JP2003317252A - 光ディスクのディフェクト検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学的に情報の記録が可能な光ディスクのデ
ィフェクト検査装置を提供する。 【解決手段】 記録可能な光ディスク１の記録面のディ
フェクトを検査する光ディスクのディフェクト検査装置
において、前記記録面のディフェクトを前記記録面の反
射率の差による再生信号のレベル差として検出するディ
フェクト検出手段７と、前記ディフェクト検出直後の所
定期間を記録モードにして前記記録面に記録マークを形
成する記録手段２，３，８とを備え、前記ディフェクト
近傍に前記ディフェクトの位置を示す記録マークを形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、光学的に情報の記
録再生が可能な光ディスクのディフェクト（欠陥）検査
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】書換え型で一般的な相変化型の光ディス
クにおいては成膜後、記録膜を一度高反射率の結晶状態
にする初期化作業を行う。初期化作業はレーザ照射によ
り記録膜が結晶化温度となり結晶化時間を超えるまで保
持されることにより可能となる。記録時には、記録膜を
融点以上まで昇温し、記録膜の結晶化時間を超えないよ
うに急冷することによりアモルファス（非結晶）状態を
形成し結晶状態とは反射率の異なる記録マークを形成す
る。 【０００３】しかし、書換え型光ディスクの記録面にデ
ィフェクト（欠陥）があると、この部分に情報の記録を
行うことが出来なくなる。ディフェクトの原因は基板形
成不良、記録膜不良、ごみの付着、傷など多くの原因が
考えられる。光ディスクの記録面にディフェクトがある
と反射率の異常として観察される為、再生信号のレベル
異常の検出によりディフェクト検査を行う方法もある。 【０００４】通常、ディフェクトの検査は、ディフェク
ト数ばかりではなく、ディフェクトサイズ、検出した半
径位置、トラック位置、角度等の情報により場所を特定
したり分布を調べたりすることが出来る。光ディスクの
製造歩留まりを向上させる為には、ディフェクトの発生
要因を解析し対策を講じる必要が生じる。 【０００５】その為、開発部門や生産現場において、こ
れらのディフェクトのデータを元に顕微鏡や段差計、表
面分析装置を用いてディフェクトの要因を多角的に種々
解析することが行われる。ディフェクトの観察時には、
場所が特定しやすいようにディフェクト検査装置と観
察、分析装置間とで位置的な整合がとれるように、例え
ば専用のステージ等が用いられ工夫されている。 【０００６】従来の具体的な光ディスクの記録面検査装
置の一例（特開平１０−２１５４８号）について以下に
図と共に説明する。 【０００７】図６は、従来の光ディスク装置の構成の一
例を示した図である。図において、６１は光ディスク装
置で、図示しない上位装置から入力した記録対象情報を
スパイラル状のトラッキンググルーブを有する追記型の
光ディスク６２に対して記録したり、或いは光ディスク
６２に記録されている情報を再生して上位装置に出力す
るものである。 【０００８】光ディスク装置６１は、光ピックアップ７
１、スピンドルモーター７２、スレッド機構７３、スレ
ッドサーボ回路７４、サンプルホールド回路７５、ＲＦ
増幅回路７６、オートスライス回路７７、信号処理回路
７８、オーディオ回路７９、フォーカスサーボ回路８
０、トラッキングサーボ回路８１、ウォブル検出回路８
２、ＡＴＩＰデコーダ８３、モータサーボ回路８４、デ
ィフェクト検出回路８５、Ｃ１・Ｃ２デコーダ８６、Ｃ
ＰＵ８７、データ入出力インタフェース回路８８、ＣＤ
エンコーダ８９、変調回路９０、パワー自動制御回路９
１及び電子スイッチ９２から構成される。 【０００９】光ピックアップ７１は、レンズ７１１、ハ
ーフミラー７１２、レーザー７１３、光ディテクタ７１
４、電流／電圧（Ｉ／Ｖ）変換回路７１５、トラッキン
グサーボ機構７１６、及びフォーカスサーボ機構７１７
から構成されている。 【００１０】レーザ７１３は、パワー自動制御回路９１
から入力した電流によってレーザ光を射出し、このレー
ザ光はハーフミラー７１２及びレンズ７１１を介して光
ディスク６２に照射される。また、光ディスク６２から
の反射光は、レンズ７１１及びハーフミラー７１２を介
して光ディテクタ７１４に入射される。 【００１１】光ディテクタ７１４は、図７に示すよう
に、周知の４分割のフォトディテクタからなり、光ディ
スク６２のトラックの左側に位置するディテクタ７１４
a、７１４dの合計受光量及び右側に位置するディテクタ
７１４b，７１４cの合計受光量を用いてトラッキング補
正を、また対角線上に位置するディテクタ７１４a、７
１４cの合計受光量及びディテクタ７１４b，７１４dの
合計受光量を用いて非点収差法等によりフォーカス補正
を行えるものであり、各ディテクタ７１４a〜７１４dは
入射光強度に対応した電流を出力する。 【００１２】Ｉ／Ｖ変換回路７１５は、光ディテクタ７
１４の各ディテクタ７１４a〜７１４dから出力された電
流を電流値に比例した電圧に変換して出力する。また、
レンズ７１１を介して光ディスク６２に照射されるレー
ザビームの照射位置は、トラッキングサーボ機構７１６
によって光ディスクの半径方向に微調整されると共に、
光ディスク６２に照射されるレーザビームのフォーカス
はフォーカスサーボ機構７１７によって微調整される。 【００１３】さらに、光ピックアップ７１全体が、スレ
ッド機構７３によって光ディスク６２の半径方向に移動
可能に構成されている。スピンドルモータ７２は、電子
スイッチ９２によって選択された信号処理回路７８或い
はＡＴＩＰデコーダ８３からの駆動信号により、光ディ
スク６２を所定の回転速度にて回転させる。 【００１４】スレッド機構７３は、スレッドサーボ回路
７４からの駆動制御信号によって、光ディスク６２の半
径方向に光ピックアップ７１を移動させる。サンプルホ
ールド回路７５は、光ディスク６２からの反射光におけ
る情報再生レベルに対応した電圧をサンプルホールドす
る。これによりサンプルホールドされた電圧値に基づい
て、トラッキングサーボ回路８１及びフォーカスサーボ
回路８０が駆動される。 【００１５】ＲＦ増幅回路７６は、Ｉ／Ｖ変換回路７１
５から出力される各ディテクタ７１４a〜７１４dに対応
する電圧を合成してＲＦ信号を生成すると共にこれを増
幅して出力する。オートスライス回路７７は、ＲＦ増幅
回路７６から出力されるＲＦ信号を所定レベルでスライ
スし、完全な矩形波のディジタル信号（ＥＦＭ信号）を
生成して信号処理回路７８に供給する。 【００１６】信号処理回路７８は、入力したＥＦＭ信号
を復調して、オーディオ信号のときはオーディオ回路７
９に出力し、ディジタルデータ信号のときはＣＰＵ８７
に出力する。さらに、信号処理回路７８は、光ディスク
６２からのデータ再生時のスピンドルモータ駆動用のサ
ーボ信号を出力する。 【００１７】オーディオ回路７９は、信号処理回路７８
から供給されたオーディオ信号を増幅し、ステレオの場
合はライト・レフトに分離して出力する。フォーカスサ
ーボ回路８０は、サンプルホールド回路７５から出力さ
れる各ディテクタ７１４a〜７１４dに対応した信号を入
力し、フォーカスサーボ機構７１７を駆動する駆動信号
を生成してこれを出力する。 【００１８】トラッキングサーボ回路８１は、サンプル
ホールド回路７５から出力される各ディテクタ７１４a
〜７１４dに対応した信号が供給され、トラッキングサ
ーボ機構７１６を駆動する駆動信号を生成してこれを出
力する。 【００１９】ウォブル検出回路８２は、ＲＦ信号が供給
され、このＲＦ信号から、追記型光ディスク６２の記録
領域に周知のように予めスパイラル状に且つ蛇行して形
成されたトラックに記録されたウォブル信号を検出し
て、この信号を出力する。ＡＴＩＰデコーダ８３は、ウ
ォブル信号からＡＴＩＰデータを再生して、これをＣＰ
Ｕ８７及びモータサーボ回路８４に出力する。 【００２０】ここで、追記型光ディスク２には、予め僅
かな振幅で蛇行しているトラックがスパイラル状に形成
されている。このトラックのうねりは、ＡＴＩＰ (Abso
lute Time In Pregroove) データと呼ばれる絶対時間情
報を表すものであり、２２．０５ＫＨｚを基本周波数と
し、その周波数はＡＴＩＰデータの１ビットに対応する
長さ（周波数４４．１ＫＨｚの７周期分）毎にビットの
内容、即ちこのビットが「１」であるか「０」であるか
に応じて±１ＫＨｚ変化するようにＦＳＫ(Frequency S
hift Keying)変調されている。 【００２１】また、ＡＴＩＰデータは、１フレームが１
定数（８４ビット）のビットを含み且つ所定の位置に固
定パターンのフレーム同期信号を備えたビット列からな
る多数の連続したフレームで構成され、通常１倍速度再
生のときは各フレームは周波数７５Ｈｚの周期で繰り返
されている。従って、ＡＴＩＰデータを読みとることに
より、光ディスク上の位置を認識することが出来る。 【００２２】モータサーボ回路８４は、ＡＴＩＰデコー
ダ８３からＡＴＩＰデータが供給されると共に、ＣＰＵ
８７から制御信号が供給され、これらに基づいてスピン
ドルモータ７２を駆動する駆動信号を生成して出力す
る。また、スピンドルモータ７２の回転数はＣＰＵ８７
からの制御信号に基づいて設定される。 【００２３】ディフェクト検出回路８５は、ＲＦ信号を
入力してそのエンベロープを検出し、このエンベロープ
信号のレベルが所定のレベル範囲外になったときにディ
フェクトを検出したものとしてディフェクト検出信号を
ＣＰＵ８７に出力する。 【００２４】Ｃ１・Ｃ２デコーダ８６は、信号処理回路
７８からＥＦＭ信号を入力し、このＥＦＭ信号における
ＣＩＲＣ（Cross Interleaved Reed-Solomon Code ）の
Ｃ１、Ｃ２エラーの単位時間当りの数を検出してＣＰＵ
８７に出力する。 【００２５】ＣＰＵ８７は、他の主要回路の制御を行
い、信号処理回路７８によって再生されたディジタルデ
ータをデータ入出力インタフェース回路８８を介してパ
ーソナルコンピュータ等の上位装置に送出すると共に、
上位装置から入力した記録対象情報をＣＤエンコーダ８
９に送出し光ディスクへの情報書き込み処理を行う。 【００２６】また、ＣＰＵ８７は、上位装置から検査命
令を受けたときにスレッドサーボ回路７４及びトラッキ
ングサーボ回路８１に制御信号を出力し（図示せず）、
光ディスク６２に対するレーザビームの照射位置を制御
すると共に、ディフェクト検出回路８５からディフェク
ト検出信号を入力した時点におけるＡＴＩＰデータから
ディフェクトの位置情報（絶対時間情報）を読み取り、
これを記憶すると共にこの情報を１トラック毎にデータ
入出力インタフェース回路８８を介して上位装置に送出
する。 【００２７】さらに、ＣＰＵ８７は、Ｃ１・Ｃ２デコー
ダ８６からＣ１・Ｃ２エラーの数を入力し、これが所定
値以上となったときにディフェクトが存在したものとし
て、この時点におけるＡＴＩＰデータからディフェクト
の位置情報を読み取り、これを記憶すると共にこの情報
を１トラック毎にデータ入出力インタフェース回路８８
を介して上位装置に送出する。 【００２８】データ入出力インタフェース回路８８は、
周知のＳＣＳＩあるいはＡＴＡＰＩインタフェースから
なり、ＣＰＵ８７及びＣＤエンコーダ８９とパーソナル
コンピュータ等の上位装置との間の命令やデータの転送
を行う。ＣＤエンコーダ８９は、ＣＰＵ８７及びデータ
入出力インタフェース回路８８から入力した記録対象情
報をＥＦＭ信号に変換して出力する。 【００２９】変調回路９０は、ＣＤエンコーダ８９から
出力されたＥＦＭ信号を入力し、これに基づいてレーザ
７１３の駆動信号を変調する。パワー自動制御回路９１
は、変調回路９０から出力された駆動信号の電流値を一
定値に保持しレーザ７１３から射出されるレーザパワー
を一定値に維持する。 【００３０】スイッチ９２は、ＣＰＵ８７の制御信号に
基づいて動作し、信号処理回路７８から出力された駆動
信号或いはモータサーボ回路８４から出力された駆動信
号の何れかを選択してスピンドルモータ７２に送出す
る。 【００３１】以上説明した光ディスク装置によれば、光
ディスク装置のディフェクト検出手段による検出結果及
び情報再生手段により再生された位置情報に基づいて、
ディフェクト存在位置情報送出手段によりディフェクト
存在位置情報が上位装置に送出されるので、上位装置で
は前記ディフェクト存在位置情報送出手段によって送出
された位置情報により、光ディスクの記録面に付いた傷
や汚れ等のディフェクトの存在の有無及びディフェクト
の存在位置を認識することが出来る。従って、情報記録
時の障害となる傷や汚れ等のディフェクトを非常に簡単
に検出することが出来、これに要する手間を大幅に削減
することが出来ると共に、高精度にディフェクトを検出
することが出来る。これにより、光ディスクを無駄にす
ることがなくなる。 【００３２】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディフェクト検査装置では、問題となるディフェクトの
サイズが数ミクロンから数十ミクロン程度と非常に小さ
い為、データとして検出出来たとしても、解析時に現物
のディスクを目視することでそのディフェクトの位置
（場所）の特定をすることは出来なかった。また、従来
のディフェクト検査装置では得られた検出ディフェクト
の半径位置、トラック位置、角度等の情報だけでは、例
えば顕微鏡を用いて実際に反射率の異常をもたらすミク
ロンオーダーのディフェクトを特定するのは非常に困難
であり、例え出来たとしても位置の特定に相当の時間が
掛かってしまう。このように従来のディフェクト検査装
置による検査方法では特にディスク面の微小なディフェ
クトの位置（場所）の特定及びその特定したディフェク
トの要因解析は困難であった。 【００３３】近年提案されている青色レーザを利用した
高ＮＡレンズと薄型保護層との組み合わせたシステムに
おいては、薄型保護層や記録トラックピッチの高密度化
により従来では問題にならなかったような微小なディフ
ェクトの影響を受け易くなっている。加えて、光ディス
ク保護層の形成が従来と異なり、シート貼り付け法やス
ピンコート法によって行われているため、保護層形成工
程でのディフェクトの発生要因が増加してしまう。特に
このようなディスク面の微小なディフェクトの位置（場
所）の特定及びそのディフェクトの要因解析はこれまで
困難であった。 【００３４】そこで、本発明は、上記した課題に鑑みて
なされたものであり、特に、ディスク面のディフェクト
近傍にそのディフェクトの位置に対応する記録マークを
形成して、ディフェクトの位置の特定を、現物のディス
クのディフェクト近傍のその記録マークより簡単に可能
にする光ディスク検査装置を提供することを目的とす
る。 【００３５】 【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、請求項１に記載された発明は、記録可能な光ディス
ク１の記録面のディフェクトを検査する光ディスクのデ
ィフェクト検査装置において、前記光ディスク１の記録
面のディフェクトを前記記録面の反射率の差による再生
信号のレベル差として検出するディフェクト検出手段７
と、前記ディフェクト検出直後の所定期間を記録モード
にして前記記録面に記録マークを形成する記録手段２，
３，８とを備え、前記ディフェクト近傍に前記ディフェ
クトの位置を示す前記記録マークを形成することを特徴
とした光ディスクのディフェクト検査装置を提供するも
のである。 【００３６】 【発明の実施の形態】本発明の光ディスクの検査装置及
び検査方法の実施の形態につき、好ましい実施例によ
り、以下に図と共に説明する。図１に本発明の光ディス
クの検査装置の一実施例のブロック構成を示した図であ
る。 【００３７】駆動部は、光ディスク１を回転駆動する為
のスピンドルモータ１４、記録トラック位置を移動させ
る為のフィードモータ１５、それらを駆動制御する為の
メカコントローラドライバ１３と、情報の記録再生を行
う為のＰＵ（ピックアップ）２、そのＰＵのフォーカス
サーボアクチュエータ１１、トラッキングサーボアクチ
ュエータ１０、それらを制御する為のサーボ制御回路９
とで構成される。 【００３８】信号部は、ＰＵ（２）からの再生信号を増
幅する為のプリアンプ６、再生出力のレベル異常を感知
してディフェクト検出信号（ＳＭ)を生成する為のディ
フェクト検出回路７、ディフェクト検出信号により再生
モードと記録モードのモード切替信号を生成するモード
切替回路８、記録データを生成する為のデータジェネレ
ータ５、データ情報を元に最適な記録マークを形成する
為の記録信号を生成するストラテジ発生回路４、及びＰ
Ｕ（２）のレーザパワーを再生パワー、記録パワー制御
する為のレーザパワーコントローラ３で構成される。 【００３９】また、メカコントローラドライバ１３、サ
ーボ制御回路９、レーザパワーコントローラ３はシステ
ム制御用のコンピュータ１２でコントロールされてお
り、このコンピュータ１２には操作パネルや測定結果を
表示する為のディスプレイ１６、キーボードやマウス等
の操作部１７が接続されている。 【００４０】ＰＵ（２）には、レーザを発生させるレー
ザダイオード、レーザの反射を検出する為のフォトディ
テクタ、フォトディテクタの出力を取り出す為のI／Ｖ
アンプが内蔵されている。 【００４１】レーザパワーコントローラ３は、モード切
替回路８及びコンピュータ１２の制御信号により再生モ
ードと記録モードの切替が可能となっている。例えば、
モード切替回路８のモード切替信号（ＳＭ)がローレベ
ルの時はＰＵ（２）のレーザパワーを再生モードに、モ
ード切替回路８のモード切替信号（ＳＭ)がハイレベル
の時にはＰＵ（２）のレーザパワーを記録モードとして
いる。 【００４２】再生モードの場合は、レーザ出力を再生に
最適なパワーにし、さらに高周波重畳が与えられように
なっている。記録モードの場合は、ストラテジ発生回路
４の出力を元に、レーザパワーを記録ピークパワー、消
去パワー、冷却パワーなど段階的にコントロールして最
適な記録マークを形成する。 【００４３】つぎに、図２、及び図３を用いてディフェ
クト検出回路７とモード切替回路８の機能について説明
する。光ディスク１の記録面にディフェクトがあるとそ
の光ディスク１の記録面の反射率の異常として観察され
る為、再生信号（ＰＯ）のレベル異常の検出によりディ
フェクト検査を行っている。検査に用いるディスクは、
記録膜初期化後の高反射率状態、無記録状態のものを使
用する。その為、再生信号（ＰＯ）は反射率に変化がな
いので一定レベルの出力が得られる。 【００４４】図２は、ディフェクトの影響により通常よ
り記録面の反射率が低くなる暗ディフェクトを検出する
場合のディフェクト検出タイミングチャートの一実施例
を示したものである。再生信号（ＰＯ)は暗ディフェク
ト（Ｄa1、Ｄa2)部分でレベルが低下する。ディフェク
ト検出回路７は、再生信号（ＰＯ)が所定のスライスレ
ベルである暗ディフェクト検出レベル（ＳＬa)以下とな
ったところで、図２のようにディフェクトの大きさに対
応したディフェクト検出信号（ＳＤ)パルスを生成す
る。このような機能は簡単なコンパレータ回路を用い、
規定の暗ディフェクト検出レベルとの比較処理で実現す
ることが出来る。 【００４５】図３は、図２とは反対に通常より光ディス
ク１の記録面の反射率が高くなる明ディフェクトを検出
する場合のディフェクト検出タイミングチャートの一実
施例を示したものである。図２とは反対に再生信号（Ｐ
Ｏ)が所定のスライスレベルである明ディフェクト検出
レベル（ＳＬb)より高くなったところでディフェクトの
大きさに対応したディフェクト検出信号（ＳＤ)パルス
を生成する。 【００４６】モード切替回路８は、ディフェクト検出信
号（ＳＤ)のパルス幅（Ｔw)を求め、暗ディフェクト
（Ｄa2)部分のように所定の基準パルス幅（Ｔws)以上の
ディフェクトを検出した場合のみハイレベル（Ｈ）のモ
ード切替信号（ＳＭ)パルスを出力する。このモード切
替信号（ＳＭ)は所定の記録パルス幅（Ｔwr)となったと
ころでローレベル（Ｌ）となる。 【００４７】パルス幅（Ｔw)の検出方法は、パルス幅
（Ｔw)に比べて十分小さい周期のクロック生成回路とカ
ウンタを用意しておき、ディフェクト検出信号（ＳＤ)
がハイレベル（Ｈ）になっている期間のクロック数をカ
ウント演算することにより実現させることが出来る。 【００４８】同様に記録パルス幅（Ｔwr)は、モード切
替信号（ＳＭ)がハイレベル（Ｈ）となる時点からのク
ロック数をカウント演算し、規定の記録パルス幅（Ｔw
r)となったところでモード切替信号（ＳＭ)がローレベ
ル（Ｌ）となるようになっている。これにより、モード
切替信号（ＳＭ)がローレベル（Ｌ）の時はＰＵ（２）
のレーザパワーを再生モードに、モード切替信号（Ｓ
Ｍ)がハイレベル（Ｈ）の時には記録モードとしている
ので、所定幅以上のディフェクトを検出直後のハイレベ
ル（Ｈ）の記録パルス幅（Ｔwr)の期間、記録モードと
なりディフェクト近傍にディフェクトに対応する所定の
大きさの記録マークが形成されることになる。 【００４９】図４に、前記の本発明の光ディスクの検査
装置による検出ディフェクトと形成される記録マークと
の関係の一実施例を示す。同図は光ディスク１の記録面
を拡大した模式図である。光ディスク１には通常トラッ
キングの為にランド、グルーブと呼ばれる段差が、スパ
イラル状又は同心円状に形成されている。記録トラック
としては、ランドトラックのみ、グルーブトラックの
み、またはランド、グルーブ両トラックを用いることが
可能であるが、本実施例においては、スパイラル状に形
成されたグルーブトラックへの記録とし、同図に記録ト
ラックフィールド（Ｔ）で示した。 【００５０】また、光ディスク１としては相変化型ディ
スクを用い、トラックピッチが０．７４ミクロンのディ
スクを用いた。ＰＵ（２）は再生モードにて、グルーブ
にトラッキングすることにより、光ディスク１の回転と
共に内周側から外周側に移動する。 【００５１】図４に示すようなディフェクト（Ｄef)が
あった場合の一実施例について以下に説明する。ＰＵ
（２）はトラックＴ0で再生信号のレベル異常を検出す
るが、ディフェクト検出信号（ＳＤ)のパルス幅（Ｔw)
が基準パルス幅（Ｔws)以下と判断して、その結果、記
録マークは形成されない。 【００５２】つぎに光ディスク１が1回転するとトラッ
クＴ0のつぎのトラックＴ1で、ディフェクト検出信号
（ＳＤ)のパルス幅（Ｔw)が基準パルス幅（Ｔws)以上と
判断して、所定長さ（ここでは約２ｍｍ）の記録部（Ｔ
r）がＰＵ（２）により形成される。同様にして、それ
以降のトラックＴ２〜Ｔ１５においても、所定長さの記
録部（Ｔr）がそれぞれ形成される。 【００５３】この時、記録パルス幅（Ｔwr)の期間は記
録マークが約２ミリメートル長となるように設定した。
また、この場合１５トラックにわたって所定長さの記録
部が形成されるので、幅１１．１ミクロン（１５×０．
７４ミクロン（トラックピッチ））、長さ２ミリメート
ル（ｍｍ）の記録マークが形成されることになる。 【００５４】図５に記録マーク形成後の光ディスク記録
面の一実施例を示す。記録された記録マーク部分は反射
率が低下する為、記録マークがある程度大きければ目視
で確認することが可能となる。そのため前記の装置によ
る方法によれば、記録マーク長をミリメートルオーダー
の線状に形成出来るので目視で認識が容易となる。 【００５５】光ディスク１の内周部から外周部にわたっ
てＰＵ（２）が移動することにより、同図に示したよう
な記録マーク（Ｍ１〜Ｍ３)が各ディフェクト近傍にそ
れぞれ形成される。さらに、光学顕微鏡を併用すること
によりミクロンオーダーの記録マーク幅であっても認識
することが可能となる。 【００５６】ディフェクトは、図５のディスクが反時計
方向に回転する場合には、図５の矢印（ＤＰ)で示した
記録マークの開始部分近傍に存在するので、ディフェク
ト位置を簡単に正確に特定することが可能となる。ま
た、記録マークの分布や規則性などにより、ディフェク
トのディスク面内分布や規則性などの評価を、ディスク
のイメージではなく、現物のディスクそのものを目視す
ることによって簡単に行うことが出来る。 【００５７】この記録マーク長である記録パルス幅（Ｔ
wr)の設定は光ディスクの回転数と記録半径位置で異な
る為、回転数制御が線速度一定（ＣＬＶ）の場合は固定
でよい。角速度一定（ＣＡＶ)の場合は、記録半径位置
によって記録マーク長が変わるが、必要があれば記録半
径位置によって記録パルス幅（Ｔwr)が変わるように制
御してもよい。 【００５８】本発明は、従来のディフェクト検査装置と
同様の機能も備えている。ディフェクト検出回路７のデ
ィフェクト検出信号（ＳＤ)は図１に示すように、コン
ピュータ１２に取り込まれる。 【００５９】パルス制御のフィードモータ１５や回転に
応じたパルスを生成するフリケンシージェネレータを内
蔵したスピンドルモータ１４を用いることによりディフ
ェクト検出信号（ＳＤ)パルスに同期したディフェクト
の位置情報を取り込むことが出来る。 【００６０】これらのデータをコンピュータ１２で処理
することによりディフェクトの数や分布を表示すること
も可能となる。また、図1には記載されていないが、再
生信号から得られるアドレス情報のデコーダ回路を用い
れば、これらの情報をディフェクトの位置情報とするこ
とも可能である。 【００６１】 【発明の効果】本発明の光ディスクのディフェクト検査
装置によれば、記録可能な光ディスクのディフェクト近
傍に目視で観察可能な記録マークを形成することが出来
るので、所定期間を大きくすることで記録マークを大き
くすれば、イメージではなく現物の光ディスクを見て実
際に反射率の異常をもたらすミクロンオーダーのディフ
ェクトを特定することが出来る。 【００６２】また、本発明によれば、記録可能な光ディ
スクのディフェクト近傍の記録マークの分布や規則性な
どにより、そのディフェクトのディスク面内分布や規則
性などの評価を現物の光ディスクを直接に目視すること
によって簡単に行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の光ディスクの検査装置の一実施例のブ
ロック構成を示した図である。 【図２】本発明の暗ディフェクトを検出する場合のディ
フェクト検出タイミングチャートの一実施例を示したも
のである。 【図３】本発明の明ディフェクトを検出する場合のディ
フェクト検出タイミングチャートの一実施例を示したも
のである。 【図４】本発明の光ディスクの検査装置による検出ディ
フェクトと形成される記録マークとの関係の一実施例を
示した図である。 【図５】本発明の記録マーク形成後の光ディスク記録面
の一実施例を示したものである。 【図６】従来の光ディスクの記録面検査装置の一例のブ
ロック構成図を示したものである。 【図７】従来の光ディスクの記録面検査装置に使用され
る光ディテクタの構成の一例を説明する図である。 【符号の説明】 １ 記録再生可能な書換え型光ディスク ２ 光ピックアップ（ＰＵ） ３ レーザパワーコントローラ（記録手段） ４ ストラテジ発生回路 ５ データジェネレータ ６ プリアンプ ７ ディフェクト検出回路（ディフェクト検出手段） ８ モード切替回路（記録手段） ９ サーボ制御回路 １０ トラックサーボアクチュエータ １１ フォーカスサーボアクチュエータ １２ コンピュータ １３ メカコントローラ／ドライバ １４ スピンドルモータ １５ フィードモータ １６ ディスプレイ １７ 操作部 Ｄef ディフェクト ＤＰ ディフェクト位置を説明する為の矢印 Ｄa1，Ｄa2 暗ディフェクト Ｄb 明ディフェクト Ｍ１〜Ｍ３ 記録マーク ＰＯ 再生信号 ＳＬa 暗ディフェクト検出レベル ＳＬb 明ディフェクト検出レベル ＳＤ ディフェクト検出信号 ＳＭ モード切替信号 Ｔ 記録トラックフィールド Ｔr 記録部 Ｔw ディフェクト検出幅 Ｔws 基準パルス幅 Ｔwr 記録モード幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 20/18 ５７６ Ｇ１１Ｂ 20/18 ５７６Ｃ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】記録可能な光ディスクの記録面のディフェ
   クトを検査する光ディスクのディフェクト検査装置にお
   いて、 前記光ディスクの記録面のディフェクトを前記記録面の
   反射率の差による再生信号のレベル差として検出するデ
   ィフェクト検出手段と、 前記ディフェクト検出直後の所定期間を記録モードにし
   て前記記録面に記録マークを形成する記録手段とを備
   え、 前記ディフェクト近傍に前記ディフェクトの位置を示す
   前記記録マークを形成することを特徴とした光ディスク
   のディフェクト検査装置。