを得ることができる。

【００４６】請求項７に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、突起の欠けや変形の防止が可能な搬送ベル
トを得ることができる。

【００４７】請求項８に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、突起の欠けや変形の防止が可能な搬送ベル
トを得ることができる。

【００４８】請求項９に記載の本発明にかかる搬送ベル
トによれば、ベルトの長寿命化とベルトが搬送物または
プーリと接触し摩耗することが原因となる異物の発生を
抑制可能な搬送ベルトを得ることができる。

【００４９】請求項１０に記載の本発明にかかる搬送ベ
ルトによれば、突起が搬送物の裏面と接触して摩耗し、
異物源となることを防止可能な搬送ベルトを得ることが
できる。

【００５０】請求項１１に記載の本発明によれば、以上
述べてきた効果を奏する、ウエハ搬送装置に使用される
搬送ベルトを得ることができる。

【００５１】請求項１２に記載の本発明によれば、以上
述べてきた効果を奏する搬送ベルトを備えた、ウエハ搬
送装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態にかかるベルトが
適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図２】 図１に示す搬送装置の縦断面図である。

【図３】 本発明の第２の実施の形態にかかるベルトが
適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図４】 図３に示す搬送装置の縦断面図である。

【図５】 本発明の第３の実施の形態にかかるベルトが
適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図６】 図５に示す搬送装置の縦断面図である。

【図７】 第３の実施の形態にかかるベルトを適用する
ことによる搬送物裏面の異物数の低減効果を示すグラフ
である。

【図８】 本発明の第４の実施の形態にかかるベルトが
適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図９】 図８に示す搬送装置の縦断面図である。

【図１０】 本発明の第５の実施の形態にかかるベルト
が適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図１１】 図１０に示す搬送装置の縦断面図である。

【図１２】 図１０に示す搬送装置のベルトの縦断面図
である。

【図１３】 本発明の第６の実施の形態にかかる搬送ベ
ルトの縦断面図である。

【図１４】 本発明の第７の実施の形態にかかる搬送ベ
ルトの縦断面図である。

【図１５】 本発明の第８の実施の形態にかかるベルト
が適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図１６】 図１５に示す搬送装置の縦断面図である。

【図１７】 本発明の第９の実施の形態にかかるベルト
が適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図１８】 図１７に示す搬送装置の縦断面図である。

【図１９】 本発明の第１０の実施の形態にかかるベル
トが適用された搬送装置の要部を示す平面図である。

【図２０】 図１９に示す搬送装置の縦断面図である。

【図２１】 従来の搬送ベルトを適用したウエハ搬送装
置の要部を示す平面図である。

【図２２】 従来の搬送ベルトを適用したウエハ搬送装
置の要部を示す平面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）であ
る。

【符号の説明】

１ 軸、 ２ プーリ、 ３ ベルト、 ４ 搬送物、
５ 突起、 ６ 外周部、 ７ 張出し部、 ８ 溝
部、 ９ 中空部、 １０−１５ 突起。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 政明 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 村田 貴則 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 石本 聖又 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 島 幸男 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 豊田 陽久 香川県仲多度郡多度津町若葉町12番56号 四国計測工業株式会社内 (72)発明者 森 茂昭 香川県仲多度郡多度津町若葉町12番56号 四国計測工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F024 AA11 AA13 CA06 DA04 5F031 FA01 GA51 HA08

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の間隔を置いて平行に配置された２
   つの軸と、その各軸に装着された外周部に円弧状の溝部
   を有する複数のプーリと、そのプーリ溝部に架けられて
   両軸の対応する位置にあるプーリ間をまたがって張られ
   た複数のベルトとから構成され、いずれかの軸のプーリ
   を駆動することにより、上記複数のベルト上に載置され
   た搬送物を搬送する装置に使用されるベルトにおいて、 そのベルトのプーリに対向する側は、上記プーリの円弧
   状溝部に納まり得る円弧状断面形状であるとともに、ベ
   ルトの搬送物と対向する側には、ベルトの長手方向に沿
   って複数の突起を配設してあることを特徴とするベル
   ト。
2. 【請求項２】 上記ベルトが、上記プーリ溝部の両外側
   に位置するプーリ外周部分と接触する張り出し部分を有
   することを特徴とする、請求項１記載のベルト。
3. 【請求項３】 上記ベルトが、プーリに対向する側にベ
   ルトの長手方向に沿った１つまたは複数の溝部を有する
   ことを特徴とする、請求項１または請求項２記載のベル
   ト。
4. 【請求項４】 上記ベルトが、ベルトの長手方向に沿っ
   た中空部を有することを特徴とする、請求項１または請
   求項２記載のべルト。
5. 【請求項５】 上記複数配設した突起の内の一部が、他
   の突起に比べて高さが高くなっていることを特徴とす
   る、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のベル
   ト。
6. 【請求項６】 上記突起の形状が、半球状または半球の
   一部の形状であることを特徴とする、請求項１ないし請
   求項５のいずれかに記載のベルト。
7. 【請求項７】 上記ベルトの長手方向に垂直な面におけ
   る突起部分の断面形状が三角形であることを特徴とす
   る、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のべル
   ト。
8. 【請求項８】 上記ベルトの長手方向に垂直な面におけ
   る突起部分の断面形状が、円弧状の頂点を有する山形で
   あることを特徴とする、請求項１ないし請求項５のいず
   れかに記載のベルト。
9. 【請求項９】 上記ベルトの材質がウレタンであること
   を特徴とする、請求項１ないし請求項８のいずれかに記
   載のベルト。
10. 【請求項１０】 上記ベルトの搬送物と対向する面に
    は、金属またはセラミックで別途作られた突起部が、ベ
    ルトの長手方向に沿って複数取り付けられていることを
    特徴とする、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載
    のべルト。
11. 【請求項１１】 上記ベルトが、ウエハ搬送装置に使用
    されるベルトであることを特徴とする、請求項１ないし
    請求項１０のいずれかに記載のベルト。
12. 【請求項１２】 所定の間隔を置いて平行に配置された
    ２つの軸と、その各軸に装着された外周部に円弧状の溝
    部を有する複数のプーリと、そのプーリ溝に架けられて
    両軸の対応する位置にあるプーリ間をまたいで張られた
    複数のベルトとからなり、いずれかの軸側のプーリを駆
    動することにより、前記複数のベルト上に載置されたウ
    エハを搬送するウエハ搬送装置において、 上記ベルトが、請求項１ないし１０のいずれかに記載の
    ベルトであることを特徴とする、ウエハ搬送装置。