JP2002054906A - 記録媒体のスタンパー検査装置 - Google Patents

記録媒体のスタンパー検査装置

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JP2002054906A
JP2002054906A JP2000241640A JP2000241640A JP2002054906A JP 2002054906 A JP2002054906 A JP 2002054906A JP 2000241640 A JP2000241640 A JP 2000241640A JP 2000241640 A JP2000241640 A JP 2000241640A JP 2002054906 A JP2002054906 A JP 2002054906A
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stamper
inspection
recording medium
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Michiyuki Saito
満行 齋藤
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EKISUPAATO MAGNETICS KK
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EKISUPAATO MAGNETICS KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録媒体のスタンパーの溝の深さが、測定用
レーザーの波長の8分の1より深い場合でも、溝の検査
を行なうことができるようにする。 【解決手段】 光ディスクなどの記録媒体のスタンパー
の溝1の中心位置に、主ビーム2を照射する。溝1の中
心より少し外れた位置に、第1副ビーム3または第2副
ビーム4を照射する。主ビーム2の反射光の強度と、第
1副ビーム3または第2副ビーム4の反射光の強度を測
定する。溝1がレーザー光の波長の1/4より深くて
も、副ビームの反射光の強度は低下しないので、溝1が
深くても、副ビームの反射光の強度に基づいて、記録媒
体のスタンパーの溝1の深さの変化と、溝1の幅の変化
と、溝1の欠落を計測できる。溝1の蛇行の振幅とその
周期も計測できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体のスタン
パー検査装置に関し、特に、記録媒体のスタンパーの溝
が深い場合に、溝の検査を行なう記録媒体のスタンパー
検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光ディスクの製造プロセスは、原盤製作
工程と、複製工程に大別できる。原盤製作工程は、スタ
ンパーを作製する工程であり、複製工程は、スタンパー
を使用して射出成型で光ディスクを製造する工程であ
る。原盤製作工程で作製されるスタンパーの品質は、デ
ィスクの品質に大きく影響するので、スタンパーの光学
的特性や欠陥等を、光ディスク用スタンパー検査装置で
検査する。
【0003】光ディスク用スタンパー検査装置の光ピッ
クアップヘッドは、通常の記録・再生用と同じであり、
センサ部とセンサ駆動部とから構成されている。センサ
部は、半導体レーザー光源と、光学系と、スタンパーか
らのメインビームの反射光を検出する4分割フォトダイ
オードと、副レーザービームの反射光を検出する2個の
フォトダイオード等から構成されている。センサ駆動部
は、ドライブユニット等の制御部からの信号により、セ
ンサ部を上下左右方向に駆動する駆動コイル系からなっ
ている。
【0004】特開平5-28542号公報に開示されている光
ディスク用スタンパー検査装置は、セクターマークピッ
トの深さと幅や、スタンパーの溝形状等を正確に測定す
る装置である。異なる2波長の光源と検出機構を持った
2つの信号検出系を、光ピックアップヘッドに設けたの
で、波長の違いによるセクターマーク信号の大きさの違
いを同時に測定できる。
【0005】一方、光ディスクの記録トラックの間隔
(トラックピッチ)は、規格により所定の値に定められ
ているが、局部的にトラックピッチが変化すると、CD
の信号面に不自然な干渉縞が見えて、外観不良となる。
成形した光ディスクの信号面に光を照射して、反射光に
基づいてトラッキングエラーが発生する箇所を検出する
という方法で、トラックピッチやトラックピッチむらを
検査する。
【0006】特開平7-121910号公報に開示されている光
ディスク検査方法は、光ディスクやスタンパーのトラッ
クピッチを定量的に測定する光ディスク検査方法であ
る。図3に示すように、メインビーム31を照射して、第
2トラック35上を走査する。第2トラック35に隣り合う
第1トラック34と第3トラック36に対して一部が掛かる
ように、サブビーム32、33を照射する。サブビーム32、
33の反射光量に基づいて、記録トラック34〜36のトラッ
クピッチを求める。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の方法で
は、溝の深さが、検査用レーザー波長の4分の1近くま
で深くなると、反射光の差信号が検出できなくなり、溝
の検査が出来なくなってしまうという問題があった。
【0008】本発明は、従来の問題を解決して、記録媒
体の溝の深さが、検査用レーザー波長の8分の1より深
い場合でも、溝の検査を行なうことができる記録媒体の
スタンパー検査装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、記録媒体のスタンパー検査装置を、
記録媒体のスタンパーの溝の中心に主レーザービームを
照射する主ビーム照射手段と、溝の中心から外れた位置
に副レーザービームを照射する副ビーム照射手段と、主
レーザービームの反射光の強度を測定する主測定手段
と、副レーザービームの反射光の強度を測定する副測定
手段と、主測定手段と副測定手段との測定結果に基づい
て溝を検査する検査手段とを具備する構成とした。
【0010】このように構成したことにより、記録媒体
のスタンパーの溝の深さが、測定用レーザーの波長の8
分の1より深い場合でも、溝の検査を行なうことができ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1と図2を参照しながら詳細に説明する。
【0012】(実施の形態)本発明の実施の形態は、記
録媒体のスタンパーの溝の中心より少し外れた位置に副
レーザービームを照射し、副レーザービームの反射光の
強度を測定し、副レーザービームの反射光の強度に基づ
いて、記録媒体のスタンパーの溝を計測する記録媒体の
スタンパー検査装置である。
【0013】図1は、本発明の実施の形態における記録
媒体のスタンパー検査装置により、スタンパーの溝にレ
ーザービームを照射して検査する状態を示す模式図であ
る。図1において、溝1は、スタンパーの溝である。主
ビーム2は、溝の反射光の強度を測定するレーザービー
ムである。第1副ビーム3は、溝検査用の一方のレーザ
ービームである。第2副ビーム4は、溝検査用の他方の
レーザービームである。第1副ビーム3及び第2副ビー
ム4は、トラッキング用のレーザービームとしても使用
する。
【0014】主ビーム照射手段11は、記録媒体のスタン
パーの溝の中心に主レーザービームを照射する手段であ
る。主測定手段12は、主レーザービームの反射光の強度
を測定する手段である。副ビーム照射手段13は、溝の中
心から外れた位置に副レーザービームを照射する手段で
ある。副測定手段14は、副レーザービームの反射光の強
度を測定する手段である。検査手段15は、主測定手段と
副測定手段との測定結果に基づいて溝を検査する手段で
ある。溝深さ検査手段16は、溝の深さの変化を検出する
手段である。溝幅検査手段17は、溝の幅の変化を検出す
る手段である。溝蛇行検査手段18は、溝の蛇行の振幅と
周期を検出する手段である。
【0015】図2は、本発明の実施の形態における記録
媒体のスタンパー検査装置の溝の深さと出力レベルの関
係を示す図である。図2において、主ビーム反射光5
は、主ビームのプッシュプル信号のレベルを示すグラフ
である。通常の浅い溝の検査には、主ビーム反射光5が
使用される。副ビーム反射光6は、副ビームのプッシュ
プル信号のレベルを示すグラフである。
【0016】上記のように構成された本発明の実施の形
態における記録媒体のスタンパー検査装置の動作を説明
する。最初に、記録媒体のスタンパーの溝1の中心より
少し外れた位置に、副ビーム照射手段13により、第1副
ビーム3または第2副ビーム4を照射する。副ビーム照
射手段13は、従来周知のレーザービーム照射手段と同等
のものである。副測定手段14により、第1副ビーム3ま
たは第2副ビーム4の反射光の強度を測定して、差信号
を求める。副測定手段14も、従来周知の測定手段であ
る。図2の副ビーム反射光6のグラフに示すように、溝
1がレーザー光の波長の1/4より深くても、副ビーム
の反射光の強度が低下することはない。
【0017】次に、副ビームの反射光の強弱に基づい
て、溝1を検査する。すなわち、副ビームの反射光の強
度に基づいて、検査手段15の溝深さ検査手段16により、
溝1の深さの変化を検出する。図2の副ビーム反射光6
のグラフから直接分かるように、溝1が深くなると溝1
からの反射が弱くなり、差の反射強度が上がる。逆に、
溝1が浅くなると差の反射強度が低下する。このような
変化から、溝1の深さの変化を検出する。検査手段15
は、例えば、汎用のパソコンに検査プログラムを組み込
んだもので実現できる。
【0018】第3に、副ビームの反射光の強度に基づい
て、検査手段15の溝幅検査手段17により、溝1の幅の変
化を検出する。溝1の幅が広くなると、表面からの反射
が少なくなるので、差の反射強度が低下する。逆に、溝
1の幅が狭くなると、反射強度が上がる。このような変
化から、溝1の幅の変化を検出する。溝1が欠落する
と、図2のグラフから明らかなように、差の反射強度は
0になるので、溝1の欠落を検出できる。
【0019】第4に、第1副ビーム3または第2副ビー
ム4を使用し、検査手段15の溝蛇行検査手段18により、
溝1の蛇行を検査する。記録媒体のスタンパーの溝1が
激しく蛇行すると、トラッキングでは溝1の位置を高速
に追尾できないため、第1副ビーム3と第2副ビーム4
が溝1の中心から大きく外れて、反射強度が変化する。
すなわち、溝1の蛇行の中心を追尾することにより、溝
1の位置の変化を測定する。したがって、溝1の蛇行の
振幅と周期が分かる。このようにして、副ビームによっ
ても、溝1の蛇行を検査することができる。ただし、溝
1の深さや幅の変化が無いことを前提にする必要がある
ので、深さや幅を測定した後に測定するか、複数の副ビ
ームを同時に使って測定することにより、この検査が可
能になる。
【0020】主ビーム反射光5を使用する検査は、主ビ
ーム照射手段11と主測定手段12と検査手段15とにより、
従来と同様に行なう。溝1が浅い場合は、主ビーム反射
光5と、第1副ビーム3または第2副ビーム4を使用し
て検査を行なえば、検査の精度を上げることができる。
溝1が深い場合は、第1副ビーム3または第2副ビーム
4を使用して検査ができるので、検査装置を取り替えた
り、複数波長の検査装置を使用したりする必要がなく、
1台の検査装置で連続的に検査ができるので、検査効率
が向上する。
【0021】上記のように、本発明の実施の形態では、
記録媒体のスタンパー検査装置を、スタンパーの溝の中
心より少し外れた位置に副ビームを照射し、副ビームの
反射光の強度を測定し、副ビームの反射光の強度に基づ
いて、記録媒体のスタンパーの溝を計測する構成とした
ので、スタンパーの溝の深さが、測定レーザー波長の8
分の1より深い場合でも、溝の検査を行なうことができ
る。
【0022】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
では、記録媒体のスタンパー検査装置を、記録媒体のス
タンパーの溝の中心に主レーザービームを照射する主ビ
ーム照射手段と、溝の中心から外れた位置に副レーザー
ビームを照射する副ビーム照射手段と、主レーザービー
ムの反射光の強度を測定する主測定手段と、副ビームの
反射光の強度を測定する副測定手段と、主測定手段と副
測定手段との測定結果に基づいて溝を検査する検査手段
とを具備する構成としたので、スタンパーの溝の深さ
が、測定レーザー波長の8分の1より深い場合でも、溝
の検査を行なうことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における記録媒体のスタン
パー検査装置で、溝に主ビームと副ビームを照射した状
態を示す模式図、
【図2】本発明の実施の形態における記録媒体のスタン
パー検査装置の溝の深さと出力レベルの関係を示す図、
【図3】従来の副ビームによる検査方法を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 溝 2 主ビーム 3 第1副ビーム 4 第2副ビーム 5 主ビーム反射光 6 副ビーム反射光 11 主ビーム照射手段 12 主測定手段 13 副ビーム照射手段 14 副測定手段 15 検査手段 16 溝深さ検査手段 17 溝幅検査手段 18 溝蛇行検査手段 31 主ビーム 32 第1副ビーム 33 第2副ビーム 34 第1トラック 35 第2トラック 36 第3トラック

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記録媒体のスタンパーの溝の中心に主レ
    ーザービームを照射する主ビーム照射手段と、前記溝の
    中心から外れた位置に副レーザービームを照射する副ビ
    ーム照射手段と、前記主レーザービームの反射光の強度
    を測定する主測定手段と、前記副レーザービームの反射
    光の強度を測定する副測定手段と、前記主測定手段と前
    記副測定手段との測定結果に基づいて前記溝を検査する
    検査手段とを具備することを特徴とする記録媒体のスタ
    ンパー検査装置。
  2. 【請求項2】 前記検査手段に、前記溝の深さの変化と
    幅の変化を検出する手段を設けたことを特徴とする請求
    項1記載の記録媒体のスタンパー検査装置。
  3. 【請求項3】 前記検査手段に、前記溝の蛇行の振幅と
    周期を検出する手段を設けたことを特徴とする請求項1
    記載の記録媒体のスタンパー検査装置。
JP2000241640A 2000-08-09 2000-08-09 記録媒体のスタンパー検査装置 Pending JP2002054906A (ja)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58102343A (ja) * 1981-12-10 1983-06-17 デイスコビジヨン・アソシエイツ 情報トラツクの間隔を測定する方法と装置
JPH0298846A (ja) * 1988-10-05 1990-04-11 Sony Corp トラックピッチむらの測定方法
JPH07121910A (ja) * 1993-10-19 1995-05-12 Sony Corp 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置
JPH0814868A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Sony Corp 円盤状記録媒体表面検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58102343A (ja) * 1981-12-10 1983-06-17 デイスコビジヨン・アソシエイツ 情報トラツクの間隔を測定する方法と装置
JPH0298846A (ja) * 1988-10-05 1990-04-11 Sony Corp トラックピッチむらの測定方法
JPH07121910A (ja) * 1993-10-19 1995-05-12 Sony Corp 光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置
JPH0814868A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Sony Corp 円盤状記録媒体表面検査装置

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