JPH05217217A - 光学式記録ディスクの外観検査方法および装置 - Google Patents
光学式記録ディスクの外観検査方法および装置Info
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- JPH05217217A JPH05217217A JP1899792A JP1899792A JPH05217217A JP H05217217 A JPH05217217 A JP H05217217A JP 1899792 A JP1899792 A JP 1899792A JP 1899792 A JP1899792 A JP 1899792A JP H05217217 A JPH05217217 A JP H05217217A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、外観検査の際に、スタンパーに起因
して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥の判定を迅
速にしかも精度よく行なえることを最も主要な特徴とし
ている。 【構成】本発明は、光源からの光を、第１の光学系を介
して検査対象である光学式記録ディスクの信号エリアに
照射し、その反射光を第２の光学系を介してＣＣＤライ
ンセンサーで受光し、光学式記録ディスクを回転させる
ことによって前記光学式記録ディスク全面の欠陥情報を
得るようにした光学式記録ディスクの外観検査方法およ
び装置において、ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報
に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位
置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一位置と
して少なくとも２回連続して記憶された場合に、スタン
パー起因の欠陥であると判定することを特徴としてい
る。
して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥の判定を迅
速にしかも精度よく行なえることを最も主要な特徴とし
ている。 【構成】本発明は、光源からの光を、第１の光学系を介
して検査対象である光学式記録ディスクの信号エリアに
照射し、その反射光を第２の光学系を介してＣＣＤライ
ンセンサーで受光し、光学式記録ディスクを回転させる
ことによって前記光学式記録ディスク全面の欠陥情報を
得るようにした光学式記録ディスクの外観検査方法およ
び装置において、ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報
に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位
置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一位置と
して少なくとも２回連続して記憶された場合に、スタン
パー起因の欠陥であると判定することを特徴としてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式記録ディスク
（ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｉ、レーザーディスク、
追記型および書換可能型ディスク、光磁気ディスク等）
の外観検査を行なう方法および装置に係り、特に外観検
査の際に、スタンパーに起因して発生した欠陥の判定を
迅速にしかも精度よく行ない得るようにした光学式記録
ディスクの外観検査方法および装置に関するものであ
る。
（ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｉ、レーザーディスク、
追記型および書換可能型ディスク、光磁気ディスク等）
の外観検査を行なう方法および装置に係り、特に外観検
査の際に、スタンパーに起因して発生した欠陥の判定を
迅速にしかも精度よく行ない得るようにした光学式記録
ディスクの外観検査方法および装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光学式記録は、磁気式記録と比較して記
録媒体とヘッドとが非接触であり、かつ高密度の記録が
可能である等の利点がある。この光学式記録媒体として
は、読出し専用のもの、追加書込み可能なもの、消去再
書込み可能なものが知られている。
録媒体とヘッドとが非接触であり、かつ高密度の記録が
可能である等の利点がある。この光学式記録媒体として
は、読出し専用のもの、追加書込み可能なもの、消去再
書込み可能なものが知られている。
【０００３】そして、本発明にかかる読出し専用の光学
式記録媒体としては、既に光学式記録ディスク（ＣＤ、
ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｉ、レーザーディスク、追記型お
よび書換可能型ディスク、光磁気ディスク等）や、光カ
―ド（ＲＯＭ型カード、追記型および書換可能型カー
ド、光磁気カード等）等の形で、実用に供されてきてい
る。
式記録媒体としては、既に光学式記録ディスク（ＣＤ、
ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｉ、レーザーディスク、追記型お
よび書換可能型ディスク、光磁気ディスク等）や、光カ
―ド（ＲＯＭ型カード、追記型および書換可能型カー
ド、光磁気カード等）等の形で、実用に供されてきてい
る。
【０００４】一方、本発明にかかる光学式記録ディスク
としては、例えば以下のような方法により作製されてい
る。すなわち、ガラス基板上に、感光性樹脂層（レジス
ト層）と導電膜層を形成し、この導電膜層上に電鋳層を
形成して、ガラス基板と電鋳層とを剥離し、洗浄ならび
に乾燥を行ない、保護層をコートし、さらに裏面を研磨
して打抜きにより成品化して作製される。そして、保護
層をコートした後に、品質維持のため、光学式記録ディ
スク全面の傷、ゴミ等の欠陥検出（以下、外観検査と称
する）が行なわれている。
としては、例えば以下のような方法により作製されてい
る。すなわち、ガラス基板上に、感光性樹脂層（レジス
ト層）と導電膜層を形成し、この導電膜層上に電鋳層を
形成して、ガラス基板と電鋳層とを剥離し、洗浄ならび
に乾燥を行ない、保護層をコートし、さらに裏面を研磨
して打抜きにより成品化して作製される。そして、保護
層をコートした後に、品質維持のため、光学式記録ディ
スク全面の傷、ゴミ等の欠陥検出（以下、外観検査と称
する）が行なわれている。
【０００５】この場合、検出される欠陥としては、スタ
ンパーに起因して発生するものと、それ以外の原因で発
生するものとに分類することができる。スタンパー起因
の欠陥の主な原因は、樹脂中や大気からスタンパーに付
着した異物であり、同一位置に発生する。また、それ以
外の欠陥の原因は、樹脂中の異物のディスク中への混
入、大気中の異物の信号面への付着、ウェルド、反射膜
のピンホール、ディスク表面の傷等が考えられ、ランダ
ムな位置にランダムに発生する。
ンパーに起因して発生するものと、それ以外の原因で発
生するものとに分類することができる。スタンパー起因
の欠陥の主な原因は、樹脂中や大気からスタンパーに付
着した異物であり、同一位置に発生する。また、それ以
外の欠陥の原因は、樹脂中の異物のディスク中への混
入、大気中の異物の信号面への付着、ウェルド、反射膜
のピンホール、ディスク表面の傷等が考えられ、ランダ
ムな位置にランダムに発生する。
【０００６】ところで、このような欠陥のうち、光学式
記録ディスクの量産中に、スタンパー起因の欠陥が発生
した場合は、全品不良となる。そのため、この種の欠陥
をできる限り早期に検出して、スタンパーの洗浄または
交換を行なわなければならない。
記録ディスクの量産中に、スタンパー起因の欠陥が発生
した場合は、全品不良となる。そのため、この種の欠陥
をできる限り早期に検出して、スタンパーの洗浄または
交換を行なわなければならない。
【０００７】しかしながら、従来の外観検査では、１デ
ィスク毎の欠陥位置を測定することは可能であるが、連
続同一位置の欠陥の有無については検出しておらず、全
てランダムに発生する欠陥として処理している。そのた
め、スタンパー起因の欠陥が発生した場合に、いち早く
対応することが困難となっている。
ィスク毎の欠陥位置を測定することは可能であるが、連
続同一位置の欠陥の有無については検出しておらず、全
てランダムに発生する欠陥として処理している。そのた
め、スタンパー起因の欠陥が発生した場合に、いち早く
対応することが困難となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
光学式記録ディスクの外観検査方法においては、スタン
パーに起因して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥
の検出を素早く行なえないという問題があった。
光学式記録ディスクの外観検査方法においては、スタン
パーに起因して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥
の検出を素早く行なえないという問題があった。
【０００９】本発明は上述のような問題を解決するため
に成されたもので、外観検査の際に、スタンパーに起因
して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥の判定を迅
速にしかも精度よく行なうことが可能な極めて信頼性の
高い光学式記録ディスクの外観検査方法および装置を提
供することを目的とする。
に成されたもので、外観検査の際に、スタンパーに起因
して発生した光学式記録ディスク全面の欠陥の判定を迅
速にしかも精度よく行なうことが可能な極めて信頼性の
高い光学式記録ディスクの外観検査方法および装置を提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、まず、請求項１に記載の発明では、光源からの光
を、第１の光学系を介して検査対象である光学式記録デ
ィスクの信号エリアに照射し、その反射光を第２の光学
系を介してＣＣＤラインセンサーで受光し、光学式記録
ディスクを回転させることによって光学式記録ディスク
全面の欠陥情報を得るようにした光学式記録ディスクの
外観検査方法において、ＣＣＤラインセンサーからの欠
陥情報に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥の半径
方向位置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一
位置として少なくとも２回連続して記憶された場合に、
スタンパー起因の欠陥であると判定するようにしてい
る。
めに、まず、請求項１に記載の発明では、光源からの光
を、第１の光学系を介して検査対象である光学式記録デ
ィスクの信号エリアに照射し、その反射光を第２の光学
系を介してＣＣＤラインセンサーで受光し、光学式記録
ディスクを回転させることによって光学式記録ディスク
全面の欠陥情報を得るようにした光学式記録ディスクの
外観検査方法において、ＣＣＤラインセンサーからの欠
陥情報に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥の半径
方向位置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一
位置として少なくとも２回連続して記憶された場合に、
スタンパー起因の欠陥であると判定するようにしてい
る。
【００１１】ここで、特に上記光源からの光よりも強い
光を、第３の光学系を介して光学式記録ディスクのプロ
グラムエリアに第１の光学系からの光と反対側から照射
し、その透過光を反射光と共にＣＣＤラインセンサーに
入光させるようにしている。
光を、第３の光学系を介して光学式記録ディスクのプロ
グラムエリアに第１の光学系からの光と反対側から照射
し、その透過光を反射光と共にＣＣＤラインセンサーに
入光させるようにしている。
【００１２】また、請求項３に記載の発明では、光源か
らの光を、第１の光学系を介して検査対象である光学式
記録ディスクの信号エリアに照射し、その反射光を第２
の光学系を介してＣＣＤラインセンサーで受光し、光学
式記録ディスクを回転させることによって光学式記録デ
ィスク全面の欠陥情報を得るようにした光学式記録ディ
スクの外観検査装置において、ＣＣＤラインセンサーか
らの欠陥情報に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥
の半径方向位置を測定して記憶する欠陥測定・記憶手段
と、欠陥測定・記憶手段の記憶データに基づいて、欠陥
の半径方向位置が同一位置として少なくとも２回連続し
て記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥であると判
定する判定手段と、判定手段による判定結果を出力する
出力手段とを備えて構成している。
らの光を、第１の光学系を介して検査対象である光学式
記録ディスクの信号エリアに照射し、その反射光を第２
の光学系を介してＣＣＤラインセンサーで受光し、光学
式記録ディスクを回転させることによって光学式記録デ
ィスク全面の欠陥情報を得るようにした光学式記録ディ
スクの外観検査装置において、ＣＣＤラインセンサーか
らの欠陥情報に基づいて、光学式記録ディスク毎の欠陥
の半径方向位置を測定して記憶する欠陥測定・記憶手段
と、欠陥測定・記憶手段の記憶データに基づいて、欠陥
の半径方向位置が同一位置として少なくとも２回連続し
て記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥であると判
定する判定手段と、判定手段による判定結果を出力する
出力手段とを備えて構成している。
【００１３】ここで、特に上記光源からの光よりも強い
光を、第３の光学系を介して光学式記録ディスクのプロ
グラムエリアに第１の光学系からの光と反対側から照射
し、その透過光を反射光と共にＣＣＤラインセンサーに
入光させる手段を付加して構成している。
光を、第３の光学系を介して光学式記録ディスクのプロ
グラムエリアに第１の光学系からの光と反対側から照射
し、その透過光を反射光と共にＣＣＤラインセンサーに
入光させる手段を付加して構成している。
【００１４】
【作用】従って、本発明の光学式記録ディスクの外観検
査方法および装置においては、外観検査を行なう際に、
光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定して
記憶し、欠陥が同一位置に連続して少なくとも２回発生
した場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定するこ
とにより、スタンパーに起因して発生した光学式記録デ
ィスク全面の欠陥の判定を迅速に行なうことができる。
査方法および装置においては、外観検査を行なう際に、
光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定して
記憶し、欠陥が同一位置に連続して少なくとも２回発生
した場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定するこ
とにより、スタンパーに起因して発生した光学式記録デ
ィスク全面の欠陥の判定を迅速に行なうことができる。
【００１５】また、光学式記録ディスクの検査光とし
て、反射光とこの反射光よりも強い透過光とを併用する
ことにより、スタンパーに起因して発生した光学式記録
ディスク全面の欠陥の判定を精度よく行なうことができ
る。
て、反射光とこの反射光よりも強い透過光とを併用する
ことにより、スタンパーに起因して発生した光学式記録
ディスク全面の欠陥の判定を精度よく行なうことができ
る。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明による外観検査装置の全体
構成例を示すブロック図である。すなわち、図１におい
て、第１のハロゲンランプ１からの光を、集光レンズ等
からなる第１の光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を
介して、検査対象である光学式記録ディスク５の信号エ
リアに照射し、その反射光をハーフミラー４、シリンド
リカルレンズ等からなる第２の光学系６を介して、ＣＣ
Ｄラインセンサー７で受光する構成としている。
構成例を示すブロック図である。すなわち、図１におい
て、第１のハロゲンランプ１からの光を、集光レンズ等
からなる第１の光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を
介して、検査対象である光学式記録ディスク５の信号エ
リアに照射し、その反射光をハーフミラー４、シリンド
リカルレンズ等からなる第２の光学系６を介して、ＣＣ
Ｄラインセンサー７で受光する構成としている。
【００１８】また、第２のハロゲンランプ８からの光
を、集光レンズ等からなる第３の光学系９、ミラー１０
を介して、光学式記録ディスク５の信号エリアにミラー
３からの光と反対側から照射し、その透過光を上記反射
光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系６を介して、
ＣＣＤラインセンサー７で受光する構成としている。
を、集光レンズ等からなる第３の光学系９、ミラー１０
を介して、光学式記録ディスク５の信号エリアにミラー
３からの光と反対側から照射し、その透過光を上記反射
光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系６を介して、
ＣＣＤラインセンサー７で受光する構成としている。
【００１９】なお、光学式記録ディスク５は、スピンド
ルモーター１１により回転させるようになっている。
ルモーター１１により回転させるようになっている。
【００２０】一方、システムコントローラ１２と、記憶
手段であるメモリ１３と、出力手段である表示器１４と
を備えている。そして、このシステムコントローラ１２
と記憶手段であるメモリ１３とから、欠陥測定・記憶手
段を構成している。
手段であるメモリ１３と、出力手段である表示器１４と
を備えている。そして、このシステムコントローラ１２
と記憶手段であるメモリ１３とから、欠陥測定・記憶手
段を構成している。
【００２１】ここで、システムコントローラ１２は、第
１，第２のハロゲンランプ１，８のオン／オフを制御す
る機能と、スピンドルモーター１１の回転を制御する機
能と、ＣＣＤラインセンサー７からの欠陥情報に基づい
て、光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置を測定
する欠陥測定機能と、メモリ１３をアクセスする機能
と、メモリ１３の記憶データに基づいて、欠陥の半径方
向位置が同一位置として少なくとも２回連続して記憶さ
れた場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定する判
定機能と、この判定結果を表示器１４に出力する表示機
能とを有するものである。
１，第２のハロゲンランプ１，８のオン／オフを制御す
る機能と、スピンドルモーター１１の回転を制御する機
能と、ＣＣＤラインセンサー７からの欠陥情報に基づい
て、光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置を測定
する欠陥測定機能と、メモリ１３をアクセスする機能
と、メモリ１３の記憶データに基づいて、欠陥の半径方
向位置が同一位置として少なくとも２回連続して記憶さ
れた場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定する判
定機能と、この判定結果を表示器１４に出力する表示機
能とを有するものである。
【００２２】また、メモリ１３は、システムコントロー
ラ１２による光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向
位置を記憶するためのものである。
ラ１２による光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向
位置を記憶するためのものである。
【００２３】さらに、表示器１４は、システムコントロ
ーラ１２による判定結果を表示するためのものである。
ーラ１２による判定結果を表示するためのものである。
【００２４】なお、上記において、第２のハロゲンラン
プ８からの光の強さは、第１のハロゲンランプ１からの
光の強さよりも強くなるようにしている。
プ８からの光の強さは、第１のハロゲンランプ１からの
光の強さよりも強くなるようにしている。
【００２５】以上により、光学式記録ディスクを１回転
させることによって、光学式記録ディスク全面の欠陥情
報を得るようにしている。
させることによって、光学式記録ディスク全面の欠陥情
報を得るようにしている。
【００２６】次に、以上のように構成した本実施例によ
る光学式記録ディスク５の外観検査方法について説明す
る。
る光学式記録ディスク５の外観検査方法について説明す
る。
【００２７】いま、光学式記録ディスク５の外観検査を
行なう際には、まず第１枚目の光学式記録ディスク５を
スピンドルモーター１１にセットする。
行なう際には、まず第１枚目の光学式記録ディスク５を
スピンドルモーター１１にセットする。
【００２８】次に、システムコントローラ１２により第
１，第２のハロゲンランプ１，８をオンすると共に、ス
ピンドルモーター１１を駆動して光学式記録ディスク５
を回転させる。すると、第１のハロゲンランプ１からの
光は、第１の光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を通
して、光学式記録ディスク５の信号エリアに照射され、
その反射光がハーフミラー４、第２の光学系６を通し
て、ＣＣＤラインセンサー７により受光される。また、
第２のハロゲンランプ８からの光は、第３の光学系９、
ミラー１０を通して、光学式記録ディスク５の信号エリ
アにミラー３からの光と反対側から照射され、その透過
光が上記反射光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系
６を通して、ＣＣＤラインセンサー７により受光され
る。
１，第２のハロゲンランプ１，８をオンすると共に、ス
ピンドルモーター１１を駆動して光学式記録ディスク５
を回転させる。すると、第１のハロゲンランプ１からの
光は、第１の光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を通
して、光学式記録ディスク５の信号エリアに照射され、
その反射光がハーフミラー４、第２の光学系６を通し
て、ＣＣＤラインセンサー７により受光される。また、
第２のハロゲンランプ８からの光は、第３の光学系９、
ミラー１０を通して、光学式記録ディスク５の信号エリ
アにミラー３からの光と反対側から照射され、その透過
光が上記反射光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系
６を通して、ＣＣＤラインセンサー７により受光され
る。
【００２９】次に、これにより得られるＣＣＤラインセ
ンサー７からの出力はシステムコントローラ１２に入力
される。すると、システムコントローラ１２では、ＣＣ
Ｄラインセンサー７からの欠陥情報に基づいて、光学式
記録ディスク５全面の欠陥の半径方向位置が測定され、
その測定データがメモリ１３に記憶される。
ンサー７からの出力はシステムコントローラ１２に入力
される。すると、システムコントローラ１２では、ＣＣ
Ｄラインセンサー７からの欠陥情報に基づいて、光学式
記録ディスク５全面の欠陥の半径方向位置が測定され、
その測定データがメモリ１３に記憶される。
【００３０】以上により、第１枚目の光学式記録ディス
ク５の外観検査が終了する。
ク５の外観検査が終了する。
【００３１】次に、第１枚目の光学式記録ディスク５に
代えて第２枚目の光学式記録ディスク５をスピンドルモ
ーター１１にセットし、上記と全く同様にして外観検査
が行なわれ、その光学式記録ディスク５全面の欠陥の半
径方向位置が測定されて、その測定データがメモリ１３
に記憶される。
代えて第２枚目の光学式記録ディスク５をスピンドルモ
ーター１１にセットし、上記と全く同様にして外観検査
が行なわれ、その光学式記録ディスク５全面の欠陥の半
径方向位置が測定されて、その測定データがメモリ１３
に記憶される。
【００３２】以上により、第２枚目の光学式記録ディス
ク５の外観検査が終了する。
ク５の外観検査が終了する。
【００３３】次に、システムコントローラ１２では、上
記光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置データを
メモリ１３から読み出して両者が比較される。その結
果、欠陥の半径方向位置が同一である、すなわち欠陥が
２回連続して同一位置に発生したことを検出した場合に
は、その欠陥がスタンパー起因の欠陥であると判定され
る。そして、この判定結果は、表示器１４に出力表示さ
れる。
記光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置データを
メモリ１３から読み出して両者が比較される。その結
果、欠陥の半径方向位置が同一である、すなわち欠陥が
２回連続して同一位置に発生したことを検出した場合に
は、その欠陥がスタンパー起因の欠陥であると判定され
る。そして、この判定結果は、表示器１４に出力表示さ
れる。
【００３４】なお、上記において、光学式記録ディスク
５全面の欠陥の位置確認として半径方向位置を測定する
のは、次のような理由によるものである。すなわち、通
常、光学式記録ディスクを作製する場合、透明基板作成
にインジェクション成形、反射膜付けに蒸着またはスパ
ッタ、保護膜付けにスピンコーターを使用することか
ら、光学式記録ディスク５の角度方向の位置データは位
置を持たないため、半径方向位置のみで行なうものであ
る。
５全面の欠陥の位置確認として半径方向位置を測定する
のは、次のような理由によるものである。すなわち、通
常、光学式記録ディスクを作製する場合、透明基板作成
にインジェクション成形、反射膜付けに蒸着またはスパ
ッタ、保護膜付けにスピンコーターを使用することか
ら、光学式記録ディスク５の角度方向の位置データは位
置を持たないため、半径方向位置のみで行なうものであ
る。
【００３５】また、検査光として、反射光と透過光とを
併用するのは、次のような理由によるものである。すな
わち、欠陥の種類としては、反射光で検出できる、スタ
ンパー起因の信号面のへこみや傷、透明基板中への異物
混入、ウェルド、表面の傷等と、透明光で検出できる反
射膜のピンホール等とがある。そこで、外観検査の際
に、反射光と透過光とを併用することにより、反射膜の
ピンホール等を分離することができ、スタンパー以外に
起因する欠陥を、スタンパー起因の欠陥と誤認する確率
を少なくすることができるからである。
併用するのは、次のような理由によるものである。すな
わち、欠陥の種類としては、反射光で検出できる、スタ
ンパー起因の信号面のへこみや傷、透明基板中への異物
混入、ウェルド、表面の傷等と、透明光で検出できる反
射膜のピンホール等とがある。そこで、外観検査の際
に、反射光と透過光とを併用することにより、反射膜の
ピンホール等を分離することができ、スタンパー以外に
起因する欠陥を、スタンパー起因の欠陥と誤認する確率
を少なくすることができるからである。
【００３６】上述したように、本実施例は、第１のハロ
ゲンランプ１からの光を、集光レンズ等からなる第１の
光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を介して、検査対
象である光学式記録ディスク５の信号エリアに照射し、
その反射光をハーフミラー４、シリンドリカルレンズ等
からなる第２の光学系６を介して、ＣＣＤラインセンサ
ー７で受光すると共に、第１のハロゲンランプ１からの
光の強さよりも強い第２のハロゲンランプ８からの光
を、集光レンズ等からなる第３の光学系９、ミラー１０
を介して、光学式記録ディスク５の信号エリアにミラー
３からの光と反対側から照射し、その透過光を上記反射
光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系６を介して、
ＣＣＤラインセンサー７で受光する構成とし、光学式記
録ディスク５をスピンドルモーター１１で回転させるこ
とによって光学式記録ディスク５全面の欠陥情報を得る
ようにした光学式記録ディスク５の外観検査装置におい
て、第１，第２のハロゲンランプ１，８のオン／オフを
制御する機能、スピンドルモーター１１の回転を制御す
る機能、ＣＣＤラインセンサー７からの欠陥情報に基づ
いて、光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置を測
定する欠陥測定機能、メモリ１３をアクセスする機能、
メモリ１３の記憶データに基づいて、欠陥の半径方向位
置が同一位置として少なくとも２回連続して記憶された
場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定する判定機
能、この判定結果を表示器１４に出力する表示機能を有
するシステムコントローラ１２と、システムコントロー
ラ１２による光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向
位置を記憶するためのメモリ１３と、システムコントロ
ーラ１２による判定結果を表示するための表示器１４と
を備えて構成し、光学式記録ディスク５の外観検査を行
なうに際して、ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報に
基づいて、光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向位
置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一位置と
して２回連続して記憶された場合に、スタンパー起因の
欠陥であると判定するようにしたものである。
ゲンランプ１からの光を、集光レンズ等からなる第１の
光学系２、ミラー３、ハーフミラー４を介して、検査対
象である光学式記録ディスク５の信号エリアに照射し、
その反射光をハーフミラー４、シリンドリカルレンズ等
からなる第２の光学系６を介して、ＣＣＤラインセンサ
ー７で受光すると共に、第１のハロゲンランプ１からの
光の強さよりも強い第２のハロゲンランプ８からの光
を、集光レンズ等からなる第３の光学系９、ミラー１０
を介して、光学式記録ディスク５の信号エリアにミラー
３からの光と反対側から照射し、その透過光を上記反射
光と共に、ハーフミラー４、第２の光学系６を介して、
ＣＣＤラインセンサー７で受光する構成とし、光学式記
録ディスク５をスピンドルモーター１１で回転させるこ
とによって光学式記録ディスク５全面の欠陥情報を得る
ようにした光学式記録ディスク５の外観検査装置におい
て、第１，第２のハロゲンランプ１，８のオン／オフを
制御する機能、スピンドルモーター１１の回転を制御す
る機能、ＣＣＤラインセンサー７からの欠陥情報に基づ
いて、光学式記録ディスク５の欠陥の半径方向位置を測
定する欠陥測定機能、メモリ１３をアクセスする機能、
メモリ１３の記憶データに基づいて、欠陥の半径方向位
置が同一位置として少なくとも２回連続して記憶された
場合に、スタンパー起因の欠陥であると判定する判定機
能、この判定結果を表示器１４に出力する表示機能を有
するシステムコントローラ１２と、システムコントロー
ラ１２による光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向
位置を記憶するためのメモリ１３と、システムコントロ
ーラ１２による判定結果を表示するための表示器１４と
を備えて構成し、光学式記録ディスク５の外観検査を行
なうに際して、ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報に
基づいて、光学式記録ディスク５毎の欠陥の半径方向位
置を測定して記憶し、欠陥の半径方向位置が同一位置と
して２回連続して記憶された場合に、スタンパー起因の
欠陥であると判定するようにしたものである。
【００３７】従って、次のような効果が得られるもので
ある。
ある。
【００３８】（ａ）光学式記録ディスク５の外観検査の
際に、スタンパーに起因して発生した光学式記録ディス
ク５全面の欠陥の判定を迅速に行なうことが可能とな
り、もってスタンパー起因の欠陥が発生した場合に、そ
れにいち早く対応することができる。
際に、スタンパーに起因して発生した光学式記録ディス
ク５全面の欠陥の判定を迅速に行なうことが可能とな
り、もってスタンパー起因の欠陥が発生した場合に、そ
れにいち早く対応することができる。
【００３９】（ｂ）検査光として、反射光と透過光とを
併用しているため、スタンパーに起因して発生した光学
式記録ディスク５全面の欠陥の判定精度を高めることが
可能となる。
併用しているため、スタンパーに起因して発生した光学
式記録ディスク５全面の欠陥の判定精度を高めることが
可能となる。
【００４０】（ｃ）従来の検査装置に簡単な改良を加え
るだけ実現可能であるため、コストのアップ度合が少な
い。
るだけ実現可能であるため、コストのアップ度合が少な
い。
【００４１】（ｄ）従来工程の変更や追加をほとんどし
なくて済む。
なくて済む。
【００４２】（ｅ）スタンパーのどの部分にコミが付着
し易いかを分析して、金型の設計やクリーンブースの設
計にフィードバックすることが可能となる。
し易いかを分析して、金型の設計やクリーンブースの設
計にフィードバックすることが可能となる。
【００４３】尚、上記各実施例では、出力手段として表
示器を備えた場合について説明したが、これに限らず出
力手段として、システムコントローラ１２による判定結
果を印字するためのプリンタを備える場合についても、
本発明を全く同様に適用して同様の効果を得ることがで
きるものである。
示器を備えた場合について説明したが、これに限らず出
力手段として、システムコントローラ１２による判定結
果を印字するためのプリンタを備える場合についても、
本発明を全く同様に適用して同様の効果を得ることがで
きるものである。
【００４４】また、上記実施例では、検査光として、反
射光と透過光とを併用する場合について説明したが、こ
れは本発明に必要不可欠な要件ではない。
射光と透過光とを併用する場合について説明したが、こ
れは本発明に必要不可欠な要件ではない。
【００４５】さらに、上記実施例では、光学式記録ディ
スク毎の欠陥の半径方向位置を測定し、欠陥が同一位置
に連続して２回発生した場合に、スタンパー起因の欠陥
であると判定する場合について説明したが、これに限ら
ず光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定
し、欠陥が同一位置に連続して３回以上発生した場合
に、スタンパー起因の欠陥であると判定するようにして
もよく、判定の信頼度を高めることが可能となる。
スク毎の欠陥の半径方向位置を測定し、欠陥が同一位置
に連続して２回発生した場合に、スタンパー起因の欠陥
であると判定する場合について説明したが、これに限ら
ず光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定
し、欠陥が同一位置に連続して３回以上発生した場合
に、スタンパー起因の欠陥であると判定するようにして
もよく、判定の信頼度を高めることが可能となる。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｃ
ＣＤラインセンサーからの欠陥情報に基づいて、光学式
記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定して記憶
し、欠陥の半径方向位置が同一位置として少なくとも２
回連続して記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥で
あると判定するようにしたので、外観検査の際に、スタ
ンパーに起因して発生した光学式記録ディスク全面の欠
陥の判定を迅速にしかも精度よく行なうことが可能な極
めて信頼性の高い光学式記録ディスクの外観検査方法お
よび装置が提供できる。
ＣＤラインセンサーからの欠陥情報に基づいて、光学式
記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定して記憶
し、欠陥の半径方向位置が同一位置として少なくとも２
回連続して記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥で
あると判定するようにしたので、外観検査の際に、スタ
ンパーに起因して発生した光学式記録ディスク全面の欠
陥の判定を迅速にしかも精度よく行なうことが可能な極
めて信頼性の高い光学式記録ディスクの外観検査方法お
よび装置が提供できる。
【図１】本発明による外観検査装置の一実施例を示すブ
ロック図。
ロック図。
１…第１のハロゲンランプ、２…第１の光学系、３…ミ
ラー、４…ハーフミラー、５…光学式記録ディスク、６
…第２の光学系、７…ＣＣＤラインセンサー、８…第２
のハロゲンランプ、９…第３の光学系、１０…ミラー、
１１…スピンドルモーター、１２…システムコントロー
ラ、１３…メモリ、１４…表示器。
ラー、４…ハーフミラー、５…光学式記録ディスク、６
…第２の光学系、７…ＣＣＤラインセンサー、８…第２
のハロゲンランプ、９…第３の光学系、１０…ミラー、
１１…スピンドルモーター、１２…システムコントロー
ラ、１３…メモリ、１４…表示器。
Claims (4)
- 【請求項１】 光源からの光を、第１の光学系を介して
検査対象である光学式記録ディスクの信号エリアに照射
し、その反射光を第２の光学系を介してＣＣＤラインセ
ンサーで受光し、前記光学式記録ディスクを回転させる
ことによって前記光学式記録ディスク全面の欠陥情報を
得るようにした光学式記録ディスクの外観検査方法にお
いて、 前記ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報に基づいて、
前記光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定
して記憶し、 前記欠陥の半径方向位置が同一位置として少なくとも２
回連続して記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥で
あると判定するようにしたことを特徴とする光学式記録
ディスクの外観検査方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光学式記録ディスクの
外観検査方法において、前記光源からの光よりも強い光
を、第３の光学系を介して前記光学式記録ディスクの信
号エリアに前記第１の光学系からの光と反対側から照射
し、その透過光を前記反射光と共にＣＣＤラインセンサ
ーに入光させるようにしたことを特徴とする光学式記録
ディスクの外観検査方法。 - 【請求項３】 光源からの光を、第１の光学系を介して
検査対象である光学式記録ディスクのプログラムエリア
に照射し、その反射光を第２の光学系を介してＣＣＤラ
インセンサーで受光し、前記光学式記録ディスクを回転
させることによって前記光学式記録ディスク全面の欠陥
情報を得るようにした光学式記録ディスクの外観検査装
置において、 前記ＣＣＤラインセンサーからの欠陥情報に基づいて、
前記光学式記録ディスク毎の欠陥の半径方向位置を測定
して記憶する欠陥測定・記憶手段と、 前記欠陥測定・記憶手段の記憶データに基づいて、前記
欠陥の半径方向位置が同一位置として少なくとも２回連
続して記憶された場合に、スタンパー起因の欠陥である
と判定する判定手段と、 前記判定手段による判定結果を出力する出力手段と、 を備えて成ることを特徴とする光学式記録ディスクの外
観検査装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の光学式記録ディスクの
外観検査装置において、前記光源からの光よりも強い光
を、第３の光学系を介して前記光学式記録ディスクのプ
ログラムエリアに前記第１の光学系からの光と反対側か
ら照射し、その透過光を前記反射光と共にＣＣＤライン
センサーに入光させる手段を付加して成ることを特徴と
する光学式記録ディスクの外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1899792A JPH05217217A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 光学式記録ディスクの外観検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1899792A JPH05217217A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 光学式記録ディスクの外観検査方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05217217A true JPH05217217A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11987202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1899792A Pending JPH05217217A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 光学式記録ディスクの外観検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05217217A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011122096A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンドメディアの欠陥検査装置及びそれを用いたパターンドメディア用スタンパの検査方法 |
| JP2012018734A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Hitachi High-Technologies Corp | パターンドメディアの検査装置及びパターンドメディア用スタンパの検査方法 |
-
1992
- 1992-02-04 JP JP1899792A patent/JPH05217217A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011122096A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンドメディアの欠陥検査装置及びそれを用いたパターンドメディア用スタンパの検査方法 |
| JP2011210327A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Hitachi High-Technologies Corp | パターンドメディアの欠陥検査装置及びそれを用いたパターンドメディア用スタンパの検査方法 |
| JP2012018734A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Hitachi High-Technologies Corp | パターンドメディアの検査装置及びパターンドメディア用スタンパの検査方法 |
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