JP4630929B2 - スタンパーの評価方法 - Google Patents
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Description
該凹凸パターンは、該記録媒体のデータ記録部及びアドレス部を含むデータ領域に対応する領域を有し、
前記スタンパーを回転させながら、波長が450nm以下、レーザ開口数NAが0.6以上であるレーザーをデータ記録部に照射し、その反射光に基づいて得られたHF信号において、HF信号の最大値Hmaxと最小値Hminが、下記式(1)
(Hmax−Hmin)/ Hmax < 0.13…(1)
を満足するか判定することを特徴とするスタンパーの評価方法を提供する。
該凹凸パターンは、該記録媒体のデータ記録部及びアドレス部を含むデータ領域に対応する領域を有し、
スタンパーを回転させながら、波長が450nm以下、レーザ開口数NAが0.6以上であるレーザーを照射して、その反射光を再生して電圧信号に変換し、該電圧信号に基づいてHF信号を調べたとき、
データ記録部のHF信号レベルの最大値Hmaxと最小値Hminが、下記式(1)
(Hmax−Hmin)/ Hmax < 0.13…(1)
を満たすか、あるいは
スタンパーを回転させながら、波長が450nm以下、レーザ開口数NAが0.6以上であるレーザーをデータ記録部に照射して、その反射光基づいて得られたHF信号の最大値Hmaxと最小値Hminと信号レベルの中で最も多い電圧値Haveとが、下記式(2)及び(3)
Hmax/Have≦1.05…(2)
Hmin/Have≧0.90…(3)
を満足する。
凹凸パターンは、該記録媒体のデータ記録部及びアドレス部を含むデータ領域に対応する領域を有し、
スタンパーを回転させながら、波長が450nm以下、レーザ開口数NAが0.6以上であるレーザーをデータ記録部に照射し、その反射光に基づいて得られたHF信号の最大値Hmaxと最小値Hminが、下記式(1)
(Hmax−Hmin)/ Hmax < 0.13…(1)
を満足するか判定するか、あるいはスタンパーを回転させながら、波長が450nm以下、レーザ開口数NAが0.6以上であるレーザーをデータ記録部に照射して、その反射光に基づいて得られたHF信号の最大値Hmaxと最小値Hminと信号レベルの中で最も多い電圧値Haveとが、下記式(2)及び(3)
Hmax/Have≦1.05…(2)
Hmin/Have≧0.90…(3)
を満足するか判定する。
Hmin/Have<0.90
となるような欠陥が発生しているのかを調べるためには、各半径位置で得られたHF信号電圧値をマップ化すると分かりやすい。例えば、スタンパー上の位置を座標X,Yで表し、この座標上に電圧値を色で表して、
Hmax/Have>1.05
Hmin/Have<0.90
となるところを欠陥と認識するような色設定とするとよい。
ビットエラーレート(bER)が−6.5桁と良好な結果が得られた。
スタンパーGでは、Hmax/Have=1.02, Hmin/Have=0.93となった。
スタンパーGでは、Hmax/Have=1.02, Hmin/Have=0.93
スタンパーHでは、Hmax/Have=1.05, Hmin/Have=0.85
と、転写前と同じ結果であった。
スタンパーGから転写し加工した磁気記録媒体Gでは、ビットエラーレート(bER)が−7.3桁と良好な結果が得られた。
Claims (3)
- 記録媒体の記録層表面にトラックパターン及びアドレスパターンを形成するためにマスクとして設けられる紫外線硬化性樹脂層に、該トラックパターン及びアドレスパターンのうち少なくとも1つに相応するパターンを転写するための三次元パターンを含む光透過性スタンパーを評価する方法であって、
該マスク上の三次元凹凸パターンは、該記録媒体のデータ記録部及びアドレス部を含むデータ領域に対応する領域を含み、
前記樹脂スタンパーを回転させながら、450nmと同等またはそれより短いの波長、及び0.6と同等またはそれより大きいレーザ開口数NAを含むレーザーをデータ記録部に照射したとき、その反射光に基づいたHF信号の最大値HmaxとHF信号の最小値Hminが、下記式(1)
(Hmax−Hmin)/ Hmax < 0.13…(1)
を満足するか判定するスタンパーの評価方法。 - 前記紫外線硬化性樹脂層にトラックパターンに相応するパターンを転写する前及び前記紫外線硬化性樹脂層にトラックパターンに相応するパターンを転写した後に、
前記データ記録部のHF信号レベルの最大値Hmaxと最小値Hminが下記式(1)
(Hmax−Hmin)/ Hmax < 0.13…(1)
を満足するか判定することをさらに含む請求項1に記載のスタンパーの評価方法。 - 前記トラックパターンに相応するパターンの転写前の前記データ記録部のHmaxとHminの関係が、前記トラックパターンに相応するパターンの転写後の前記データ記録部のHmaxとHminの関係と実質的に同様であるとき、スタンパーの再利用を決定することをさらに含む請求項2に記載のスタンパーの評価方法。
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