JP4142552B2 - 形状プロファイル測定装置およびそれを用いた半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
・E(λ)・I(λ) (式1)
この式(1)において、λは波長、I(λ)はRCWAで計算された理想状態の分光波形、E(λ)は半導体ウェハ3上での照明光の分光分布であり、E(λ)は実験により求められる。処理系812は、実波形に変換されたデータベースのシミュレーション分光波形ライブラリ8420と検出された分光波形を照合し、対象パターンの形状プロファイルデータを形状データ記憶手段832に記憶する。なお、シミュレーション分光波形ライブラリ8420を持たず、計測した分光波形に合わせてシミュレーションを逐次行っても良い。
Claims (5)
- 試料上に形成された周期パターンを照明し、該照明された試料からの反射光を分光させて検出した分光波形とシミュレーション波形との照合により前記周期パターンの形状プロファイル計測を行う形状プロファイル測定装置であって、
結像系として、1枚の凹面鏡と1枚の凸面鏡とを用い、前記凹面鏡に対して物体側と像側とが同じ側となるように構成した光学系を有して前記試料を垂直方向から照明し垂直方向に反射した光を分光させて検出することを特徴とする形状プロファイル測定装置。 - 請求項1記載の形状プロファイル測定装置において、
前記光学系は、オフナー型であることを特徴とする形状プロファイル測定装置。 - 請求項1記載の形状プロファイル測定装置において、
前記形状プロファイル測定装置は、前記分光させて検出した分光波形データを予め記憶しておいたシミュレーション分光波形のデータベースと照合して一致したデータに基づいて前記周期パターンの断面形状を求める演算処理部を更に備えたスキャテロメトリィ装置であることを特徴とする形状プロファイル測定装置。 - 請求項1記載の形状プロファイル測定装置を用いた半導体デバイスの製造方法であって、
半導体ウェハ上に回路パターンを形成するリソグラフィ工程を有し、
前記リソグラフィ工程に前記形状プロファイル測定装置による形状プロファイル計測結果を反映させることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 請求項4記載の半導体デバイスの製造方法において、
前記リソグラフィ工程は、露光工程を含み、前記露光工程に前記形状プロファイル計測結果をフィードバックすることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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