JP2000260037A - 光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法 - Google Patents
光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法Info
- Publication number
- JP2000260037A JP2000260037A JP11063153A JP6315399A JP2000260037A JP 2000260037 A JP2000260037 A JP 2000260037A JP 11063153 A JP11063153 A JP 11063153A JP 6315399 A JP6315399 A JP 6315399A JP 2000260037 A JP2000260037 A JP 2000260037A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非破壊で効率的にかつ正確に全数検査が可能
な、光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法を提供
する。 【解決手段】 ヘッダー部ピットが適正な位置に形成さ
れた基準ディスクにより、再生ビームのトラックオフセ
ットと、前記再生ビームによるピットからのプッシュプ
ル信号振幅との相関関係とを予め測定により求め、検査
対象ディスクにおいて、適正にトラッキングされた再生
ビームによりピットからのプッシュプル信号振幅を測定
し、その測定結果を前記相関関係と照合することによ
り、前記ピットの位置を特定する。
な、光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法を提供
する。 【解決手段】 ヘッダー部ピットが適正な位置に形成さ
れた基準ディスクにより、再生ビームのトラックオフセ
ットと、前記再生ビームによるピットからのプッシュプ
ル信号振幅との相関関係とを予め測定により求め、検査
対象ディスクにおいて、適正にトラッキングされた再生
ビームによりピットからのプッシュプル信号振幅を測定
し、その測定結果を前記相関関係と照合することによ
り、前記ピットの位置を特定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクにおけ
る各セクタのヘッダー部に設けられたピットの位置検査
方法に関する。
る各セクタのヘッダー部に設けられたピットの位置検査
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】データを記録再生する光ディスクの各セ
クタにおけるヘッダー部のピットは、データ記録再生を
行う位置の目印として重要な意味を持ち、その大きさ、
形状、及び形成位置が適正であることが求められる。そ
こで、ピット形成時において適正に形成を行う必要が生
じることは当然のことながら、その後の検査工程が重要
な意味を持つ
クタにおけるヘッダー部のピットは、データ記録再生を
行う位置の目印として重要な意味を持ち、その大きさ、
形状、及び形成位置が適正であることが求められる。そ
こで、ピット形成時において適正に形成を行う必要が生
じることは当然のことながら、その後の検査工程が重要
な意味を持つ
【０００３】従来は、ピット形成後の光ディスクについ
てサンプリングを行い、その測定用サンプルをＳＥＭに
より観察する方法が主であった。しかし、上記方法は測
定サンプルを破壊する破壊検査であり、生産効率上好ま
しくない。また、より厳正な検査とするためにはサンプ
ルのみを検査するのではなく、全数検査を行う方が望ま
しいことは明らかである。さらに、ＳＥＭによる目視検
査では主観による結果の相違が生じることから、好まし
くない。そこで、より客観的かつ効率的に全数検査を行
う方法が開発されてきた。
てサンプリングを行い、その測定用サンプルをＳＥＭに
より観察する方法が主であった。しかし、上記方法は測
定サンプルを破壊する破壊検査であり、生産効率上好ま
しくない。また、より厳正な検査とするためにはサンプ
ルのみを検査するのではなく、全数検査を行う方が望ま
しいことは明らかである。さらに、ＳＥＭによる目視検
査では主観による結果の相違が生じることから、好まし
くない。そこで、より客観的かつ効率的に全数検査を行
う方法が開発されてきた。
【０００４】例えば特開平５−７３９２６号公報に記載
されているように、再生ビーム等各波長の光によって全
ディスクの被検査部を走査することにより、ピットの深
さや幅等の形状を検査する方法が実用化されている。す
なわちここでは、前記反射光の強度がピットの深さや幅
等により変化することに着目し、それらの相関関係を予
め求め、その相関関係と 実際の測定結果とを比較する
ことにより、検査を行うものである。
されているように、再生ビーム等各波長の光によって全
ディスクの被検査部を走査することにより、ピットの深
さや幅等の形状を検査する方法が実用化されている。す
なわちここでは、前記反射光の強度がピットの深さや幅
等により変化することに着目し、それらの相関関係を予
め求め、その相関関係と 実際の測定結果とを比較する
ことにより、検査を行うものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法において測定される反射光の信号強度では、ピット位
置の適否を判定することはできない。従って、ピット位
置の検査については従来どおりＳＥＭによるサンプリン
グ検査が行われているのが実情であり、非効率的で正確
さに欠けることから、この点の改善が望まれていた。
法において測定される反射光の信号強度では、ピット位
置の適否を判定することはできない。従って、ピット位
置の検査については従来どおりＳＥＭによるサンプリン
グ検査が行われているのが実情であり、非効率的で正確
さに欠けることから、この点の改善が望まれていた。
【０００６】そこで本発明の課題は、非破壊で効率的に
かつ正確に全数検査が可能な、光ディスクヘッダー部ピ
ット位置の検査方法を提供することである。
かつ正確に全数検査が可能な、光ディスクヘッダー部ピ
ット位置の検査方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の、本発明の光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方
法は、ヘッダー部ピットが適正な位置に形成された基準
ディスクにより、再生ビームのトラックオフセットと、
前記再生ビームによるピットからのプッシュプル信号振
幅との相関関係とを予め測定により求め、検査対象ディ
スクにおいて、適正にトラッキングされた再生ビームに
よりピットからのプッシュプル信号振幅を測定し、その
測定結果を前記相関関係と照合することにより、前記ピ
ットの位置を特定することを特徴とする。これにより、
ヘッダー部ピットの位置を正確かつ効率的に全数検査す
ることが可能となる。
の、本発明の光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方
法は、ヘッダー部ピットが適正な位置に形成された基準
ディスクにより、再生ビームのトラックオフセットと、
前記再生ビームによるピットからのプッシュプル信号振
幅との相関関係とを予め測定により求め、検査対象ディ
スクにおいて、適正にトラッキングされた再生ビームに
よりピットからのプッシュプル信号振幅を測定し、その
測定結果を前記相関関係と照合することにより、前記ピ
ットの位置を特定することを特徴とする。これにより、
ヘッダー部ピットの位置を正確かつ効率的に全数検査す
ることが可能となる。
【０００８】また、本発明の光ディスクヘッダー部ピッ
ト位置の検査方法は、ランド部及びグルーブ部の各々に
おいてデータの記録再生を行う光ディスクにおいて、ラ
ンド中心軸あるいはグルーブ中心軸にトラッキングされ
た再生ビームにより、ピットからのプッシュプル信号振
幅を測定することを特徴とする。これにより、ヘッダー
部ピットの位置を正確かつ効率的に全数検査することが
可能となる。
ト位置の検査方法は、ランド部及びグルーブ部の各々に
おいてデータの記録再生を行う光ディスクにおいて、ラ
ンド中心軸あるいはグルーブ中心軸にトラッキングされ
た再生ビームにより、ピットからのプッシュプル信号振
幅を測定することを特徴とする。これにより、ヘッダー
部ピットの位置を正確かつ効率的に全数検査することが
可能となる。
【０００９】本発明者は再生ビームによるプッシュプル
信号の特性に着目することにより本発明に想達した。プ
ッシュプル信号は、再生ビームの反射回折光を半径方向
に二分割し、それらを光センサによって計測して両者の
差を求めることにより得られるものである。従って、鏡
面のように何らパターンの無い面を測定した場合、ある
いはパターン中心軸と再生ビーム中心とが一致した場合
には、プッシュプル信号振幅はゼロとなる。逆に、パタ
ーン中心軸と再生ビーム中心とがずれていくにつれて増
大する。
信号の特性に着目することにより本発明に想達した。プ
ッシュプル信号は、再生ビームの反射回折光を半径方向
に二分割し、それらを光センサによって計測して両者の
差を求めることにより得られるものである。従って、鏡
面のように何らパターンの無い面を測定した場合、ある
いはパターン中心軸と再生ビーム中心とが一致した場合
には、プッシュプル信号振幅はゼロとなる。逆に、パタ
ーン中心軸と再生ビーム中心とがずれていくにつれて増
大する。
【００１０】ヘッダー部ピットの形成工程においては、
プッシュプル信号のこのような特性を利用してピットを
適正な位置に形成する方法が、例えば特開平５−７３９
２６号公報において開示されており、実用化されてい
る。ここでは、再生ビームのランド部あるいはグルーブ
部の中心軸からのトラックセットと、このときのプッシ
ュプル信号振幅との相関関係により、最適なピット形成
位置を決定するものである。
プッシュプル信号のこのような特性を利用してピットを
適正な位置に形成する方法が、例えば特開平５−７３９
２６号公報において開示されており、実用化されてい
る。ここでは、再生ビームのランド部あるいはグルーブ
部の中心軸からのトラックセットと、このときのプッシ
ュプル信号振幅との相関関係により、最適なピット形成
位置を決定するものである。
【００１１】本発明は、従来のこのような方法をピット
形成後の検査においても適用するものである。以下にそ
の詳細を実施形態とともに示す。
形成後の検査においても適用するものである。以下にそ
の詳細を実施形態とともに示す。
【００１２】
【発明の実施形態】例えばＤＶＤ−ＲＡＭ等ランド部と
グルーブ部の両方においてそれぞれデータの記録再生を
行う型の光ディスクについて、本発明の実施形態を示
す。光ディスクの表面には図１に示されるように、ラン
ド部１１０、グルーブ部１２０、及びヘッダー部ピット
１３０が形成されている。ヘッダー部ピット１３０は、
再生ビームがランド部１１０又はグルーブ部１２０いず
れの側にトラッキングされている場合にも、再生時に最
大かつ同じ振幅のプッシュプル信号が得られるように、
その中心がランド中心軸１１５とグルーブ中心軸１２５
との中心軸であるランド／グルーブ中心軸１３５と一致
するように形成される。
グルーブ部の両方においてそれぞれデータの記録再生を
行う型の光ディスクについて、本発明の実施形態を示
す。光ディスクの表面には図１に示されるように、ラン
ド部１１０、グルーブ部１２０、及びヘッダー部ピット
１３０が形成されている。ヘッダー部ピット１３０は、
再生ビームがランド部１１０又はグルーブ部１２０いず
れの側にトラッキングされている場合にも、再生時に最
大かつ同じ振幅のプッシュプル信号が得られるように、
その中心がランド中心軸１１５とグルーブ中心軸１２５
との中心軸であるランド／グルーブ中心軸１３５と一致
するように形成される。
【００１３】このような状態において、再生ビーム中心
軸１４５がランド／グルーブ中心軸１３５と一致するよ
うにして再生ビーム１４０を走査すると、ヘッダー部ピ
ット１３０からのプッシュプル信号振幅はほぼゼロとな
る。逆に、ランド中心軸１１５あるいはグルーブ中心軸
１２５と一致するようにして再生ビーム１４０を走査す
ると、ヘッダー部ピット１３０からのプッシュプル信号
振幅は最大となる。
軸１４５がランド／グルーブ中心軸１３５と一致するよ
うにして再生ビーム１４０を走査すると、ヘッダー部ピ
ット１３０からのプッシュプル信号振幅はほぼゼロとな
る。逆に、ランド中心軸１１５あるいはグルーブ中心軸
１２５と一致するようにして再生ビーム１４０を走査す
ると、ヘッダー部ピット１３０からのプッシュプル信号
振幅は最大となる。
【００１４】図２に、グルーブ中心軸１２５からのトラ
ックオフセットと、ヘッダー部ピット１３０からのプッ
シュプル信号振幅とのこのような関係を示した。
ックオフセットと、ヘッダー部ピット１３０からのプッ
シュプル信号振幅とのこのような関係を示した。
【００１５】次に、図３に示されるように、ヘッダー部
ピット１３０がランド／グルーブ中心軸１４５からずれ
て形成されている場合について考える。この場合、グル
ーブ中心軸１２５からのトラックオフセットと、ヘッダ
ー部ピット１３０からのプッシュプル信号振幅との関係
は、図２において先に示した場合よりも形成位置のずれ
量Ａ分だけ横軸方向にシフトする。
ピット１３０がランド／グルーブ中心軸１４５からずれ
て形成されている場合について考える。この場合、グル
ーブ中心軸１２５からのトラックオフセットと、ヘッダ
ー部ピット１３０からのプッシュプル信号振幅との関係
は、図２において先に示した場合よりも形成位置のずれ
量Ａ分だけ横軸方向にシフトする。
【００１６】そこで、検査対象とする光ディスクのヘッ
ダー部ピットについて、再生ビームのトラックオフセッ
トと、ヘッダー部ピットからのプッシュプル信号振幅と
の関係を測定により求め、先の適性位置にピット形成が
なされた場合と比較する。すなわち、図２と同様の図を
作成して両者を比較してピーク位置のずれ量を求める。
あるいはプッシュプル信号振幅が最大値を示すトラック
オフセットの値の差を求める。このようにすれば、ヘッ
ダー部ピットの適性位置（ランド／グルーブ中心軸）か
らのずれ量が求められ、その形成位置が適性である（ず
れ量がゼロ）か、不適（ずれ量がある）かが判断され
る。
ダー部ピットについて、再生ビームのトラックオフセッ
トと、ヘッダー部ピットからのプッシュプル信号振幅と
の関係を測定により求め、先の適性位置にピット形成が
なされた場合と比較する。すなわち、図２と同様の図を
作成して両者を比較してピーク位置のずれ量を求める。
あるいはプッシュプル信号振幅が最大値を示すトラック
オフセットの値の差を求める。このようにすれば、ヘッ
ダー部ピットの適性位置（ランド／グルーブ中心軸）か
らのずれ量が求められ、その形成位置が適性である（ず
れ量がゼロ）か、不適（ずれ量がある）かが判断され
る。
【００１７】上記の一連の工程を、光ディスクの各セク
タについて連続的に行うことにより、また、複数の光デ
ィスクについて連続的に行うことにより、ヘッダー部ピ
ット位置の検査を非破壊で効率的にかつ正確に行うこと
ができ、製品の信頼性向上に寄与する。
タについて連続的に行うことにより、また、複数の光デ
ィスクについて連続的に行うことにより、ヘッダー部ピ
ット位置の検査を非破壊で効率的にかつ正確に行うこと
ができ、製品の信頼性向上に寄与する。
【００１８】なお、本実施形態においては再生ビームの
グルーブ中心軸からのトラックオフセットとプッシュプ
ル信号振幅との関係を用いて検査する方法ついて記述し
たが、ランド中心軸からのトラックオフセットとプッシ
ュプル信号振幅との関係を用いても同様の検査が可能で
ある。
グルーブ中心軸からのトラックオフセットとプッシュプ
ル信号振幅との関係を用いて検査する方法ついて記述し
たが、ランド中心軸からのトラックオフセットとプッシ
ュプル信号振幅との関係を用いても同様の検査が可能で
ある。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、非破壊で
効率的にかつ正確に光ディスク全数についてヘッダー部
ピット位置の検査が可能となる。
効率的にかつ正確に光ディスク全数についてヘッダー部
ピット位置の検査が可能となる。
【図１】 ランド部、グルーブ部、及びヘッダー部ピッ
トの位置関係を説明する図である。
トの位置関係を説明する図である。
【図２】 グルーブ中心軸からのトラックオフセットと
プッシュプル信号振幅との関係を示す図である。
プッシュプル信号振幅との関係を示す図である。
【図３】 本発明の検査方法の説明図である。
１１０ ランド部 １１５ ランド中心軸 １２０ グルーブ部 １２５ グルーブ中心軸 １３０ ヘッダー部ピット １３５ ランド／グルーブ中心軸 １４０ 再生ビーム １４５ 再生ビーム中心軸
Claims (2)
- 【請求項１】 ヘッダー部のピットが適正な位置に形成
された基準ディスクにより、再生ビームのトラックオフ
セットと、前記再生ビームによるピットからのプッシュ
プル信号振幅との相関関係とを予め測定により求め、検
査対象ディスクにおいて、適正にトラッキングされた再
生ビームによりピットからのプッシュプル信号振幅を測
定し、その測定結果を前記相関関係と照合することによ
り、前記ピットの位置を特定することを特徴とする光デ
ィスクヘッダー部ピット位置の検査方法。 - 【請求項２】 ランド部及びグルーブ部の各々において
データの記録再生を行う光ディスクにおいて、ランド中
心軸あるいはグルーブ中心軸にトラッキングされた再生
ビームにより、ピットからのプッシュプル信号振幅を測
定することを特徴とする請求項１に記載の光ディスクヘ
ッダー部ピット位置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11063153A JP2000260037A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | 光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11063153A JP2000260037A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | 光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000260037A true JP2000260037A (ja) | 2000-09-22 |
Family
ID=13221017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11063153A Pending JP2000260037A (ja) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | 光ディスクヘッダー部ピット位置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000260037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100677102B1 (ko) * | 2001-02-17 | 2007-02-01 | 삼성전자주식회사 | 광 기록/재생장치 및 그 헤더영역 검출방법 |
| CN100347759C (zh) * | 2001-02-26 | 2007-11-07 | 蒂雅克股份有限公司 | 光盘装置的最佳记录轨道偏差量计算方法 |
-
1999
- 1999-03-10 JP JP11063153A patent/JP2000260037A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100677102B1 (ko) * | 2001-02-17 | 2007-02-01 | 삼성전자주식회사 | 광 기록/재생장치 및 그 헤더영역 검출방법 |
| CN100347759C (zh) * | 2001-02-26 | 2007-11-07 | 蒂雅克股份有限公司 | 光盘装置的最佳记录轨道偏差量计算方法 |
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