JPS5992452A - デイスク検査装置 - Google Patents
デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPS5992452A JPS5992452A JP20276082A JP20276082A JPS5992452A JP S5992452 A JPS5992452 A JP S5992452A JP 20276082 A JP20276082 A JP 20276082A JP 20276082 A JP20276082 A JP 20276082A JP S5992452 A JPS5992452 A JP S5992452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- laser light
- detected
- defect
- diffracted light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はビデオディスク、オーディオディスク等のディ
スク記録面の欠陥を検査するためのディスク検査装置に
関するものである。
スク記録面の欠陥を検査するためのディスク検査装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
一般に、ディスクの製造過程でディスク記録面にはキズ
、凹凸、異物付着などに起因して欠陥が生じ、ディスク
の品質不良となり、その製造工程などで上述した欠陥の
検査が必要になる。そこで、ディスク面をレーザ光で走
査し欠陥に対応する信号をセンサで検出することにより
、ディスク面の欠陥で高速で検査する試みがなされてい
るが、ディスクの面ぶれ、トランクの偏心、真円度の変
化によリレーザ元の回折條件が変動し、センサにその変
動成分が出力として生じ、結果としてディスク面の欠陥
に対応した出力と区別がつかなくなり、確実な欠陥検出
が困難になるという問題があった。
、凹凸、異物付着などに起因して欠陥が生じ、ディスク
の品質不良となり、その製造工程などで上述した欠陥の
検査が必要になる。そこで、ディスク面をレーザ光で走
査し欠陥に対応する信号をセンサで検出することにより
、ディスク面の欠陥で高速で検査する試みがなされてい
るが、ディスクの面ぶれ、トランクの偏心、真円度の変
化によリレーザ元の回折條件が変動し、センサにその変
動成分が出力として生じ、結果としてディスク面の欠陥
に対応した出力と区別がつかなくなり、確実な欠陥検出
が困難になるという問題があった。
発明の目的
本発明の目的はディスク記録面の欠陥に対応する信号の
みを検出する事により、より確実な検査が出来るディス
ク検査装置を提供することにある。
みを検出する事により、より確実な検査が出来るディス
ク検査装置を提供することにある。
発明の構成
本発明のディスク検査装置は、ディスクの記録面をレー
ザ光で走査して上記ディスク面より反射するレーザ光よ
り○次回折光、−次回折光全各々独立したセンサで検出
し、上記センサの各出力を差動回路で処理して合否判定
のために取出すことにより、検出力を向上させるように
構成したものである。
ザ光で走査して上記ディスク面より反射するレーザ光よ
り○次回折光、−次回折光全各々独立したセンサで検出
し、上記センサの各出力を差動回路で処理して合否判定
のために取出すことにより、検出力を向上させるように
構成したものである。
実施例の説明
図は本発明の一実施例を示しており、図において、１は
被検査ディスク、２はディスク１の回転駆動部、３は回
転駆動部２を含めたディスク１の送り機構部、４は送り
機構部３の駆動部、５はレーザ光源、６は投光レンズ、
７はハーフミラ−１８は○次回折光のセンサ、９はミラ
ー、１ｏは一次回折元のセンサ、１１は位相反転増巾器
、１２は加算器である。上記位相反転増幅器１１は入出
力間に可変抵抗器１３を有するアンプ１４ですり、その
入力側に抵抗１５を有する。また、上記加算器１２は入
出力間に抵抗１６を有するアンプ１７でなり、入力側に
抵抗１８．１９を有する。
被検査ディスク、２はディスク１の回転駆動部、３は回
転駆動部２を含めたディスク１の送り機構部、４は送り
機構部３の駆動部、５はレーザ光源、６は投光レンズ、
７はハーフミラ−１８は○次回折光のセンサ、９はミラ
ー、１ｏは一次回折元のセンサ、１１は位相反転増巾器
、１２は加算器である。上記位相反転増幅器１１は入出
力間に可変抵抗器１３を有するアンプ１４ですり、その
入力側に抵抗１５を有する。また、上記加算器１２は入
出力間に抵抗１６を有するアンプ１７でなり、入力側に
抵抗１８．１９を有する。
このような構成にセいて、送り機構部３とその駆動部４
及び回転駆動部２によジディスク１は回転しながら送り
が掛けられ、レーザ光源６からのレーザ光がディスク１
の被検査面をうす巻き状に走査する。ディスク１に投光
されたレーザ光はディスク面の欠陥とトラックにより回
折され、センサ８及びセンサ１０で検出される。センサ
８．センサ１ｏの出力には欠陥に対応した信号と前述の
トラックによる回折條件の変動成分が含１れている。そ
して、センサ１ｏで検出された一次回折光出力は位相反
転増幅器１１で振巾調整２位相反転され、一方、センサ
８で検出された○次回折光出力と共に加算器１２に加え
られる。加算器１２において回折條件の変動性分は０次
と一次で１８００位相差が生じるためにキャンセルされ
、その出方にはディスク上の欠陥による回折光出力が検
出される。この検出結果はディスクの合否判定のために
利用される。
及び回転駆動部２によジディスク１は回転しながら送り
が掛けられ、レーザ光源６からのレーザ光がディスク１
の被検査面をうす巻き状に走査する。ディスク１に投光
されたレーザ光はディスク面の欠陥とトラックにより回
折され、センサ８及びセンサ１０で検出される。センサ
８．センサ１ｏの出力には欠陥に対応した信号と前述の
トラックによる回折條件の変動成分が含１れている。そ
して、センサ１ｏで検出された一次回折光出力は位相反
転増幅器１１で振巾調整２位相反転され、一方、センサ
８で検出された○次回折光出力と共に加算器１２に加え
られる。加算器１２において回折條件の変動性分は０次
と一次で１８００位相差が生じるためにキャンセルされ
、その出方にはディスク上の欠陥による回折光出力が検
出される。この検出結果はディスクの合否判定のために
利用される。
発明の効果
以上、詳述したように本発明によれば、ディスク面より
反射されるレーザ光より○次回折光、−次回折光をそれ
ぞれ独立してセンサで検出し、上記センサの各出力を差
動回路で処理するように構成したので、上記ディスクが
受ける回折条件の変動成分の影響を少なくすることがで
き、もって、トラックのあるディスクの欠陥を確実に検
出する事が出来る利点を有する。
反射されるレーザ光より○次回折光、−次回折光をそれ
ぞれ独立してセンサで検出し、上記センサの各出力を差
動回路で処理するように構成したので、上記ディスクが
受ける回折条件の変動成分の影響を少なくすることがで
き、もって、トラックのあるディスクの欠陥を確実に検
出する事が出来る利点を有する。
図は本発明のディスク検査装置の一実施例を示す概略構
成図である。 １・・・・・−ディスク、２・・・・・・回転駆動部、
３・・・・・・送り機構部、４・−・・・・送り、駆動
部、５・・−・・・レーザ光源、６・・・・・・投光レ
ンズ、７・・・・・・ハーフミラ−１８・・・・・・○
次回折光センサ、９・・・・・・ミラー、１０・・・・
・・−次回折光センサ、１１・・・・・・位相反転増巾
器、１２・・・・・・加算器。
成図である。 １・・・・・−ディスク、２・・・・・・回転駆動部、
３・・・・・・送り機構部、４・−・・・・送り、駆動
部、５・・−・・・レーザ光源、６・・・・・・投光レ
ンズ、７・・・・・・ハーフミラ−１８・・・・・・○
次回折光センサ、９・・・・・・ミラー、１０・・・・
・・−次回折光センサ、１１・・・・・・位相反転増巾
器、１２・・・・・・加算器。
Claims (1)
- ディスクの記録面をレーザ光で走査して上記ディスクに
設けたトラックによる○次回折光と一次回折元を各々セ
ンサで検出し、上記センサの各出力を差動回路で処理し
て合否判定のために取出すように構成してなるディスク
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20276082A JPS5992452A (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20276082A JPS5992452A (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992452A true JPS5992452A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=16462710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20276082A Pending JPS5992452A (ja) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992452A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0186768A2 (de) * | 1984-12-21 | 1986-07-09 | Siemens Nixdorf Informationssysteme Aktiengesellschaft | Einrichtung zum Inspizieren der Oberfläche von Magnetspeicherplatten |
-
1982
- 1982-11-17 JP JP20276082A patent/JPS5992452A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0186768A2 (de) * | 1984-12-21 | 1986-07-09 | Siemens Nixdorf Informationssysteme Aktiengesellschaft | Einrichtung zum Inspizieren der Oberfläche von Magnetspeicherplatten |
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