JP5002611B2 - パターンドメディアの表面欠陥検出方法 - Google Patents
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Description
回転するパターンドメディアの表面にレーザ光を照射するステップと、
前記パターンドメディアの表面からの反射光を受光器により検出して、アナログ電気信号に変換するステップと、
前記アナログ電気信号を、アナログ/デジタル変換器によりデジタル信号に変換するステップと、
前記デジタル信号をサンプリングすることにより得られるプロファイルを基に、データエリアとサーボエリアを弁別するステップと、
前記弁別されたデータエリアに対して一定の閾値による欠陥判定を行うステップと、
前記弁別されたサーボエリアのプロファイルと、予め用意されたマスタサーボエリアプロファイルとの差分をとり差分波形を取得するステップと、
前記取得した差分波形に対して予め設定された閾値による欠陥判定を行うことを特徴とする。
(1)パターンドメディアのデータエリアとサーボエリアを、特定のスポット径をもつレーザでスパイラル全面検査を実施できるため高速である。
(2)サーボエリアの形状・パターンに依存して変化するプロファイルに対しても、適切なマスタサーボエリアプロファイルを差分対象にすることで欠陥を検出することができる。
(3)サーボエリア上の凹凸欠陥の他にも、サーボエリアのエッチング不良・サーボコードエリアの形成不良なども検出できる。
5…磁性層、6…溝(非磁性材料を充填)、7…ガラス基板、8…軟磁性層、9…バースト信号エリア、10…トラックアドレスエリア及びセクターアドレスエリア、11…プリアンブルエリア、12…データトラック、13…レーザ発光器、14…レーザ受光器、15…マスク、16…レンズ、17…メディア、18…照射光、19…正反射光、20…散乱光、21…欠陥無し、22…異物・欠陥、23…受光無し、24…受光あり、25…正反射センサ、26…正反射光、27…強度通常、28…強度増大、29…強度減少、30…凹欠陥、31…凸欠陥、32…光、33…回転方向、34…アナログ信号、35…AD変換器、36…デジタル信号、37…サンプリング、38…波高値、39…円周方向、40…データエリア、41…サーボエリア、43…欠陥、44…データエリア欠陥検出用スライス、45…サーボエリア検出用スライス、47…サーボエリアプロファイル、48…マスタサーボエリアプロファイル、49…差分、50…差分波形、51…サーボエリア欠陥検出用スライス(+)、52…サーボエリア欠陥検出用スライス(−)。
Claims (5)
- 回転するパターンドメディアの表面にレーザ光を照射するステップと、
前記パターンドメディアの表面からの反射光を受光器により検出して、アナログ電気信号に変換するステップと、
前記アナログ電気信号を、アナログ/デジタル変換器によりデジタル信号に変換するステップと、
前記デジタル信号をサンプリングすることにより得られるプロファイルを基に、データエリアとサーボエリアを弁別するステップと、
前記弁別されたデータエリアに対して一定の閾値による欠陥判定を行うステップと、
前記弁別されたサーボエリアのプロファイルと、予め用意されたマスタサーボエリアプロファイルとの差分をとり差分波形を取得するステップと、
前記取得した差分波形に対して予め設定された閾値による欠陥判定を行うことを特徴とするパターンドメディアの表面欠陥検出方法。 - 前記マスタサーボエリアプロファイルは、前記パターンドメディアの複数のサーボエリアの平均値プロファイルであることを特徴とする請求項1記載のパターンドメディアの表面欠陥検出方法。
- 前記マスタサーボエリアプロファイルは、前記パターンドメディアの1トラック上のサーボエリアの平均値プロファイルであることを特徴とする請求項1記載のパターンドメディアの表面欠陥検出方法。
- 前記マスタサーボエリアプロファイルは、前記パターンドメディアの外周エリア、中周エリア、内周エリアに分割して取得した、複数サーボエリアの平均値プロファイルであることを特徴とする請求項1記載のパターンドメディアの表面欠陥検出方法。
- 前記パターンドメディアの表面からの反射光は、散乱光あるいは正反射光であることを特徴とする請求項1記載のパターンドメディアの表面欠陥検出方法。
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