JPS5996528A - アモルフアス磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は稠密磁気記録を行なうＶＴＲに適用して好適な
アモルファス磁気ヘッドの製造方法に関する。

（ロ）従来技術 ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）用磁気ヘノドｐゴ一般
にフェライト単結晶材をコア生体としている。それに、
この材料が、耐摩耗性に優れしがも良好な軟磁性特性を
示すからである。とζろが最近、ＶＴＲの小型化が計ら
１１１、磁気テープもよυ高密度記録の達成でドるメタ
ルテープ等の高抗磁力を有するものを使り傾同になりつ
つある（例えば、通称８ミリビデオ）。メタルテープは
従来の１−ｐ６２０５テープと異７とり高いわ［磁力を
有しているため飽和磁束密度が酩々４ｏｏｏ〜５ＬＪＬ
ｌＯガウスのフェライト材では磁気ヘッドが磁気飽和し
てメタルテープの抗磁力に打ち勝って磁化することが稚
しい。そこで、現在、より飽和磁束密度の高いセンダス
ト材（Ｂｓ；８０００ガウス）、アモルファス材（ｓｏ
：ｓ：１００００ガウス）等をコア生体とする磁気ヘッ
ドが検討されている。

センダストヘッドに既にメタルテープ対応ｑ）オ−デイ
オ用ヘッドとして市場に供給さ几ている。

しかし、より憂い周波数領域（例えば５Ｍｎｚ刺近）で
使用されるＶＴＲ用ヘッドとしては、機械加工の困難さ
、フェライト材に比べで電気抵抗が低いため、高周波で
の渦電流損が大きく実効透磁率が急激に低下する等のた
め、現用のＶＴＲ用ヘッドとして市場に供給されるに至
っていない。

−万、アモルファス磁気ヘッドにアモルファス拐自体が
近年（高々この５年程の第１）、次代の磁性材料として
注目を集め国内、外で開発さｉｔている程度で、実用化
されてｒ、１：ｌｌＡない。

アモルファス材ｒｊ：周知のり（１＜液体急冷法と呼は
オするり製造法によって得られるもので、原理的には従
来の光金学では考えら７１．なかった合金組成のもので
も！！造可能である。反面、この製造法により作らオす
る＠←（の形状に制御膜がある。ｆ、’！わら、溶融金
属を１０万〜１００万℃／秒の冷却速Ｉ「で急、冷する
必要があるため数厚が１０〜Ｉ　Ｕ　Ｏｔｔ　ｍのリボ
ン状或いｒ！、杓未でしか１を造できない。

従い、アモルファス磁性材では従来フェライト材で行な
っている製法すなわちバルク材からの切断、研磨、溶着
等の加工技術をそのまま踏襲することができない。あえ
てこの製法に準拠する場合。

リボン状板材を多数枚積層して（−「なわち、準バルク
状に成形して）それを出発材料としてトラック巾が該板
材の板厚以下である磁気ヘッドをＭ成することが考えら
第１．ろが、板材間の接百拐の厚さｔ精留に管理４−る
ことは困難であるから、対向するコア半休をコア半休ど
°）しか向かいあうようにすることは極めて困難である
。

又、アモルファス材固有の問題として結晶化温Ｗ（’ｒ
ｘ　）の問題がある。急冷法を゛使ってアモルファス化
した材料Ｖニ一般にガラス化部Ｋ　（Ｔ　ｇ　）と結晶
化温度（Ｔｘ）といわオしる結晶構造の転捗点を持って
いる。ここでガラス化温度とに一般のソーダガラスや石
英カラス等と同様、アモにファス材Ｕが軟１じしはじめ
る温度であり、結晶化り註度とにアモルファスから結晶
へ移行するン１＋１．である。

そしてアモルファス材料に一般のカラスとは異なりこの
転移点の進退に際し可３首性を有していない。

すなわち一度結晶比されると再度温朋をＦげてもアモル
ファス状態に戻ることｒｉない。かがるアモルファスＵ
石を用いて磁気ヘッドを製造°するには結晶化温度（Ｔ
ｘ）以上の熱的、機械的エネルギーを加えることができ
ず、ガラス溶着、ロウ付は等従来のフェライト材、セン
ダメ１等の加工技術が使えず、新たな加工、製造技術を
開発する必要がある。

そこで出願人は先に、アモルファス磁性材料の薄板を積
層しないで〃ロエ成形して少なくとも一方の突き合せ面
にフロントギャップの下端を規ボするコイル窓を持つ１
組のコア半休を病成し、このコア半体の間にスペーサを
挾みさらに両コア半俸の上下から１組の１７５強体で挾
んだ状！、！！１すなわちコア半休を４万から同時に加
圧した状態で、コア半休と補強体１１ｍ１　ｖＣ樹脂な
光てんして一体化するものを提案し、その後この接合に
代え補強体に対してコア半休を＋ＭＨｌｉするものを提
案している。しかし、前者はコア半休を相互に押し付は
合わせなカニらｆ市強体との間に樹脂を光てんする作業
の作業性が悪く量産性に難点があシ、−万後者は磁路的
に部分的に非磁性部分を備えることとな９再生効率を低
下させるおそ７ｔ、がある。

（ハ）発明の目的 本発明は以上の点に鑑みなさ１’したもので、量産性に
適するアモルファス磁気ヘッドの製造方法を提供しよう
とするものである。

に）発明の構成 本発明は１次の（ａ１〜（ｄ）工程を備えることを特徴
とするものであり、特に工程（ｃ）でコア半体連を仮止
めしてその状態で工ａ（ａ）の接合を行なうようにして
銅還に適するように工夫している。

（ａ）　　’アモルファス磁性薄板よりそれソ２もコイ
ル窓を持つ複数のコア半休を連結部を中間罠持って１列
に配してなる第１コア半体遅を形成する工程、（ｂ）　
　このコア半体連を他方のコア半休を構成するアモルフ
ァス磁性薄板よりなる第２コア半体遅に両者のフロント
ギャップ構成面間に非磁性のスペーサを配して突き合わ
せる工程、 （Ｑ）　　前記両コア半体遅を前記連結部及び該連結部
に対向する前記第２コア半体運の部分を溶着して一体化
する工程、 （ｄ）両コア″ＰＰ・連の対向する１対のコア半休に、
脛１対のコア半休にまたがる補強体を接合し、その後前
記連結部を除去する工程。

ｉつ実施例 第１図に本発明方法により製造さｒ、た磁気ヘッド（コ
イルに省略）の１部を切欠いて示す概略構成斜視図であ
る。図において、　＋１１＃−ｊアモルファス磁性材利
の非積１＠薄板（厚さ２４μｍ）を成形してなるコア生
体ｆ２ｉ（３１を突き合わせてなるコア生体、＋４１１
４１ｉ、ｒ−のコア生体（１）をその両側η）ら挾む１
組の補強体、　（５１にコア生体１１）と補強体（４）
との間に浸透させ固化してなる接着材層である。各コア
半休（２）＋３）Ｃｆ二を子の何台面間にコイルを巻く
ための溝（６１を有し、この溝のに万域にフロントギャ
ップを構成するスペーサ（７）を備えている。補強体＋
４１１４１１ガラス材で成形されており溝（６）に対向
する位置に貫通孔ＩＦ３）をｔポ（、ｔていてコイルを
巻くことができるように構成さオｔている。この磁便ヘ
ッドにテープに対して整合をとるためテープ当接面（９
）をいわゆるＲ付は方ｌ工している。

次Ｋ、かかる磁気ヘッドの製法手順につき説明する。第
２図は製法のフローチャート図であシ、第６図〜第９図
は各工程における説明図である。

先ず上述の成体急冷法によって厚さ２４μｍ程度のアモ
ルファス薄体（リボン）を作成し、このリボンＵα（第
６図）を化学エツチング法によって成形して第４図に示
す第１コア半体遅りを得る。

この第１コア半休連は他方のコア半体運（第２コア半体
連）（後述）に対する表面μ力を加工表出する前の状態
を示している。この第１コア半体連りはそれぞ几コイル
窓ｕ３１を持つ複数のコア半休（Ｉ４１と連結部Ｑ５１
とを又互に配してなるもので、連結部の１３　（１６１
は上記〃ロエ表出時に除去さｉｔ、る部分のＩＪ（１７
１に比べて十分大きく構成さルている。

この第１コア半体遅鼎はその厚み方向に多数積層して第
５図に示１０く治具（イ）にｊ又めて、先ず粗研磨を施
こしてエツチングによる夕゛し等を除去してコア寸法を
調整し、次いで微細砥粒及び研磨盤を用いてフロントギ
ャップ構成面を成形する。尚。

第１コア半木連１１１１の治具■に対する収容角度Ｑ→
をアジマス角に一致させている。また、第６図は研磨終
了状態を示している。第２コア半体連ｔま治具ｆ２０＋
に対してコイル窓が再１コア半休連（１１１とは反対向
きとなるようにすなわちコイル窓が手前に揃列するよう
に収めて研磨することによつ−Ｃ両コア半体連の対向面
間のアジマスを一致させることができる。本実施例にお
ける第１、第２コア半休述は相互の対向面がアジマス角
を持つように形成しているので該当部が多少異なるだけ
でその他の形状は実質的しこ同一に形成さオｔている。

このように研磨した各コア半体遅を治具から外して熱処
理をＴる。この熱処理はアモルファス製造時の急冷及び
機械的ストレスを除去すると共に、上記研磨工程におい
て付与さ７Ｌる研暦歪みを除去するもので、一般に熱処
理を施すことによりコアの透磁率を改ｔｆることができ
る。アモルファス材は結晶構造を有していないため原理
的に結晶異方性が無いはずであるが現実にはリボン急冷
時の温度勾配や機櫨的応カのためにリボンの長手方向及
び厚み方向に弱い磁２異方性が残在しているからである
。本実施例では、メタルメタロイド系（Ｆｅ％Ｃｏ系７
５％、ｓｌ、Ｂ、Ｐ、Ｃ（７）ｍき半金属２５・鉤でキ
ューり温度（Ｔｃ）が４５０度、結晶化ａ＋、Ｋ　（Ｔ
　ｘ　）が５００°Ｃ程度のアモルファス材を使用して
いるので、キューり温度以下近傍まで７月温し、磁ｉＪ
！、（とくに回転磁堝）中で熱処理を行なう。

次いで、第７図に示すｖ［１＜多数のコア半体遅を治具
（゛１中に再度４′Ｆ＃層して、フロントギャップ構成
面上（て５１０２、ＴｉＮ、Ｆｌ：１．Ｎ、ＷＮ等の非
磁性スペーサ四を蒸着やイオンブレーティングにより、
所定のギャップ長（例、えば０゜４〜Ｕ、０５　Ｂ　）
分だけ付設する（他方のコア半体運と合わせて所定のギ
ャップ長と下るよりにしても良い）、。

次いで第８図に示す如く、第１、第２コア半体運’＋　
１１　Ｇｌｌを、各コア半体遵のフロントギャップ構成
１−■■１■訃１甲−■−■旨 ［ｆｌ、８１．コイル窓ｕ３１が一致するように配置し
て治具（７）で押圧して突き合わせ、その状態で両コア
半休運の連結部内を跨ってレーザビームを照射して両者
を溶着する。図番（至）に溶着スポットである。

次いで第９図Ｖｃ示す如く、コイル窓（１３＋に対応す
る貫通孔に）を有する補強体＋４１１１／ｉυで仮に一
体化さ第１゜た両１ア半体遅をコイル窓と貫通孔とが問
い合うように配して挾み、コア半体連と各補強体間にエ
ポキシ樹脂をＡ窒含浸し、加熱硬化（’Ｉ　Ｕ　Ｏ’ｌ
中６０〜９０分放置）させる。図萱（転）はこのように
して構成さ７ｔ、ｆｃ接着材層である。かくして、各コ
ア半休四四に補強体９ｊ…に接置、一体化さ２Ｌる。

次いで、第（１１’ｓ中破線ので示す如く復叙のチップ
を個々のチップに分断し、分断した磁気ヘッドチップに
付いて磁気テープ当接面を、−気う−−ブに整合−ｆる
ようにいわゆるＲ付は研磨して所夛のギャップデプスを
帰るようＶＣする。同図中、阪）線（５１）ｉＪ：表出
′［べきテープ当接面を示している。

かくし”Ｃ，第１図に示゛ｆ磁気ヘッドが製造さ第１．
る。

本実施例では第１、第２コア半体連をはｙ対称に成形さ
Ｔしているものに付いて説明したが、第２コア半体連に
げコイル窓を付設しなくても良い。しかし、第１コア半
体連に対向する面はギャップ長を規定するため鏡面に加
工成形する必要がある。

（へ）発明の効果 本発明に１組のコア半体運を、複数のコア半休を連結す
る連結部を溶着して仮に４！付け、その状態で補強体に
接合する方法を採っているので、この接合時に、コア半
体どおしを押し付ける方向への抑圧が不要になって補強
体側からすなわち２方向から押圧するだけでよく接合作
業ひいては磁気ヘッドの歓産性が向」二する。

【図面の簡単な説明】

第１図り本発明方法にょＦ）７４造さ几た磁気ヘッドの
１部切欠きＩｆ）視図である。■２図〜第９図はこの磁
気ヘッドの製法説明図で、第２図はフローチャート図、
第６図はアモルファスリボンの平面図、第４図は第１コ
ア半休連の部分平面図、第５図及び第６図にコア対向面
の研磨工程説明図、第７図にスペーサの付設工程説明図
、第８図は第１、第２コア半休連の仮止め工程説明図、
第９図ａ、ｂに補強体とコアの接合工程及びヘッドチッ
プの成形丁桿の説明図で、ＦＬは部分平面ン１．ｂｒｊ
ａの八−Ａ断１酊図である。 王な図番の簡明 す・・・第１コア仝ｌ’：　ｆ；ｒ運、旧１・・・コア
半甑曲・・・第２コア百７体ｉ平、　ｌ＋１・・・？由
り生体、　Ｕ　ｒ＋ｌ・・・連結用（。 出願人　三汀電機株式会社、・・；′、ｌ′）′。 ｆけ１人　弁理士　佐　野靜　ヲそ、　２゛７第１図 第１）図 第７図 ？２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１１アモルファス磁性薄板よｐそ７Ｌぞオシコイル窓
   を持つ複数のコア半休を連結部を中間に持って１列に配
   してなる第１コア半体遵を形ｇする工程と、このコア半
   体連を他方のコア半休を構成するアモルファス磁性薄板
   よりなる第２コア半体遅に両者のフロントギャップ構成
   面間に非磁性のスペーサを配して突き合わせる工程と、
   前記両コア半体連を前記連結部及び該連結部に対向する
   前記第２コア半体遅の部分を溶着して一体化する工程と
   、前記両コア半体連の対向する１対のコア半休に該１対
   のコア半休にまたがる補強体を接合しその後前記連結部
   を除去する工程とを備えるアモルファス磁気ヘッドの製
   造方法◎