JP4307343B2 - 光ディスク検査方法および装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、量産にも対応した高速、高精度にディスクを検査する光ディスク検査方法および装置を提供することにある。
θ=−φ
ψ=sin1((λ/d)−sinθ) (式1)
となる。ここでdはディスクの溝ピッチを示し、λは検査照明光の光の波長を示し、θは0〜90゜までの値となる。この場合、一次回折光が真上にでる条件はψ=0であり、その時の検査照明光の入射角度θaは、
θa=sin-1(λ/d) (式2)
となる。したがって、上記の入射角度θaより仰角方向で低角度で入射する条件は、θが垂直方向に対して角度を取っているため、
θ>θa
となる。したがって、検査照明光の入射角度θが上記の条件を満たすことにより、1次回折光が真上に設置された受光手段をなすレンズ及びCCD素子に入射することはない。これにより、この条件内でムラ欠陥に起因する1次回折光と乱反射光と散乱光を効率よく検出する角度に入射角度θを設置することで、検出精度を高めることが可能となる。
照射のステップでは、ディスク1をディスクホルダ4によって回転させながら、光源2から検査照明光3として白色光もしくはレーザ光をディスク面にある一定角度で照射し、検査照明光3をディスク1の半径方向に沿ってライン状に照射する。
θa=sin-1(λ/d)
=sin-1(532/615)
=59.9゜
となる。
1a 溝
1b ランド部
2 光源
3 検査照明光
4 ディスクホルダ
5 正反射光
6 1次回折光
7 ムラ欠陥
8 ムラ欠陥に起因する1次回折光と乱反射光と散乱光
9 受光レンズ
10 CCDセンサ
11 信号処理部
12 画像表示装置
13 端面入射遮光板
14 ピットの画像領域
15 ムラ欠陥の画像領域
Claims (5)
- 光ディスクのムラ欠陥の検査を行う方法であって、照射のステップと受光のステップと判定のステップで構成し、
照射のステップで、検査対象となるディスクに検査照明光を照射し、
受光のステップで、検査照明光の入射角度と検査対象となるディスクの溝ピッチとから決まる1次回折光が出射する角度に対し、この1次回折光の出射する角度とは異なる角度に出射する1次回折光と乱反射光と散乱光を受光手段で検出し、
判定のステップで、受光手段で得られるグレースケール画像の各領域の明るさを上限の閾値および下限の閾値と比較し、上限の閾値以上の明るさの領域と下限の閾値以下の明るさの領域とを欠陥として判定し検出することを特徴とする光ディスク検査方法。 - 照射のステップにおいて、1次回折光の出射角度が真上となる検査照明光の入射角度よりも仰角方向で低角度に検査照明光が入射され、
受光のステップにおいて、受光手段をなすレンズ及びセンサをディスク面に対して垂直90度方向に配置してレンズのフォーカスをディスク面上に合わせ、ムラ欠陥に起因する1次回折光と乱反射光と散乱光の全てを検出することを特徴とする請求項1記載の光ディスク検査方法。 - 照射のステップにおいて、検査照明光として白色光を用いて波長帯域の広い検査照明光を照射することにより、ムラ欠陥に起因する1次回折光の角度幅を広げ、欠陥形状に依存することなく様々な形状状態のムラ欠陥の検出を可能とすることを特徴とする請求項1記載の光ディスク検査方法。
- 照射のステップにおいて、検査照明光としてレーザ光を用いることにより、ムラ欠陥に起因する1次回折光、乱反射光、散乱光とバックグラウンドノイズとのコントラストを高め、微小なムラ欠陥の検出を可能とすることを特徴とする請求項1記載の光ディスク検査方法。
- 光ディスクのムラ欠陥の検査を行う装置であって、検査対象となるディスクに検査照明光を照射する照明手段と、検査照明光の入射角度とディスクの溝ピッチとから決まる1次回折光に対し、形状欠陥に起因して1次回折光とはずれた方向へ出射する1次回折光と乱反射光と散乱光をレンズによりセンサ上に集光する受光手段と、受光手段で得られるグレースケール画像の各領域の明るさを上限の閾値および下限の閾値と比較し、上限の閾値以上の明るさの領域と下限の閾値以下の明るさの領域とを欠陥として判定し検出する判定検出手段とを備えたことを特徴とする光ディスク検査装置。
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