JP2631745B2 - 光ディスクの欠陥検査方法 - Google Patents
光ディスクの欠陥検査方法Info
- Publication number
- JP2631745B2 JP2631745B2 JP12858389A JP12858389A JP2631745B2 JP 2631745 B2 JP2631745 B2 JP 2631745B2 JP 12858389 A JP12858389 A JP 12858389A JP 12858389 A JP12858389 A JP 12858389A JP 2631745 B2 JP2631745 B2 JP 2631745B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disk
- groove
- data
- defect
- defect inspection
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は光ディスクの欠陥検査方法に関し、詳しく
は追記型の光ディスクにおけるグルーブの欠陥検査に関
するものである。
は追記型の光ディスクにおけるグルーブの欠陥検査に関
するものである。
［従来の技術］ 光ディスクは高密度記録媒体として急速に利用分野が
拡大しつつある。第２図（ａ）は追記型の光ディスクを
示すもので、ディスク１には予め同心円の多数のグルー
ブ1aが設けられ、使用に際してグルーブ1aに情報ピット
が刻み込まれる。
拡大しつつある。第２図（ａ）は追記型の光ディスクを
示すもので、ディスク１には予め同心円の多数のグルー
ブ1aが設けられ、使用に際してグルーブ1aに情報ピット
が刻み込まれる。
光ディスクは製造過程で各種の検査が行われるが、グ
ルーブが刻まれた段階におけるグルーブ欠陥の検出方法
は既に公知されている。第２図（ｂ），（ｃ）および
（ｄ）によりこれを説明する。図（ｂ）において、光デ
ィスク１をスピンドル２により回転し、これに対してレ
ーザビームＴを投光レンズ３によりスポットＳに集束し
て照射する。この場合、スポットＳの直径をグルーブ1a
のピッチ間隔より十分大きくするときは、平行に並んだ
グルーブ1aが回折格子を形成しているので、規則的な強
度分布の回折光を反射する。回折光のうちの例えば１次
光R1（＋），またはR1（−）を受光器４または４′で受
光する。いま、図（ｃ）のようにグルーブ1aに潰れなど
の欠陥（イ）があるときはこの部分の回折光が減少す
る。スポットＳが矢印の方向に移動すると、受光器４に
は図（ｄ）に示すように、正常なグルーブに対する受光
レベルLsより落ち込んだ信号（イ）がえられる。これを
検出して欠陥とするものである。
ルーブが刻まれた段階におけるグルーブ欠陥の検出方法
は既に公知されている。第２図（ｂ），（ｃ）および
（ｄ）によりこれを説明する。図（ｂ）において、光デ
ィスク１をスピンドル２により回転し、これに対してレ
ーザビームＴを投光レンズ３によりスポットＳに集束し
て照射する。この場合、スポットＳの直径をグルーブ1a
のピッチ間隔より十分大きくするときは、平行に並んだ
グルーブ1aが回折格子を形成しているので、規則的な強
度分布の回折光を反射する。回折光のうちの例えば１次
光R1（＋），またはR1（−）を受光器４または４′で受
光する。いま、図（ｃ）のようにグルーブ1aに潰れなど
の欠陥（イ）があるときはこの部分の回折光が減少す
る。スポットＳが矢印の方向に移動すると、受光器４に
は図（ｄ）に示すように、正常なグルーブに対する受光
レベルLsより落ち込んだ信号（イ）がえられる。これを
検出して欠陥とするものである。
［解決しようとする課題］ さて、追記型の光ディスクには上記のグルーブが刻ま
れた後、ID情報が設定される。第３図（ａ），（ｂ）は
これを説明するもので、ディスク１の表面を、インデッ
クスマーク（IND）を起点として複数のセクタs1,s2,…
…snに等分割する。各セクタｓの前頭部の狭い角度範囲
δθをID部とし、図（ｂ）のようにID部に対してセクタ
番号などのコードがピット1bとして刻まれ、その後がデ
ータ部として情報データのピットが記録される。このよ
うなIDが設定され、情報データが未記録の段階の原盤を
もととして、光ディスクのレプリカが製作される。この
レプリカに対して上記のグルーブ検査を行う場合には、
IDピット1bのために回折光が変化し、ID部に欠陥がない
にも拘らず疑似欠陥として検出される。これに対して、
IDピットの影響を考慮してID部のグルーブの欠陥を検出
する方法がいくつか提案され、有効なものがある。しか
しながらそれらの方法はいずれもやや複雑な手法であ
る。一方、レプリカは多量生産されるので、簡易な方法
により迅速に検査することが要請され、次善の策として
データ部のみを対象としてグルーブ欠陥を検査すること
が必要とされている。
れた後、ID情報が設定される。第３図（ａ），（ｂ）は
これを説明するもので、ディスク１の表面を、インデッ
クスマーク（IND）を起点として複数のセクタs1,s2,…
…snに等分割する。各セクタｓの前頭部の狭い角度範囲
δθをID部とし、図（ｂ）のようにID部に対してセクタ
番号などのコードがピット1bとして刻まれ、その後がデ
ータ部として情報データのピットが記録される。このよ
うなIDが設定され、情報データが未記録の段階の原盤を
もととして、光ディスクのレプリカが製作される。この
レプリカに対して上記のグルーブ検査を行う場合には、
IDピット1bのために回折光が変化し、ID部に欠陥がない
にも拘らず疑似欠陥として検出される。これに対して、
IDピットの影響を考慮してID部のグルーブの欠陥を検出
する方法がいくつか提案され、有効なものがある。しか
しながらそれらの方法はいずれもやや複雑な手法であ
る。一方、レプリカは多量生産されるので、簡易な方法
により迅速に検査することが要請され、次善の策として
データ部のみを対象としてグルーブ欠陥を検査すること
が必要とされている。
この発明は以上の事情に鑑みてなされてもので、ID部
を除外してデータ部のみに対してグルーブ欠陥を検査す
る方式を提供するものである。
を除外してデータ部のみに対してグルーブ欠陥を検査す
る方式を提供するものである。
［課題を解決するための手段］ この発明は、スピンドルにより回転された追記型の光
ディスクの表面に対してレーザビームを照射してスパイ
ラルに走査し、表面に設定されたグルーブによる回折光
を検出する光ディスクの欠陥検査に対する検査方法であ
って、光ディスクの表面にインデックスマークを起点と
して周方向を等分割したセクタごとに、一定の角度範囲
にIDピットが設定されたID部に対して、スピンドルに設
けられたインデックス検出器および回転角度検出器の検
出信号をデータ処理部に入力し、データ処理によりID部
に対する検出データを無効とし、データ部に対する検出
データを有効として出力するものである。
ディスクの表面に対してレーザビームを照射してスパイ
ラルに走査し、表面に設定されたグルーブによる回折光
を検出する光ディスクの欠陥検査に対する検査方法であ
って、光ディスクの表面にインデックスマークを起点と
して周方向を等分割したセクタごとに、一定の角度範囲
にIDピットが設定されたID部に対して、スピンドルに設
けられたインデックス検出器および回転角度検出器の検
出信号をデータ処理部に入力し、データ処理によりID部
に対する検出データを無効とし、データ部に対する検出
データを有効として出力するものである。
［作用］ 上記の欠陥検査方法においては、データ部のグルーブ
の回折光とともにID部のグルーブとそのピットの回折光
または散乱光がすべて検出されるが、スピンドルに設け
られたインデックス検出器と回転角度検出器の検出信号
により、データ処理部においてID部の検出データが無効
とされ、データ部のグルーブ欠陥のみが検出される。
の回折光とともにID部のグルーブとそのピットの回折光
または散乱光がすべて検出されるが、スピンドルに設け
られたインデックス検出器と回転角度検出器の検出信号
により、データ処理部においてID部の検出データが無効
とされ、データ部のグルーブ欠陥のみが検出される。
［実施例］ 第１図はこの発明による光ディスクの欠陥検査方法の
実施例における概略のブロック構成図を示す。図（ａ）
において、被検査の光ディスク１はスピンドル２により
回転し、インデックス検出器５によりインデックス（IN
D）マークが、また回転角度検出器６によりディスク１
の回転角度θが検出され、それぞれの検出信号が出力さ
れる。ディスク１の表面に対する欠陥検出光学系は前記
した第２図（ｂ）と同様に、ディスク１の表面に対して
レーザビームＴを照射してスポットＳを形成し、グルー
ブによる一次回折光R1が受光器４により受光され、同時
にIDピットによる散乱光も受光される。これらの受光信
号は適当な増幅器７によりレベル調整されて欠陥検出部
８によりグルーブ欠陥が検出され、またIDピットの散乱
光の受光信号は疑似欠陥として検出され、これらの欠陥
および疑似欠陥のデータがデータ処理部９に入力し、デ
ィスク１の半径と回転角度をアドレスとしてメモリ9aに
記憶される。一方、データ処理部９には前記のインデッ
クス信号と回転角度信号が入力し、インデックス信号の
カウントにより半径位置が、また、INDを起点とする各I
D部の角度位置が判明する。これらの半径と角度位置に
対するアドレスに対するメモリ9aのデータが無効とさ
れ、これら以外のデータ部に対するグルーブ欠陥データ
のみが出力される。なお、上記の回転角度検出器６とし
ては分解能の良好なロータリエンコーダを使用するもの
である。
実施例における概略のブロック構成図を示す。図（ａ）
において、被検査の光ディスク１はスピンドル２により
回転し、インデックス検出器５によりインデックス（IN
D）マークが、また回転角度検出器６によりディスク１
の回転角度θが検出され、それぞれの検出信号が出力さ
れる。ディスク１の表面に対する欠陥検出光学系は前記
した第２図（ｂ）と同様に、ディスク１の表面に対して
レーザビームＴを照射してスポットＳを形成し、グルー
ブによる一次回折光R1が受光器４により受光され、同時
にIDピットによる散乱光も受光される。これらの受光信
号は適当な増幅器７によりレベル調整されて欠陥検出部
８によりグルーブ欠陥が検出され、またIDピットの散乱
光の受光信号は疑似欠陥として検出され、これらの欠陥
および疑似欠陥のデータがデータ処理部９に入力し、デ
ィスク１の半径と回転角度をアドレスとしてメモリ9aに
記憶される。一方、データ処理部９には前記のインデッ
クス信号と回転角度信号が入力し、インデックス信号の
カウントにより半径位置が、また、INDを起点とする各I
D部の角度位置が判明する。これらの半径と角度位置に
対するアドレスに対するメモリ9aのデータが無効とさ
れ、これら以外のデータ部に対するグルーブ欠陥データ
のみが出力される。なお、上記の回転角度検出器６とし
ては分解能の良好なロータリエンコーダを使用するもの
である。
［発明の効果］ 以上の説明により明らかなように、この発明による光
ディスクの欠陥検査方法においては、簡易なソフト手法
により、IDピットの疑似欠陥がグルーブ欠陥として検出
されることが防止されて検査の信頼性が向上するもの
で、この方法を適用することにより、追記型の光ディス
クに対する多量のレプリカを効率的に検査できる効果に
は大きいものがある。
ディスクの欠陥検査方法においては、簡易なソフト手法
により、IDピットの疑似欠陥がグルーブ欠陥として検出
されることが防止されて検査の信頼性が向上するもの
で、この方法を適用することにより、追記型の光ディス
クに対する多量のレプリカを効率的に検査できる効果に
は大きいものがある。
第１図は、この発明による光ディスクの欠陥検査方法の
実施例における概略のブロック構成図、第２図（ａ），
（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、追記型の光ディスクの
グルーブと、公知のグルーブ欠陥検出方法の説明図、第
３図（ａ）および（ｂ）は、追記型光ディスクに設定さ
れるID情報ピットと、これによる疑似欠陥の説明図であ
る。 １……追記型光ディスク、1a……グルーブ、1b……ピッ
ト、２……スピンドル、３……投光レンズ、4,4′……
受光器、５……インデックス検出器、６……回転角度検
出器、７……増幅器、８……欠陥検出部、９……データ
処理部、9a……メモリ。
実施例における概略のブロック構成図、第２図（ａ），
（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、追記型の光ディスクの
グルーブと、公知のグルーブ欠陥検出方法の説明図、第
３図（ａ）および（ｂ）は、追記型光ディスクに設定さ
れるID情報ピットと、これによる疑似欠陥の説明図であ
る。 １……追記型光ディスク、1a……グルーブ、1b……ピッ
ト、２……スピンドル、３……投光レンズ、4,4′……
受光器、５……インデックス検出器、６……回転角度検
出器、７……増幅器、８……欠陥検出部、９……データ
処理部、9a……メモリ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−174803（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−125510（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−269037（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−52242（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】スピンドルにより回転する追記型の光ディ
スクの表面に対してレーザビームを照射してスパイラル
に走査し、該表面に設定された案内溝（以下グルーブと
いう）による該レーザビームの回折光を検出する光ディ
スクの欠陥検査において、上記光ディスクの表面をイン
デックスマークを起点として円周方向に等分割したセク
タごとに、一定の角度範囲に識別コード（ID）のピット
が設定されたID部に対して、上記スピンドルに設けられ
たインデックス検出器および上記光ディスクの回転角度
検出器の検出信号をデータ処理部に入力し、データ処理
により上記ID部に対する検出データを無効とし、データ
部に対する検出データを有効として出力することを特徴
とする、光ディスクの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12858389A JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12858389A JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02307007A JPH02307007A (ja) | 1990-12-20 |
| JP2631745B2 true JP2631745B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=14988345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12858389A Expired - Lifetime JP2631745B2 (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 光ディスクの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2631745B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013205340A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク表面検査方法及びその装置 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP12858389A patent/JP2631745B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02307007A (ja) | 1990-12-20 |
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