JPH07286967A - 光ディスクの検査方法と検査装置 - Google Patents
光ディスクの検査方法と検査装置Info
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- JPH07286967A JPH07286967A JP7720594A JP7720594A JPH07286967A JP H07286967 A JPH07286967 A JP H07286967A JP 7720594 A JP7720594 A JP 7720594A JP 7720594 A JP7720594 A JP 7720594A JP H07286967 A JPH07286967 A JP H07286967A
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- Japan
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- reflected light
- light
- optical disc
- inspection
- receiving sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】種類の異なる種々の欠陥であっても検出精度を
高める。 【構成】光ディスクＤの読取面に検査光を照射して当該
検査光の反射光を受光センサにより検出することにより
前記光ディスクに欠陥が存在するか否かを検査する光デ
ィスクの検査方法において、前記反射光のうちの０次反
射光と１次反射光の反射光量をそれぞれ受光センサ８，
９で検出し、それぞれに設定されたしきい値により欠陥
の有無を判断する。
高める。 【構成】光ディスクＤの読取面に検査光を照射して当該
検査光の反射光を受光センサにより検出することにより
前記光ディスクに欠陥が存在するか否かを検査する光デ
ィスクの検査方法において、前記反射光のうちの０次反
射光と１次反射光の反射光量をそれぞれ受光センサ８，
９で検出し、それぞれに設定されたしきい値により欠陥
の有無を判断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば各種光ディスク
媒体に生じる傷、異物付着、ヤケ、ピンホールあるいは
基板の凹凸等の各種欠陥を検出する光ディスクの検査方
法と検査装置に関し、特に異物付着と基板の凹凸のよう
に性質の異なる欠陥であっても精度良く検出し得る検査
方法と検査装置に関する。
媒体に生じる傷、異物付着、ヤケ、ピンホールあるいは
基板の凹凸等の各種欠陥を検出する光ディスクの検査方
法と検査装置に関し、特に異物付着と基板の凹凸のよう
に性質の異なる欠陥であっても精度良く検出し得る検査
方法と検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスクには各種の薄膜が形成され、
磁気情報等の書き込みや読み出しが行われるが、かかる
薄膜を成膜する行程で光ディスクに微小な塵埃等が付着
したり、傷がついたり、薄膜が焼けたり、あるいは表面
に付着した異物が原因で薄膜が形成されない（いわゆる
ピンホール）等の不具合が生じることがある。また、基
板の平滑性が低下して基板の表面に凹凸が生じることも
ある。このような各種の欠陥は、従来よりレーザー光な
どの光源を用いて反射光の強度を測定することにより検
査されていた。
磁気情報等の書き込みや読み出しが行われるが、かかる
薄膜を成膜する行程で光ディスクに微小な塵埃等が付着
したり、傷がついたり、薄膜が焼けたり、あるいは表面
に付着した異物が原因で薄膜が形成されない（いわゆる
ピンホール）等の不具合が生じることがある。また、基
板の平滑性が低下して基板の表面に凹凸が生じることも
ある。このような各種の欠陥は、従来よりレーザー光な
どの光源を用いて反射光の強度を測定することにより検
査されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、光ディスク
等で生じる欠陥は種々雑多であり、例えば異物が付着し
た場合と基板に凹凸が生じた場合とでは反射光量が相違
し、また、同じ異物付着であっても異物の大きさで反射
光量が変動した。そのため、受光センサで検出される反
射光量に対して欠陥の存在を判定するしきい値を決めて
おいたとしても、ある種類の欠陥に対しては検出精度が
高いが他の種類の欠陥に対しては検出精度が低く、欠陥
を見逃すおそれがあった。
等で生じる欠陥は種々雑多であり、例えば異物が付着し
た場合と基板に凹凸が生じた場合とでは反射光量が相違
し、また、同じ異物付着であっても異物の大きさで反射
光量が変動した。そのため、受光センサで検出される反
射光量に対して欠陥の存在を判定するしきい値を決めて
おいたとしても、ある種類の欠陥に対しては検出精度が
高いが他の種類の欠陥に対しては検出精度が低く、欠陥
を見逃すおそれがあった。
【０００４】そこで本発明者は、欠陥の種類毎に最も適
した検査光を選択した結果、比較的波長が小さい異物付
着等の欠陥に対しては０次反射光の検出精度が高く、比
較的波長が大きい基板の凹凸等の欠陥に対しては１次反
射光の検出精度が高いことを知得し、本発明を完成させ
るに至った。
した検査光を選択した結果、比較的波長が小さい異物付
着等の欠陥に対しては０次反射光の検出精度が高く、比
較的波長が大きい基板の凹凸等の欠陥に対しては１次反
射光の検出精度が高いことを知得し、本発明を完成させ
るに至った。
【０００５】すなわち本発明は、このような従来技術の
問題点に鑑みてなされたものであり、種類の異なる種々
の欠陥であっても検出精度が高い検査方法および検査装
置を提供することを目的とする。
問題点に鑑みてなされたものであり、種類の異なる種々
の欠陥であっても検出精度が高い検査方法および検査装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光ディスクの検査方法は、光ディスクの読
取面に検査光を照射して当該検査光の反射光を受光セン
サにより検出することにより前記光ディスクに欠陥が存
在するか否かを検査する光ディスクの検査方法におい
て、前記反射光のうちの０次反射光と１次反射光の反射
光量をそれぞれ受光センサで検出し、それぞれに設定さ
れたしきい値により欠陥の有無を判断することを特徴と
している。
に、本発明の光ディスクの検査方法は、光ディスクの読
取面に検査光を照射して当該検査光の反射光を受光セン
サにより検出することにより前記光ディスクに欠陥が存
在するか否かを検査する光ディスクの検査方法におい
て、前記反射光のうちの０次反射光と１次反射光の反射
光量をそれぞれ受光センサで検出し、それぞれに設定さ
れたしきい値により欠陥の有無を判断することを特徴と
している。
【０００７】また、上記目的を達成するために、本発明
の光ディスクの検査装置は、光ディスクに検査光を走査
して照射する光源と、前記検査光の０次反射光を受光す
る第１の受光センサと、前記検査光の１次反射光を受光
する第２の受光センサと、前記第１の受光センサにより
検出された０次反射光量と予め決められた値とを比較す
る第１の比較手段と、前記第２の受光センサにより検出
された１次反射光量と予め決められた値とを比較する第
２の比較手段と、を有することを特徴としている。
の光ディスクの検査装置は、光ディスクに検査光を走査
して照射する光源と、前記検査光の０次反射光を受光す
る第１の受光センサと、前記検査光の１次反射光を受光
する第２の受光センサと、前記第１の受光センサにより
検出された０次反射光量と予め決められた値とを比較す
る第１の比較手段と、前記第２の受光センサにより検出
された１次反射光量と予め決められた値とを比較する第
２の比較手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
【作用】光ディスクにレーザー光などの光を照射して、
この光の反射光量を受光センサで検出することにより光
ディスクに欠陥が存在するか否かを検出する場合、本発
明の検査方法および検査装置では、光ディスクで反射す
る光のうち、０次光と１次光とを利用し、それぞれの反
射光量をそれぞれの比較手段で検定するようにしてい
る。
この光の反射光量を受光センサで検出することにより光
ディスクに欠陥が存在するか否かを検出する場合、本発
明の検査方法および検査装置では、光ディスクで反射す
る光のうち、０次光と１次光とを利用し、それぞれの反
射光量をそれぞれの比較手段で検定するようにしてい
る。
【０００９】すなわち、レーザー光が光ディスクで反射
するとき、そのまま反射する０次光の他に、表面状態に
よっては回折光が生じる。この回折光の進路は０次光と
は異なり、比較的波長が小さい異物付着等の欠陥に対し
ては０次反射光の検出精度が高く、比較的波長が大きい
基板の凹凸等の欠陥に対しては１次反射光の検出精度が
高い。したがって、それぞれの受光センサで検出される
欠陥に応じたしきい値をそれぞれの比較手段で定めてお
けば、欠陥の種類にかかわらず精度よく検出することが
できる。
するとき、そのまま反射する０次光の他に、表面状態に
よっては回折光が生じる。この回折光の進路は０次光と
は異なり、比較的波長が小さい異物付着等の欠陥に対し
ては０次反射光の検出精度が高く、比較的波長が大きい
基板の凹凸等の欠陥に対しては１次反射光の検出精度が
高い。したがって、それぞれの受光センサで検出される
欠陥に応じたしきい値をそれぞれの比較手段で定めてお
けば、欠陥の種類にかかわらず精度よく検出することが
できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例に係る光ディスクの検
査装置を示す構成図、図２は同実施例に係る比較手段の
情報処理内容を説明するグラフである。以下の実施例で
は検査対象物としてコンパクトディスク、ミニディス
ク、光磁気ディスク、ＣＤＲＯＭなどの光ディスクを例
に挙げ、検出欠陥としては塵埃等の付着、傷つき、焼
け、ピンホールあるいは基板の凹凸光等を例に挙げて説
明するが、本発明の光ディスクの検査方法および検査装
置では特に光ディスクにのみ検査対象物は限定されるこ
とはなく、例えば反射鏡など薄膜コーティングを施した
光学部品等にも応用することができる。
明する。図１は本発明の一実施例に係る光ディスクの検
査装置を示す構成図、図２は同実施例に係る比較手段の
情報処理内容を説明するグラフである。以下の実施例で
は検査対象物としてコンパクトディスク、ミニディス
ク、光磁気ディスク、ＣＤＲＯＭなどの光ディスクを例
に挙げ、検出欠陥としては塵埃等の付着、傷つき、焼
け、ピンホールあるいは基板の凹凸光等を例に挙げて説
明するが、本発明の光ディスクの検査方法および検査装
置では特に光ディスクにのみ検査対象物は限定されるこ
とはなく、例えば反射鏡など薄膜コーティングを施した
光学部品等にも応用することができる。
【００１１】まず、本実施例ではレーザー光などの光を
放射する光源１を有しており、この光源１からの光は光
ディスクＤ表面に走査されて当該光ディスクの薄膜２
（反射膜も含む）が形成された領域全面にわたりレーザ
ー光が順次照射される。レーザー光の走査は、例えば図
１に示す光源１、第１の受光センサ８および第２の受光
センサ９を含む光学ブロック７のスキャン装置３で行う
ことができ、光ディスクＤを回転させる回転台５と、こ
のスキャン装置３とで光ディスクＤの二次元的な走査を
行うようにしている。すなわち、光ディスクＤの回転方
向に対する走査は回転台５によって光ディスク側を回転
させることにより行い、一方、光ディスクの半径方向に
対する走査は光学ブロック７を光ディスクの半径方向に
移動させながら行う。「４」は光学ブロック７を走査さ
せるアクチュエータ、「６」は回転台５を回転させるア
クチュエータである。
放射する光源１を有しており、この光源１からの光は光
ディスクＤ表面に走査されて当該光ディスクの薄膜２
（反射膜も含む）が形成された領域全面にわたりレーザ
ー光が順次照射される。レーザー光の走査は、例えば図
１に示す光源１、第１の受光センサ８および第２の受光
センサ９を含む光学ブロック７のスキャン装置３で行う
ことができ、光ディスクＤを回転させる回転台５と、こ
のスキャン装置３とで光ディスクＤの二次元的な走査を
行うようにしている。すなわち、光ディスクＤの回転方
向に対する走査は回転台５によって光ディスク側を回転
させることにより行い、一方、光ディスクの半径方向に
対する走査は光学ブロック７を光ディスクの半径方向に
移動させながら行う。「４」は光学ブロック７を走査さ
せるアクチュエータ、「６」は回転台５を回転させるア
クチュエータである。
【００１２】上述した光源１からのレーザー光が光ディ
スクＤに照射されると、正常に薄膜２が形成されている
領域では正常な反射光が生じる。また、光ディスクＤに
ピンホールＰが存在するとレーザー光はピンホールＰを
通過して直接反射膜で反射することから正常な反射光よ
り強い反射光が第１の受光センサ８に入力される（以
下、この反射光を０次反射光ともいう）。逆に光ディス
クＤの表面に異物が付着していると反射光が散乱するこ
とから第１の受光センサ８に入力される反射光量は正常
時より弱い光となる。一方、光ディスクＤの反射面の表
面状態に応じて回折現象によって回折光（以下、この回
折光を１次反射光ともいう）が生じる。
スクＤに照射されると、正常に薄膜２が形成されている
領域では正常な反射光が生じる。また、光ディスクＤに
ピンホールＰが存在するとレーザー光はピンホールＰを
通過して直接反射膜で反射することから正常な反射光よ
り強い反射光が第１の受光センサ８に入力される（以
下、この反射光を０次反射光ともいう）。逆に光ディス
クＤの表面に異物が付着していると反射光が散乱するこ
とから第１の受光センサ８に入力される反射光量は正常
時より弱い光となる。一方、光ディスクＤの反射面の表
面状態に応じて回折現象によって回折光（以下、この回
折光を１次反射光ともいう）が生じる。
【００１３】本実施例では、このような０次反射光およ
び１次反射光をそれぞれ入力するために、例えばフォト
ディテクタなどからなる第１の受光センサ８と第２の受
光センサ９とが設けられている。第１の受光センサ８は
光ディスクＤで反射した０次反射光を受光するセンサで
あって、主に塵埃等の付着、傷、焼けなどの欠陥を検知
するために設けられている。これに対して、第２の受光
センサ９は光ディスクＤで反射した１次反射光を受光す
るセンサであって、主に基板表面の凹凸欠陥を検知する
ために設けられている。
び１次反射光をそれぞれ入力するために、例えばフォト
ディテクタなどからなる第１の受光センサ８と第２の受
光センサ９とが設けられている。第１の受光センサ８は
光ディスクＤで反射した０次反射光を受光するセンサで
あって、主に塵埃等の付着、傷、焼けなどの欠陥を検知
するために設けられている。これに対して、第２の受光
センサ９は光ディスクＤで反射した１次反射光を受光す
るセンサであって、主に基板表面の凹凸欠陥を検知する
ために設けられている。
【００１４】これらの受光センサ８，９で検出された反
射光に応じた信号は増幅器（不図示）などを介してそれ
ぞれ第１の比較部１０および第２の比較部１１に送出さ
れる。第１の比較部１０では、第１の受光センサ８から
の入力信号と第１のしきい値記憶部１２に予め記憶され
ているしきい値とが比較され、また、第２の比較部１１
では、第２の受光センサ９からの入力信号と第２のしき
い値記憶部１３に予め記憶されているしきい値とが比較
される。
射光に応じた信号は増幅器（不図示）などを介してそれ
ぞれ第１の比較部１０および第２の比較部１１に送出さ
れる。第１の比較部１０では、第１の受光センサ８から
の入力信号と第１のしきい値記憶部１２に予め記憶され
ているしきい値とが比較され、また、第２の比較部１１
では、第２の受光センサ９からの入力信号と第２のしき
い値記憶部１３に予め記憶されているしきい値とが比較
される。
【００１５】既述したように、本実施例では、０次反射
光であれ１次反射光であれ、光ディスクＤが正常に製造
されている場合の反射光量と欠陥が存在する場合の反射
光量とは相違することから、これに基づいて欠陥の有無
を判断する。例えば、図２に示すように第１のしきい値
記憶部１２に上限のしきい値Ａと下限のしきい値Ｂを記
憶しておき、第１の受光センサ８からの入力信号がこの
上限および下限の範囲外となった点Ｘ，Ｙを欠陥の存在
位置と認識する。第２のしきい値記憶部１３にも同様に
して所定のしきい値が記憶されているが、本実施例では
第１の受光センサ８による検出信号と第２の受光センサ
９による検出信号を欠陥の種類で分けていることから、
この欠陥の種類に応じてそれぞれに適したしきい値を第
１のしきい値記憶部１２と第２のしきい値記憶部１３に
格納している。
光であれ１次反射光であれ、光ディスクＤが正常に製造
されている場合の反射光量と欠陥が存在する場合の反射
光量とは相違することから、これに基づいて欠陥の有無
を判断する。例えば、図２に示すように第１のしきい値
記憶部１２に上限のしきい値Ａと下限のしきい値Ｂを記
憶しておき、第１の受光センサ８からの入力信号がこの
上限および下限の範囲外となった点Ｘ，Ｙを欠陥の存在
位置と認識する。第２のしきい値記憶部１３にも同様に
して所定のしきい値が記憶されているが、本実施例では
第１の受光センサ８による検出信号と第２の受光センサ
９による検出信号を欠陥の種類で分けていることから、
この欠陥の種類に応じてそれぞれに適したしきい値を第
１のしきい値記憶部１２と第２のしきい値記憶部１３に
格納している。
【００１６】また、しきい値の設定は図２に示すような
上限および下限による範囲設定以外にも、例えば図３に
示すように下限値を二段階に設定することも可能であ
る。例えば、光ディスクによっては、発現する欠陥が反
射光量が低下する場合のみしか考えられない場合には、
図３に示すように二段階のしきい値を設定することによ
り欠陥に重み付けを行うことができる。そして、第１番
目のしきい値Ａより反射光量が低下しても第２のしきい
値Ｂより低下しない点Ｘに比べて、第２のしきい値Ｂよ
り反射光量が低下する点Ｙは致命的であるので、このよ
うな欠陥が１箇所でも存在すればその光ディスクを不合
格とする。なお、上述した第１の比較部１０および第２
の比較部１１で判断された結果、欠陥が存在する場合に
は第１の表示部１４および第２の表示部１５へそれぞれ
信号が送出されて、検査結果が喚起される。
上限および下限による範囲設定以外にも、例えば図３に
示すように下限値を二段階に設定することも可能であ
る。例えば、光ディスクによっては、発現する欠陥が反
射光量が低下する場合のみしか考えられない場合には、
図３に示すように二段階のしきい値を設定することによ
り欠陥に重み付けを行うことができる。そして、第１番
目のしきい値Ａより反射光量が低下しても第２のしきい
値Ｂより低下しない点Ｘに比べて、第２のしきい値Ｂよ
り反射光量が低下する点Ｙは致命的であるので、このよ
うな欠陥が１箇所でも存在すればその光ディスクを不合
格とする。なお、上述した第１の比較部１０および第２
の比較部１１で判断された結果、欠陥が存在する場合に
は第１の表示部１４および第２の表示部１５へそれぞれ
信号が送出されて、検査結果が喚起される。
【００１７】なお、以上説明した実施例は、本発明の理
解を容易にするために記載されたものであって、本発明
を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施例に開示された各要素は、本発明の技術
的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨で
ある。例えば、上述した実施例では回折した反射光のう
ち１次反射光を第２の受光センサに入力させるように構
成したが、２次以上の反射光を用いることも可能であ
る。
解を容易にするために記載されたものであって、本発明
を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施例に開示された各要素は、本発明の技術
的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨で
ある。例えば、上述した実施例では回折した反射光のう
ち１次反射光を第２の受光センサに入力させるように構
成したが、２次以上の反射光を用いることも可能であ
る。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、光デ
ィスクで反射した０次反射光と１次反射光を欠陥の種類
に応じて利用しているので、あらゆる欠陥に対しても精
度よく検査することができる。
ィスクで反射した０次反射光と１次反射光を欠陥の種類
に応じて利用しているので、あらゆる欠陥に対しても精
度よく検査することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る光ディスクの検査装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図２】同実施例に係る比較手段の情報処理内容を説明
するグラフである。
するグラフである。
【図３】他の実施例に係る比較手段の情報処理内容を説
明するグラフである。
明するグラフである。
１…光源 ２…薄膜 ８…第１の受光センサ ９…第２の受光センサ １０…第１の比較部 １１…第２の比較部 １２…第１のしきい値記憶部 １３…第２のしきい値記憶部 Ｄ…光ディスク
Claims (2)
- 【請求項１】光ディスクの読取面に検査光を照射して当
該検査光の反射光を受光センサにより検出することによ
り前記光ディスクに欠陥が存在するか否かを検査する光
ディスクの検査方法において、前記反射光のうちの０次
反射光と１次反射光の反射光量をそれぞれ受光センサで
検出し、それぞれに設定されたしきい値により欠陥の有
無を判断することを特徴とする光ディスクの検査方法。 - 【請求項２】光ディスクに検査光を走査して照射する光
源と、前記検査光の０次反射光を受光する第１の受光セ
ンサと、前記検査光の１次反射光を受光する第２の受光
センサと、前記第１の受光センサにより検出された０次
反射光量と予め決められた値とを比較する第１の比較手
段と、前記第２の受光センサにより検出された１次反射
光量と予め決められた値とを比較する第２の比較手段
と、を有することを特徴とする光ディスクの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7720594A JPH07286967A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 光ディスクの検査方法と検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7720594A JPH07286967A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 光ディスクの検査方法と検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286967A true JPH07286967A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13627334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7720594A Pending JPH07286967A (ja) | 1994-04-15 | 1994-04-15 | 光ディスクの検査方法と検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286967A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006194898A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Komag Inc | 光学的テストヘッドの漂遊光を減少又は排除する方法及び装置 |
| JP2006194899A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Komag Inc | ワークピースを光学的に検査するテストヘッド |
| US7586595B2 (en) | 2003-11-17 | 2009-09-08 | Tdk Corporation | Method of scanning and scanning apparatus |
| US20120026271A1 (en) * | 2009-04-13 | 2012-02-02 | Panasonic Corporation | Optical disc recording device and method for drawing image on optical disc |
-
1994
- 1994-04-15 JP JP7720594A patent/JPH07286967A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7586595B2 (en) | 2003-11-17 | 2009-09-08 | Tdk Corporation | Method of scanning and scanning apparatus |
| JP2006194898A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Komag Inc | 光学的テストヘッドの漂遊光を減少又は排除する方法及び装置 |
| JP2006194899A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Komag Inc | ワークピースを光学的に検査するテストヘッド |
| US20120026271A1 (en) * | 2009-04-13 | 2012-02-02 | Panasonic Corporation | Optical disc recording device and method for drawing image on optical disc |
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