JPH0245739A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH0245739A JPH0245739A JP63196895A JP19689588A JPH0245739A JP H0245739 A JPH0245739 A JP H0245739A JP 63196895 A JP63196895 A JP 63196895A JP 19689588 A JP19689588 A JP 19689588A JP H0245739 A JPH0245739 A JP H0245739A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 54
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 25
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
- G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は多数のトラックを有する記録媒体又はそのスタ
ンパ等のトラックの傷を検査する表面欠陥検査装置に関
するものである。
ンパ等のトラックの傷を検査する表面欠陥検査装置に関
するものである。
例えば光ディスクの製造工程において、そのスタンパＳ
ＴＰの表面に埃が付着する等してスタンパＳＴＰに第４
図に拡大して示した傷Ａが発生した場合は、そのスタン
パＳＴＰで製造された光ディスクＰＤの表面には、スタ
ンパＳＴＰと同位置に同形状の第５図に拡大して示した
凹みの傷Ａ′が生じることになる。
ＴＰの表面に埃が付着する等してスタンパＳＴＰに第４
図に拡大して示した傷Ａが発生した場合は、そのスタン
パＳＴＰで製造された光ディスクＰＤの表面には、スタ
ンパＳＴＰと同位置に同形状の第５図に拡大して示した
凹みの傷Ａ′が生じることになる。
このような傷Ａ、 Ａ’はスタンパ又は光ディスクの全
面で多数におよぶことがあり、また種々の形状、大きさ
となって発生することがある。しかしながら、このよう
な傷Ａ、Ａ′は極めて微小なものであるからスタンパＳ
ＴＰ又は光ディスクＰＤの表面を目視して、その発生状
態を知ることが不可能である。そのため従来は第２図又
は第３図に示す表面欠陥検査装置を用いて傷の発生状態
を調べている。
面で多数におよぶことがあり、また種々の形状、大きさ
となって発生することがある。しかしながら、このよう
な傷Ａ、Ａ′は極めて微小なものであるからスタンパＳ
ＴＰ又は光ディスクＰＤの表面を目視して、その発生状
態を知ることが不可能である。そのため従来は第２図又
は第３図に示す表面欠陥検査装置を用いて傷の発生状態
を調べている。
第２図において、光ディスク又はそのスタンパである被
検査材１はモータ２により回転するようになっている。
検査材１はモータ２により回転するようになっている。
そして被検査材ｌの表面側に発。
受光面を向けた光へラド１１を設けており、光へラド１
１の出力を欠陥位置検出部１２へ入力している。
１の出力を欠陥位置検出部１２へ入力している。
またモータ２の回転信号を欠陥位置検出部１２へ入力し
ており、欠陥位置検出部１２はモータ２を駆動すべき信
号を与えるようになっている。そして欠陥位置検出部１
２の出力をプリンタ又はブロック等の表示部１３へ入力
している。
ており、欠陥位置検出部１２はモータ２を駆動すべき信
号を与えるようになっている。そして欠陥位置検出部１
２の出力をプリンタ又はブロック等の表示部１３へ入力
している。
この表面欠陥検出装置により被検査材の傷を検査する場
合は、欠陥位置検出部１２からモータ２を駆動すべき信
号を与えてモータ２を駆動して、被検査材１を回転させ
る。また光ヘッド１１から光を投射しつつ被検査材１の
例えば外周側から内周側へ移動させていく。そうすると
被検査材１の各トラックの反射光を順次光へラド１１が
検出して反射光に関連する信号が得られる。つまり光デ
ィスクのトラックの形状に関連する信号が欠陥位置検出
部１２へ入力される。欠陥位置検出部１２はモータ２の
回転に関連して被検査材１の径方向及びトラックの周方
向位置を特定する位置信号を得、それと光ヘッド１１の
検出信号とを対応させて表示部１３へ入力する。それに
より表示部１３には被検査材１のトラックの傷の状態を
表示することになる。
合は、欠陥位置検出部１２からモータ２を駆動すべき信
号を与えてモータ２を駆動して、被検査材１を回転させ
る。また光ヘッド１１から光を投射しつつ被検査材１の
例えば外周側から内周側へ移動させていく。そうすると
被検査材１の各トラックの反射光を順次光へラド１１が
検出して反射光に関連する信号が得られる。つまり光デ
ィスクのトラックの形状に関連する信号が欠陥位置検出
部１２へ入力される。欠陥位置検出部１２はモータ２の
回転に関連して被検査材１の径方向及びトラックの周方
向位置を特定する位置信号を得、それと光ヘッド１１の
検出信号とを対応させて表示部１３へ入力する。それに
より表示部１３には被検査材１のトラックの傷の状態を
表示することになる。
第３図においては、被検査材１をモータ２により回転さ
せるようにしており、また被検査材１はその径方向にモ
ータ２とともに直線駆動部３により直線移動させ得るよ
うになっている。この被検査材１に接近してその表面に
視野を与えているオートフォーカスの顕微鏡６を設けて
おり、この顕微鏡６の光出力側には光路切換部１４を取
付けており、その光路切換部１４の一方の光出力側１４
ａにテレビカメラ８を取付けている。また他方の光出力
側１４ｂにカメラ７を取付けている。テレビカメラ８の
出力信号はモニタ９及びプリンタ１０に夫々与えられて
いる。
せるようにしており、また被検査材１はその径方向にモ
ータ２とともに直線駆動部３により直線移動させ得るよ
うになっている。この被検査材１に接近してその表面に
視野を与えているオートフォーカスの顕微鏡６を設けて
おり、この顕微鏡６の光出力側には光路切換部１４を取
付けており、その光路切換部１４の一方の光出力側１４
ａにテレビカメラ８を取付けている。また他方の光出力
側１４ｂにカメラ７を取付けている。テレビカメラ８の
出力信号はモニタ９及びプリンタ１０に夫々与えられて
いる。
この表面欠陥検査装置により被検査材のトラックの傷を
検査する場合は、モータ２により被検査材１を回転させ
るとともに、直線駆動部３によって被検査材１をその径
方向にモータ２とともに移動させる。顕微鏡６はオート
フォーカスにより被検査材１のトラック部分に焦点を合
わせる。このようにして顕微鏡６の視野内に被検査材１
の各トラックが順次移動し被検査材１のトラックの状態
が観察されることになる。その観察による撮像はテレビ
カメラ８が捉え、その出力信号をモニタ２に与えて画像
表示し、あるいはプリンタ１０により記録する。また光
路切換部１４の光路を切換えることにより顕微鏡６の視
野内の撮像をカメラ７で撮影することになる。
検査する場合は、モータ２により被検査材１を回転させ
るとともに、直線駆動部３によって被検査材１をその径
方向にモータ２とともに移動させる。顕微鏡６はオート
フォーカスにより被検査材１のトラック部分に焦点を合
わせる。このようにして顕微鏡６の視野内に被検査材１
の各トラックが順次移動し被検査材１のトラックの状態
が観察されることになる。その観察による撮像はテレビ
カメラ８が捉え、その出力信号をモニタ２に与えて画像
表示し、あるいはプリンタ１０により記録する。また光
路切換部１４の光路を切換えることにより顕微鏡６の視
野内の撮像をカメラ７で撮影することになる。
前述した従来の表面欠陥検査装置の前者のものは、光ヘ
ッド１１からトラックの傷に相応する信号が得られて、
発生している傷の長さを検出できる。
ッド１１からトラックの傷に相応する信号が得られて、
発生している傷の長さを検出できる。
ところで傷の面は平坦なものが少なく、傷面からの反射
光が散乱して、傷の周縁部においては光ヘッド１１が出
力する信号の変化が少ない。それ故傷の大きさ及び形状
を検出できないという問題がある。一方、後者のものは
、傷の有無に関係なく被検査材１の全トラックを顕微鏡
６で観察することになるから、傷が少ない被検査材の場
合には、無用の時間を費やし合理的に検査できないとい
う問題がある。
光が散乱して、傷の周縁部においては光ヘッド１１が出
力する信号の変化が少ない。それ故傷の大きさ及び形状
を検出できないという問題がある。一方、後者のものは
、傷の有無に関係なく被検査材１の全トラックを顕微鏡
６で観察することになるから、傷が少ない被検査材の場
合には、無用の時間を費やし合理的に検査できないとい
う問題がある。
本発明は斯かる問題に鑑み、被検査材のトラックに生じ
た傷の大きさ、形状を観察することができ、しかも傷が
生じているトラック部分のみを観察して、被検査材を合
理的に検査できる表面欠陥検査装置を提供することを目
的とする。
た傷の大きさ、形状を観察することができ、しかも傷が
生じているトラック部分のみを観察して、被検査材を合
理的に検査できる表面欠陥検査装置を提供することを目
的とする。
本発明に係る表面欠陥検査装置は、被検査材のトラック
を観察すべく設けてある顕微鏡と、被検査材の径方向及
びトラックの周方向位置を特定する位置信号が入力され
、傷が生じた該位置信号で特定されるトラック位置を顕
微鏡の視野内に位置させるべき制御をする制御部と、こ
の制御Ｂ部の出力により被検査材を周方向及び径方向へ
移動させる駆動部とを備える。
を観察すべく設けてある顕微鏡と、被検査材の径方向及
びトラックの周方向位置を特定する位置信号が入力され
、傷が生じた該位置信号で特定されるトラック位置を顕
微鏡の視野内に位置させるべき制御をする制御部と、こ
の制御Ｂ部の出力により被検査材を周方向及び径方向へ
移動させる駆動部とを備える。
〔作用］
制御部に、被検査材の径方向及びトラックの周方向位置
を特定する位置信号が入力される。制御部は、制御部に
入力され、傷が生じた位置信号で特定されるトラック位
置を顕微鏡の視野内に位置させる制御をする。駆動部は
制御部の出力により被検査材をその周方向及び径方向へ
移動させる。
を特定する位置信号が入力される。制御部は、制御部に
入力され、傷が生じた位置信号で特定されるトラック位
置を顕微鏡の視野内に位置させる制御をする。駆動部は
制御部の出力により被検査材をその周方向及び径方向へ
移動させる。
以下本発明をその実施例を示す図面によって詳述する。
第１図は本発明に係る表面欠陥検査装置の構成図である
。トラックの傷を検査すべき例えば光ディスク又はその
スタンパである被検査材１は、回転駆動用モータ２で回
転駆動するターンテーブルＴＴ上に着脱可能にセットさ
れている。
。トラックの傷を検査すべき例えば光ディスク又はその
スタンパである被検査材１は、回転駆動用モータ２で回
転駆動するターンテーブルＴＴ上に着脱可能にセットさ
れている。
そして回転駆動用モータ２は直線駆動部３と組合されて
いて、回転駆動用モータ２の下部側にネジ軸３ａを螺合
させており、ネジ軸３ａは直線駆動用モータ３ｂにより
駆動されるようになっている。それ故、直線駆動用モー
タ３ｂを駆動するとその一回転方向で回転駆動用モータ
２が矢符方向へ、地回転方向で矢符と反対の方向へ直線
移動し、これにより被検査材ｌをその径方向に適宜距離
移動させ得るようになっている。被検査材１の中心を通
る直線上であり被検査材１の外周側上方には被検査材１
にレーザ光を投射し、その反射光を検出する光へラド１
１が設けられていて、その出力を欠陥位置検出部１２へ
入力し、図示しないメモリに読込むようになっている。
いて、回転駆動用モータ２の下部側にネジ軸３ａを螺合
させており、ネジ軸３ａは直線駆動用モータ３ｂにより
駆動されるようになっている。それ故、直線駆動用モー
タ３ｂを駆動するとその一回転方向で回転駆動用モータ
２が矢符方向へ、地回転方向で矢符と反対の方向へ直線
移動し、これにより被検査材ｌをその径方向に適宜距離
移動させ得るようになっている。被検査材１の中心を通
る直線上であり被検査材１の外周側上方には被検査材１
にレーザ光を投射し、その反射光を検出する光へラド１
１が設けられていて、その出力を欠陥位置検出部１２へ
入力し、図示しないメモリに読込むようになっている。
この欠陥位置検出部１２の出力たる、被検査材１の径方
向及びトラックの周方向位置を特定する位置信号ＡＳを
メモリ５ａを内蔵しているＣＰＵからなる制御部５へ入
力しており、また欠陥位置検出部１２には制御部５がら
光ヘッド１１の出力を読込むタイミングを与えるクロッ
ク信号ＣＬが入力されるようになっている。
向及びトラックの周方向位置を特定する位置信号ＡＳを
メモリ５ａを内蔵しているＣＰＵからなる制御部５へ入
力しており、また欠陥位置検出部１２には制御部５がら
光ヘッド１１の出力を読込むタイミングを与えるクロッ
ク信号ＣＬが入力されるようになっている。
なお、欠陥位置検出部１２はそのメモリに読込んだデー
タを図示しない記憶媒体に記憶させるべく出力し得るよ
うにもなっている。
タを図示しない記憶媒体に記憶させるべく出力し得るよ
うにもなっている。
また制御部５はそれに入力された位置信号＾Ｓを駆動部
コントローラ４へ入力している。駆動部コントローラ４
の出力は回転駆動用モータ２及び直線駆動用モータ３ｂ
へ与えている。
コントローラ４へ入力している。駆動部コントローラ４
の出力は回転駆動用モータ２及び直線駆動用モータ３ｂ
へ与えている。
一方、光ヘッド１１を設けた外周側と対称な外周側の上
方にオートフォーカスの顕微鏡６を、視野を被検査材１
側になして配設している。この顕微鏡６の光出力側には
光路切換部１４を取付けており、その一方の光出力側１
４ａにはカラー撮影用のテレビカメラ８を、また他方の
光出力側１４ｂにカメラ７を夫々取付けている。テレビ
カメラ８の出力信号はモニタテレビ等のモニタ９及びプ
リンタ１０に与えられている。
方にオートフォーカスの顕微鏡６を、視野を被検査材１
側になして配設している。この顕微鏡６の光出力側には
光路切換部１４を取付けており、その一方の光出力側１
４ａにはカラー撮影用のテレビカメラ８を、また他方の
光出力側１４ｂにカメラ７を夫々取付けている。テレビ
カメラ８の出力信号はモニタテレビ等のモニタ９及びプ
リンタ１０に与えられている。
次にこのように構成した表面欠陥検査装置の動作を説明
する。制御部５により駆動部コントローラ４を制御して
先ず直線駆動用モータ３ｂを駆動して、光ヘッド１１を
被検査材１の例えば最外周側に位置するように回転駆動
用モータ２を矢符と反対方向に移動させ、−旦その位置
に停止させる。その位置で回転駆動用モータ２を駆動し
て被検査材１の外周側に設定した基準位置を光ヘッド１
１と対向させる。その後、制御部５は、駆動部コントロ
ーラ４が回転駆動用モータ２を駆動すべき駆動信号ＳＭ
２を出力すべく指令するとともに、その駆動信号ＳＭ２
に関連してクロック信号ＣＬを欠陥位置検出部１２に与
える。欠陥位置検出部１２はクロック信号ＣＬが与えら
れたことにより、光ヘッド１１を発光させるとともに被
検査材１のトラックからの反射光を検出し、検出して得
た信号を欠陥位置検出部１２へ入力する。また駆動部コ
ントローラ４により直線駆動用モータ３ｂが駆動され、
被検査材１は矢符方向に移動していき、順次異なるトラ
ックの反射光を検出することになる。このような動作に
より欠陥位置検出部１２によって被検査材１の全てのト
ラックの形状が検出され、また被検査材ｌの各トラック
の周方向位置つまり各アドレスを特定する位置信号が得
られる。そして位置信号に対応してトラックの形状を検
出した信号をメモリに読込み、被検査材１の全てのトラ
ックの形状のデータの読込みを終了する。
する。制御部５により駆動部コントローラ４を制御して
先ず直線駆動用モータ３ｂを駆動して、光ヘッド１１を
被検査材１の例えば最外周側に位置するように回転駆動
用モータ２を矢符と反対方向に移動させ、−旦その位置
に停止させる。その位置で回転駆動用モータ２を駆動し
て被検査材１の外周側に設定した基準位置を光ヘッド１
１と対向させる。その後、制御部５は、駆動部コントロ
ーラ４が回転駆動用モータ２を駆動すべき駆動信号ＳＭ
２を出力すべく指令するとともに、その駆動信号ＳＭ２
に関連してクロック信号ＣＬを欠陥位置検出部１２に与
える。欠陥位置検出部１２はクロック信号ＣＬが与えら
れたことにより、光ヘッド１１を発光させるとともに被
検査材１のトラックからの反射光を検出し、検出して得
た信号を欠陥位置検出部１２へ入力する。また駆動部コ
ントローラ４により直線駆動用モータ３ｂが駆動され、
被検査材１は矢符方向に移動していき、順次異なるトラ
ックの反射光を検出することになる。このような動作に
より欠陥位置検出部１２によって被検査材１の全てのト
ラックの形状が検出され、また被検査材ｌの各トラック
の周方向位置つまり各アドレスを特定する位置信号が得
られる。そして位置信号に対応してトラックの形状を検
出した信号をメモリに読込み、被検査材１の全てのトラ
ックの形状のデータの読込みを終了する。
次に、前述したようにして欠陥位置検出部１２のメモリ
に読込ませたデータを制御部５がらの指令により制御部
５のメモリ５ａに取込む。そしてそのデータのうち、所
定の傷と判断し得るトラックの形状を検出した所定レベ
ル以上の信号の位置信号を所定のタイミング又は指令信
号により読出して駆動部コントローラ４に与える。これ
により駆動部コントローラ４は回転駆動用及び直線駆動
用モータ２及び３ｂを駆動して、その位置信号で特定さ
れるトラック位置を顕微鏡６の視野内に位置させる。そ
うすると顕微鏡６はそのオートフォーカス動作により、
被検査材１のトラック部分に焦点を合わせる動作をし、
テレビカメラ８は顕微鏡６の撮像を写し取ることになる
。そしてテレビカメラ８の撮像をモニタ９に表示するこ
とになる。また必要によりプリンタ１０に、モニタ９に
表示した画像をプリントアウトさせ得る。更に光路切換
部１４を一方の光出力側１４ａから他方の光出力側１４
ｂへ切換えることにより、顕微鏡６の撮像をカメラ７で
撮影し得る。
に読込ませたデータを制御部５がらの指令により制御部
５のメモリ５ａに取込む。そしてそのデータのうち、所
定の傷と判断し得るトラックの形状を検出した所定レベ
ル以上の信号の位置信号を所定のタイミング又は指令信
号により読出して駆動部コントローラ４に与える。これ
により駆動部コントローラ４は回転駆動用及び直線駆動
用モータ２及び３ｂを駆動して、その位置信号で特定さ
れるトラック位置を顕微鏡６の視野内に位置させる。そ
うすると顕微鏡６はそのオートフォーカス動作により、
被検査材１のトラック部分に焦点を合わせる動作をし、
テレビカメラ８は顕微鏡６の撮像を写し取ることになる
。そしてテレビカメラ８の撮像をモニタ９に表示するこ
とになる。また必要によりプリンタ１０に、モニタ９に
表示した画像をプリントアウトさせ得る。更に光路切換
部１４を一方の光出力側１４ａから他方の光出力側１４
ｂへ切換えることにより、顕微鏡６の撮像をカメラ７で
撮影し得る。
そして、１つの位置信号で特定されたトラックの傷の観
察を終了すると、続いて順次同様にして傷が存在する他
の位置信号で特定されるトラックの傷を観察することに
なる。
察を終了すると、続いて順次同様にして傷が存在する他
の位置信号で特定されるトラックの傷を観察することに
なる。
このように被検査材１のトラ・シフの傷は、顕微鏡６又
はテレビカメラ８により拡大して観察できるから、被検
査材１に発生した傷の大きさ、形状を目視で知る得て被
検査材１の検査の精度を高めることができる。
はテレビカメラ８により拡大して観察できるから、被検
査材１に発生した傷の大きさ、形状を目視で知る得て被
検査材１の検査の精度を高めることができる。
また、制御部５に入力された位置信号によりトラックの
傷を検査すべきトラック位置が特定されるから、傷が生
じていない部分を観察することがなく、検査時間の無駄
が省けて合理的に被検査材の検査をすることができる。
傷を検査すべきトラック位置が特定されるから、傷が生
じていない部分を観察することがなく、検査時間の無駄
が省けて合理的に被検査材の検査をすることができる。
なお、本実施例では、欠陥位置検出部１２の出力たる位
置信号を制御部５へ入力してその位置信号で被検査材ｌ
の観察すべき位置を特定したが、欠陥位置検出部１２と
制御部５とを連繋せず、欠陥位置検出部１２で検出した
位置信号を一旦所要の記憶媒体に記憶させて、その記憶
媒体の記憶データを制御部５へ与えても同様の効果が得
られる。また傷を検出するために光ヘッド１１を用いた
が、磁気ヘッド又は磁気ヘッドと光ヘッドとの組合せで
あってもよい。更に、光ヘッド１１は被検査材１の内周
側から外周側方向へ移動すべく構成してもよいのは勿論
である。
置信号を制御部５へ入力してその位置信号で被検査材ｌ
の観察すべき位置を特定したが、欠陥位置検出部１２と
制御部５とを連繋せず、欠陥位置検出部１２で検出した
位置信号を一旦所要の記憶媒体に記憶させて、その記憶
媒体の記憶データを制御部５へ与えても同様の効果が得
られる。また傷を検出するために光ヘッド１１を用いた
が、磁気ヘッド又は磁気ヘッドと光ヘッドとの組合せで
あってもよい。更に、光ヘッド１１は被検査材１の内周
側から外周側方向へ移動すべく構成してもよいのは勿論
である。
以上詳述したように、本発明によれば多数のトラックを
有する記憶媒体又はそのスタンパである被検査材のトラ
ックの傷を顕微鏡を用いて観察するから傷の形状、大き
さを正しく把握できて検査精度が向上する。また、傷が
検出された位置信号で特定される被検査材のトラックの
みを観察するから、無用の検査時間を要せず、合理的に
トラックの傷の検査を行うことができる等の優れた効果
を奏する。
有する記憶媒体又はそのスタンパである被検査材のトラ
ックの傷を顕微鏡を用いて観察するから傷の形状、大き
さを正しく把握できて検査精度が向上する。また、傷が
検出された位置信号で特定される被検査材のトラックの
みを観察するから、無用の検査時間を要せず、合理的に
トラックの傷の検査を行うことができる等の優れた効果
を奏する。
第１図は本発明に係る表面欠陥検査装置の構成図、第２
図及び第３図は構成を異にする従来の表面欠陥検査装置
の構成図、第４図及び第５図はスタンパ及び光ディスク
に生じたトラックの傷の拡大図である。 １・・・被検査材 ２・・・回転駆動用モータ３ｂ・・
・直線駆動用モータ ５・・・制御部 ６・・・顕微鏡
８・・・テレビカメラ １１・・・光ヘッド１２・・・
欠陥位置検出部 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第 １ 目 第 ■ 第 図 手続補正書゛ｉ遺゛発） 昭和 ６輌１１月−１−１ 日 ５゜ 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６゜ 補正の内容
図及び第３図は構成を異にする従来の表面欠陥検査装置
の構成図、第４図及び第５図はスタンパ及び光ディスク
に生じたトラックの傷の拡大図である。 １・・・被検査材 ２・・・回転駆動用モータ３ｂ・・
・直線駆動用モータ ５・・・制御部 ６・・・顕微鏡
８・・・テレビカメラ １１・・・光ヘッド１２・・・
欠陥位置検出部 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第 １ 目 第 ■ 第 図 手続補正書゛ｉ遺゛発） 昭和 ６輌１１月−１−１ 日 ５゜ 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６゜ 補正の内容
Claims (1)
- １、多数のトラックを有する記録媒体又はそのスタンパ
である被検査材のトラックを観察すべく設けてある顕微
鏡と、前記被検査材の径方向及びトラックの周方向位置
を特定する位置信号が入力され、傷が生じた該位置信号
で特定されるトラック位置を前記顕微鏡の視野内に位置
させるべき制御をする制御部と、該制御部の出力により
被検査材を周方向及び径方向へ移動させる駆動部とを備
えることを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (4)
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| JP63196895A JPH0245739A (ja) | 1988-08-06 | 1988-08-06 | 表面欠陥検査装置 |
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| JP63196895A JPH0245739A (ja) | 1988-08-06 | 1988-08-06 | 表面欠陥検査装置 |
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ID=16365436
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- 1989-08-02 EP EP19890402195 patent/EP0354834A3/en not_active Withdrawn
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