JPS60166075A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPS60166075A JPS60166075A JP2212684A JP2212684A JPS60166075A JP S60166075 A JPS60166075 A JP S60166075A JP 2212684 A JP2212684 A JP 2212684A JP 2212684 A JP2212684 A JP 2212684A JP S60166075 A JPS60166075 A JP S60166075A
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- JP
- Japan
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- partition wall
- partition
- tank
- cleaning
- water
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は実験室等で各種試料を洗浄する場合に用いるこ
とができる洗浄装置に関するものである。
とができる洗浄装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
一般に、半導体素子等の製造においては、試料の前処理
、特にゴミやその他の汚染を極力さける必要がある。と
ころが、半導体素子等の開発研究を行っている実験室で
はドラフトや純水装置等の設備は完備されているのが通
常であるが、素子基板の形状や処理工程が頻繁に変わる
ため、市販の洗浄装置を導入しにくく、ビーカー等にお
ける洗浄が一般的である。又、市販されているものでも
洗浄槽が１個のものや、水流が一定とならないため、洗
浄の程度にばらつきを生じ、さらには、試料が移動し、
試料表面にキズが付くという問題点があった。
、特にゴミやその他の汚染を極力さける必要がある。と
ころが、半導体素子等の開発研究を行っている実験室で
はドラフトや純水装置等の設備は完備されているのが通
常であるが、素子基板の形状や処理工程が頻繁に変わる
ため、市販の洗浄装置を導入しにくく、ビーカー等にお
ける洗浄が一般的である。又、市販されているものでも
洗浄槽が１個のものや、水流が一定とならないため、洗
浄の程度にばらつきを生じ、さらには、試料が移動し、
試料表面にキズが付くという問題点があった。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点を除去するものであり、
簡単な構成で効果的洗浄を行うことが出来る洗浄装置を
提供することを目的とする。
簡単な構成で効果的洗浄を行うことが出来る洗浄装置を
提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の洗浄装置は、隣接する隔壁を共有する複数の水
槽を有し、各水槽において上流側の隔壁より下流側の隔
壁の高さを低くし、各水槽内の下端に隙間を設けて仕切
板を配し、前記仕切板の上端をその位置する水槽におい
て上流側、下流側の何れの隔壁より高く位置させ、各水
槽の上流側の隔壁と仕切板間において、前記上流側隔壁
の上端より低く下流側隔壁の上端より高い位置に端部が
ある切り込み構造を有する側板全前記隔壁および仕切板
の側端に設けることによ’）、ｆ１３染物の除去及び、
水量と水流分布の一定化が行われるため、試料等の洗浄
を簡便かつ効果的に行うことができるものである。
槽を有し、各水槽において上流側の隔壁より下流側の隔
壁の高さを低くし、各水槽内の下端に隙間を設けて仕切
板を配し、前記仕切板の上端をその位置する水槽におい
て上流側、下流側の何れの隔壁より高く位置させ、各水
槽の上流側の隔壁と仕切板間において、前記上流側隔壁
の上端より低く下流側隔壁の上端より高い位置に端部が
ある切り込み構造を有する側板全前記隔壁および仕切板
の側端に設けることによ’）、ｆ１３染物の除去及び、
水量と水流分布の一定化が行われるため、試料等の洗浄
を簡便かつ効果的に行うことができるものである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第１
図に示すように、本洗浄装置は、透明塩化ビニール等の
材料を用いた３個の水槽１〜３により構成され、各水槽
は隔壁４〜７と仕切板８〜１０を有し、隔壁５，６を共
有することによって直列に連結されている。前記水槽に
おいて、側板１１．１２！には上流側隔壁と仕切板間の
位置に切り込み構造１３〜１８を設け、各水槽の底と仕
切板８〜１０の下端には隙間１９〜２１を形成している
。第２図は第１図の側面図であり、各水槽の隔壁４〜７
、仕切板８〜１ｏ、切り込み構造１３〜１８の端部との
高低差ｄ１〜ｄ６、及び、隙間１９〜２１の高さｈ７〜
ｈ８を示す。
図に示すように、本洗浄装置は、透明塩化ビニール等の
材料を用いた３個の水槽１〜３により構成され、各水槽
は隔壁４〜７と仕切板８〜１０を有し、隔壁５，６を共
有することによって直列に連結されている。前記水槽に
おいて、側板１１．１２！には上流側隔壁と仕切板間の
位置に切り込み構造１３〜１８を設け、各水槽の底と仕
切板８〜１０の下端には隙間１９〜２１を形成している
。第２図は第１図の側面図であり、各水槽の隔壁４〜７
、仕切板８〜１ｏ、切り込み構造１３〜１８の端部との
高低差ｄ１〜ｄ６、及び、隙間１９〜２１の高さｈ７〜
ｈ８を示す。
上流側の水槽１の隔壁４と仕切板８で区切られた領域に
導入された純水は、各隙間１９〜２１と隔壁５，６の上
端をオーバフローすることによって、順次下流側の水槽
２，３に流入し、水槽３からは隔壁７の上端をオーバフ
ローすることによって外部に流出する。浮遊汚染物は切
シ込み構造１３〜１８から余分な水とともに外部に排出
され下流側の水槽を汚染することを防いでいる。各水槽
１〜３へ流れ込む水量と水檜内の水流分布は、切り込み
構造１３〜１８と隙間１９〜２１の形状及び、第２図に
示したそれらの高低差ｄ１〜ｄ６と高さり、〜ｈ５の関
係を選ぶことによって簡単に制御することができる。実
験の結果、高さ関係の最適条件は、５ｕｎ≧ｄ、≧ｄ２
〉ｄ５≧ｄ４≧ｄ５≧ｄ６≧１５、 ＩＣＩＩｍ ｈ、
ｈ２ｈ、２１１ｍの範囲であることが分かったつ 第３図に本実施例の具体的使用例を示す要部斜視図であ
る。図中の矢印は純水の流れを示す。純水はパイプ２２
によシ水槽１の上流側に導入される。洗浄を行う試ｆＳ
１２３は試料の取り出し、移動を容易にするため、テフ
ロン等の綱状のバスケット２４内に設置し、各水槽１．
２．３で洗汀１を行う。試料の汚れが激しい場合や薬品
等による前処理工程がある場合、下流側の水槽３で洗浄
を行った後、水槽２へ移動し、水槽１で最終洗浄を行う
ことによって、水槽１内の水の汚染は非常に少なくなり
、短時間で効果的洗浄を行うことができる。
導入された純水は、各隙間１９〜２１と隔壁５，６の上
端をオーバフローすることによって、順次下流側の水槽
２，３に流入し、水槽３からは隔壁７の上端をオーバフ
ローすることによって外部に流出する。浮遊汚染物は切
シ込み構造１３〜１８から余分な水とともに外部に排出
され下流側の水槽を汚染することを防いでいる。各水槽
１〜３へ流れ込む水量と水檜内の水流分布は、切り込み
構造１３〜１８と隙間１９〜２１の形状及び、第２図に
示したそれらの高低差ｄ１〜ｄ６と高さり、〜ｈ５の関
係を選ぶことによって簡単に制御することができる。実
験の結果、高さ関係の最適条件は、５ｕｎ≧ｄ、≧ｄ２
〉ｄ５≧ｄ４≧ｄ５≧ｄ６≧１５、 ＩＣＩＩｍ ｈ、
ｈ２ｈ、２１１ｍの範囲であることが分かったつ 第３図に本実施例の具体的使用例を示す要部斜視図であ
る。図中の矢印は純水の流れを示す。純水はパイプ２２
によシ水槽１の上流側に導入される。洗浄を行う試ｆＳ
１２３は試料の取り出し、移動を容易にするため、テフ
ロン等の綱状のバスケット２４内に設置し、各水槽１．
２．３で洗汀１を行う。試料の汚れが激しい場合や薬品
等による前処理工程がある場合、下流側の水槽３で洗浄
を行った後、水槽２へ移動し、水槽１で最終洗浄を行う
ことによって、水槽１内の水の汚染は非常に少なくなり
、短時間で効果的洗浄を行うことができる。
この場合、水槽の数は多い方がより効果的であるが、実
験の結果、洗浄を行う水槽の数は３個程度で十分な効果
が得られることが分かった。
験の結果、洗浄を行う水槽の数は３個程度で十分な効果
が得られることが分かった。
−万、試料２３とバスケット２４との接触部の洗浄が不
完全で問題となる場合や、↓り効果的洗浄を必要とする
場合は、本洗汀１装置を超音波洗ａ１Ｂｇ内に設置する
ことにより、さらに短時間で効果的洗浄を行うことが可
能である。。
完全で問題となる場合や、↓り効果的洗浄を必要とする
場合は、本洗汀１装置を超音波洗ａ１Ｂｇ内に設置する
ことにより、さらに短時間で効果的洗浄を行うことが可
能である。。
発明の効果
以上のように、本発明は、切り込み構造を有する側板と
下部に隙間を設けた仕切板、及び、隔壁を組み合せた複
数の水槽からなる洗浄装置を構成することにより、簡便
で効果的洗浄を行うことができ、実験室等での素子製造
における洗浄の程度を一定とし、作業性の向上に大いに
役立つものである。
下部に隙間を設けた仕切板、及び、隔壁を組み合せた複
数の水槽からなる洗浄装置を構成することにより、簡便
で効果的洗浄を行うことができ、実験室等での素子製造
における洗浄の程度を一定とし、作業性の向上に大いに
役立つものである。
第１図は本発明の実施例における洗浄装置の斜視図、第
２図は第１図の洗浄装置の断面図、第３図はその使用状
態を示す要部斜視図である。 １．２．３・・・・・水槽、４．５．６．７・川・・隔
板、８．９．１０ ・・・・仕切板、１１．１２・・・
・・側板、１３〜１８ ・・・・切り込み構造、１９，
２０．．２１・・・・隙間、２２・・・純水導入パイプ
、２３・・・・・試料、２４・・・・バスケット。
２図は第１図の洗浄装置の断面図、第３図はその使用状
態を示す要部斜視図である。 １．２．３・・・・・水槽、４．５．６．７・川・・隔
板、８．９．１０ ・・・・仕切板、１１．１２・・・
・・側板、１３〜１８ ・・・・切り込み構造、１９，
２０．．２１・・・・隙間、２２・・・純水導入パイプ
、２３・・・・・試料、２４・・・・バスケット。
Claims (1)
- 隣接する隔壁を共有する複数の水槽の上流側の隔壁よシ
下流側の隔壁の高さを低くし、前記各水槽内の下端に隙
間を設けて仕切板を配し、前記仕切板の上端は、その位
置する水槽の上流側、下流側の何れの隔壁よりも高く位
置させ、前記各水槽の上流側の隔壁と前記仕切板の間に
おいて、前記上流側隔壁の上端より低く、前記下流側隔
壁の上端より高い位置に端部がある切り込みを設けた側
板を前記隔壁および仕切板の側端に設けたことを特徴と
する洗浄装置っ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212684A JPS60166075A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2212684A JPS60166075A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60166075A true JPS60166075A (ja) | 1985-08-29 |
Family
ID=12074189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2212684A Pending JPS60166075A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60166075A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04346432A (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Fujitsu Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2009112218A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Yoshiizumi Sangyo Kk | 野菜洗浄機 |
| US10275973B2 (en) | 2015-09-17 | 2019-04-30 | Fujitsu Frontech Limited | Paper sheet handling apparatus and method for controlling paper sheet handling apparatus |
-
1984
- 1984-02-08 JP JP2212684A patent/JPS60166075A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04346432A (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Fujitsu Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2009112218A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Yoshiizumi Sangyo Kk | 野菜洗浄機 |
| US10275973B2 (en) | 2015-09-17 | 2019-04-30 | Fujitsu Frontech Limited | Paper sheet handling apparatus and method for controlling paper sheet handling apparatus |
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