JPS60156785A - パタ−ン形成方法 - Google Patents
パタ−ン形成方法Info
- Publication number
- JPS60156785A JPS60156785A JP59010066A JP1006684A JPS60156785A JP S60156785 A JPS60156785 A JP S60156785A JP 59010066 A JP59010066 A JP 59010066A JP 1006684 A JP1006684 A JP 1006684A JP S60156785 A JPS60156785 A JP S60156785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diazo
- zinc chloride
- double salt
- film
- salt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/016—Diazonium salts or compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、バター７形成方法に関する。
カラーブラウン管の画面部分（フェースプレート）の内
面には、３種類のけい光体がドツト、あるいはストライ
プ状に塗布されている。このけい光体塗布層を形成する
従来の方法は、つぎの通りである。まず、フェースプレ
ートの内面に第［色目のけい光体と感光性樹脂との混合
物の塗料をフェースプレート内面に塗布し、乾燥して塗
膜を形成する。つぎに、この層に、シアドウマスクの孔
を通して紫外線を照射する。このときの紫外線照射位置
は、そのけい光体を発光させるための′電子ビームが射
突する位置、すなわち、そのけい光体が固着されるべき
位置に相当する。この紫外線照射を受けた部分の感光性
樹脂は不溶化し、それによって、その部分の層全体が不
溶化する。つぎに層を溶媒で洗い、不溶化した部分のみ
をフェースプレート面に残留させ、その他の層は溶解、
除去する。つぎに、第２色目のけい光体と感光性樹脂と
の混合物の層を用いて同様の操作を行ない、さらに第３
色目のけい光体と感光性樹脂との混合物を用いて同様の
操作を行なう。
面には、３種類のけい光体がドツト、あるいはストライ
プ状に塗布されている。このけい光体塗布層を形成する
従来の方法は、つぎの通りである。まず、フェースプレ
ートの内面に第［色目のけい光体と感光性樹脂との混合
物の塗料をフェースプレート内面に塗布し、乾燥して塗
膜を形成する。つぎに、この層に、シアドウマスクの孔
を通して紫外線を照射する。このときの紫外線照射位置
は、そのけい光体を発光させるための′電子ビームが射
突する位置、すなわち、そのけい光体が固着されるべき
位置に相当する。この紫外線照射を受けた部分の感光性
樹脂は不溶化し、それによって、その部分の層全体が不
溶化する。つぎに層を溶媒で洗い、不溶化した部分のみ
をフェースプレート面に残留させ、その他の層は溶解、
除去する。つぎに、第２色目のけい光体と感光性樹脂と
の混合物の層を用いて同様の操作を行ない、さらに第３
色目のけい光体と感光性樹脂との混合物を用いて同様の
操作を行なう。
以上の説明から明らかなようｔこ、カラーブラウン管の
けい光面製作工程は複雑でオシ、多数回の湿式塗布、水
洗、乾燥の繰返しを必要とするので、その簡単化はきわ
めて望ましいことである。
けい光面製作工程は複雑でオシ、多数回の湿式塗布、水
洗、乾燥の繰返しを必要とするので、その簡単化はきわ
めて望ましいことである。
そのため、本発明者らの一部のものは、先に特開時５３
−１２６８６１ として従来よシも著しく簡巣な工程で
、カラーブラウン肯けい光面を形成する方法全提案した
。この方法は、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力含有するという新しい知見に基づき、
完成されたものであり、（１）芳香族ジアゾニウム塩を
感光性成分として言む露光により粘着性を生じる感光性
組成物を基体表面に塗布して博１頓とし、（２）その薄
層に図形状の露光全行ない、露光部に粘着性を生ぜしめ
、（３）露光後の薄層に粉体粒子全接触せしめ、粉体粒
子を薄層に受容せしめること全特徴とするものでるる。
−１２６８６１ として従来よシも著しく簡巣な工程で
、カラーブラウン肯けい光面を形成する方法全提案した
。この方法は、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力含有するという新しい知見に基づき、
完成されたものであり、（１）芳香族ジアゾニウム塩を
感光性成分として言む露光により粘着性を生じる感光性
組成物を基体表面に塗布して博１頓とし、（２）その薄
層に図形状の露光全行ない、露光部に粘着性を生ぜしめ
、（３）露光後の薄層に粉体粒子全接触せしめ、粉体粒
子を薄層に受容せしめること全特徴とするものでるる。
この方法によると第２色目、第３色目のけい光体につい
ては、露光、粉体接触のみをくり返せばよく、塗膜は一
度形成すると何種のけい光体のパターンでも形成するこ
とができる。
ては、露光、粉体接触のみをくり返せばよく、塗膜は一
度形成すると何種のけい光体のパターンでも形成するこ
とができる。
しかしながらこの方法によると、用いる感光性成分の感
度が従来の感光性樹脂にくらべてやや低いため、作業時
間がやや長くなる。
度が従来の感光性樹脂にくらべてやや低いため、作業時
間がやや長くなる。
本発明の目的は、高感度の組成物を用いたパターン形成
方法を提供することにある。
方法を提供することにある。
本発明のパターン形成方法は感光性組成物として、塩化
ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩と
塩化ｐ−ジアゾ−ブロムフェノール塩化亜鉛複塩系化合
物とを含むとと全特徴とする。
ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩と
塩化ｐ−ジアゾ−ブロムフェノール塩化亜鉛複塩系化合
物とを含むとと全特徴とする。
現在１でこの方法に用いられる芳香族ジアゾニウム塩は
塩化ｐ−ジアゾ−アミノベンゼン塩化亜鉛複塩系化合物
である。この系の内、特に塩化ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジ
メチルアニリン塩化亜鉛複塩が前記、プロセスに対する
適応性が潰れていることから１史川さｎている。しかし
、この材料を用いて形成した光粘着膜は感度が低く、露
光時間が長くかかる。この対策として、有効な増感剤の
探索を行ガつた。この結果、下記の一般式で表わされる
化合物が良好な効果を示した。
塩化ｐ−ジアゾ−アミノベンゼン塩化亜鉛複塩系化合物
である。この系の内、特に塩化ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジ
メチルアニリン塩化亜鉛複塩が前記、プロセスに対する
適応性が潰れていることから１史川さｎている。しかし
、この材料を用いて形成した光粘着膜は感度が低く、露
光時間が長くかかる。この対策として、有効な増感剤の
探索を行ガつた。この結果、下記の一般式で表わされる
化合物が良好な効果を示した。
ｒ
ただしｎは１／２〜１、Ａ ｆｄ Ｈ又は１３ｒである
。
。
この増感剤を上記、塩化ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジメチル
アニリン塩化亜鉛複塩に対して２〜１０重ｔ％添加して
なる光粘着膜は未添加のものに比べて短かい露光時間で
同様の結果を得ることができる。
アニリン塩化亜鉛複塩に対して２〜１０重ｔ％添加して
なる光粘着膜は未添加のものに比べて短かい露光時間で
同様の結果を得ることができる。
本発明に用いられる感光性組成物を薄層とする際の塗布
性向上の目的で、上記感光性組成物に有機高分子化合物
及び／又は界面活性剤を會めることはすでに前記特開Ｉ
Ｊｆ１５３−１２６８６１ に提案されており、本発明
においてもこのような感光性組成物を用いることが好ま
しい。上記有機高分子化合物としてはアラビヤゴム、ポ
リＮ−ビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリ
アクリルアミド、ヒドロキシグロビルメチルセルロース
、アルギン酸、アルギン酸のプロプレンゲリコールエス
テル、アクリルアミド・ジアセトンアクリルアミド共重
合体及びメチルビニルエーテル・無水マレイン酸共重合
体などが好ましい。１だこれらの有機高分子化合物は芳
香族ジアゾニウム化合物の塩の合計量に対し０．５〜５
０重量係用いることが好ましい。−！、た界面活性剤は
０．０１〜１重量％程度用いることが好ましい。
性向上の目的で、上記感光性組成物に有機高分子化合物
及び／又は界面活性剤を會めることはすでに前記特開Ｉ
Ｊｆ１５３−１２６８６１ に提案されており、本発明
においてもこのような感光性組成物を用いることが好ま
しい。上記有機高分子化合物としてはアラビヤゴム、ポ
リＮ−ビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリ
アクリルアミド、ヒドロキシグロビルメチルセルロース
、アルギン酸、アルギン酸のプロプレンゲリコールエス
テル、アクリルアミド・ジアセトンアクリルアミド共重
合体及びメチルビニルエーテル・無水マレイン酸共重合
体などが好ましい。１だこれらの有機高分子化合物は芳
香族ジアゾニウム化合物の塩の合計量に対し０．５〜５
０重量係用いることが好ましい。−！、た界面活性剤は
０．０１〜１重量％程度用いることが好ましい。
以下本発明全実施例を用いて説明する。まず上記一般式
で示された化合物としてはつぎのようなものがある。
で示された化合物としてはつぎのようなものがある。
塩化ｐ−ジアゾ−２，６−ジプロムフエノール塩化亜鉛
複塩 塩化ｐ−ジアゾ−２−ブロムフェノール塩化亜鉛複塩 塩化ｐ−ジアゾ−３，５−ジブロムフェノール塩化亜鉛
複塩 下記に合成法についてその例を記述する。
複塩 塩化ｐ−ジアゾ−２−ブロムフェノール塩化亜鉛複塩 塩化ｐ−ジアゾ−３，５−ジブロムフェノール塩化亜鉛
複塩 下記に合成法についてその例を記述する。
合成例１
塩化ｐ−ジアゾ−２，６−ジブロムフェノール塩化亜鉛
複塩の合成法全説明する。
複塩の合成法全説明する。
２．６−ジプロムー４−二トロフェノールをパラジウム
活性炭を触媒として、水素化ホウ素ナトリウムで還元す
る。アミン体を塩酸塩として採り出し、通常の方法によ
り塩酸酸性下で亜硝酸ナトリウム水全滴下しジアゾ化し
た。ついで５０％の塩化亜鉛水金注入し複塩とした。こ
の化合物は稀塩酸水溶液に濃厚塩化亜鉛水の注入による
塩析によって再結晶し梢製することがどきる。
活性炭を触媒として、水素化ホウ素ナトリウムで還元す
る。アミン体を塩酸塩として採り出し、通常の方法によ
り塩酸酸性下で亜硝酸ナトリウム水全滴下しジアゾ化し
た。ついで５０％の塩化亜鉛水金注入し複塩とした。こ
の化合物は稀塩酸水溶液に濃厚塩化亜鉛水の注入による
塩析によって再結晶し梢製することがどきる。
この化合物の赤外吸収スペクトル（Ｋ Ｂ ｒ錠剤法）
（Ｃｎ層）は３２００．２２３０ （νＮ＝Ｎ ）１５
８０．１５６０，１３０５，１０８０，８５０，６４０
゜５２０、紫外分光吸収スペクトルは最大吸収波長３５
０１ｍ、分子吸光系数４．４Ｘ１０’、融点：１２３〜
１２４Ｃ１亜鉛分析値（ＥＤＴＡキレート滴定）：１３
．６％（計算値１４．０％）であった。
（Ｃｎ層）は３２００．２２３０ （νＮ＝Ｎ ）１５
８０．１５６０，１３０５，１０８０，８５０，６４０
゜５２０、紫外分光吸収スペクトルは最大吸収波長３５
０１ｍ、分子吸光系数４．４Ｘ１０’、融点：１２３〜
１２４Ｃ１亜鉛分析値（ＥＤＴＡキレート滴定）：１３
．６％（計算値１４．０％）であった。
実施例１
下記の組成比の感光液をテストピース用のガラ板に、回
転塗布し、厚さ０，５μｍの結晶膜を形成した。
転塗布し、厚さ０，５μｍの結晶膜を形成した。
組成１
塩化ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジメチルアニリン塩化亜鉛複
塩 ２．７５％ 塩化ｐ−２，６−ジブロムフェノール塩化亜鉛複塩 ０
．１４ アルギン酸プロピレングリコールエステル０．２７５ 水 残り これにシャドウマスクを介して５００Ｗ超高圧水銀灯よ
り１３５錆離れた所で１６０秒間照射した。これにけい
光体粉末を接触させたところ、露光部にけい光体粉末が
被着した。
塩 ２．７５％ 塩化ｐ−２，６−ジブロムフェノール塩化亜鉛複塩 ０
．１４ アルギン酸プロピレングリコールエステル０．２７５ 水 残り これにシャドウマスクを介して５００Ｗ超高圧水銀灯よ
り１３５錆離れた所で１６０秒間照射した。これにけい
光体粉末を接触させたところ、露光部にけい光体粉末が
被着した。
一方、比較のため、塩化１）−２，６−ジブロムフェノ
ール塩化亜鉛複塩を用いることなく、同様の操作を行な
ったところ、２５０秒間照射してほぼ同量のけい光体が
付着した。
ール塩化亜鉛複塩を用いることなく、同様の操作を行な
ったところ、２５０秒間照射してほぼ同量のけい光体が
付着した。
実施例２
組成液１ｖｃおいて、塩化Ｐ−ジアゾー２．６−ジプロ
ムフエノール塩化亜鉛複塩の添加室と感度向上率との関
係を同様の操作で、全く同量のけい光体粉末が付層する
最少露光時間で表わした結果を表１に示した。
ムフエノール塩化亜鉛複塩の添加室と感度向上率との関
係を同様の操作で、全く同量のけい光体粉末が付層する
最少露光時間で表わした結果を表１に示した。
（９）
表 １
〔発明の効果〕
以上の如く、本発明のパターン形成方法は、従（１０）
Claims (1)
- ジアゾニウム塩からなる光粘着［’に用いるパターン形
成方法において、該光粘着膜の感光成分が少なくとも塩
化ｐ−ジアゾ−Ｎ、Ｎ−ジメチルアニリン塩化亜鉛複塩
と塩化ｐ−ジアゾ−ブロムフェノール塩化亜鉛複塩を有
し、該光粘着膜に所定パターンの露光を用いない、露光
部に粉体を被着させることを特徴とするパターン形成方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010066A JPS60156785A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | パタ−ン形成方法 |
| US06/694,237 US4564572A (en) | 1984-01-25 | 1985-01-24 | Process for forming pattern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010066A JPS60156785A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | パタ−ン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60156785A true JPS60156785A (ja) | 1985-08-16 |
Family
ID=11740004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59010066A Pending JPS60156785A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | パタ−ン形成方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4564572A (ja) |
| JP (1) | JPS60156785A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4751171A (en) * | 1984-07-03 | 1988-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pattern forming method |
| JPH0680577B2 (ja) * | 1985-11-08 | 1994-10-12 | 株式会社東芝 | カラ−受像管の蛍光面形成方法 |
| US6396005B2 (en) | 1998-06-15 | 2002-05-28 | Rodgers Technology Center, Inc. | Method and apparatus for diminishing grid complexity in a tablet |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7009028A (ja) * | 1970-06-19 | 1971-12-21 | ||
| JPS53126861A (en) * | 1977-04-13 | 1978-11-06 | Hitachi Ltd | Formation method of pattern-type powder substance coating layer |
| US4273842A (en) * | 1977-04-13 | 1981-06-16 | Hitachi, Ltd. | Process for forming patternwise coated powder layer |
| JPS5532332A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-07 | Hitachi Ltd | Particle pattern coat forming method |
| JPS5641643A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-18 | Hitachi Ltd | Photosensitive composition |
| JPS579036A (en) * | 1980-06-20 | 1982-01-18 | Hitachi Ltd | Formation of pattern by using photosensitive compound |
| KR850001415B1 (ko) * | 1980-07-04 | 1985-09-30 | 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 | 감광성 조성물(感光性組成物) |
| US4436804A (en) * | 1981-03-20 | 1984-03-13 | American Hoechst Corporation | Light-sensitive polymeric diazonium condensates and reproduction compositions and materials therewith |
| JPS57158923A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Hitachi Ltd | Method for forming fluorescent screen of cathode-ray tube |
| JPS5868742A (ja) * | 1981-10-21 | 1983-04-23 | Hitachi Ltd | 感光性組成物及びそれを用いたパタ−ン形成方法 |
| JPS5915246A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-26 | Hitachi Ltd | 感光性組成物及びパタ−ン形成法 |
-
1984
- 1984-01-25 JP JP59010066A patent/JPS60156785A/ja active Pending
-
1985
- 1985-01-24 US US06/694,237 patent/US4564572A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4564572A (en) | 1986-01-14 |
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