JP2002230846A - 光ディスク原盤・スタンパの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は光ディスク原盤およびスタンパの信号
を再生し、再生信号の検査を行う光ディスク原盤・スタ
ンパの検査装置を提供する。 【解決手段】検査装置１００は、光ディスク原盤・スタ
ンパ１０１の情報トラックの半径方向の周期的微少変位
に対応する信号振幅をウォブル振幅検出回路１１１で検
出し、この振幅検出信号（第２ウォブル信号ＷＢＬ２）
と基準値との信号振幅の比を振幅比較回路１１２で演算
して、可変ゲイン回路１１０で、当該比に対応するゲイ
ンでトラックエラー信号ＴＥの信号振幅を増幅し、当該
増幅後のトラックエラー信号ＴＥ’で光ピックアップ１
０３のトラッキングサーボ制御を行っている。したがっ
て、光ディスク原盤・スタンパ１０１上の情報トラック
形状に差違があっても、増幅後のトラックエラー信号お
よびそれから派生するウォブル信号を常に同一振幅にし
て、安定したトラッキングサーボ制御・回転制御・アド
レス検出を行うことができ、精度良く検査を行うことが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤・
スタンパの検査装置に関し、詳細には、光ディスク原盤
およびスタンパの信号を再生し、再生信号の検査を行う
光ディスク原盤・スタンパの検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクの製作においては、通常、フ
ォトリソグラフィ技術により光ディスク原盤を作成し、
この光ディスク原盤をメッキ加工することでスタンパを
作成して、スタンパから成形により光ディスク基板を複
製する。

【０００３】光ディスク原盤やスタンパ（以下、必要に
応じて、光ディスク原盤・スタンパという。）は、大量
に複製される光ディスクのもとであるため、厳密な検査
が行われる。光ディスク原盤・スタンパの検査装置は、
ゴミや傷などによるスタンパ表面の欠陥検査を行う検査
装置であり、通常の光ディスク再生・記録装置と同様
に、光ディスク原盤・スタンパの情報トラックに対して
光ピックアップを収束追従させて、再生信号を処理、例
えば、スタンパ反射率の変動・欠落を検出して、これら
を欠陥と見なすことで、欠陥検査を行う。

【０００４】そして、光ディスク原盤・スタンパの検査
装置で用いられる光ピックアップスポットを情報トラッ
クに収束追従させる技術は、通常の光ディスク記録再生
装置の技術と同じである。すなわち、スポットを収束さ
せる技術がフォーカシングサーボ、追従させる技術がト
ラッキングサーボであり、これらのサーボを行うため
に、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号が形成
される。例えば、光ディスク原盤・スタンパからの反射
光を４分割ディテクタで受光し、非点収差法やプッシュ
プル法による演算処理を実行することにより、フォーカ
スエラー信号及びトラックエラー信号を生成できる。そ
して、光ディスク原盤・スタンパの検査装置は、これら
のエラー信号に応じて光ピックアップの対物レンズをア
クチュエータを用いて、フォーカス（上下）方向および
ラジアル（半径）方向に変位させるサーボ駆動信号を形
成している。

【０００５】図１０に非点収差法・プッシュプル法によ
る光ディスク原盤・スタンパ検査装置構成の従来例を示
す。

【０００６】図１０において、光ディスク原盤またはス
タンパ（光ディスク原盤・スタンパ）１は、ターンテー
ブル２上に搭載されてターンテーブル２により回転さ
れ、ターンテーブル２上の回転される光ディスク原盤・
スタンパ１に光ピックアップ３からレーザビームが照射
される。光ピックアップ３は、半導体レーザー３１から
のレーザビームを対物レンズ３３で集光し、スポットを
光ディスク原盤・スタンパ１上の情報トラック（図示せ
ず）に収束追従させる。光ピックアップ３またはターン
テーブル２を図示しない送り手段で移動させて、光ピッ
クアップ３を光ディスク原盤・スタンパ１の所定半径位
置へ位置決め・送り駆動させ、対物レンズ３３をアクチ
ュエータ３５により移動させる。

【０００７】光ディスク原盤・スタンパ１の情報トラッ
クからの反射光は、分割プリズム３２を経て４分割フォ
トディテクタ３４に導入され、フォトディテクタ３４
は、入射光を光電変換して再生信号生成回路４、フォー
カスエラー信号生成回路５及びトラックエラー信号生成
回路６に出力する。再生信号生成回路４は、フォトディ
テクタ３４の出力から、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を演算増幅
して再生信号（ＳＵＭ）として、欠陥検査部７に出力
し、フォーカスエラー信号生成回路５は、（Ａ＋Ｃ）−
（Ｂ＋Ｄ）を演算増幅して、焦点ずれを示すフォーカス
エラー信号（ＦＥ）としてフォーカシングサーボ回路８
に出力する。フォーカシングサーボ回路８は、フォーカ
スエラー信号（ＦＥ）に基づいてアクチュエータ３５を
フォーカス方向に駆動制御して、スポットを情報トラッ
クに収束させる。さらに、トラックエラー信号生成回路
６は、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）を演算増幅して、情報ト
ラックに対する位置誤差を示すトラックエラー信号（Ｔ
Ｅ）としてトラッキングサーボ回路９に出力し、トラッ
キングサーボ回路８は、トラックエラー信号（ＴＥ）に
基づいてアクチュエータ３５をラジアル方向に駆動制御
して、スポットを情報トラックに追従させる。

【０００８】トラックエラー信号は、図１１に示すよう
に、光スポットの情報トラック横断で発生する。

【０００９】さらに、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ等では、情報トラ
ックがトラック中心に対して正弦的な繰り返し微小変位
（ウォブルトラック）を形成しており、トラックエラー
信号からウォブルトラック変位成分帯域だけをウォブル
信号（ＷＢＬ）として、バンドパスフィルタ（図示せ
ず）で取り出している。ウォブル周波数は、情報トラッ
ク真円度ずれや偏心の周波数より高域にあるため、トラ
ッキングサーボ動作中でも正弦波状に検出され（逆にサ
ーボ回路に供給するトラックエラー信号はウォブル成分
を取り除くため、ローパスフィルタが必要）、ターンテ
ーブルの回転制御は、その周波数検出で行なうことがで
きる。このウォブル信号の様子は、図１２に示される。
また、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ等では、ウォブル信号ＷＢＬの周
波数のＦＭ変調によってアドレスデータが記録されてお
り、その検出で記録アドレスを読み取っている。

【００１０】このように、フォーカスエラー信号・トラ
ックエラー信号・ウォブル信号は、光ピックアップの照
射光量変動や光ディスク原盤やスタンパの反射率変動の
影響を受けやすいため、反射光量に比例する再生信号
（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）で規格化して利用する場合もある。

【００１１】そして、光ディスクスタンパは、最終製品
である光ディスク基板を成形するための金型であり、光
ディスク基板における情報トラック形状の均一性を優先
させるために、あえてスタンパにおいて情報トラック溝
の形状を不均一に製作する場合がある。そのようなスタ
ンパを得るためには、光ディスク原盤においても情報ト
ラック溝の形状も不均一に製作される。トラックエラー
信号と情報トラック溝の形状には密接な関係があり、こ
のような場合、同一光ディスク原盤・スタンパ内であっ
ても、場所によってトラックエラー信号の振幅レベルが
異なる。例えば、図１３に示すように、情報トラック溝
深さが内外で異なる場合、溝深さに対応してトラックエ
ラー信号振幅が変化する。その結果、見かけ上のサーボ
感度が、場所ごとに変化してトラッキングサーボ制御が
不安定になり、最悪の場合、トラックはずれを起こすこ
とになる。さらに、ＣＤ−Ｒ/ＲＷ等においては、上述
のように、トラックエラー信号からウォブル信号が形成
されて回転制御やアドレス検出に利用されるが、ウォブ
ル信号振幅はトラックエラー信号振幅に比例するため、
上述のようなトラックエラー信号振幅の低下に対応し
て、ウォブル信号振幅も低下することになり、回転制御
精度の悪化やアドレス信号の読み取りエラーの発生を招
くことになる。

【００１２】このように情報トラック溝形状が光ディス
ク原盤・スタンパ面上で不均一な場合、トラックエラー
信号・ウォブル信号の振幅変動により、トラックはず
れ、回転精度低下、アドレス読み取りエラーの可能性が
高まり、本来行いたい欠陥検査を精度よく実行すること
ができず、悪くすると途中停止する状態が発生する。こ
のようなトラックエラー信号・ウォブル信号振幅の情報
トラック溝形状依存性は、プッシュプル法や３ビーム法
において顕著である。

【００１３】そこで、従来、共通の検査装置を利用し、
ＣＤ・光磁気ディスク等のトラックエラー信号レベルが
異なる光ディスクスタンパに対して安定的にトラッキン
グ制御を行うために、検査をはじめる前にレベル調整す
ることで、異なる光ディスクスタンパ間でトラックエラ
ー信号レベルを同一にし、安定的なトラッキング制御を
行おうとする技術が提案されている（特開平５−２７４
７２４号公報、特開平７−１４１９９号公報等参照）。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の公報記載の技術にあっては、レベル設定後は
調整が行えないため、同一光ディスク原盤・スタンパ内
でトラックエラー信号レベルが異なる場合には、安定的
なトラッキング制御を行うことができないという問題が
あった。

【００１５】そこで、本発明は、ウォブルトラックを有
する光ディスク原盤・スタンパに対し、同一光ディスク
原盤・スタンパ内でトラックエラー信号レベルが異なる
場合にも、安定的なトラッキング制御を行うことのでき
る光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供すること
を目的としている。

【００１６】具体的には、請求項１記載の発明は、回転
駆動されるターンテーブル上に光ディスク原盤とスタン
パのいずれかが載置され、フォーカシング及びトラッキ
ング制御を行う光ピックアップから光ディスク原盤また
はスタンパに光を照射するとともに、光ピックアップま
たはターンテーブルの少なくともいずれか一方を相対変
位させて光ディスク原盤またはスタンパの半径方向に周
期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対
して光ピックアップを追従させて検査動作を行うに際し
て、情報トラックの半径方向の周期的微少変位に対応す
る信号振幅を検出し、当該検出した振幅検出信号と予め
設定された基準値との信号振幅の比を演算して、可変可
能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可変増幅手
段で、当該比に対応するゲインでトラックエラー信号の
信号振幅を増幅し、当該増幅後のトラックエラー信号で
光ピックアップのトラッキングサーボ制御を行うことに
より、トラックエラー信号振幅を基準振幅に増幅して、
光ディスク原盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違
があっても、増幅後のトラックエラー信号およびそれか
ら派生するウォブル信号を常に同一振幅にして、安定し
たトラッキングサーボ制御・回転制御・アドレス検出を
行い、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エ
ラー等による検査動作の途中停止を防止して、精度良く
検査を行うことのできる光ディスク原盤・スタンパの検
査装置を提供することを目的としている。

【００１７】請求項２記載の発明は、回転駆動されるタ
ーンテーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれか
が載置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行
う光ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに
光を照射するとともに、光ピックアップまたはターンテ
ーブルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光デ
ィスク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位
を有する情報トラックのトラック中心に対して光ピック
アップを追従させて検査動作を行うに際して、タイミン
グデータ保持手段の保持する単一または複数のタイミン
グデータに基づいて生成されるタイミング信号に同期し
て、振幅検出手段の検出した情報トラックの半径方向の
周期的微少変位に対応する信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を
介して取得して、当該信号振幅と予め設定された基準値
との比を演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信
号を、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を増
幅する可変増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選
択信号に対応するゲインでトラックエラー信号の信号振
幅を増幅して、所定タイミングで間欠的にゲイン切り換
えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアッ
プのトラッキングサーボ制御を行うことにより、光ディ
スク原盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違があっ
ても、増幅後のトラックエラー信号及びそれから派生す
るウォブル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラ
ッキングサーボ制御・回転制御・アドレス検出を行い、
トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等
による検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を
行うとともに、デジタル回路で構成して、回路構成を簡
単にしつつ、経時変化や環境に対する安定性を向上させ
ることのできる光ディスク原盤・スタンパの検査装置を
提供することを目的としている。

【００１８】請求項３記載の発明は、タイミングデータ
保持手段を、タイミングデータが任意に設定変更可能な
ものとすることにより、タイミングデータを光ディスク
原盤・スタンパの情報トラック溝形状分布にあわせて設
定し、よい一層安定したトラッキングサーボ制御・回転
制御・アドレス検出を行って、トラックはずれ・回転精
度低下・アドレス検出エラー等による検査動作の途中停
止をより一層適切に防止して、精度良く検査を行うこと
のできる光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供す
ることを目的としている。

【００１９】請求項４記載の発明は、回転駆動されるタ
ーンテーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれか
が載置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行
う光ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに
光を照射するとともに、光ピックアップまたはターンテ
ーブルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光デ
ィスク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位
を有する情報トラックのトラック中心に対して光ピック
アップを追従させて検査動作を行うに際して、位置デー
タ保持手段の保持する単一または複数の位置データに基
づいて生成されるタイミング信号に同期して、振幅検出
手段の検出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取得
して、当該信号振幅と予め設定された基準値との比を演
算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切り
換え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可変
増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に対
応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅し
て、所定の光ピックアップ位置で間欠的にゲイン切り換
えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアッ
プのトラッキングサーボ制御を行うことにより、光ディ
スク原盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違があっ
ても、増幅後のトラックエラー信号及びそれから派生す
るウォブル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラ
ッキングサーボ制御・回転制御・アドレス検出を行い、
トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等
による検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を
行うとともに、トラックエラー信号の増幅ゲインの切り
換えを光ディスク原盤・スタンパの半径の指定で行うこ
とのできる光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供
することを目的としている。

【００２０】請求項５記載の発明は、位置データ保持手
段を、位置データが任意に設定変更可能なものとするこ
とにより、トラックエラー信号の増幅ゲインの切り換え
タイミングの設定を、光ディスク原盤・スタンパの半径
指定で任意に行えるようにし、個々の光ディスク原盤・
スタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたゲイン切
り換えを行うことのできる光ディスク原盤・スタンパの
検査装置を提供することを目的としている。

【００２１】請求項６記載の発明は、回転駆動されるタ
ーンテーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれか
が載置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行
う光ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに
光を照射するとともに、光ピックアップまたはターンテ
ーブルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光デ
ィスク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位
を有する情報トラックのトラック中心に対して光ピック
アップを追従させて検査動作を行うに際して、アドレス
データ保持手段の保持する単一または複数のアドレスデ
ータとアドレス検出手段の検出した情報トラックのアド
レスに基づいて生成されるタイミング信号に同期して振
幅検出手段の検出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介し
て取得して、当該信号振幅と予め設定された基準値との
比を演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号
を、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅
する可変増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択
信号に対応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅
を増幅して、所定の光ピックアップ位置で間欠的にゲイ
ン切り換えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピ
ックアップのトラッキングサーボ制御を行うことによ
り、光ディスク原盤・スタンパ上の情報トラック形状に
差違があっても、増幅後のトラックエラー信号及びそれ
から派生するウォブル信号を略基準値近傍に保って、安
定したトラッキングサーボ制御・回転制御・アドレス検
出を行い、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検
出エラー等による検査動作の途中停止を防止して、精度
良く検査を行うとともに、トラックエラー信号の増幅ゲ
インの切り換えを光ディスク原盤・スタンパの情報トラ
ックアドレスの指定で行うことのできる光ディスク原盤
・スタンパの検査装置を提供することを目的としてい
る。

【００２２】請求項７記載の発明は、アドレスデータ保
持手段を、アドレスデータが任意に設定変更可能なもの
とすることにより、トラックエラー信号の増幅ゲインの
切り換えタイミングの設定を、光ディスク原盤・スタン
パの情報トラックアドレス指定で任意に行えるように
し、個々の光ディスク原盤・スタンパの情報トラック溝
形状分布にあわせたゲイン切り換えを行うことのできる
光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供することを
目的としている。

【００２３】請求項８記載の発明は、基準値を任意に設
定変更可能とすることにより、環境や経年変化による同
一化後のトラックエラー信号振幅の変化をなくすことの
できる光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供する
ことを目的としている。

【００２４】請求項９記載の発明は、トラックエラー信
号をプッシュプル法または３ビーム法で生成することに
より、特に情報トラック溝形状の影響を受けやすいプッ
シュプル法または３ビーム法により生成されるトラック
エラー信号振幅を効果的に同一化し、同一化後のトラッ
クエラー信号振幅の変化をより一層なくすことのできる
光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供することを
目的としている。

【００２５】請求項１０記載の発明は、全光量で規格化
されたトラックエラー信号を、信号振幅の検出及び振幅
増幅の対象とすることにより、照射パワー変動のトラッ
クエラー振幅への寄与をなくすことのできる光ディスク
原盤・スタンパの検査装置を提供することを目的として
いる。

【００２６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の光
ディスク原盤・スタンパの検査装置は、回転駆動される
ターンテーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれ
かが載置され、フォーカシング及びトラッキング制御を
行う光ピックアップから前記光ディスク原盤またはスタ
ンパに光を照射するとともに、光ピックアップまたはタ
ーンテーブルの少なくともいずれか一方を相対変位させ
て光ディスク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微
少変位を有する情報トラックのトラック中心に対して光
ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原
盤・スタンパの検査装置において、可変可能なゲインで
トラックエラー信号を増幅する可変増幅手段と、前記可
変増幅手段の手前で前記情報トラックの半径方向の周期
的微少変位に対応する信号振幅を検出する振幅検出手段
と、予め設定された基準値と前記振幅検出信号の検出し
た前記信号振幅の比を演算して前記可変増幅手段に出力
する比較演算手段と、を備え、前記可変増幅手段が、前
記比較演算手段から入力される前記比に対応するゲイン
で前記トラックエラー信号の信号振幅を増幅し、当該増
幅後のトラックエラー信号で前記光ピックアップのトラ
ッキングサーボ制御を行うことにより、上記目的を達成
している。

【００２７】上記構成によれば、回転駆動されるターン
テーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載
置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光
ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を
照射するとともに、光ピックアップまたはターンテーブ
ルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディス
ク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有
する情報トラックのトラック中心に対して光ピックアッ
プを追従させて検査動作を行うに際して、情報トラック
の半径方向の周期的微少変位に対応する信号振幅を検出
し、当該検出した振幅検出信号と予め設定された基準値
との信号振幅の比を演算して、可変可能なゲインでトラ
ックエラー信号を増幅する可変増幅手段で、当該比に対
応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅
し、当該増幅後のトラックエラー信号で光ピックアップ
のトラッキングサーボ制御を行うので、トラックエラー
信号振幅を基準振幅に増幅して、光ディスク原盤・スタ
ンパ上の情報トラック形状に差違があっても、増幅後の
トラックエラー信号およびそれから派生するウォブル信
号を常に同一振幅にして、安定したトラッキングサーボ
制御・回転制御・アドレス検出を行うことができ、トラ
ックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等によ
る検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を行う
ことができる。

【００２８】請求項２記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置は、回転駆動されるターンテーブル上
に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フ
ォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピックアッ
プから前記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射す
るとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの少
なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤
またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する情
報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを追
従させて検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検
査装置において、切り換え可能なゲインでトラックエラ
ー信号を増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の
手前で前記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に
対応する信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅
検出手段の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ
変換手段と、単一または複数のタイミングデータを保持
するタイミングデータ保持手段と、当該タイミングデー
タ保持手段の保持するタイミングデータに基づいてタイ
ミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記タイ
ミング生成手段の生成する前記タイミング信号に同期し
て前記振幅検出手段の検出した前記信号振幅を前記Ａ／
Ｄ変換手段を介して取得して、当該信号振幅と予め設定
された基準値との比を演算し、当該比に最も近い実装ゲ
インの選択信号を前記可変増幅手段に出力する制御手段
と、を備え、前記可変増幅手段が、前記選択信号に対応
するゲインで前記トラックエラー信号の信号振幅を増幅
し、所定タイミングで間欠的にゲイン切り換えされた前
記増幅後のトラックエラー信号で、前記光ピックアップ
のトラッキングサーボ制御を行うことにより、上記目的
を達成している。

【００２９】上記構成によれば、回転駆動されるターン
テーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載
置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光
ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を
照射するとともに、光ピックアップまたはターンテーブ
ルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディス
ク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有
する情報トラックのトラック中心に対して光ピックアッ
プを追従させて検査動作を行うに際して、タイミングデ
ータ保持手段の保持する単一または複数のタイミングデ
ータに基づいて生成されるタイミング信号に同期して、
振幅検出手段の検出した情報トラックの半径方向の周期
的微少変位に対応する信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介し
て取得して、当該信号振幅と予め設定された基準値との
比を演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号
を、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅
する可変増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択
信号に対応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅
を増幅して、所定タイミングで間欠的にゲイン切り換え
された増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアップ
のトラッキングサーボ制御を行うので、光ディスク原盤
・スタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、増
幅後のトラックエラー信号及びそれから派生するウォブ
ル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラッキング
サーボ制御・回転制御・アドレス検出を行うことがで
き、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラ
ー等による検査動作の途中停止を防止して、精度良く検
査を行うことができるとともに、デジタル回路で構成し
て、回路構成を簡単にしつつ、経時変化や環境に対する
安定性を向上させることができる。

【００３０】この場合、例えば、請求項３に記載するよ
うに、前記タイミングデータ保持手段は、前記タイミン
グデータが任意に設定変更可能であってもよい。

【００３１】上記構成によれば、タイミングデータ保持
手段を、タイミングデータが任意に設定変更可能なもの
としているので、タイミングデータを光ディスク原盤・
スタンパの情報トラック溝形状分布にあわせて設定する
ことができ、よい一層安定したトラッキングサーボ制御
・回転制御・アドレス検出を行って、トラックはずれ・
回転精度低下・アドレス検出エラー等による検査動作の
途中停止をより一層適切に防止して、精度良く検査を行
うことができる。

【００３２】請求項４記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置は、回転駆動されるターンテーブル上
に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フ
ォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピックアッ
プから前記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射す
るとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの少
なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤
またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する情
報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを追
従させて検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検
査装置において、切り換え可能なゲインでトラックエラ
ー信号を増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の
手前で前記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に
対応する信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅
検出手段の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ
変換手段と、単一または複数の位置データを保持する位
置データ保持手段と、前記光ピックアップの前記ターン
テーブルの回転中心に対する相対位置を検出する位置検
出手段と、前記位置データ保持手段の保持する位置デー
タと前記位置検出手段の検出した前記光ピックアップの
位置に基づいてタイミング信号を生成するタイミング生
成手段と、前記タイミング生成手段の生成する前記タイ
ミング信号に同期して前記振幅検出手段の検出した前記
信号振幅を前記Ａ／Ｄ変換手段を介して取得して、当該
信号振幅と予め設定された基準値との比を演算し、当該
比に最も近い実装ゲインの選択信号を前記可変増幅手段
に出力する制御手段と、を備え、前記可変増幅手段が、
前記選択信号に対応するゲインで前記トラックエラー信
号の信号振幅を増幅し、所定の光ピックアップ位置で間
欠的にゲイン切り換えされた前記増幅後のトラックエラ
ー信号で、前記光ピックアップのトラッキングサーボ制
御を行うことにより、上記目的を達成している。

【００３３】上記構成によれば、回転駆動されるターン
テーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載
置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光
ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を
照射するとともに、光ピックアップまたはターンテーブ
ルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディス
ク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有
する情報トラックのトラック中心に対して光ピックアッ
プを追従させて検査動作を行うに際して、位置データ保
持手段の保持する単一または複数の位置データに基づい
て生成されるタイミング信号に同期して、振幅検出手段
の検出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取得し
て、当該信号振幅と予め設定された基準値との比を演算
し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切り換
え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可変増
幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に対応
するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅し
て、所定の光ピックアップ位置で間欠的にゲイン切り換
えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアッ
プのトラッキングサーボ制御を行うので、光ディスク原
盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、
増幅後のトラックエラー信号及びそれから派生するウォ
ブル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラッキン
グサーボ制御・回転制御・アドレス検出を行うことがで
き、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラ
ー等による検査動作の途中停止を防止して、精度良く検
査を行うことができるとともに、トラックエラー信号の
増幅ゲインの切り換えを光ディスク原盤・スタンパの半
径の指定で行うことができる。

【００３４】この場合、例えば、請求項５に記載するよ
うに、前記位置データ保持手段は、前記位置データが任
意に設定変更可能であってもよい。

【００３５】上記構成によれば、位置データ保持手段
を、位置データが任意に設定変更可能なものとしている
ので、トラックエラー信号の増幅ゲインの切り換えタイ
ミングの設定を、光ディスク原盤・スタンパの半径指定
で任意に行えるようにすることができ、個々の光ディス
ク原盤・スタンパの情報トラック溝形状分布にあわせた
ゲイン切り換えを行うことができる。

【００３６】請求項６記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置は、回転駆動されるターンテーブル上
に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フ
ォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピックアッ
プから前記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射す
るとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの少
なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤
またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する情
報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを追
従させて検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検
査装置において、切り換え可能なゲインでトラックエラ
ー信号を増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の
手前で前記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に
対応する信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅
検出手段の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ
変換手段と、単一または複数のアドレスデータを保持す
るアドレスデータ保持手段と、前記情報トラックのアド
レスを検出するアドレス検出手段と、前記アドレスデー
タ保持手段の保持する前記アドレスデータと前記アドレ
ス検出手段の検出した前記情報トラックのアドレスに基
づいてタイミング信号を生成するタイミング生成手段
と、前記タイミング生成手段の生成する前記タイミング
信号に同期して前記振幅検出手段の検出した前記信号振
幅を前記Ａ／Ｄ変換手段を介して取得して、当該信号振
幅と予め設定された基準値との比を演算し、当該比に最
も近い実装ゲインの選択信号を前記可変増幅手段に出力
する制御手段と、を備え、前記可変増幅手段が、前記選
択信号に対応するゲインで前記トラックエラー信号の信
号振幅を増幅し、所定の情報トラックアドレスで間欠的
にゲイン切り換えされた前記増幅後のトラックエラー信
号で、前記光ピックアップのトラッキングサーボ制御を
行うことにより、上記目的を達成している。

【００３７】上記構成によれば、回転駆動されるターン
テーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載
置され、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光
ピックアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を
照射するとともに、光ピックアップまたはターンテーブ
ルの少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディス
ク原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有
する情報トラックのトラック中心に対して光ピックアッ
プを追従させて検査動作を行うに際して、アドレスデー
タ保持手段の保持する単一または複数のアドレスデータ
とアドレス検出手段の検出した情報トラックのアドレス
に基づいて生成されるタイミング信号に同期して振幅検
出手段の検出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取
得して、当該信号振幅と予め設定された基準値との比を
演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切
り換え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可
変増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に
対応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅
して、所定の光ピックアップ位置で間欠的にゲイン切り
換えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピックア
ップのトラッキングサーボ制御を行うので、光ディスク
原盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違があって
も、増幅後のトラックエラー信号及びそれから派生する
ウォブル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラッ
キングサーボ制御・回転制御・アドレス検出を行うこと
ができ、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出
エラー等による検査動作の途中停止を防止して、精度良
く検査を行うことができるとともに、トラックエラー信
号の増幅ゲインの切り換えを光ディスク原盤・スタンパ
の情報トラックアドレスの指定で行うことができる。

【００３８】この場合、例えば、請求項７に記載するよ
うに、前記アドレスデータ保持手段は、前記アドレスデ
ータが任意に設定変更可能であってもよい。

【００３９】上記構成によれば、アドレスデータ保持手
段を、アドレスデータが任意に設定変更可能なものとし
ているので、トラックエラー信号の増幅ゲインの切り換
えタイミングの設定を、光ディスク原盤・スタンパの情
報トラックアドレス指定で任意に行えるようにすること
ができ、個々の光ディスク原盤・スタンパの情報トラッ
ク溝形状分布にあわせたゲイン切り換えを行うことがで
きる。

【００４０】上記各場合、例えば、請求項８に記載する
ように、前記検査装置は、前記基準値を任意に設定変更
可能であってもよい。

【００４１】上記構成によれば、基準値を任意に設定変
更可能としているので、環境や経年変化による同一化後
のトラックエラー信号振幅の変化をなくすことができ
る。

【００４２】また、例えば、請求項９に記載するよう
に、前記検査装置は、前記トラックエラー信号をプッシ
ュプル法または３ビーム法で生成するものであってもよ
い。

【００４３】上記構成によれば、トラックエラー信号を
プッシュプル法または３ビーム法で生成するので、特に
情報トラック溝形状の影響を受けやすいプッシュプル法
または３ビーム法により生成されるトラックエラー信号
振幅を効果的に同一化することができ、同一化後のトラ
ックエラー信号振幅の変化をより一層なくすことができ
る。

【００４４】さらに、例えば、請求項１０に記載するよ
うに、前記検査装置は、全光量で規格化されたトラック
エラー信号を、前記信号振幅の検出及び振幅増幅の対象
とするものであってもよい。

【００４５】上記構成によれば、全光量で規格化された
トラックエラー信号を、信号振幅の検出及び振幅増幅の
対象としているので、照射パワー変動のトラックエラー
振幅への寄与をなくすことができる。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００４７】図１〜図４は、本発明の光ディスク原盤・
スタンパの検査装置の第１の実施の形態を示す図であ
り、本実施の形態は、請求項１、請求項８〜請求項１０
に対応するものである。

【００４８】図１は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の第１の実施の形態を適用した光ディスク
原盤・スタンパの検査装置１００の構成図である。

【００４９】図１において、光ディスク原盤・スタンパ
の検査装置１００は、光ディスク原盤またはスタンパ
（光ディスク原盤・スタンパ）１０１の搭載されるター
ンテーブル１０２、光ピックアップ１０３、再生信号生
成回路１０４、フォーカスエラー信号生成回路１０５、
トラックエラー信号生成回路１０６、欠陥検査部１０
７、フォーカシングサーボ回路１０８、トラッキングサ
ーボ回路１０９、可変ゲイン回路１１０、ウォブル振幅
検出回路１１１及び振幅比較回路１１２等を備えてお
り、上記光ピックアップ１０３は、半導体レーザ１３
１、分割プリズム１３２、対物レンズ１３３、４分割フ
ォトディテクタ１３４及びアクチュエータ１３５等を備
えている。

【００５０】検査装置１は、ターンテーブル１０２上に
搭載されている光ディスク原盤・スタンパ１０１を、タ
ーンテーブル１０２により回転駆動し、この光ディスク
原盤・スタンパ１０１に光ピックアップ１０３からレー
ザビームを照射する。光ピックアップ１０３は、半導体
レーザ１３１からのレーザビームを対物レンズ１３３で
集光して、スポットを光ディスク原盤・スタンパ１０１
上の情報トラックに収束追従させる。

【００５１】ターンテーブル１０２は、図示しない回転
機構で回転駆動され、光ピックアップ１０３は、この回
転駆動されるターンテーブル１０２上の光ディスク原盤
・スタンパ１０１に光を照射する。

【００５２】検査装置１００は、光ピックアップ１０３
または光ディスク原盤・スタンパ１０１を光ディスク原
盤・スタンパ１０１の所定半径位置へ位置決め・送り駆
動させ、光ピックアップ１０３の対物レンズ１３３をア
クチュエータ１３５により移動させる。

【００５３】光ピックアップ１０３から光ディスク原盤
・スタンパ１０１に照射されたレーザビームは、光ディ
スク原盤・スタンパ１０１の情報トラックからで反射さ
れ、当該反射光は、分割プリズム１３２を経て４分割フ
ォトディテクタ１３４に導入される。フォトディテクタ
１３４は、入射光を光電変換して再生信号生成回路１０
４、フォーカスエラー信号生成回路１０５及びトラック
エラー信号生成回路１０６に出力する。

【００５４】再生信号生成回路１０４は、フォトディテ
クタ１３４の出力から、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を演算増幅
して再生信号（ＳＵＭ）として、欠陥検査部１０７に出
力し、フォーカスエラー信号生成回路１０５は、（Ａ＋
Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）を演算増幅して、焦点ずれを示すフォ
ーカスエラー信号ＦＥとしてフォーカシングサーボ回路
１０８に出力する。フォーカシングサーボ回路１０８
は、フォーカスエラー信号ＦＥに基づいてアクチュエー
タ１３５をフォーカス方向に駆動制御して、スポットを
情報トラックに収束させる。

【００５５】さらに、トラックエラー信号生成回路１０
６は、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）を演算増幅して、情報ト
ラックに対する位置誤差を示すトラックエラー信号ＴＥ
として、可変ゲイン回路１１０及びウォブル振幅検出回
路１１１に出力する。

【００５６】可変ゲイン回路（可変増幅手段）１１０
は、例えば、図２に示すように、乗算回路１２０等を利
用して構成されており、トラックエラー信号生成回路１
０６とトラッキングサーボ回路１０９の間に配設されて
いる。可変ゲイン回路１１０は、振幅比較回路１１２か
ら入力されるゲイン設定電圧に基づいて、トラックエラ
ー信号生成回路１０６から入力されるトラックエラー信
号ＴＥの増幅ゲインを可変して、トラックエラー信号Ｔ
Ｅ’としてトラッキングサーボ回路１０９に出力すると
ともに、第１のウォブル信号（ＷＢＬ１）として出力し
て、アドレス検出及び回転制御に利用される。そして、
可変ゲイン回路１１０の出力信号ＴＥ’の振幅ＴＡ’
は、設定ゲインγのとき、ＴＡ’＝γＴＡの関係にな
る。なお、回転制御やアドレス検出に利用される第１の
ウォブル信号ＷＢＬ１は、可変ゲイン回路１１０の後段
で分離・抽出される。

【００５７】トラッキングサーボ回路１０９は、可変ゲ
イン回路１１０から入力されるトラックエラー信号Ｔ
Ｅ’に基づいて、アクチュエータ１３５をラジアル方向
に駆動制御して、スポットを情報トラックに追従させ
る。

【００５８】ウォブル振幅検出回路（振幅検出手段）１
１１は、トラックエラー信号生成回路１０６からのトラ
ックエラー信号ＴＥを可変ゲイン回路１１０の入力手前
で分岐して、第２のウォブル信号ＷＢＬ２を抽出し、そ
の振幅電圧を振幅比較回路１１２に出力する。ウォブル
振幅検出回路１１１は、例えば、第１のウォブル信号Ｗ
ＢＬ１を抽出するためのバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）
と同じ帯域のバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）と振幅検出
回路で構成される。

【００５９】振幅比較回路（比較演算手段）１１２は、
例えば、図３に示すように、除算回路１２１で構成さ
れ、外部から設定される基準電圧と入力信号である第２
のウォブル信号ＷＢＬ２の振幅を比較演算して、基準電
圧÷入力信号振幅をゲイン設定電圧として可変ゲイン回
路１１０に出力する。いま、振幅比較回路１１２の入力
信号はＷＢＬ２振幅電圧であり、基準電圧とＷＢＬ２振
幅電圧をそれぞれＲＡ・ＷＡとすると、ゲイン設定電圧
としてγ＝ＲＡ÷ＷＡが可変ゲイン回路１１０に出力さ
れることになる。

【００６０】本実施の形態の検査装置１００では、ＣＤ
−Ｒ/ＲＷなどで利用されるウォブルトラックから得ら
れるウォブル信号は、トラッキングサーボ中も検出可能
であることから、トラックサーボ動作中にウォブル信号
振幅を検出して、基準値と比較することで必要増幅ゲイ
ン（ゲイン設定電圧）を求め、そのゲインあるいは近似
値をもってトラックエラー信号ＴＥを増幅して、光ディ
スク原盤・スタンパ１０１の面内で溝形状が変化して
も、トラックエラー信号ＴＥおよびそれから派生するウ
ォブル信号振幅ＷＢＬが略一定に保たれるようにしてい
る。

【００６１】すなわち、検査装置１００では、ゲイン設
定電圧が基準電圧に対する第２のウォブル信号ＷＢＬ２
の振幅の逆比であるため、可変ゲイン回路１１０後の第
１ウォブル信号ＷＢＬ１の振幅は、基準電圧に等しく、
また、トラックエラー信号ＴＥとウォブル信号ＷＢＬが
比例するため、可変ゲイン回路１１０後のトラックエラ
ー信号ＴＥ’の振幅は、基準電圧の定倍となる。

【００６２】すなわち、光ディスク原盤・スタンパ１０
１の情報トラック溝形状の違いにより、光ピックアップ
１０３から得られるトラッククエラー信号ＴＥの振幅が
異っても、トラッキングサーボ回路１０９に供給される
トラックエラー信号ＴＥ’と回転制御やアドレス検出に
利用される第１のウォブル信号ＷＢＬ１は、図４に示す
ように、一定振幅になる。

【００６３】そして、振幅比較回路１１２に入力される
基準電圧を、可変抵抗などで可変設定可能にすると、経
年変化や観察上の要請などによる振幅一定化後のトラッ
クエラー信号・ウォブル信号の振幅変化の調整を行うこ
とができる。

【００６４】また、トラックエラー信号生成回路１０６
からのトラックエラー信号ＴＥとしては、全光量で規格
化した（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）を利用することもでき、このようにすると、光ピッ
クアップ１０３の照射光量変動や光ディスク原盤・スタ
ンパ１０１の反射率変動の影響をキャンセルすることが
でき、好適である。

【００６５】図５〜図７は、本発明の光ディスク原盤・
スタンパの検査装置の第２の実施の形態を示す図であ
り、本実施の形態は、請求項２、請求項３、請求項８〜
請求項１０に対応するものである。

【００６６】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の光ディスク原盤・スタンパの検査装置１００と同
様の検査装置に適用したものであり、本実施の形態の説
明において上記第１の実施の形態の検査装置１００と同
様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説
明を省略する。

【００６７】図５は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置２００の構成図であり、光ディスク原盤・
スタンパの検査装置２００は、上記第１の実施の形態の
検査装置１００と同様の光ディスク原盤・スタンパ１０
１の搭載されるターンテーブル１０２、光ピックアップ
１０３、再生信号生成回路１０４、フォーカスエラー信
号生成回路１０５、トラックエラー信号生成回路１０
６、欠陥検査部１０７、フォーカシングサーボ回路１０
８、トラッキングサーボ回路１０９、ウォブル振幅検出
回路１１１及び振幅比較回路１１２等を備えているとと
もに、ゲイン切り換え回路２０１、ＡＤコンバータ２０
２、タイミングテーブル２０３、タイミング生成回路２
０４及びシステムコントローラ２０５等を備えている。

【００６８】ゲイン切り換え回路（可変増幅手段）２０
１は、トラックエラー信号生成回路１０６とトラッキン
グサーボ回路１０９の間に配設されており、入力信号で
あるトラックエラー信号ＴＥの増幅ゲインを切り換え
る。ゲイン切り換え回路２０１は、例えば、図６に示す
ように、複数の増幅回路ＡＰ１〜ＡＰｎとこれらの複数
の増幅回路ＡＰ１〜ＡＰｎを切り換えて選択するアナロ
グスイッチ等で構成された選択回路ＳＷ１、ＳＷ２で、
あるいは、図示しないが、単一の増幅回路と複数の増幅
抵抗の組み合わせと複数の増幅抵抗を切り換えて選択す
る選択回路等で構成されている。ゲイン切り換え回路２
０１には、システムコントローラ２０５からゲイン切り
換え選択信号が入力され、ゲイン切り換え回路２０１
は、このシステムコントローラ２０５からのゲイン切り
換え選択信号に基づいて増幅ゲインの切替を行う。

【００６９】タイミングテーブル（タイミングデータ保
持手段）２０３は、１つまたは複数のタイミングデータ
をテーブル形式で保持し、保持するデータの内容は外部
から設定変更可能となっている。タイミング生成回路
（タイミング生成手段）２０４は、タイミングテーブル
２０３に基づく所定タイミングでタイミング信号をシス
テムコントローラ２０５に逐次出力する。

【００７０】システムコントローラ（制御手段）２０５
は、タイミング生成回路２０４から入力されるタイミン
グ信号に同期して、ＡＤコンバータ２０２に変換指令を
与えて、ＡＤコンバータ２０２を介して、基準電圧とウ
ォブル信号ＷＢＬ２の振幅電圧を読み取るとともに、γ
＝ＲＡ（基準電圧）÷ＷＡ（ＷＢＬ２振幅電圧）を計算
し、ゲイン切換え回路２０１の設定可能ゲインでγにも
っとも近いゲインγ’を判別して、ゲイン切換え回路２
０１に対して、ゲインγ’の選択信号を与える。

【００７１】ＡＤコンバータ（Ａ／Ｄ変換手段）２０２
は、ウォブル信号ＷＢＬ２の振幅電圧のみを扱い、図５
に波線で示すように、基準電圧データを、システムコン
トローラ２０５が直接読み取るようにしてもよい。

【００７２】本実施の形態の検査装置２００は、上記第
１の実施の形態の検査装置１００では、トラッキングサ
ーボ回路１０９に供給されるトラックエラー信号ＴＥ’
と回転制御やアドレス検出に利用される第１のウォブル
信号ＷＢＬ１が一定振幅になっていたが、ゲイン切り換
え回路２０１のゲイン調整がタイミング生成回路２０４
の出力するタイミング信号に同期して間欠的に行われ、
かつ、増幅ゲインがγでなく近似値γ’になるため、ト
ラッキングサーボ回路１０９に供給されるトラックエラ
ー信号ＴＥ’と回転制御やアドレス検出に利用される第
１のウォブル信号ＷＢＬ１は完全には一定振幅になら
ず、図７に示すように、多少の振幅変動が残存する。

【００７３】ところが、光ディスク原盤・スタンパ１０
１の情報トラック溝形状の変動は比較的ゆるやかに発生
するため、ゲイン切り換え回路２０１での切り換えゲイ
ンレベル数とゲイン切換えタイミング回数を調整するこ
とにより、残留振幅変動をトラッキングサーボ動作、回
転動作及びアドレス読み取りに影響を与えないレベルま
で小さく押さえ込むことができ、実用上は、上記第１の
実施の形態の検査装置１００と同様の安定性を確保する
ことができる。

【００７４】また、上記第１の実施の形態の検査装置１
００では、振幅比較回路１１２と可変ゲイン回路１１０
が乗算器と除算器で構成され、通常、アナログ回路が用
いられるが、本実施の形態の検査装置２００は、デジタ
ル素子であるＡＤコンバータ２０２とゲイン切り換え回
路２０１に置き換えているため、システムコントローラ
２０５との親和性が良く、回路構成を簡易化することが
できる。また、アナログ回路の比重が減るため、温度変
化や経年変化に対する余裕度が増す。

【００７５】さらに、第１の実施の形態の検査装置１０
０と同様に、基準電圧または基準電圧データを可変設定
可能にすると、経年変化や観察上の要請などによる振幅
一定化後のトラックエラー信号・ウォブル信号の振幅変
化の調整を行うことができる。

【００７６】また、トラックエラー信号生成回路１０６
からのトラックエラー信号ＴＥとしては、全光量で規格
化した（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）を利用することもでき、このようにすると、光ピッ
クアップ１０３の照射光量変動や原盤・スタンパ１０１
の反射率変動の影響をキャンセルすることができ、好適
である。

【００７７】図８は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の第３の実施の形態を示す図であり、本実
施の形態は、請求項４、請求項５、請求項８〜請求項１
０に対応するものである。

【００７８】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の検査装置１００及び第２の実施の形態の検査装置
２００と同様の検査装置に適用したものであり、本実施
の形態の説明において上記第１の実施の形態及び第２の
実施の形態の検査装置１００、２００と同様の構成部分
には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略す
る。

【００７９】図８は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置３００の構成図であり、検査装置３００
は、上記第１の実施の形態の検査装置１００と同様の光
ディスク原盤・スタンパ１０１の搭載されるターンテー
ブル１０２、光ピックアップ１０３、再生信号生成回路
１０４、フォーカスエラー信号生成回路１０５、トラッ
クエラー信号生成回路１０６、欠陥検査部１０７、フォ
ーカシングサーボ回路１０８、トラッキングサーボ回路
１０９、ウォブル振幅検出回路１１１及び振幅比較回路
１１２等を備え、また、第２の実施の形態の検査装置２
００と同様のゲイン切り換え回路２０１、ＡＤコンバー
タ２０２及びシステムコントローラ２０５を備えている
とともに、光ピックアップ位置検出回路３０１、比較位
置テーブル３０２及び位置比較回路３０３等を備えてい
る。

【００８０】光ピックアップ位置検出回路３０１は、図
示しないリニアスケール等によって光ピックアップ１０
３の送り位置を検出し、光ディスク原盤・スタンパ１０
１上の半径位置に換算して光ピックアップ位置信号を位
置比較回路３０３に出力する。

【００８１】比較位置テーブル（位置データ保持手段）
３０２は、１つあるいは複数の光ピックアップ位置デー
タをテーブル形式で保持し、保持するデータの内容は外
部から設定変更可能となっている。

【００８２】位置比較回路（タイミング生成手段）３０
３は、比較位置テーブル３０２に設定されている位置デ
ータと、光ピックアップ位置検出回路３０１が出力する
光ピックアップ位置を比較し、一致する場合のみ、タイ
ミング信号をシステムコントローラ２０５に出力する。

【００８３】システムコントローラ２０５は、位置比較
回路３０３から入力されるタイミング信号に同期して、
ＡＤコンバータ２０２に変換指令を与えて、ＡＤコンバ
ータ２０２を介して、基準電圧とウォブル信号ＷＢＬ２
の振幅電圧を読み取るとともに、γ＝ＲＡ（基準電圧）
÷ＷＡ（ＷＢＬ２振幅電圧）を計算し、ゲイン切換え回
路２０１の設定可能ゲインでγにもっとも近いゲイン
γ’を判別して、ゲイン切換え回路２０１に対して、ゲ
インγ’の選択信号を与える。

【００８４】ＡＤコンバータ２０２は、ウォブル信号Ｗ
ＢＬ２の振幅電圧のみを扱い、図８に波線で示すよう
に、基準電圧データを、システムコントローラ２０５が
直接読み取るようにしてもよい。

【００８５】そして、比較位置テーブル３０２に複数の
光ピックアップ位置データが設定されている場合には、
位置比較の基準データが逐次更新され、位置比較回路３
０３は、複数の光ピックアップ位置データと光ピックア
ップ位置検出回路３０１が出力する光ピックアップ位置
を比較し、一致する場合のみ、タイミング信号をシステ
ムコントローラ２０５に出力する。したがって、光ピッ
クアップ１０１が所定位置に到達した場合に、トラック
エラー信号ＴＥ’の振幅が更新される。

【００８６】本実施の形態の検査装置３００は、第２の
実施の形態の検査装置２００と同様に、切り換えゲイン
レベル数とゲイン切換えポイント数を調整することによ
り、実用上は、第１の実施の形態の検査装置１００と同
様に、トラックエラー信号ＴＥ’の信号振幅が常時同一
レベルに保たれたのと同様の安定化を得ることができ
る。

【００８７】また、ゲイン切換えポイントは、光ディス
ク原盤・スタンパ１０１の物理位置と対応しているほう
が設定しやすいため、光ピックアップ位置（半径位置）
で指定することができ、好適である。

【００８８】さらに、第１の実施の形態の検査装置１０
０と同様に、基準振幅電圧または基準電圧データを可変
設定可能にすると、経年変化や観察上の要請などによる
（振幅一定化後の）トラックエラー信号・ウォブル信号
の振幅変化の調整を行うことができ、好適である。

【００８９】さらに、トラックエラー信号生成回路１０
６からのトラックエラー信号ＴＥとしては、全光量で規
格化した（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）を利用することもでき、このようにすると、光ピッ
クアップ１０３の照射光量変動や原盤・スタンパ１０１
の反射率変動の影響をキャンセルすることができ、好適
である。

【００９０】図９は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の第４の実施の形態を示す図であり、本実
施の形態は、請求項６〜請求項１０に対応するものであ
る。

【００９１】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態の検査装置１００及び第２の実施の形態の検査装置
２００と同様の検査装置に適用したものであり、本実施
の形態の説明において上記第１の実施の形態の検査装置
１００及び第２の実施の形態の検査装置２００と同様の
構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を
省略する。

【００９２】図９は、本発明の光ディスク原盤・スタン
パの検査装置４００の構成図であり、検査装置４００
は、上記第１の実施の形態の検査装置１００と同様の光
ディスク原盤・スタンパ１０１の搭載されるターンテー
ブル１０２、光ピックアップ１０３、再生信号生成回路
１０４、フォーカスエラー信号生成回路１０５、トラッ
クエラー信号生成回路１０６、欠陥検査部１０７、フォ
ーカシングサーボ回路１０８、トラッキングサーボ回路
１０９、ウォブル振幅検出回路１１１及び振幅比較回路
１１２等を備え、また、第２の実施の形態の検査装置２
００と同様のゲイン切り換え回路２０１、ＡＤコンバー
タ２０２及びシステムコントローラ２０５を備えている
とともに、比較アドレステーブル４０１、アドレス検出
回路４０２及びアドレス比較回路４０３等を備えてい
る。

【００９３】比較アドレステーブル（アドレスデータ保
持手段）４０１は、１つまたは複数のプリフォーマット
アドレスデータをテーブル形式で保持し、保持するデー
タの内容は外部から設定変更可能となっている。

【００９４】アドレス検出回路（アドレス検出手段）４
０２は、ゲイン切り換え回路２０１の後段で分離・抽出
されたウォブル信号ＷＢＬ１から情報トラックに記録さ
れているアドレスを読み出し、読み出したアドレスをア
ドレス比較回路４０３に出力する。

【００９５】アドレス比較回路（タイミング生成手段）
４０３は、比較アドレステーブル４０１に設定されてい
るアドレスデータと、アドレス検出回路４０２から入力
されるアドレスを比較し、一致する場合のみ、タイミン
グ信号をシステムコントローラ２０５に出力する。

【００９６】システムコントローラ２０５は、アドレス
比較回路４０３から入力されるタイミング信号に同期し
て、ＡＤコンバータ２０２に変換指令を与えて、ＡＤコ
ンバータ２０２を介して、基準電圧とウォブル信号ＷＢ
Ｌ２の振幅電圧を読み取るとともに、γ＝ＲＡ（基準電
圧）÷ＷＡ（ＷＢＬ２振幅電圧）を計算し、ゲイン切換
え回路２０１の設定可能ゲインでγにもっとも近いゲイ
ンγ’を判別して、ゲイン切換え回路２０１に対して、
ゲインγ’の選択信号を与える。

【００９７】ＡＤコンバータ２０２は、ウォブル信号Ｗ
ＢＬ２の振幅電圧のみを扱い、図９に波線で示すよう
に、基準電圧データを、システムコントローラ２０５が
直接読み取るようにしてもよい。

【００９８】そして、比較アドレステーブル３０２に複
数のプリフォーマットアドレスデータが設定されている
場合には、アドレス比較の基準データが逐次更新され、
アドレス比較回路４０３は、複数のプリフォーマットア
ドレスデータと比較アドレステーブル４０１が出力する
アドレスを比較し、一致する場合のみ、タイミング信号
をシステムコントローラ２０５に出力する。したがっ
て、光ピックアップ１０１が比較アドレステーブルに設
定されたアドレスに到達した場合に、トラックエラー信
号ＴＥ’の振幅が更新される。

【００９９】本実施の形態の検査装置４００は、第２の
実施の形態の検査装置２００と同様に、切り換えゲイン
レベル数とゲイン切換えポイント数を調整することによ
り、実用上は、第１の実施の形態の検査装置１００と同
様に、トラックエラー信号ＴＥ’の信号振幅が常時同一
レベルに保たれたのと同様の安定化を得ることができ
る。

【０１００】また、ゲイン切換えポイントは、光ディス
ク原盤・スタンパ１０１の物理位置と対応しているほう
が設定しやすいため、光ピックアップ位置（半径位置）
で指定することができ、好適である。

【０１０１】さらに、第１の実施の形態の検査装置１０
０と同様に、基準振幅電圧または基準電圧データを可変
設定可能にすると、経年変化や観察上の要請などによる
（振幅一定化後の）トラックエラー信号・ウォブル信号
の振幅変化の調整を行うことができ、好適である。

【０１０２】さらに、トラックエラー信号生成回路１０
６からのトラックエラー信号ＴＥとしては、全光量で規
格化した（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋
Ｄ）を利用することもでき、このようにすると、光ピッ
クアップ１０３の照射光量変動や原盤・スタンパ１０１
の反射率変動の影響をキャンセルすることができ、好適
である。

【０１０３】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【０１０４】

【発明の効果】請求項１記載の発明の光ディスク原盤・
スタンパの検査装置によれば、回転駆動されるターンテ
ーブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置
され、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピ
ックアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を照
射するとともに、光ピックアップまたはターンテーブル
の少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク
原盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有す
る情報トラックのトラック中心に対して光ピックアップ
を追従させて検査動作を行うに際して、情報トラックの
半径方向の周期的微少変位に対応する信号振幅を検出
し、当該検出した振幅検出信号と予め設定された基準値
との信号振幅の比を演算して、可変可能なゲインでトラ
ックエラー信号を増幅する可変増幅手段で、当該比に対
応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅
し、当該増幅後のトラックエラー信号で光ピックアップ
のトラッキングサーボ制御を行うので、トラックエラー
信号振幅を基準振幅に増幅して、光ディスク原盤・スタ
ンパ上の情報トラック形状に差違があっても、増幅後の
トラックエラー信号およびそれから派生するウォブル信
号を常に同一振幅にして、安定したトラッキングサーボ
制御・回転制御・アドレス検出を行うことができ、トラ
ックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等によ
る検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を行う
ことができる。

【０１０５】請求項２記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、回転駆動されるターンテー
ブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置さ
れ、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピッ
クアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を照射
するとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの
少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原
盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する
情報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを
追従させて検査動作を行うに際して、タイミングデータ
保持手段の保持する単一または複数のタイミングデータ
に基づいて生成されるタイミング信号に同期して、振幅
検出手段の検出した情報トラックの半径方向の周期的微
少変位に対応する信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取
得して、当該信号振幅と予め設定された基準値との比を
演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切
り換え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可
変増幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に
対応するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅
して、所定タイミングで間欠的にゲイン切り換えされた
増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアップのトラ
ッキングサーボ制御を行うので、光ディスク原盤・スタ
ンパ上の情報トラック形状に差違があっても、増幅後の
トラックエラー信号及びそれから派生するウォブル信号
を略基準値近傍に保って、安定したトラッキングサーボ
制御・回転制御・アドレス検出を行うことができ、トラ
ックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等によ
る検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を行う
ことができるとともに、デジタル回路で構成して、回路
構成を簡単にしつつ、経時変化や環境に対する安定性を
向上させることができる。

【０１０６】請求項３記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、タイミングデータ保持手段
を、タイミングデータが任意に設定変更可能なものとし
ているので、タイミングデータを光ディスク原盤・スタ
ンパの情報トラック溝形状分布にあわせて設定すること
ができ、よい一層安定したトラッキングサーボ制御・回
転制御・アドレス検出を行って、トラックはずれ・回転
精度低下・アドレス検出エラー等による検査動作の途中
停止をより一層適切に防止して、精度良く検査を行うこ
とができる。

【０１０７】請求項４記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、回転駆動されるターンテー
ブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置さ
れ、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピッ
クアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を照射
するとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの
少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原
盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する
情報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを
追従させて検査動作を行うに際して、位置データ保持手
段の保持する単一または複数の位置データに基づいて生
成されるタイミング信号に同期して、振幅検出手段の検
出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取得して、当
該信号振幅と予め設定された基準値との比を演算し、当
該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切り換え可能
なゲインでトラックエラー信号を増幅する可変増幅手段
に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に対応するゲ
インでトラックエラー信号の信号振幅を増幅して、所定
の光ピックアップ位置で間欠的にゲイン切り換えされた
増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアップのトラ
ッキングサーボ制御を行うので、光ディスク原盤・スタ
ンパ上の情報トラック形状に差違があっても、増幅後の
トラックエラー信号及びそれから派生するウォブル信号
を略基準値近傍に保って、安定したトラッキングサーボ
制御・回転制御・アドレス検出を行うことができ、トラ
ックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラー等によ
る検査動作の途中停止を防止して、精度良く検査を行う
ことができるとともに、トラックエラー信号の増幅ゲイ
ンの切り換えを光ディスク原盤・スタンパの半径の指定
で行うことができる。

【０１０８】請求項５記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、位置データ保持手段を、位
置データが任意に設定変更可能なものとしているので、
トラックエラー信号の増幅ゲインの切り換えタイミング
の設定を、光ディスク原盤・スタンパの半径指定で任意
に行えるようにすることができ、個々の光ディスク原盤
・スタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたゲイン
切り換えを行うことができる。

【０１０９】請求項６記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、回転駆動されるターンテー
ブル上に光ディスク原盤とスタンパのいずれかが載置さ
れ、フォーカシング及びトラッキング制御を行う光ピッ
クアップから光ディスク原盤またはスタンパに光を照射
するとともに、光ピックアップまたはターンテーブルの
少なくともいずれか一方を相対変位させて光ディスク原
盤またはスタンパの半径方向に周期的微少変位を有する
情報トラックのトラック中心に対して光ピックアップを
追従させて検査動作を行うに際して、アドレスデータ保
持手段の保持する単一または複数のアドレスデータとア
ドレス検出手段の検出した情報トラックのアドレスに基
づいて生成されるタイミング信号に同期して振幅検出手
段の検出した信号振幅をＡ／Ｄ変換手段を介して取得し
て、当該信号振幅と予め設定された基準値との比を演算
し、当該比に最も近い実装ゲインの選択信号を、切り換
え可能なゲインでトラックエラー信号を増幅する可変増
幅手段に出力し、可変増幅手段で、当該選択信号に対応
するゲインでトラックエラー信号の信号振幅を増幅し
て、所定の光ピックアップ位置で間欠的にゲイン切り換
えされた増幅後のトラックエラー信号で、光ピックアッ
プのトラッキングサーボ制御を行うので、光ディスク原
盤・スタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、
増幅後のトラックエラー信号及びそれから派生するウォ
ブル信号を略基準値近傍に保って、安定したトラッキン
グサーボ制御・回転制御・アドレス検出を行うことがで
き、トラックはずれ・回転精度低下・アドレス検出エラ
ー等による検査動作の途中停止を防止して、精度良く検
査を行うことができるとともに、トラックエラー信号の
増幅ゲインの切り換えを光ディスク原盤・スタンパの情
報トラックアドレスの指定で行うことができる。

【０１１０】請求項７記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、アドレスデータ保持手段
を、アドレスデータが任意に設定変更可能なものとして
いるので、トラックエラー信号の増幅ゲインの切り換え
タイミングの設定を、光ディスク原盤・スタンパの情報
トラックアドレス指定で任意に行えるようにすることが
でき、個々の光ディスク原盤・スタンパの情報トラック
溝形状分布にあわせたゲイン切り換えを行うことができ
る。

【０１１１】請求項８記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、基準値を任意に設定変更可
能としているので、環境や経年変化による同一化後のト
ラックエラー信号振幅の変化をなくすことができる。

【０１１２】請求項９記載の発明の光ディスク原盤・ス
タンパの検査装置によれば、トラックエラー信号をプッ
シュプル法または３ビーム法で生成するので、特に情報
トラック溝形状の影響を受けやすいプッシュプル法また
は３ビーム法により生成されるトラックエラー信号振幅
を効果的に同一化することができ、同一化後のトラック
エラー信号振幅の変化をより一層なくすことができる。

【０１１３】請求項１０記載の発明の光ディスク原盤・
スタンパの検査装置によれば、全光量で規格化されたト
ラックエラー信号を、信号振幅の検出及び振幅増幅の対
象としているので、照射パワー変動のトラックエラー振
幅への寄与をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ディスク原盤・スタンパの検査装置
の第１の実施の形態を適用した光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の構成図。

【図２】図１の可変ゲイン回路の回路図。

【図３】図１の振幅比較回路の回路図。

【図４】図１の検査装置での光ディスク原盤・スタンパ
の半径に対する光ディスク原盤・スタンパの情報トラッ
ク溝形状の相違、トラッククエラー信号及びウォブル信
号の波形図。

【図５】本発明の光ディスク原盤・スタンパの検査装置
の第２の実施の形態を適用した光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の構成図。

【図６】図５のゲイン切り換え回路の回路図。

【図７】図５の検査装置での光ディスク原盤・スタンパ
の半径に対する光ディスク原盤・スタンパの情報トラッ
ク溝形状の相違、トラッククエラー信号及びウォブル信
号の波形図。

【図８】本発明の光ディスク原盤・スタンパの検査装置
の第３の実施の形態を適用した光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の構成図。

【図９】本発明の光ディスク原盤・スタンパの検査装置
の第４の実施の形態を適用した光ディスク原盤・スタン
パの検査装置の構成図。

【図１０】従来の光ディスク原盤・スタンパ検査装置の
構成図。

【図１１】光ディスクの光スポットの情報トラックとト
ラックエラー信号との関係を示す図。

【図１２】光ディスクの情報トラックとウォブル信号の
関係を示す図。

【図１３】光ディスク原盤・スタンパの半径方向での情
報トラック深さとウォブル信号振幅及びトラックエラー
信号振幅との関係を示す図。

【符号の説明】

１００ 光ディスク原盤・スタンパの検査装置 １０１ 光ディスク原盤またはスタンパ（光ディスク原
盤・スタンパ） １０２ ターンテーブル １０３ 光ピックアップ １０４ 再生信号生成回路 １０５ フォーカスエラー信号生成回路 １０６ トラックエラー信号生成回路 １０７ 欠陥検査部 １０８ フォーカシングサーボ回路 １０９ トラッキングサーボ回路 １１０ 可変ゲイン回路 １１１ ウォブル振幅検出回路 １１２ 振幅比較回路 １２０ 乗算回路 １２１ 除算回路 １３１ 半導体レーザ １３２ 分割プリズム １３３ 対物レンズ １３４ ４分割フォトディテクタ １３５ アクチュエータ ２００ 光ディスク原盤・スタンパの検査装置 ２０１ ゲイン切り換え回路 ２０２ ＡＤコンバータ ２０３ タイミングテーブル ２０４ タイミング生成回路 ２０５ システムコントローラ ＡＰ１〜ＡＰｎ 増幅回路 ３００ 光ディスク原盤・スタンパの検査装置 ３０１ 光ピックアップ位置検出回路 ３０２ 比較位置テーブル ３０３ 位置比較回路 ４００ 光ディスク原盤・スタンパの検査装置 ４０１ 比較アドレステーブル ４０２ アドレス検出回路 ４０３ アドレス比較回路

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転駆動されるターンテーブル上に光ディ
   スク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フォーカシ
   ング及びトラッキング制御を行う光ピックアップから前
   記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射するととも
   に、光ピックアップまたはターンテーブルの少なくとも
   いずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤またはス
   タンパの半径方向に周期的微少変位を有する情報トラッ
   クのトラック中心に対して光ピックアップを追従させて
   検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検査装置に
   おいて、可変可能なゲインでトラックエラー信号を増幅
   する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の手前で前記情
   報トラックの半径方向の周期的微少変位に対応する信号
   振幅を検出する振幅検出手段と、予め設定された基準値
   と前記振幅検出信号の検出した前記信号振幅の比を演算
   して前記可変増幅手段に出力する比較演算手段と、を備
   え、前記可変増幅手段が、前記比較演算手段から入力さ
   れる前記比に対応するゲインで前記トラックエラー信号
   の信号振幅を増幅し、当該増幅後のトラックエラー信号
   で前記光ピックアップのトラッキングサーボ制御を行う
   ことを特徴とする光ディスク原盤・スタンパの検査装
   置。
2. 【請求項２】回転駆動されるターンテーブル上に光ディ
   スク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フォーカシ
   ング及びトラッキング制御を行う光ピックアップから前
   記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射するととも
   に、光ピックアップまたはターンテーブルの少なくとも
   いずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤またはス
   タンパの半径方向に周期的微少変位を有する情報トラッ
   クのトラック中心に対して光ピックアップを追従させて
   検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検査装置に
   おいて、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を
   増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の手前で前
   記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に対応する
   信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅検出手段
   の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ変換手段
   と、単一または複数のタイミングデータを保持するタイ
   ミングデータ保持手段と、当該タイミングデータ保持手
   段の保持するタイミングデータに基づいてタイミング信
   号を生成するタイミング生成手段と、前記タイミング生
   成手段の生成する前記タイミング信号に同期して前記振
   幅検出手段の検出した前記信号振幅を前記Ａ／Ｄ変換手
   段を介して取得して、当該信号振幅と予め設定された基
   準値との比を演算し、当該比に最も近い実装ゲインの選
   択信号を前記可変増幅手段に出力する制御手段と、を備
   え、前記可変増幅手段が、前記選択信号に対応するゲイ
   ンで前記トラックエラー信号の信号振幅を増幅し、所定
   タイミングで間欠的にゲイン切り換えされた前記増幅後
   のトラックエラー信号で、前記光ピックアップのトラッ
   キングサーボ制御を行うことを特徴とする光ディスク原
   盤・スタンパの検査装置。
3. 【請求項３】前記タイミングデータ保持手段は、前記タ
   イミングデータが任意に設定変更可能であることを特徴
   とする請求項２記載の光ディスク原盤・スタンパの検査
   装置。
4. 【請求項４】回転駆動されるターンテーブル上に光ディ
   スク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フォーカシ
   ング及びトラッキング制御を行う光ピックアップから前
   記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射するととも
   に、光ピックアップまたはターンテーブルの少なくとも
   いずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤またはス
   タンパの半径方向に周期的微少変位を有する情報トラッ
   クのトラック中心に対して光ピックアップを追従させて
   検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検査装置に
   おいて、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を
   増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の手前で前
   記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に対応する
   信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅検出手段
   の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ変換手段
   と、単一または複数の位置データを保持する位置データ
   保持手段と、前記光ピックアップの前記ターンテーブル
   の回転中心に対する相対位置を検出する位置検出手段
   と、前記位置データ保持手段の保持する位置データと前
   記位置検出手段の検出した前記光ピックアップの位置に
   基づいてタイミング信号を生成するタイミング生成手段
   と、前記タイミング生成手段の生成する前記タイミング
   信号に同期して前記振幅検出手段の検出した前記信号振
   幅を前記Ａ／Ｄ変換手段を介して取得して、当該信号振
   幅と予め設定された基準値との比を演算し、当該比に最
   も近い実装ゲインの選択信号を前記可変増幅手段に出力
   する制御手段と、を備え、前記可変増幅手段が、前記選
   択信号に対応するゲインで前記トラックエラー信号の信
   号振幅を増幅し、所定の光ピックアップ位置で間欠的に
   ゲイン切り換えされた前記増幅後のトラックエラー信号
   で、前記光ピックアップのトラッキングサーボ制御を行
   うことを特徴とする光ディスク原盤・スタンパの検査装
   置。
5. 【請求項５】前記位置データ保持手段は、前記位置デー
   タが任意に設定変更可能であることを特徴とする請求項
   ４記載の光ディスク原盤・スタンパの検査装置。
6. 【請求項６】回転駆動されるターンテーブル上に光ディ
   スク原盤とスタンパのいずれかが載置され、フォーカシ
   ング及びトラッキング制御を行う光ピックアップから前
   記光ディスク原盤またはスタンパに光を照射するととも
   に、光ピックアップまたはターンテーブルの少なくとも
   いずれか一方を相対変位させて光ディスク原盤またはス
   タンパの半径方向に周期的微少変位を有する情報トラッ
   クのトラック中心に対して光ピックアップを追従させて
   検査動作を行う光ディスク原盤・スタンパの検査装置に
   おいて、切り換え可能なゲインでトラックエラー信号を
   増幅する可変増幅手段と、前記可変増幅手段の手前で前
   記情報トラックの半径方向の周期的微少変位に対応する
   信号振幅を検出する振幅検出手段と、当該振幅検出手段
   の検出した信号振幅をデジタル変換するＡ／Ｄ変換手段
   と、単一または複数のアドレスデータを保持するアドレ
   スデータ保持手段と、前記情報トラックのアドレスを検
   出するアドレス検出手段と、前記アドレスデータ保持手
   段の保持する前記アドレスデータと前記アドレス検出手
   段の検出した前記情報トラックのアドレスに基づいてタ
   イミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記タ
   イミング生成手段の生成する前記タイミング信号に同期
   して前記振幅検出手段の検出した前記信号振幅を前記Ａ
   ／Ｄ変換手段を介して取得して、当該信号振幅と予め設
   定された基準値との比を演算し、当該比に最も近い実装
   ゲインの選択信号を前記可変増幅手段に出力する制御手
   段と、を備え、前記可変増幅手段が、前記選択信号に対
   応するゲインで前記トラックエラー信号の信号振幅を増
   幅し、所定の情報トラックアドレスで間欠的にゲイン切
   り換えされた前記増幅後のトラックエラー信号で、前記
   光ピックアップのトラッキングサーボ制御を行うことを
   特徴とする光ディスク原盤・スタンパの検査装置。
7. 【請求項７】前記アドレスデータ保持手段は、前記アド
   レスデータが任意に設定変更可能であることを特徴とす
   る請求項４記載の光ディスク原盤・スタンパの検査装
   置。
8. 【請求項８】前記検査装置は、前記基準値を任意に設定
   変更可能であることを特徴とする請求項１から請求項７
   のいずれかに記載の光ディスク原盤・スタンパの検査装
   置。
9. 【請求項９】前記検査装置は、前記トラックエラー信号
   をプッシュプル法または３ビーム法で生成することを特
   徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の光デ
   ィスク原盤・スタンパの検査装置。
10. 【請求項１０】前記検査装置は、全光量で規格化された
    トラックエラー信号を、前記信号振幅の検出及び振幅増
    幅の対象とすることを特徴とする請求項１から請求項９
    のいずれかに記載の光ディスク原盤・スタンパの検査装
    置。