JP3528346B2 - 光磁気ディスク検査装置及び光磁気ディスクの検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気ディスクの
欠陥を光学的に検出する光磁気ディスク検査装置及び光
磁気ディスクの検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光磁気ディスクは、大量の情報を記録す
ることが可能な円盤状の記録媒体であり、基板上に磁性
材料から成る記録層が形成されてなる。

【０００３】このような光磁気ディスクは、記録再生が
正常にできることを保証するために、記録層の表面に欠
陥が存在していないかを検査する必要がある。すなわ
ち、記録層が形成された光磁気ディスクに対して、記録
層が正常に成膜されているか、または、傷や異物等が存
在していないか等を検査する必要がある。

【０００４】従来、このような光磁気ディスクの欠陥の
検査では、光磁気ディスクの被検査面に対して、被検査
面全体にわたって走査するようにレーザ光を照射し、そ
の反射光の強度変化を測定することにより、欠陥を検出
している。すなわち、レーザ光を光磁気ディスクに照射
し、その反射光をフォトディテクタで受けて電気信号に
変換し、この電気信号の変動が予め設定された所定のし
きい値を越えたときに、その部分を欠陥として検出して
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光磁気
ディスクの欠陥検査方法においては、光磁気ディスクに
予めピット等が形成されていると、その部分の反射率が
他のエリアの反射率とは異なるものとなるため、欠陥で
はないのにも関わらず、その部分が欠陥として誤って検
出されてしまうという問題があった。

【０００６】具体的には、例えば、３．５インチ単密度
光磁気ディスクや３．５インチ倍密度光磁気ディスク等
においては、アドレス信号等のためのピットが予め形成
されたエリア（以下、「プリピットエリア」という。）
が被検査面内に存在しているため、従来の欠陥検査方法
では、このプリピットエリアが欠陥として誤って検出さ
れてしまっていた。

【０００７】すなわち、光磁気ディスクにプリピットエ
リア等が予め形成されていると、図５に示すように、フ
ォトディテクタからの信号に、本当の欠陥による変動Ｈ
１，Ｈ２だけでなく、プリピットエリア等による変動ｈ
１，ｈ２も含まれてしまう。そのため、本当の欠陥が検
出されるだけでなく、プリピットエリア等までも欠陥と
検出されてしまっていた。

【０００８】従来、このような問題を回避するには、図
６に示すように、欠陥を検出する際に用いられるしきい
値Ｌ１のレベルを、プリピットエリア等による信号の変
動ｈ１，ｈ２よりも大きくして、プリピットエリア等を
欠陥として検出しないようにしている。しかし、このよ
うにしきい値Ｌ１のレベルを大きくすると、小さい欠
陥、すなわち、図６における信号の変動Ｈ２のように、
プリピットエリア等による信号の変動ｈ１，ｈ２と同程
度以下しか信号の変動が生じないような欠陥について
は、検出が不可能になってしまう。

【０００９】このように、従来の欠陥検査方法では、欠
陥の検出精度を高めようとすると、プリピットエリア等
までも欠陥として誤って検出してしまい、プリピットエ
リア等を欠陥として誤って検出しないようにすると、欠
陥の検出精度が低くなってしまっていた。

【００１０】そこで本発明は、このような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、プリピットエリア等を欠
陥として誤って検出することなく、高精度に本当の欠陥
だけを検出することができる光磁気ディスク検査装置及
び光磁気ディスクの検査方法を提供すること目的として
いる。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに完成された本発明に係る光磁気ディスク検査装置
は、レーザ光を光磁気ディスクに照射し、その反射光を
検出することによって光磁気ディスクの欠陥を検出する
光磁気ディスク検査装置であって、上記光磁気ディスク
検査装置は、少なくとも光磁気ディスクの表面状態を光
学的に読み取る光学ヘッドを備えた光学ブロックと、コ
ントローラと、該光学ブロックからの信号を処理する信
号処理部とを備え、上記光学ヘッドは、光磁気ディスク
の被検査面に向けてレーザ光を出射するレーザ光出射部
と、反射光を検出して電気信号に変換して出力する反射
光検出部と、該レーザ光出射部から出射するレーザ光量
を自動的に制御するオートパワーコントロール装置を有
し、上記反射光検出部は、上記反射光のうちの０次反射
光を検出して０次反射光信号を出力する第１の検出装置
と、該反射光のうちの１次反射光を検出して１次反射光
信号を出力する第２の検出装置とを有し、上記信号処理
部は、非反転増幅回路と、反転増幅回路と、該非反転増
幅回路及び反転増幅回路と接続された加算回路と、上記
加算回路に接続された欠陥検出回路とを有し、上記非反
転増幅回路は、上記第１の検出装置から出力された０次
反射光信号を受け取り、該０次反射光信号を反転させる
ことなくそのまま増幅し、上記反転増幅回路は、上記第
２の検出装置から出力された１次反射光信号を受け取
り、上記０次反射光信号と逆のレベルの信号となるよう
に、該１次反射光信号を反転させるとともに、上記光磁
気ディスクの欠陥以外の原因による信号の変動が上記０
次反射光信号と略同レベルとなるように上記１次反射光
信号を増幅し、上記加算回路は、上記増幅された０次反
射光信号及び１次反射光信号におけるプリピットエリア
のそれぞれの信号レベルの落ち込みを相殺し、欠陥によ
る信号レベルの落ち込みのみを残すように加算するとと
もに上記欠陥検出回路に供給し、上記欠陥検出回路は、
上記加算回路から供給された信号により、光磁気ディス
クの欠陥を検出することを特徴とする。

【００１２】この光磁気ディスク検査装置では、０次反
射光信号と１次反射光信号とが互いに逆のレベルの信号
となるように０次反射光信号又は１次反射光信号を反転
させるとともに、光磁気ディスクの欠陥以外の原因によ
る信号の変動が０次反射光信号と１次反射光信号とで略
同レベルとなるように０次反射光信号及び／又は１次反
射光信号を増幅させた上で、０次反射光信号と１次反射
光信号とを加算しているので、光磁気ディスクの欠陥以
外の原因による信号の変動が０次反射光信号と１次反射
光信号とで打ち消し合い、本当の欠陥による信号だけが
検出されることとなる。

【００１３】また、本発明に係る光磁気ディスクの検査
方法は、レーザ光を光磁気ディスクに照射して、その反
射光のうちの０次反射光を検出して複数のフォトディテ
クタから得られるそれぞれの信号の和信号によって０次
反射光信号を得るとともに、上記反射光のうちの１次反
射光を検出して１次反射光信号を得て、上記０次反射光
信号は、反転されることなくそのまま増幅され、上記１
次反射光信号は、上記０次反射光信号と逆のレベル信号
となるように反転されるとともに、光磁気ディスクの欠
陥以外の原因による信号の変動が０次反射光信号と略同
レベルとなるように増幅され、上記増幅された０次反射
光信号及び１次反射光信号は、ピットエリアによるそれ
ぞれの信号レベルの落ち込みとが相殺され、光磁気ディ
スクの欠陥による信号レベルの落ち込みだけを残すよう
に加算され、上記加算された信号を所定しきい値を上回
る信号レベルの落ち込みのみを光磁気ディスクの欠陥と
して検出することを特徴とする。

【００１４】この光磁気ディスクの検査方法では、０次
反射光信号と１次反射光信号とが互いに逆のレベルの信
号となるように０次反射光信号又は１次反射光信号を反
転させるとともに、光磁気ディスクの欠陥以外の原因に
よる信号の変動が０次反射光信号と１次反射光信号とで
略同レベルとなるように０次反射光信号及び／又は１次
反射光信号を増幅させた上で、０次反射光信号と１次反
射光信号とを加算しているので、光磁気ディスクの欠陥
以外の原因による信号の変動が０次反射光信号と１次反
射光信号とで打ち消し合い、本当の欠陥による信号だけ
が検出されることとなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した具体的な
実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明す
る。

【００１６】まず、本発明を適用した光磁気ディスク検
査装置の一例について説明する。

【００１７】この光磁気ディスク検査装置は、回転して
いる被検査対象の光磁気ディスクの被検査面に対してレ
ーザ光を照射し、その反射光を検出することによって欠
陥を検出するものである。ここで、被検査対象となる光
磁気ディスクは、希土類遷移金属非晶質合金薄膜のよう
な磁気光学効果を有する磁性材料からなる記録層が、円
盤状の透明基板の片面に成膜されたものであり、この光
磁気ディスクに対して記録再生を行うときには、記録層
が成膜された面の反対側の面からレーザ光が入射され
る。したがって、ここでの欠陥の検査においては、記録
層が成膜された面の反対側の面が被検査面となる。

【００１８】そして、この光磁気ディスク検査装置は、
図１に示すように、光磁気ディスク１を支持し回転させ
る第１のステージ１０と、第１のステージ１０と同様に
光磁気ディスク１を支持し回転させる第２のステージ２
０と、第１のステージ１０の位置と第２のステージ２０
の位置を交換するように第１のステージ１０及び第２の
ステージ２０を回転させるインデックスドライブ３０
と、第１のステージ１０又は第２のステージ２０上の光
磁気ディスク１の表面状態を光学的に読み取る光学ヘッ
ド４１を備えた光学ブロック４０と、第１のステージ１
０、第２のステージ２０、インデックスドライブ３０及
び光学ブロック４０の動きを制御するコントローラ５０
と、光学ブロック４０からの信号を処理する信号処理部
６０と、コントローラ５０及び信号処理部６０と接続さ
れたコンピュータ７０とを備える。

【００１９】上記第１のステージ１０は、スピンドルモ
ータ１１を備えており、コントローラ５０からの制御信
号に基づいて、真空チャッキングによってスピンドル１
２上に光磁気ディスク１を固定した上で、スピンドルモ
ータ１１により、図２の矢印Ａに示すように、スピンド
ル１２上に固定された光磁気ディスク１を高速回転駆動
させる。同様に、上記第２のステージ２０も、スピンド
ルモータ２１を備えており、コントローラ５０からの制
御信号に基づいて、真空チャッキングによってスピンド
ル２２上に光磁気ディスク１を固定した上で、スピンド
ルモータ２１により、図２の矢印Ｂに示すように、スピ
ンドル２２上に固定された光磁気ディスク１を高速回転
駆動させる。ここで、第１のステージ１０及び第２のス
テージ２０に固定される光磁気ディスク１は、被検査面
が光学ブロック４０の光学ヘッド４１に対向するように
固定される。

【００２０】そして、これら第１のステージ１０及び第
２のステージ２０は、インデックスドライブ３０によっ
て、図２の矢印Ｃに示すように、互いの位置が入れ替わ
るように回転するようになっている。そして、光学ブロ
ック４０側に回転させられた側のステージにおいては、
被検査対象の光磁気ディスク１の検査が行われ、他方の
ステージにおいては、被検査対象の光磁気ディスク１の
授受が行われる。ここで、被検査対象の光磁気ディスク
１の検査が行われる側のステージは、ディスク検査ステ
ージと呼ばれ、他方のステージは、ディスク受け取りス
テージと呼ばれる。

【００２１】上記インデックスドライブ３０は、インデ
ィックスモータ３１を備えており、コントローラ５０か
らの制御信号に基づいて、インディックスモータ３１に
よって、第１のステージ１０の位置と第２のステージ２
０の位置を交換するように第１のステージ１０及び第２
のステージ２０を回転させる。すなわち、このインディ
ックスドライブ３０により、第１のステージ１０がディ
スク検査ステージからディスク受け取りステージへと回
転させられるとともに、第２のステージ２０がディスク
受け取りステージからディスク検査ステージへと回転さ
せられたり、あるいは、第２のステージ２０がディスク
検査ステージからディスク受け取りステージへと回転さ
せられるとともに、第１のステージ１０がディスク受け
取りステージからディスク検査ステージへと回転させら
れる。

【００２２】上記光学ブロック４０は、ディスク検査ス
テージ上の光磁気ディスク１の欠陥を光学的に検出する
ためのものであり、光磁気ディスク１の被検査面に向け
てレーザ光ＬＢを出射し、その反射光を検出する光学ヘ
ッド４１と、コントローラ５０からの制御信号に基づい
て光学ヘッド４１を図２の矢印Ｄに示すように光磁気デ
ィスク１の径方向に移動させるスレッドモータ４２とを
備える。ここで、光学ヘッド４１は、光磁気ディスク１
の被検査面に向けてレーザ光ＬＢを出射するレーザ光出
射部と、その反射光を検出して電気信号に変換して出力
する反射光検出部と、レーザ光出射部から出射するレー
ザ光ＬＢの光量を自動的に制御するオートパワーコント
ロール装置とを備えている。そして、この光学ブロック
４０からの信号、すなわち反射光検出部からの電気信号
は、信号処理部６０に供給され、この信号処理部６０に
おいて、後述するように処理が行われて、光磁気ディス
ク１の欠陥が検出される。

【００２３】そして、コントローラ５０及び信号処理部
６０と接続されたコンピュータ７０は、以上のような第
１のステージ１０、第２のステージ２０、インデックス
ドライブ３０及び光学ブロック４０の動き等を統括的に
制御するとともに、信号処理部６０によって処理され検
出された光磁気ディスク１の欠陥に関するデータを受け
取り保存する。

【００２４】ここで、コンピュータ７０は、この光磁気
ディスク検査装置によって複数の光磁気ディスクの検査
を自動的に連続して行えるように、自動運転用のインタ
ーフェースを備えていることが好ましい。また、コンピ
ュータ７０は、単一の独立したコンピュータである必要
はなく、例えば、コントローラ５０及び信号処理部６０
と接続されたコンピュータを、複数の光磁気ディスク検
査装置の動きを一括して制御するホストコンピュータに
接続し、このホストコンピュータから指示を受け取り、
第１のステージ１０、第２のステージ２０、インデック
スドライブ３０及び光学ブロック４０の動き等を制御す
るようにしてもよい。

【００２５】つぎに、この光磁気ディスク検査装置の光
学ヘッド４１及び信号処理部６０の構成について、図３
を参照しながら詳細に説明する。

【００２６】光学ヘッド４１は、図３に示すように、レ
ーザ光出射部４３及び反射光検出部４４を備えている。

【００２７】そして、レーザ光出射部４３は、レーザ光
ＬＢを出射するレーザダイオード４３ａと、光磁気ディ
スク１の被検査面１ａとレーザダイオード４３ａとの間
に配されたレンズ４３ｂ及び１／４波長板４３ｃとを備
えており、レーザダイオード４３ａから、レンズ４３ｂ
及び１／４波長板４３ｃを介して、光磁気ディスク１の
被検査面１ａにレーザ光ＬＢを照射する。

【００２８】一方、反射光検出部４４は、レーザ光出射
部４３から光磁気ディスク１の被検査面１ａに照射され
たレーザ光ＬＢの反射光を検出するものであり、光磁気
ディスク１の被検査面１ａからの反射光のうちの０次反
射光ＬＢ０を検出して０次反射光信号Ｓ０を出力する第
１の検出装置４５と、光磁気ディスク１の被検査面１ａ
からの反射光のうちの１次反射光ＬＢ１を検出して１次
反射光信号Ｓ１を出力する第２の検出装置４６とを備え
ている。

【００２９】ここで、第１の検出装置４５は、０次反射
光ＬＢ０の光軸上に配されたレンズ４５ａ、スリット４
５ｂ及びビームスプリッタ４５ｃと、ビームスプリッタ
４５ｃからの一方の出射光の光軸上に配された第１のフ
ォトディテクタ４５ｄと、ビームスプリッタ４５ｃから
の他方の出射光の光軸上に配された第２のフォトディテ
クタ４５ｅとを備えている。そして、第１の検出装置４
５は、第１のフォトディテクタ４５ｄ及び第２のフォト
ディテクタ４５ｅにより、光磁気ディスク１の被検査面
１ａからの反射光のうちの０次反射光ＬＢ０を検出し電
気信号に変換して、第１のフォトディテクタ４５ｄから
の出力と、第２のフォトディテクタ４５ｅからの出力と
の和信号を、０次反射光ＬＢ０の光量を示す０次反射光
信号Ｓ０として出力する。

【００３０】なお、第１の検出装置４５が第１のフォト
ディテクタ４５ｄと第２のフォトディテクタ４５ｅの２
つのフォトディテクタを備えているのは、光磁気ディス
ク検査装置として、光磁気ディスクの偏光性の欠陥（偏
光異常）を検出するために差信号を利用するためであ
る。すなわち、この第１の検出装置４５の２つのフォト
ディテクタは、第１のフォトディテクタ４５ｄの出力と
第２のフォトディテクタ４５ｅの出力から差信号Ｏｕｔ
２を得るために必要であり、また、第１のフォトディテ
クタ４５ｄからの出力Ｏｕｔ１はビーム変位センサへと
供給され、これにより、ビームの曲がりやビームのふく
らみが検出され、例えば光磁気ディスク保護の目的で塗
布されたトップコートのアワやスジ等の欠陥が検出され
る。ただし、本発明においては０次反射光ＬＢ０の光量
が検出できればよいので、上述のように２つのフォトデ
ィテクタを備えている必要はなく、０次反射光ＬＢ０を
検出するフォトディテクタの数は１つだけとしてもよ
い。すなわち、ビームスプリッタを介することなく、単
一のフォトディテクタを用いて０次反射光ＬＢを直接検
出するようにしてもよい。

【００３１】一方、第２の検出装置４６は、１次反射光
ＬＢ１の光軸上に配された第３のフォトディテク４６ａ
を備えており、この第３のフォトディテクタ４６ａによ
り、光磁気ディスク１の被検査面１ａからの反射光のう
ちの１次反射光ＬＢ１を検出し電気信号に変換して、１
次反射光ＬＢ１の光量を示す１次反射光信号Ｓ１を出力
する。

【００３２】以上のような光学ヘッド４０からの出力、
すなわち第１の検出装置４５から出力される０次反射光
信号Ｓ０、及び第２の検出装置４６から出力される１次
反射光信号Ｓ１は、上述したように、信号処理部６０に
供給される。

【００３３】この信号処理部６０は、図３に示すよう
に、第１の検出装置４５から０反射光信号Ｓ０が供給さ
れる非反転増幅回路６１と、第２の検出装置４６から１
次反射光信号Ｓ１が供給される反転増幅回路６２と、非
反転増幅回路６１及び反転増幅回路６２と接続された加
算回路６３と、加算回路６３と接続された欠陥検出回路
６４とを備える。

【００３４】ここで、非反転増幅回路６１は、第１の検
出装置４５から０次反射光信号Ｓ０を受け取り、この０
次反射光信号Ｓ０を反転させることなく増幅させ、一
方、反転増幅回路６２は、第２の検出装置４６から１次
反射光信号Ｓ１を受け取り、この１次反射光信号Ｓ１を
反転させ且つ増幅させる。そして、非反転増幅回路６１
によって増幅された０次反射光信号Ｓ３と、反転増幅回
路６２によって反転増幅された１次反射光信号Ｓ４と
は、加算回路６３に供給され、この加算回路５３によっ
て加算される。そして、加算回路６３によって加算され
た加算信号Ｓ５は、加算回路６３から欠陥検出回路６４
に供給され、この欠陥検出回路６４によって加算信号Ｓ
５から光磁気ディスク１の欠陥が検出される。

【００３５】つぎに、以上のような光磁気ディスク検査
装置を用いた光磁気ディスクの検査方法について詳細に
説明する。

【００３６】光磁気ディスク１の欠陥を検査する際は、
先ず、ディスク受け取りステージに被検査対象の光磁気
ディスク１をセットし、その後、インデックスドライブ
３０により、光磁気ディスク１がセットされたステージ
をディスク検査ステージ側へ回転させる。

【００３７】次に、ディスク検査ステージ上の光磁気デ
ィスク１をスピンドルモータ１１（又は２１）で回転駆
動させ、この回転駆動している光磁気ディスク１に対し
て、光学ブロック４０の光学ヘッド４１によってレーザ
光ＬＢを照射し、その反射光を検出することにより、光
磁気ディスク１の欠陥を検出する。このとき、回転駆動
している光磁気ディスク１に対してレーザ光ＬＢを照射
すると同時に、スレッドモータ４２によって光学ヘッド
４１を被検査対象の光磁気ディスク１の径方向へと移動
させる。これにより、被検査対象の光磁気ディスク１の
全面に対してレーザ光ＬＢが走査され、被検査対象の光
磁気ディスク１の被検査面全体について、欠陥の有無が
検査されることとなる。

【００３８】そして、検査が終了したら、インデックス
ドライブ３０により、検査が終了した光磁気ディスク１
がセットされているステージをディスク受け取りステー
ジ側へと移動させ、検査が終了した光磁気ディスク１を
ステージから取り外す。このとき、光磁気ディスク１の
検査を連続して行うときには、予め他方のステージに新
たな光磁気ディスク１をセットしておく。これにより、
検査が終了した光磁気ディスク１を支持しているステー
ジがディスク受け取りステージ側へ移動すると共に、新
たに検査する光磁気ディスク１を支持しているステージ
がディスク検査ステージ側へと移動することとなり、光
磁気ディスク１の検査を連続して行うことが可能とな
る。

【００３９】つぎに、光磁気ディスク１からの反射光に
よって欠陥を検出する方法について詳細に説明する。

【００４０】まず、被検査対象の光磁気ディスク１から
の反射光のうち、０次反射光ＬＢ０は第１の検出装置４
５の第１のフォトディテクタ４５ｄ及び第２のフォトデ
ィテクタ４５ｅによって検出され、第１のフォトディテ
クタ４５ｄからの出力と、第２のフォトディテクタ４５
ｅからの出力との和信号が、０次反射光ＬＢ０の光量を
示す０次反射光信号Ｓ０として出力される。一方、被検
査対象の光磁気ディスク１からの反射光のうち、１次反
射光ＬＢ１は、第２の検出装置４６の第３のフォトディ
テクタ４６ａによって検出され、この第３のフォトディ
テクタ４６ａからの出力が、１次反射光ＬＢ１の光量を
示す１次反射光信号Ｓ１として出力される。

【００４１】ここで、被検査対象の光磁気ディスク１の
被検査面１ａにレーザ光ＬＢの反射率に影響を与えるも
のが存在していると、０次反射光信号Ｓ０及び１次反射
光信号Ｓ１に信号レベルの落ち込みが生じる。すなわ
ち、図４の（１）に示すように、０次反射光信号Ｓ０に
は、光磁気ディスク１の欠陥による信号レベルの落ち込
みＰ１，Ｐ２等や、光磁気ディスク１に予め書き込まれ
たプリピットエリア等による信号レベルの落ち込みＱ
１，Ｑ２等が存在しており、図４の（２）に示すよう
に、１次反射光信号Ｓ１にも、０次反射光信号Ｓ０にお
ける信号レベルの落ち込みと対応するように、光磁気デ
ィスク１の欠陥による信号レベルの落ち込みＰ３，Ｐ４
等や、光磁気ディスク１に予め書き込まれたプリピット
エリア等による信号レベルの落ち込みＱ３，Ｑ４等が存
在している。ここで、０次反射光信号Ｓ０における信号
レベルの落ち込みＰ１，Ｐ２，Ｑ１，Ｑ２等と、１次反
射光信号Ｓ１における信号レベルの落ち込みＰ３，Ｐ
４，Ｑ３，Ｑ４等とは、それらの落ち込みのレベルは異
なっているが、落ち込みが生じる位置は同じとなってい
る。

【００４２】そして、０次反射光信号Ｓ０は、第１の検
出装置４５から信号処理回路６０の非反転増幅回路６１
に供給され、この非反転増幅回路６１により、図４の
（３）に示すように増幅される。一方、１次反射光信号
Ｓ１は、第２の検出装置４６から信号処理回路６０の反
転増幅回路６２に供給され、この反転増幅回路６２によ
り、図４の（４）に示すように反転増幅される。

【００４３】ここで、０次反射光信号Ｓ０及び１次反射
光信号Ｓ１の増幅は、光磁気ディスク１の欠陥以外の原
因による信号の変動が０次反射光信号Ｓ０と１次反射光
信号Ｓ１とでほぼ同レベルとなるように増幅する。すな
わち、図４の（３）及び（４）に示すように、増幅され
た０次反射光信号Ｓ３におけるプリピットエリア等によ
る信号レベルの落ち込みＱ１，Ｑ２等と、反転増幅され
た１次反射光信号Ｓ４におけるプリピットエリア等によ
る信号レベルの落ち込みＱ３，Ｑ４等とがほぼ同レベル
となるように、０次反射光信号Ｓ０と１次反射光信号Ｓ
１とを増幅する。

【００４４】なお、ここでは１次反射光信号Ｓ１を反転
増幅させたが、０次反射光信号と１次反射光信号とが互
いに逆のレベルの信号となればよいので、１次反射光信
号Ｓ１は反転させることなく増幅し、０次反射光信号Ｓ
０を反転増幅するようにしてもよい。ただし、この場合
は欠陥による信号の変動が落ち込みではなく上に突出し
た形となることがあるので、その形に合わせてしきい値
Ｌを設定する必要がある。

【００４５】その後、非反転増幅回路６１によって増幅
された０次反射光信号Ｓ３と、反転増幅回路６２によっ
て反転増幅された１次反射光信号Ｓ４とを加算回路６３
によって加算して、加算信号Ｓ５を得る。

【００４６】この加算信号Ｓ５は、図４の（５）に示す
ように、非反転増幅回路６１によって増幅された０次反
射光信号Ｓ３におけるプリピットエリア等による信号レ
ベルの落ち込みＱ１，Ｑ２等と、反転増幅回路６２によ
って反転増幅された１次反射光信号Ｓ４におけるプリピ
ットエリア等による信号レベルの落ち込みＱ３，Ｑ４等
とが相殺されており、光磁気ディスクの欠陥による信号
レベルの落ち込みＰａ，Ｐｂ等だけが残っている。

【００４７】そして、この加算信号Ｓ５は、加算回路６
３から欠陥検出回路６４に供給され、この欠陥検出回路
６４において、図４の（５）に示すように、所定のしき
い値Ｌを上回るような信号レベルの落ち込みＰａ，Ｐｂ
等が欠陥として検出される。ここで、加算信号Ｓ５に
は、欠陥以外の原因による信号レベルの落ち込み、すな
わちプリピットエリア等による信号レベルの落ち込みは
存在してないので、プリピットエリア等を欠陥として誤
って検出することなく、本当の欠陥だけを高精度に検出
することができる。

【００４８】なお、非反転増幅回路６１及び反転増幅回
路６２は、半固定抵抗によって増幅レベルを任意に設定
できるようにした方がよい。このように増幅レベルを任
意に設定できるようにすることにより、第１の検出装置
４５及び第２の検出装置４６によって検出された０次反
射光信号Ｓ０及び１次反射光信号Ｓ１においてプリピッ
トエリア等による落ち込みのレベルが変化しても、プリ
ピットエリア等による信号レベルの落ち込みが相殺され
るように、非反転増幅回路６１による増幅レベルと、反
転増幅回路６２による増幅レベルとを適切に設定するこ
とが可能となる。したがって、非反転増幅回路６１及び
反転増幅回路６２の増幅レベルを任意に設定できるよう
にすることにより、被検査対象の光磁気ディスクが変わ
っても、プリピットエリア等を欠陥として誤って検出す
ることなく、本当の欠陥だけを高精度に検出することが
可能となる。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
においては、非反転増幅回路が第１の検出装置から出力
された０次反射光信号を受け取り、該０次反射光信号を
反転させることなくそのまま増幅し、反転増幅回路が第
２の検出装置から出力された１次反射光信号を受け取
り、０次反射光信号と逆のレベルの信号となるように、
該１次反射光信号を反転させるとともに、光磁気ディス
クの欠陥以外の原因による信号の変動が０次反射光信号
と略同レベルとなるように１次反射光信号を増幅し、加
算回路が増幅された０次反射光信号及び１次反射光信号
におけるプリピットエリアのそれぞれの信号レベルの落
ち込みを相殺し、欠陥による信号レベルの落ち込みのみ
を残すように加算するとともに欠陥検出回路に供給し、
欠陥検出回路が加算回路から供給された信号により、光
磁気ディスクの欠陥を検出するので、光磁気ディスクの
欠陥以外の原因による信号の変動が０次反射光信号と１
次反射光信号とで打ち消し合い、本当の欠陥による信号
だけが検出されることとなる。

【００５０】したがって、本発明によれば、光磁気ディ
スクの欠陥を検出する際に、プリピットエリア等を欠陥
として誤って検出することなく、本当の欠陥だけを高精
度に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した光磁気ディスク検査装置の一
構成例を示すブロック図である。

【図２】図１に示した光磁気ディスク検査装置の動きを
説明するための模式図である。

【図３】図１に示した光磁気ディスク検査装置の光学ヘ
ッド及び信号処理部の一構成例を示すブロック図であ
る。

【図４】信号処理部による０次反射光信号及び１次反射
光信号の処理の様子を示す図である。

【図５】フォトディテクタからの信号の一例を示す図で
ある。

【図６】フォトディテクタからの信号に対してしきい値
を設定した様子を示す図である。

【符号の説明】

１ 光磁気ディスク １０ 第１のステージ ２０ 第２のステージ ３０ インデックスドライブ ４０ 光学ブロック ４１ 光学ヘッド ４２ スレッドモータ ４３ レーザ光出射部 ４４ 反射光検出部 ４５ 第１の検出装置 ４６ 第２の検出装置 ５０ コントローラ ６０ 信号処理部 ６１ 非反転増幅回路 ６２ 反転増幅回路 ６３ 加算回路 ６４ 欠陥検出回路 ７０ コンピュータ

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を光磁気ディスクに照射し、そ
   の反射光を検出することによって光磁気ディスクの欠陥
   を検出する光磁気ディスク検査装置であって、上記光磁気ディスク検査装置は、少なくとも光磁気ディ
   スクの表面状態を光学的に読み取る光学ヘッドを備えた
   光学ブロックと、コントローラと、該光学ブロックから
   の信号を処理する信号処理部とを備え、 上記光学ヘッドは、光磁気ディスクの被検査面に向けて
   レーザ光を出射するレーザ光出射部と、反射光を検出し
   て電気信号に変換して出力する反射光検出部と、該レー
   ザ光出射部から出射するレーザ光量を自動的に制御する
   オートパワーコントロール装置を有し、 上記反射光検出部は、上記反射光のうちの０次反射光を
   検出して０次反射光信号を出力する第１の検出装置と、
   該反射光のうちの１次反射光を検出して１次反射光信号
   を出力する第２の検出装置とを有し、 上記信号処理部は、非反転増幅回路と、反転増幅回路
   と、該非反転増幅回路及び反転増幅回路と接続された加
   算回路と、上記加算回路に接続された欠陥検出回路とを
   有し、 上記非反転増幅回路は、上記第１の検出装置から出力さ
   れた０次反射光信号を受け取り、該０次反射光信号を反
   転させることなくそのまま増幅し、 上記反転増幅回路は、上記第２の検出装置から出力され
   た１次反射光信号を受け取り、上記０次反射光信号と逆
   のレベルの信号となるように、該１次反射光信号を反転
   させるとともに、上記光磁気ディスクの欠陥以外の原因
   による信号の変動が上記０次反射光信号と略同レベルと
   なるように上記１次反射光信号を増幅し、 上記加算回路は、上記増幅された０次反射光信号及び１
   次反射光信号におけるプリピットエリアのそれぞれの信
   号レベルの落ち込みを相殺し、欠陥による信号レベルの
   落ち込みのみを残すように加算するとともに上記欠陥検
   出回路に供給し、 上記欠陥検出回路は、上記加算回路から供給された信号
   により、光磁気ディス クの欠陥を検出する ことを特徴と
   する光磁気ディスク検査装置。
2. 【請求項２】 上記第１の検出装置は、光磁気ディスク
   の偏光性の欠陥を検出するための差信号を得るための２
   つのフォトディテクタを備えていることを特徴とする請
   求項１記載の光磁気ディスク検査装置。
3. 【請求項３】 上記第２の検出装置は、光磁気ディスク
   の被検査面からの反射光のうち１次反射光を検出し電気
   信号に変換するフォトディテクタを備えていることを特
   徴とする請求項１記載の光磁気ディスク検査装置。
4. 【請求項４】 レーザ光を光磁気ディスクに照射して、
   その反射光のうちの０次反射光を検出して複数のフォト
   ディテクタから得られるそれぞれの信号の和信号によっ
   て０次反射光信号を得るとともに、上記反射光のうちの
   １次反射光を検出して１次反射光信号を得て、上記０次反射光信号は、反転されることなくそのまま増
   幅され、 上記１次反射光信号は、上記０次反射光信号と逆のレベ
   ル信号となるように反転されるとともに、光磁気ディス
   クの欠陥以外の原因による信号の変動が０次反射光信号
   と略同レベルとなるように増幅され、 上記増幅された０次反射光信号及び１次反射光信号は、
   ピットエリアによるそれぞれの信号レベルの落ち込みと
   が相殺され、光磁気ディスクの欠陥による信号レベルの
   落ち込みだけを残すように加算され、 上記加算された信号を所定しきい値を上回る信号レベル
   の落ち込みのみを光磁気ディスクの欠陥として 検出する
   ことを特徴とする光磁気ディスクの検査方法。