JP5175605B2 - パターン形状検査方法 - Google Patents
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Description
一方、微小な欠陥や、パターン形状欠陥を高スループットで検出する装置として、光学式の表面検査装置やOCD(Optical Critical Dimension )計測装置がある。
転させながら半径方向に移動させる移動ステップと、該移動ステップにより回転させながら半径方向に移動する前記被検査対象に対して視野絞りを透過した遠紫外光を含む広帯域の照明光を前記被検査対象に適する偏光状態で遠紫外光領域においてレンズの吸収損失が小さく色収差を低減できる反射型レンズで構成した照明レンズを介して斜め情報からの入射角で照射して前記被検査対象上に前記視野絞りの像を結像する照射ステップと、該照射ステップで照射された被検査対象から発生する0次反射光を遠紫外光領域においてレンズの吸収損失が小さく色収差を低減できる反射型レンズで構成した対物レンズで集光して検出する検出ステップと、前記検出された0次反射光を分光して得られる被検査対象の分光反射率波形を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査する検査ステップとを有し、前記被検査対象が石英製のスタンパであって、前記照明光の偏光状態がs偏光であり、前記斜め上方からの入射角が70°以上であることを特徴とするパターン形状検査方法である。
本発明に係るパターン形状検査方法及びその装置の第1の実施の形態について図1乃至図6を用いて詳細に説明する。
次に、本発明に係るパターン形状検査装置の第2の実施の形態について図1、図4、図7、図8を用いて説明する。本第2の実施の形態において、第1の実施の形態と相違する点は、試料1として図2に示すスタンパの代わりに、図7に示すディスクリートトラックメディア110を検査対象とする点にある。ディスクリートトラックメディア110は、図7に示すように、基板111、軟磁性下地層112、中間層113及び記録層114から構成されており、記録層114の部分にはトラック溝115が形成されている。実際の製品では、この後トラック溝115を非磁性材料で埋め込み、平坦化後保護膜(図示せず)を形成し、その上に潤滑膜(図示せず)を形成する。このようにパターンの凹凸を埋め込んだメディアを用いることにより、磁気ヘッドの浮上量を安定させることが可能となる。
次に、本発明に係るパターン形状検査装置の第3の実施の形態について図1、図9乃至図12を用いて説明する。本第3の実施の形態において、第2の実施の形態と相違する点は、試料1として、図7に示すディスクリートトラックメディア110の代わりに、図9に示すようにトラック溝115を非磁性層121で埋め込み、保護膜122をコートした埋め込み後のディスクリートトラックメディア120を被検査対象とする点にある。
次に、本発明に係るパターン形状検査装置の第4の実施の形態について図13を用いて説明する。本第4の実施の形態において、第1乃至第3の実施の形態との相違点は、さらに、パターンドメディア上の異物等の欠陥を検出できる欠陥検出系(欠陥検出手段)を備え、パターンドメディアにおけるパターン形状の異常検出と欠陥検出を同時に行うものである。本第4の実施の形態の構成は、第1乃至第3の実施の形態における光学系に欠陥検出系(欠陥検出手段)161〜164が加わったもので、欠陥検出系以外の他の構成部分は、第1乃至第3の実施の形態と同一である。欠陥検出系(欠陥検出手段)は、図13に示すように、異物等の欠陥からの上方散乱光を集光する集光レンズ161、迷光等を遮蔽する絞り162及び上方散乱光を検出する光検出器163から構成された散乱光検出光学系と、光検出器163の出力信号から異物等の欠陥を検出する欠陥検出処理部164とを備えて構成される。
次に、本発明に係るパターン形状検査装置の第5の実施の形態について図15を用いて説明する。本第5実施の形態において、第1乃至第4の実施の形態と相違する点は、反射型の照明レンズ8を屈折型のレンズ181、照明レンズ182に、反射型の対物レンズ9を屈折型の対物レンズ183、結像レンズ184に代えた以外、他の構成部分は図1に示す第1の実施の形態及び図13に示す第4の実施の形態と同様である。反射型レンズは遠紫外領域での色収差を低減できるが、その構造上、光軸上にミラーがあるため、照明時、光軸方向の光線成分はなく、検出時も光軸方向の光線は検出できない。
Claims (7)
- パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させる移動
ステップと、
該移動ステップにより回転させながら半径方向に移動する前記被検査対象に対して視野絞りを透過した遠紫外光を含む広帯域の照明光を前記被検査対象に適する偏光状態で遠紫外光領域においてレンズの吸収損失が小さく色収差を低減できる反射型レンズで構成した照明レンズを介して斜め上方から入射角で照射して前記被検査対象上に前記視野絞りの像を結像する照射ステップと、
該照射ステップで照射された被検査対象から発生する0次反射光を遠紫外光領域においてレンズの吸収損失が小さく色収差を低減できる反射型レンズで構成した対物レンズで集光して検出する検出ステップと、
前記検出された0次反射光を分光して得られる被検査対象の分光反射率波形を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査する検査ステップとを有し、
前記被検査対象が石英製のスタンパであって、前記照明光の偏光状態がs偏光であり、前記斜め上方からの入射角が70°以上であることを特徴とするパターン形状検査方法。 - さらに、前記照射ステップで照射された前記被検査対象から発生する散乱光を検出して
得られる散乱光強度信号に基づいて前記被検査対象上に存在する欠陥を検出する欠陥検出
ステップを有することを特徴とする請求項1に記載のパターン形状検査方法。 - 前記被検査対象がディスクリートトラックメディア又はビットパターンドメディアであ
ることを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン形状検査方法。 - 前記被検査対象がディスクリートトラックメディア若しくはビットパターンドメディア
の型であるスタンパ又は該スタンパの型であるマスタであることを特徴とする請求項1
又は2に記載のパターン形状検査方法。 - 前記被検査対象が前記ディスクリートトラックメディア又は前記ビットパターンドメデ
ィアである場合において、前記ディスクリートトラックメディア又は前記ビットパターン
ドメディアは磁性膜のパターンを埋め込んで平坦化し、該平坦化された磁性膜のパターン
の上に保護膜が形成されたものであることを特徴とする請求項3に記載のパターン形状
検査方法。 - 前記ディスクリートトラックメディア又は前記ビットパターンドメディアは、前記保護
膜上に潤滑膜が形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載のパターン形状
検査方法。 - 前記検査ステップにおいて、標準の被検査対象から得られる基準の分光反射率波形と前
記被検査対象の分光反射率波形との間の波長に関する平均誤差を算出して前記被検査対象
に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする請求項1に記載のパターン形状
検査方法。
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