JPH07121910A - 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置 - Google Patents
光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置Info
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- JPH07121910A JPH07121910A JP28429793A JP28429793A JPH07121910A JP H07121910 A JPH07121910 A JP H07121910A JP 28429793 A JP28429793 A JP 28429793A JP 28429793 A JP28429793 A JP 28429793A JP H07121910 A JPH07121910 A JP H07121910A
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- main beam
- beams
- optical disk
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光デイスクやスタンパのトラツクピツチを定量
的に測定することにより、光デイスクの品質を向上させ
ることができる光デイスク検査方法及び光デイスク検査
装置を提案する。 【構成】記録トラツクＴＲ１上を走査するようにメイン
ビームＭＢ２を照射しかつメインビームＭＢ２が走査す
る記録トラツクＴＲ１に隣合う記録トラツクＴＲ２、Ｔ
Ｒ３に対して一部が掛かるようにサブビームＳＢ３、Ｓ
Ｂ４を照射し、このときサブビームＳＢ３、ＳＢ４の反
射光量に基づいて記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３のトラツ
クピツチを求めるようにしたことにより、トラツクピツ
チを定量的に測定し得、光デイスクの品質を向上させる
ことができる。
的に測定することにより、光デイスクの品質を向上させ
ることができる光デイスク検査方法及び光デイスク検査
装置を提案する。 【構成】記録トラツクＴＲ１上を走査するようにメイン
ビームＭＢ２を照射しかつメインビームＭＢ２が走査す
る記録トラツクＴＲ１に隣合う記録トラツクＴＲ２、Ｔ
Ｒ３に対して一部が掛かるようにサブビームＳＢ３、Ｓ
Ｂ４を照射し、このときサブビームＳＢ３、ＳＢ４の反
射光量に基づいて記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３のトラツ
クピツチを求めるようにしたことにより、トラツクピツ
チを定量的に測定し得、光デイスクの品質を向上させる
ことができる。
Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１及び図４〜図７） 作用（図４〜図７） 実施例（図１〜図７） 発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は光デイスク検査方法及び
光デイスク検査装置に関し、例えばコンパクトデイスク
等の光デイスクや当該光デイスクを製造する際の型とな
るスタンパのトラツクピツチむらを検査する場合に適用
して好適なものである。
光デイスク検査装置に関し、例えばコンパクトデイスク
等の光デイスクや当該光デイスクを製造する際の型とな
るスタンパのトラツクピツチむらを検査する場合に適用
して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】光デイスクにおいては、スパイラル状の
記録トラツク上に記録情報に応じた配列でピツトが形成
されている。この光デイスクは、記録情報に応じた凹凸
部が形成されたスタンパを用いて、当該スタンパの情報
記録面に圧縮成形、射出成形又は２Ｐ法（photo polyma
rization）等によりプラスチツク材料を付着させること
により、当該プラスチツク材料の一面にスタンパに形成
された情報を転写するようにして製造される。この結果
一つのスタンパから容易に大量の光デイスクを製造する
ことができるようになされている。
記録トラツク上に記録情報に応じた配列でピツトが形成
されている。この光デイスクは、記録情報に応じた凹凸
部が形成されたスタンパを用いて、当該スタンパの情報
記録面に圧縮成形、射出成形又は２Ｐ法（photo polyma
rization）等によりプラスチツク材料を付着させること
により、当該プラスチツク材料の一面にスタンパに形成
された情報を転写するようにして製造される。この結果
一つのスタンパから容易に大量の光デイスクを製造する
ことができるようになされている。
【０００４】ここで光デイスクにおいては、この記録ト
ラツクの間隔（以下これをトラツクピツチと呼ぶ）が規
格により所定の値に定められており、例えばＣＤ（コン
パクトデイスク）においては、トラツクピツチを 1.6
〔μm 〕±0.1 〔μm 〕の範囲内に収める必要がある。
ラツクの間隔（以下これをトラツクピツチと呼ぶ）が規
格により所定の値に定められており、例えばＣＤ（コン
パクトデイスク）においては、トラツクピツチを 1.6
〔μm 〕±0.1 〔μm 〕の範囲内に収める必要がある。
【０００５】またトラツクピツチが上述した規格内に収
まつている場合でも、局部的にトラツクピツチが変化し
たり、又はある箇所から急にトラツクピツチが変化する
所謂トラツクピツチむらが発生した場合には、ＣＤの信
号面に不自然な干渉縞が見えて外観不良となることによ
り、製造時においてこのトラツクピツチむらを信号面の
全面に亘つて検査する必要がある。
まつている場合でも、局部的にトラツクピツチが変化し
たり、又はある箇所から急にトラツクピツチが変化する
所謂トラツクピツチむらが発生した場合には、ＣＤの信
号面に不自然な干渉縞が見えて外観不良となることによ
り、製造時においてこのトラツクピツチむらを信号面の
全面に亘つて検査する必要がある。
【０００６】従来、このトラツクピツチやトラツクピツ
チむらを検査する方法としては、成形した光デイスクの
信号面に照射光を照射すると共にこのときの反射光に基
づいてトラツキングエラーが発生する箇所を検出する信
号特性検査装置を用い、当該信号特性検査装置によつて
トラツキングエラーが検出された箇所をオペレータが顕
微鏡で観察する方法が一般的に行われている。
チむらを検査する方法としては、成形した光デイスクの
信号面に照射光を照射すると共にこのときの反射光に基
づいてトラツキングエラーが発生する箇所を検出する信
号特性検査装置を用い、当該信号特性検査装置によつて
トラツキングエラーが検出された箇所をオペレータが顕
微鏡で観察する方法が一般的に行われている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の光デ
イスクにおけるトラツクピツチやトラツクピツチむらを
検査する方法においては、最終的にはオペレータが目視
によりその箇所を確認する作業が必要となることによ
り、非常に手間が掛かると共にトラツクピツチむらを確
実に検出する点で未だ不十分な問題があつた。ここで光
デイスクやスタンパのトラツクピツチを定量的に測定す
ることができる装置があれば、製造時における不良品の
数を低減できると共に光デイスクの品質を向上すること
ができ、大変便利であると考えられる。
イスクにおけるトラツクピツチやトラツクピツチむらを
検査する方法においては、最終的にはオペレータが目視
によりその箇所を確認する作業が必要となることによ
り、非常に手間が掛かると共にトラツクピツチむらを確
実に検出する点で未だ不十分な問題があつた。ここで光
デイスクやスタンパのトラツクピツチを定量的に測定す
ることができる装置があれば、製造時における不良品の
数を低減できると共に光デイスクの品質を向上すること
ができ、大変便利であると考えられる。
【０００８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、光デイスクやスタンパのトラツクピツチを定量的に
測定することにより、光デイスクの品質を向上させるこ
とができる光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置
を提案しようとするものである。
で、光デイスクやスタンパのトラツクピツチを定量的に
測定することにより、光デイスクの品質を向上させるこ
とができる光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置
を提案しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、光デイスク又は光デイスクを成形
する型２の情報記録面２Ａの状態を検査する光デイスク
検査方法において、所定の回転駆動手段７〜１０により
回転された光デイスク又は型２の記録トラツクＴＲ１、
ＴＲ２又はＴＲ３上にメインビームＭＢ２を照射すると
共に情報記録面２ＡにサブビームＳＢ２、ＳＢ３を照射
し、サブビームＳＢ２、ＳＢ３の情報記録面２Ａからの
反射光の光量Ｌ０〜Ｌ２に基づいて記録トラツクＴＲ
１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を検査するようにする。
め本発明においては、光デイスク又は光デイスクを成形
する型２の情報記録面２Ａの状態を検査する光デイスク
検査方法において、所定の回転駆動手段７〜１０により
回転された光デイスク又は型２の記録トラツクＴＲ１、
ＴＲ２又はＴＲ３上にメインビームＭＢ２を照射すると
共に情報記録面２ＡにサブビームＳＢ２、ＳＢ３を照射
し、サブビームＳＢ２、ＳＢ３の情報記録面２Ａからの
反射光の光量Ｌ０〜Ｌ２に基づいて記録トラツクＴＲ
１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を検査するようにする。
【００１０】また本発明においては、光デイスク又は光
デイスクを成形する型２の情報記録面２Ａの状態を検査
する光デイスク検査装置１において、光デイスク又は型
２を回転させる回転駆動手段７〜１０と、光デイスク又
は型２の情報記録面２Ａに形成された記録トラツクＴＲ
１上を走査するようにメインビームＭＢ２を照射しかつ
メインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１に隣
合う記録トラツクＴＲ２、ＴＲ３に対して一部が掛かる
ようにサブビームＳＢ３、ＳＢ４を照射すると共に、メ
インビームＭＢ２及びサブビームＳＢ３、ＳＢ４の情報
記録面２Ａからの反射光を受光する光ヘツド１２と、サ
ブビームＳＢ３、ＳＢ４の反射光量に応じて光ヘツド１
２から出力される出力信号Ｓ２に基づいて記録トラツク
ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を求める信号処理手段１
８とを備えるようにする。
デイスクを成形する型２の情報記録面２Ａの状態を検査
する光デイスク検査装置１において、光デイスク又は型
２を回転させる回転駆動手段７〜１０と、光デイスク又
は型２の情報記録面２Ａに形成された記録トラツクＴＲ
１上を走査するようにメインビームＭＢ２を照射しかつ
メインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１に隣
合う記録トラツクＴＲ２、ＴＲ３に対して一部が掛かる
ようにサブビームＳＢ３、ＳＢ４を照射すると共に、メ
インビームＭＢ２及びサブビームＳＢ３、ＳＢ４の情報
記録面２Ａからの反射光を受光する光ヘツド１２と、サ
ブビームＳＢ３、ＳＢ４の反射光量に応じて光ヘツド１
２から出力される出力信号Ｓ２に基づいて記録トラツク
ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を求める信号処理手段１
８とを備えるようにする。
【００１１】さらに本発明においては、光ヘツド１２
は、１つのビームからメインビームＭＢ２及びサブビー
ムＳＢ３、ＳＢ４を形成する光学系を備え、メインビー
ムＭＢ２によりフオーカス及びトラツキングサーボをか
けるようにする。
は、１つのビームからメインビームＭＢ２及びサブビー
ムＳＢ３、ＳＢ４を形成する光学系を備え、メインビー
ムＭＢ２によりフオーカス及びトラツキングサーボをか
けるようにする。
【００１２】さらに本発明においては、サブビームは第
１及び第２のサブビームＳＢ３及びＳＢ４でなり、メイ
ンビームＭＢ２並びに第１及び第２のサブビームＳＢ３
及びＳＢ４を同一の光ヘツド１２から射出し、メインビ
ームＭＢ２によりトラツキングサーボをかけると共に、
第１及び第２のサブビームＳＢ３及びＳＢ４をそれぞ
れ、メインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１
とメインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１の
両側の各記録トラツクＴＲ２、ＴＲ３とのほぼ中間位置
に照射するようにする。
１及び第２のサブビームＳＢ３及びＳＢ４でなり、メイ
ンビームＭＢ２並びに第１及び第２のサブビームＳＢ３
及びＳＢ４を同一の光ヘツド１２から射出し、メインビ
ームＭＢ２によりトラツキングサーボをかけると共に、
第１及び第２のサブビームＳＢ３及びＳＢ４をそれぞ
れ、メインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１
とメインビームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１の
両側の各記録トラツクＴＲ２、ＴＲ３とのほぼ中間位置
に照射するようにする。
【００１３】さらに本発明においては、光ヘツド１２
は、メインビームＭＢ２並びに第１及び第２のサブビー
ムＳＢ３及びＳＢ４を射出し、メインビームＭＢ２及び
又は第１、第２のサブビームＳＢ３、ＳＢ４によりトラ
ツキングサーボをかけると共に、第１及び第２のサブビ
ームＳＢ３及びＳＢ４をそれぞれ、メインビームＭＢ２
が走査する記録トラツクＴＲ１とメインビームＭＢ２が
走査する記録トラツクＴＲ１の両側の各記録トラツクＴ
Ｒ２、ＴＲ３とのほぼ中間位置に照射するようにする。
は、メインビームＭＢ２並びに第１及び第２のサブビー
ムＳＢ３及びＳＢ４を射出し、メインビームＭＢ２及び
又は第１、第２のサブビームＳＢ３、ＳＢ４によりトラ
ツキングサーボをかけると共に、第１及び第２のサブビ
ームＳＢ３及びＳＢ４をそれぞれ、メインビームＭＢ２
が走査する記録トラツクＴＲ１とメインビームＭＢ２が
走査する記録トラツクＴＲ１の両側の各記録トラツクＴ
Ｒ２、ＴＲ３とのほぼ中間位置に照射するようにする。
【００１４】
【作用】記録トラツクＴＲ１上を走査するようにメイン
ビームＭＢ２を照射しかつメインビームＭＢ２が走査す
る記録トラツクＴＲ１に隣合う記録トラツクＴＲ２、Ｔ
Ｒ３に対して一部が掛かるようにサブビームＳＢ３、Ｓ
Ｂ４を照射し、このときサブビームＳＢ３、ＳＢ４の情
報記録面２Ａからの反射光量Ｌ０〜Ｌ２に基づいて記録
トラツクＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を求めるように
したことにより、記録トラツクＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３
の間隔を定量的に測定することができる。
ビームＭＢ２を照射しかつメインビームＭＢ２が走査す
る記録トラツクＴＲ１に隣合う記録トラツクＴＲ２、Ｔ
Ｒ３に対して一部が掛かるようにサブビームＳＢ３、Ｓ
Ｂ４を照射し、このときサブビームＳＢ３、ＳＢ４の情
報記録面２Ａからの反射光量Ｌ０〜Ｌ２に基づいて記録
トラツクＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３の間隔を求めるように
したことにより、記録トラツクＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３
の間隔を定量的に測定することができる。
【００１５】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１６】図１において、１は全体として光デイスク
検査装置を示し、光デイスクを成形する際の型でなるス
タンパ２の情報記録面２Ａの記録情報を読み取るプレー
ヤ部３と、プレーヤ部３によつて読み取つた信号を処理
する制御部４とから構成されている。プレーヤ部３には
スタンパ２を下面に保持する回転テーブル５が設けられ
ており、回転テーブル５は回転軸６を介してスピンドル
モータ７により回転駆動される。スピンドルモータ７は
メカニカルコントローラ８により制御されるスピンドル
サーボ９により駆動される。
検査装置を示し、光デイスクを成形する際の型でなるス
タンパ２の情報記録面２Ａの記録情報を読み取るプレー
ヤ部３と、プレーヤ部３によつて読み取つた信号を処理
する制御部４とから構成されている。プレーヤ部３には
スタンパ２を下面に保持する回転テーブル５が設けられ
ており、回転テーブル５は回転軸６を介してスピンドル
モータ７により回転駆動される。スピンドルモータ７は
メカニカルコントローラ８により制御されるスピンドル
サーボ９により駆動される。
【００１７】回転テーブル５の下方位置には回転軸６の
両側に信号特性測定用ピツクアツプ１０とピツチむら測
定用ピツクアツプ１１とが設けられており、各ピツクア
ツプ１０及び１１はそれぞれフオーカス・トラツキング
サーボ１２及び１３によりフオーカス方向及びトラツキ
ング方向に駆動される。また各フオーカス・トラツキン
グサーボ１２及び１３はそれぞれメカニカルコントロー
ラ８により制御される。
両側に信号特性測定用ピツクアツプ１０とピツチむら測
定用ピツクアツプ１１とが設けられており、各ピツクア
ツプ１０及び１１はそれぞれフオーカス・トラツキング
サーボ１２及び１３によりフオーカス方向及びトラツキ
ング方向に駆動される。また各フオーカス・トラツキン
グサーボ１２及び１３はそれぞれメカニカルコントロー
ラ８により制御される。
【００１８】ここで信号特性測定用ピツクアツプ１０
は、所謂３ビーム法によつてトラツキングサーボをかけ
るようになされている。すなわち信号特性測定用ピツク
アツプ１０は、図２に示すように、メインビームＭＢ１
及び２つのサブビームＳＢ１、ＳＢ２を情報記録面２Ａ
に照射し、このとき２つのサブビームＳＢ１及びＳＢ２
がメインビームＭＢ１が走査している記録トラツクＴＲ
１に対してそれぞれ同じ量だけかかるように制御するこ
とにより、メインビームＭＢ１が記録トラツクＴＲ１上
を正確に走査し得るようになされている。
は、所謂３ビーム法によつてトラツキングサーボをかけ
るようになされている。すなわち信号特性測定用ピツク
アツプ１０は、図２に示すように、メインビームＭＢ１
及び２つのサブビームＳＢ１、ＳＢ２を情報記録面２Ａ
に照射し、このとき２つのサブビームＳＢ１及びＳＢ２
がメインビームＭＢ１が走査している記録トラツクＴＲ
１に対してそれぞれ同じ量だけかかるように制御するこ
とにより、メインビームＭＢ１が記録トラツクＴＲ１上
を正確に走査し得るようになされている。
【００１９】すなわち、信号特性測定用ピツクアツプ１
０はサブビームＳＢ１及びＳＢ２からの反射光に基づい
て、図３（Ａ）に示すように、メインビームＭＢ１及び
サブビームＳＢ１、ＳＢ２全体が記録トラツクＴＲ１に
対して下方向に移動するとメインビームＭＢ１及びサブ
ビームＳＢ１、ＳＢ２全体を上方に移動させ、図３
（Ｃ）に示すように、メインビームＭＢ１及びサブビー
ムＳＢ１、ＳＢ２全体が記録トラツクＴＲ１に対して上
方向に移動するとメインビームＭＢ１及びサブビームＳ
Ｂ１、ＳＢ２全体を下方に移動させることにより、図３
（Ｂ）に示すように、メインビームＭＢ１を常に記録ト
ラツクＴＲ１の中心を走査させるようになされている。
０はサブビームＳＢ１及びＳＢ２からの反射光に基づい
て、図３（Ａ）に示すように、メインビームＭＢ１及び
サブビームＳＢ１、ＳＢ２全体が記録トラツクＴＲ１に
対して下方向に移動するとメインビームＭＢ１及びサブ
ビームＳＢ１、ＳＢ２全体を上方に移動させ、図３
（Ｃ）に示すように、メインビームＭＢ１及びサブビー
ムＳＢ１、ＳＢ２全体が記録トラツクＴＲ１に対して上
方向に移動するとメインビームＭＢ１及びサブビームＳ
Ｂ１、ＳＢ２全体を下方に移動させることにより、図３
（Ｂ）に示すように、メインビームＭＢ１を常に記録ト
ラツクＴＲ１の中心を走査させるようになされている。
【００２０】この結果信号特性測定用ピツクアツプ１０
は、トラツキングサーボをかけた状態で、メインビーム
ＭＢ１及びサブビームＳＢ１、ＳＢ２の反射光に基づい
てスタンパ２の信号特性を検査するための検出信号Ｓ１
を発生し、これをインターフエース１４を介して信号処
理ユニツト１５の信号特性処理回路１６に送出する。信
号特性処理回路１６は、検出信号Ｓ１を解析することに
よりスタンパ２の信号特性を測定、検査する。すなわち
信号特性処理回路１６は、ブロツクエラーレイト、バー
ストエラー、トラツキングエラーノイズ、ドロツプアウ
ト、アシンメトリ、クロストーク、プツシユプル及びＴ
ＯＣ情報チエツク等の項目に関して、予め設定されたし
きい値と検出信号Ｓ１とを比較することにより合否を判
定する検査を行い、この検査結果をホストコンピユータ
１８を介してＣＲＴ１９やプリンタ２０等の出力装置に
表示する。
は、トラツキングサーボをかけた状態で、メインビーム
ＭＢ１及びサブビームＳＢ１、ＳＢ２の反射光に基づい
てスタンパ２の信号特性を検査するための検出信号Ｓ１
を発生し、これをインターフエース１４を介して信号処
理ユニツト１５の信号特性処理回路１６に送出する。信
号特性処理回路１６は、検出信号Ｓ１を解析することに
よりスタンパ２の信号特性を測定、検査する。すなわち
信号特性処理回路１６は、ブロツクエラーレイト、バー
ストエラー、トラツキングエラーノイズ、ドロツプアウ
ト、アシンメトリ、クロストーク、プツシユプル及びＴ
ＯＣ情報チエツク等の項目に関して、予め設定されたし
きい値と検出信号Ｓ１とを比較することにより合否を判
定する検査を行い、この検査結果をホストコンピユータ
１８を介してＣＲＴ１９やプリンタ２０等の出力装置に
表示する。
【００２１】これに対してピツチむら測定用ピツクアツ
プ１１は、当該ピツクアツプ１１の格子（グレーテイン
グ）を調整することにより、通常の３ビーム法のサブビ
ーム（図２）に対してサブビームの形成位置をスタンパ
２の半径方向に所定量ずらすようになされている。すな
わちピツチむら測定要ピツクアツプ１１においては、図
４に示すように、サブビームＳＢ３及びＳＢ４を、メイ
ンビームＭＢ１が走査している記録トラツクＴＲ１と当
該記録トラツクＴＲ１の両側に隣合う記録トラツクＴＲ
２及びＴＲ３との中心位置に照射するようになされ、こ
の結果トラツクピツチが規格通りの場合、サブビームＳ
Ｂ３及びＳＢ４はメインビームＭＢ１が走査している記
録トラツクＴＲ１とその両隣の記録トラツクＴＲ２及び
ＴＲ３とを跨ぐように走査する。
プ１１は、当該ピツクアツプ１１の格子（グレーテイン
グ）を調整することにより、通常の３ビーム法のサブビ
ーム（図２）に対してサブビームの形成位置をスタンパ
２の半径方向に所定量ずらすようになされている。すな
わちピツチむら測定要ピツクアツプ１１においては、図
４に示すように、サブビームＳＢ３及びＳＢ４を、メイ
ンビームＭＢ１が走査している記録トラツクＴＲ１と当
該記録トラツクＴＲ１の両側に隣合う記録トラツクＴＲ
２及びＴＲ３との中心位置に照射するようになされ、こ
の結果トラツクピツチが規格通りの場合、サブビームＳ
Ｂ３及びＳＢ４はメインビームＭＢ１が走査している記
録トラツクＴＲ１とその両隣の記録トラツクＴＲ２及び
ＴＲ３とを跨ぐように走査する。
【００２２】またピツチむら測定用ピツクアツプ１１に
おいては、メインビームＭＢ１によつてプツシユプルサ
ーボ法による１ビームサーボをかけることにより、メイ
ンビームＭＢ１が常に記録トラツクＴＲ１の中心を走査
し得るようになされている。このときピツチむら測定用
ピツクアツプ１１は、サブビームＳＢ３及びＳＢ４の情
報記録面２Ａからの反射光に基づいて検出信号Ｓ２を発
生し、これをインターフエース１４を介して信号処理ユ
ニツト１５のピツチむら測定処理回路１７に送出する。
おいては、メインビームＭＢ１によつてプツシユプルサ
ーボ法による１ビームサーボをかけることにより、メイ
ンビームＭＢ１が常に記録トラツクＴＲ１の中心を走査
し得るようになされている。このときピツチむら測定用
ピツクアツプ１１は、サブビームＳＢ３及びＳＢ４の情
報記録面２Ａからの反射光に基づいて検出信号Ｓ２を発
生し、これをインターフエース１４を介して信号処理ユ
ニツト１５のピツチむら測定処理回路１７に送出する。
【００２３】また光デイスク検査装置１においては、検
査対象となるスタンパ２を検査する前に、回転テーブル
５に規格に合致した正確なトラツクピツチを有する記録
トラツクが形成された基準スタンパを取り付け、このと
きピツチむら測定用ピツクアツプ１１によつて基準スタ
ンパから得られる基準信号Ｓ２ref を信号処理ユニツト
１５の記憶部（図示せず）に記憶する。これにより光デ
イスク検査装置１においては、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１によつて検査対象のスタンパ２から得られる
検出信号Ｓ２と基準信号Ｓ２ref をピツチむら測定処理
回路１７によつて比較することによりスタンパ２にピツ
チむらがあるか否かを測定し、当該測定結果をホストコ
ンピユータ１８を介してＣＲＴ１９やプリンタ２０等の
出力装置に表示する。
査対象となるスタンパ２を検査する前に、回転テーブル
５に規格に合致した正確なトラツクピツチを有する記録
トラツクが形成された基準スタンパを取り付け、このと
きピツチむら測定用ピツクアツプ１１によつて基準スタ
ンパから得られる基準信号Ｓ２ref を信号処理ユニツト
１５の記憶部（図示せず）に記憶する。これにより光デ
イスク検査装置１においては、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１によつて検査対象のスタンパ２から得られる
検出信号Ｓ２と基準信号Ｓ２ref をピツチむら測定処理
回路１７によつて比較することによりスタンパ２にピツ
チむらがあるか否かを測定し、当該測定結果をホストコ
ンピユータ１８を介してＣＲＴ１９やプリンタ２０等の
出力装置に表示する。
【００２４】以上の構成において、光デイスク検査装置
１は、信号特性測定用ピツクアツプ１０及びピツチむら
測定用ピツクアツプ１１によつて、スタンパ２から検出
信号Ｓ１及びＳ２を得、信号特性測定用ピツクアツプ１
０によつて得られた検出信号Ｓ１に基づいてスタンパ２
の信号特性を検査すると共に、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１により得られた検出信号Ｓ２に基づいてスタ
ンパ２のトラツクピツチむらを検出する。
１は、信号特性測定用ピツクアツプ１０及びピツチむら
測定用ピツクアツプ１１によつて、スタンパ２から検出
信号Ｓ１及びＳ２を得、信号特性測定用ピツクアツプ１
０によつて得られた検出信号Ｓ１に基づいてスタンパ２
の信号特性を検査すると共に、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１により得られた検出信号Ｓ２に基づいてスタ
ンパ２のトラツクピツチむらを検出する。
【００２５】すなわち、スタンパ２のトラツクピツチが
規格に合致している場合には、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１から得られる反射光量は、図７（Ａ）に示す
ようになり、この反射光量Ｌ０の値が基準光量として信
号処理ユニツト１５の記憶部に記憶されている。
規格に合致している場合には、ピツチむら測定用ピツク
アツプ１１から得られる反射光量は、図７（Ａ）に示す
ようになり、この反射光量Ｌ０の値が基準光量として信
号処理ユニツト１５の記憶部に記憶されている。
【００２６】これに対して、スタンパ２のトラツクピツ
チが大きい場合には、サブビームＳＢ３及びＳＢ４のほ
とんどが記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３間のミラー部によ
つて反射され、この結果ピツチむら測定用ピツクアツプ
１１より得られる反射光量Ｌ１は、図７（Ｂ）に示すよ
うに、ほぼ最大光量となる。
チが大きい場合には、サブビームＳＢ３及びＳＢ４のほ
とんどが記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３間のミラー部によ
つて反射され、この結果ピツチむら測定用ピツクアツプ
１１より得られる反射光量Ｌ１は、図７（Ｂ）に示すよ
うに、ほぼ最大光量となる。
【００２７】またスタンパ２のトラツクピツチが小さい
場合には、記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３からのＲＦ信号
の洩れ込み量が大きくなり、この結果ピツチむら測定用
ピツクアツプ１１より得られる反射光量Ｌ２は、図７
（Ｃ）に示すように、基準光量Ｌ０に比して小さくな
る。
場合には、記録トラツクＴＲ１〜ＴＲ３からのＲＦ信号
の洩れ込み量が大きくなり、この結果ピツチむら測定用
ピツクアツプ１１より得られる反射光量Ｌ２は、図７
（Ｃ）に示すように、基準光量Ｌ０に比して小さくな
る。
【００２８】従つて光デイスク検査装置１においては、
ピツチむら測定用ピツクアツプ１１から得られるサブビ
ームＳＢ３及びＳＢ４の反射光量を基準光量Ｌ０と定量
的に比較し、反射光量が基準光量Ｌ０よりも大きい場合
にはトラツクピツチが規格よりも大きいと判断し、反射
光量が基準光量Ｌ０よりも小さい場合にはトラツクピツ
チが規格よりも小さいと判断し、反射光量が基準光量Ｌ
０と同じ場合にはトラツクピツチが規格に合致している
と判断する。このようにして、光デイスク検査装置１に
おいては、スタンパ２のトラツクピツチむらを定量的に
検査することができる。
ピツチむら測定用ピツクアツプ１１から得られるサブビ
ームＳＢ３及びＳＢ４の反射光量を基準光量Ｌ０と定量
的に比較し、反射光量が基準光量Ｌ０よりも大きい場合
にはトラツクピツチが規格よりも大きいと判断し、反射
光量が基準光量Ｌ０よりも小さい場合にはトラツクピツ
チが規格よりも小さいと判断し、反射光量が基準光量Ｌ
０と同じ場合にはトラツクピツチが規格に合致している
と判断する。このようにして、光デイスク検査装置１に
おいては、スタンパ２のトラツクピツチむらを定量的に
検査することができる。
【００２９】以上の構成によれば、メインビームＭＢ２
が走査する記録トラツクＴＲ１の両側の記録トラツクＴ
Ｒ２、ＴＲ３のそれぞれに一部がかかるようにサブビー
ムＳＢ３、ＳＢ４を照射し、当該サブビームＳＢ３及び
ＳＢ４からの反射光量に基づいてトラツクピツチを検査
するようにしたことにより、容易にトラツクピツチむら
を検査することができる光デイスク検査装置１を実現で
きる。
が走査する記録トラツクＴＲ１の両側の記録トラツクＴ
Ｒ２、ＴＲ３のそれぞれに一部がかかるようにサブビー
ムＳＢ３、ＳＢ４を照射し、当該サブビームＳＢ３及び
ＳＢ４からの反射光量に基づいてトラツクピツチを検査
するようにしたことにより、容易にトラツクピツチむら
を検査することができる光デイスク検査装置１を実現で
きる。
【００３０】なお上述の実施例においては、プレーヤ部
３を、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１及び信号特性
測定用ピツクアツプ１０により構成することにより、ス
タンパ２のトラツクピツチむらを検査すると共に信号特
性を検査する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、プレーヤ部３をピツチむら測定用ピツクアツプ１
１のみにより構成し、スタンパ２のトラツクピツチむら
のみを検査するようにしても良い。
３を、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１及び信号特性
測定用ピツクアツプ１０により構成することにより、ス
タンパ２のトラツクピツチむらを検査すると共に信号特
性を検査する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、プレーヤ部３をピツチむら測定用ピツクアツプ１
１のみにより構成し、スタンパ２のトラツクピツチむら
のみを検査するようにしても良い。
【００３１】また上述の実施例においては、信号特性測
定用ピツクアツプ１０を設けることによりスタンパ２の
信号特性を検査する場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１からの
検出信号Ｓ２に基づいてスタンパ２の信号特性を検査す
るようにしても良い。
定用ピツクアツプ１０を設けることによりスタンパ２の
信号特性を検査する場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１からの
検出信号Ｓ２に基づいてスタンパ２の信号特性を検査す
るようにしても良い。
【００３２】さらに上述の実施例においては、光デイス
クの型であるスタンパ２を検査する場合についてのべた
が、本発明はこれに限らず、ピツチむら測定用ピツクア
ツプ１１及び信号特性測定用ピツクアツプ１０として光
デイスク用のものを使用し、上述の場合と同様にメイン
ビームＭＢ２及びサブビームＳＢ３、ＳＢ４を照射する
ようにすれば、上述の場合と同様に光デイスクのトラツ
クピツチむら及び又は信号特性を検査することができ
る。
クの型であるスタンパ２を検査する場合についてのべた
が、本発明はこれに限らず、ピツチむら測定用ピツクア
ツプ１１及び信号特性測定用ピツクアツプ１０として光
デイスク用のものを使用し、上述の場合と同様にメイン
ビームＭＢ２及びサブビームＳＢ３、ＳＢ４を照射する
ようにすれば、上述の場合と同様に光デイスクのトラツ
クピツチむら及び又は信号特性を検査することができ
る。
【００３３】さらに上述の実施例においては、メインビ
ームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１の両側の記録
トラツクＴＲ２、ＴＲ３と記録トラツクＴＲ１とのほぼ
中心位置にサブビームＳＢ３及びＳＢ４を照射するよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
サブビームＳＢ３及びＳＢ４がそれぞれメインビームＭ
Ｂ２が走査している記録トラツクＴＲ１の両側の記録ト
ラツクＴＲ２及びＴＲ３に所定量だけかかるようにすれ
ばよい。すなわちトラツクピツチの変化量に応じてサブ
ビームからの反射光量が変化するような位置にサブビー
ムを照射するようにすれば良い。
ームＭＢ２が走査する記録トラツクＴＲ１の両側の記録
トラツクＴＲ２、ＴＲ３と記録トラツクＴＲ１とのほぼ
中心位置にサブビームＳＢ３及びＳＢ４を照射するよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
サブビームＳＢ３及びＳＢ４がそれぞれメインビームＭ
Ｂ２が走査している記録トラツクＴＲ１の両側の記録ト
ラツクＴＲ２及びＴＲ３に所定量だけかかるようにすれ
ばよい。すなわちトラツクピツチの変化量に応じてサブ
ビームからの反射光量が変化するような位置にサブビー
ムを照射するようにすれば良い。
【００３４】さらに上述の実施例においては、２つのサ
ブビームＳＢ３及びＳＢ４を照射し、当該サブビームＳ
Ｂ３及びＳＢ４からの反射光量に基づいてトラツクピツ
チを検出する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、１つのサブビームからの反射光量に基づいてトラ
ツクピツチを検出するようにしても良い。
ブビームＳＢ３及びＳＢ４を照射し、当該サブビームＳ
Ｂ３及びＳＢ４からの反射光量に基づいてトラツクピツ
チを検出する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、１つのサブビームからの反射光量に基づいてトラ
ツクピツチを検出するようにしても良い。
【００３５】さらに上述の実施例においては、ピツチむ
ら測定用ピツクアツプ１１によるトラツキング方法とし
て、メインビームＭＢ２によつてトラツキングサーボを
かける１ビームプツシユプルサーボ法を用いた場合につ
いて述べたが、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１のト
ラツキング方法としては、反射光の強度分布を４つに分
割した光検出器で受けることにより反射光の位相のずれ
を検出してトラツキングをとる所謂ＤＰＤ（Differenti
al Phase Detection）法や、メインビームＭＢ２及びサ
ブビームＳＢ３、ＳＢ４のそれぞれの反射光からプツシ
ユプル信号を検出し、その差動に基づいてトラツキング
をとる所謂ＤＰＰ（Differential PushPull）法を用い
ても良い。
ら測定用ピツクアツプ１１によるトラツキング方法とし
て、メインビームＭＢ２によつてトラツキングサーボを
かける１ビームプツシユプルサーボ法を用いた場合につ
いて述べたが、ピツチむら測定用ピツクアツプ１１のト
ラツキング方法としては、反射光の強度分布を４つに分
割した光検出器で受けることにより反射光の位相のずれ
を検出してトラツキングをとる所謂ＤＰＤ（Differenti
al Phase Detection）法や、メインビームＭＢ２及びサ
ブビームＳＢ３、ＳＢ４のそれぞれの反射光からプツシ
ユプル信号を検出し、その差動に基づいてトラツキング
をとる所謂ＤＰＰ（Differential PushPull）法を用い
ても良い。
【００３６】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、光デイス
ク又は光デイスクを成形する型の情報記録面の状態を検
査する光デイスク検査装置において、記録トラツク上を
走査するようにメインビームを照射しかつメインビーム
が走査する記録トラツクに隣合う記録トラツクに対して
一部が掛かるようにサブビームを照射し、サブビームの
反射光量に基づいて記録トラツクの間隔を求めるように
したことにより、記録トラツクの間隔を定量的に測定し
得、光デイスクの品質を向上させることができる。
ク又は光デイスクを成形する型の情報記録面の状態を検
査する光デイスク検査装置において、記録トラツク上を
走査するようにメインビームを照射しかつメインビーム
が走査する記録トラツクに隣合う記録トラツクに対して
一部が掛かるようにサブビームを照射し、サブビームの
反射光量に基づいて記録トラツクの間隔を求めるように
したことにより、記録トラツクの間隔を定量的に測定し
得、光デイスクの品質を向上させることができる。
【図１】本発明による光デイスク検査装置の一実施例の
全体構成を示すブロツク図である。
全体構成を示すブロツク図である。
【図２】実施例による信号特性用ピツクアツプのビーム
照射位置を示す略線図である。
照射位置を示す略線図である。
【図３】３ビーム法によるトラツキング動作の説明に供
する略線図である。
する略線図である。
【図４】実施例によるピツチむら測定用ピツクアツプの
ビーム照射位置を示す略線図である。
ビーム照射位置を示す略線図である。
【図５】トラツクピツチが大きい場合のビーム照射位置
を示す略線図である。
を示す略線図である。
【図６】トラツクピツチが小さい場合のビーム照射位置
を示す略線図である。
を示す略線図である。
【図７】サブビームからの反射光の光量を示す略線図で
ある。
ある。
１……光デイスク検査装置、２……スタンパ、２Ａ……
情報記録面、１０……信号特性測定用ピツクアツプ、１
１……ピツチむら測定用ピツクアツプ、１７……ピツチ
むら測定処理回路、ＭＢ１、ＭＢ２……メインビーム、
ＳＢ１〜ＳＢ４……サブビーム、ＴＲ１〜ＴＲ３……記
録トラツク。
情報記録面、１０……信号特性測定用ピツクアツプ、１
１……ピツチむら測定用ピツクアツプ、１７……ピツチ
むら測定処理回路、ＭＢ１、ＭＢ２……メインビーム、
ＳＢ１〜ＳＢ４……サブビーム、ＴＲ１〜ＴＲ３……記
録トラツク。
Claims (5)
- 【請求項１】光デイスク又は上記光デイスクを成形する
型の情報記録面の状態を検査する光デイスク検査方法に
おいて、 所定の回転駆動手段により回転された上記光デイスク又
は上記型の記録トラツク上にメインビームを照射すると
共に上記情報記録面にサブビームを照射し、当該サブビ
ームの上記情報記録面からの反射光の光量に基づいて上
記記録トラツクの間隔を検査することを特徴とする光デ
イスク検査方法。 - 【請求項２】光デイスク又は上記光デイスクを成形する
型の情報記録面の状態を検査する光デイスク検査装置に
おいて、 上記光デイスク又は上記型を回転させる回転駆動手段
と、 上記光デイスク又は上記型の情報記録面に形成された記
録トラツク上を走査するようにメインビームを照射しか
つ上記メインビームが走査する上記記録トラツクに隣合
う記録トラツクに対して一部が掛かるようにサブビーム
を照射すると共に、上記メインビーム及びサブビームの
上記情報記録面からの反射光を受光する光ヘツドと、 上記サブビームの反射光量に応じて上記光ヘツドから出
力される出力信号に基づいて上記記録トラツクの間隔を
求める信号処理手段とを具えることを特徴とする光デイ
スク検査装置。 - 【請求項３】上記光ヘツドは、１つのビームから上記メ
インビーム及び上記サブビームを形成する光学系を具
え、上記メインビームによりフオーカス及びトラツキン
グサーボをかけることを特徴とする請求項２に記載の光
デイスク検査装置。 - 【請求項４】上記サブビームは第１及び第２のサブビー
ムでなり、上記メインビーム並びに上記第１及び第２の
サブビームを同一の光ヘツドから射出し、上記メインビ
ームによりトラツキングサーボをかけると共に、上記第
１及び第２のサブビームをそれぞれ、上記メインビーム
が走査する記録トラツクと上記メインビームが走査する
記録トラツクの両側の各記録トラツクとのほぼ中間位置
に照射することを特徴とする請求項１に記載の光デイス
ク検査方法。 - 【請求項５】上記光ヘツドは、上記メインビーム並びに
第１及び第２のサブビームを射出し、上記メインビーム
及び又は第１、第２のサブビームによりトラツキングサ
ーボをかけると共に、上記第１及び第２のサブビームを
それぞれ、上記メインビームが走査する記録トラツクと
上記メインビームが走査する記録トラツクの両側の各記
録トラツクとのほぼ中間位置に照射することを特徴とす
る請求項２に記載の光デイスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28429793A JPH07121910A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28429793A JPH07121910A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07121910A true JPH07121910A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17676710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28429793A Pending JPH07121910A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07121910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054906A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-20 | Ekisupaato Magnetics Kk | 記録媒体のスタンパー検査装置 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP28429793A patent/JPH07121910A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054906A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-20 | Ekisupaato Magnetics Kk | 記録媒体のスタンパー検査装置 |
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