JPH0822619A - 磁気ディスクの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気ディスクの製造において、高密度なディス
クを経済的に且つ安定して製造する為に、検査工程の媒
体特性検査の検査用磁気ヘッドの異物付着及びかけやス
ジなどの損傷を防ぐ。 【構成】磁気ディスク１２を磁気ディスク供給カセット
１３から枚葉で取り出すロボット１１を有するロ−ダ部
１から、ハンドリング用マテハン装置７により、光学的
な異物検査手法を用いて磁気ディスクの表面の異物検査
を行う検査手段２、磁気ディスクの異物や汚れ及び突起
を取り除くバニッシュ及びクリ−ニングを行う検査手段
３、磁気ディスクの浮上量を検査する検査手段４の各ユ
ニットに順番に搬送、検査を行いその結果により磁気デ
ィスクをアンロ−ダ部６にて、各不良品及び良品カセッ
トに分類し格納する。 【効果】磁気ディスクの製造において、高密度なディス
クを経済的に且つ安定して製造することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スパッタリングなどに
よってディスク基板の表面に磁性被膜を被膜形成して製
造された磁気ディスクの検査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に磁気ディスクの検査工程は、製造
された磁気ディスクの突起（異物や汚れを含む）を除去
するバニッシュ及びクリーニング工程、磁気ディスクの
表面に磁気ヘッドが規定の浮上スペーシングで浮上する
か否かを検査するグライドハイトテスト行程及びサーテ
ィファイアテスト工程などからなる。バニッシュ及びク
リーニング工程においては、スピンドルに保持された回
転する磁気ディスクの表面に部材を押し当てて、表面の
突起（異物や汚れを含む）を除去する。グライドハイト
テスト工程においては、スピンドルに保持された磁気デ
ィスクの回転速度をより遅くして、この磁気ディスク面
に磁気ヘッドを浮上させて、磁気ヘッド表面に流れる風
速を遅くし、磁気ヘッドの浮力を小さくすることによ
り、磁気ヘッドの浮上スペーシングを下げ、磁気ディス
クの微少な突起との接触をアコースティック・エミッシ
ョンで検出する。サーティファイアテスト工程において
は、磁気ディスクのリード・ライト試験を、磁気ディス
クの内周部から外周部まで検査している。また、これら
の検査工程を経て作られた磁気ディスクを、磁気ヘッ
ド、駆動部、回路などと組合せ、組立て梱包し、磁気デ
ィスク装置が作られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】磁気ヘッドは浮上スペ
ーシングが、約０．１５μm程度であったが、近年、よ
り高密度に対応するため０．１μm以下の低浮上スペー
シングが要求されてきている。前記検査装置に於いて
は、磁気ヘッドを磁気ディスクの表面に浮上させながら
検査を行っている。前記バニッシュ及びクリーニング工
程は、磁気ディスクの表面に異物や汚れ及び突起がある
ため、これらを除去する目的で行っているが、完全に除
去できていない。成膜された磁気ディスクの中には、表
面に異物や汚れ及び突起が異常に沢山存在するものが、
数十パーセントから数パーセントの割合で含まれてい
る。これらの表面の異物や汚れ及び突起の異常発生は検
査工程以前の被膜形成工程や基板加工工程及び環境の変
動によって起こる。従って前記バニッシュ及びクリーニ
ング工程に於いて、十分に異物や汚れ及び突起が除去さ
れないまま磁気ディスクが検査工程に進むことにより検
査用磁気ヘッドに異物が異常に堆積したり、磁気ヘッド
の表面状態が変わるため、ヘッドの浮上量が大きくなり
正確なグライドハイトテスト及びサーティファイアテス
トが行われなくなる。また極端なときには損傷した磁気
ヘッドを分からずに使用していると、この磁気ヘッドに
よって正常な磁気ディスクにダメージを与えることがあ
った。また、前記バニッシュ及びクリ−ニング工程とグ
ライドハイトテスト及びサ−ティファイアテストなどの
検査工程の検査領域以外にある異物や汚れについては未
検査の為見逃され後工程（磁気ディスク装置の組立て工
程）に混入してしまう。また、これらの検査を経て作ら
れた磁気ディスクは正確なグライドハイトテストおよび
サ−ティファイアテストが行われずに良品と判断される
ことがある為、これらの磁気ディスクを組み込んだ磁気
ディスク装置においては磁気ヘッドと磁性被膜との距離
が磁気ヘッドに付着する異物の為に大きくなることか
ら、その情報の書き込み又は読み取りの特性が劣化する
ことがある。また極端なときには磁気ディスクの磁気被
膜に傷が生じ、磁気被膜が削り取られてしまうことがあ
り情報の書き込み又はその読み取りをするときに良好に
書き込み又は読み取りができないという信頼性の問題も
あった。

【０００４】本発明の目的は、検査用磁気ヘッドへの異
常な異物付着や磁気ヘッドの損傷をバニッシュ及びクリ
−ニング工程前に防止して正確なグライドハイトテスト
等を行えるようにし、正常な磁気ディスクが傷つくこと
を防止することが出来る磁気ディスクの検査方法を提供
することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明において前記目的
を達成するため、バニッシュ及びクリーニング工程の直
前に、磁気ディスク表面の異物や汚れを磁気ディスクに
対して非破壊で且つ非接触（磁気ディスク表面を汚さな
い）な方法で全数検査する工程を設ける。この検査は、
例えば光学的に磁気ディスクを照射し磁気ディスクの表
面からの反射光を検出することにより行う。この工程に
より異物や汚れが異常に多い磁気ディスクを選別し、正
常な磁気ディスクの中から取り除いた後、さらにバニッ
シュ工程、クリーニング工程、グライドハイトテスト工
程を行う。

【０００６】

【作用】本発明の磁気ディスクの検査方法に於いては、
バニッシュ及びクリーニング工程及びグライドハイトテ
ストなどの工程の直前に、検査用磁気ヘッドへの異常な
異物付着や磁気ヘッドの損傷をバニッシュ及びクリ−ニ
ング工程前に選別し正常な磁気ディスクの中から取り除
くことが出来るため、正確なグライドハイトテストを行
える。このため正常な磁気ディスクが傷つくことを防止
することが出来る検査用磁気ヘッドへの異常な異物付着
や、磁気ヘッドの損傷を防ぎ、検査時の正常な磁気ヘッ
ドへのダメージを著しく低減させることが出来る。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。

【０００８】図１は本発明の一実施例である磁気ディス
ク検査方法を実現するための装置を示している。

【０００９】ローダ部１、異物検査を行う検査手段２、
バニッシュ及びクリーニングを行う検査手段３、グライ
ドハイトテストを行う検査手段４、サーティファイアテ
ストを行う検査手段５及び検査結果によってランク分け
されたディスクをハンドリングし分類収納するアンロー
ダ部６より構成されており、各部のスピンドルには各ス
ピンドルを回転させる回転駆動手段であるモータが配置
されている。

【００１０】ローダ部１において磁気ディスク供給カセ
ット１３に収納された検査前の磁気ディスク１２をロー
ダロボット１１によりハンドリングし、検査手段２へ移
す。

【００１１】図２は図１の検査手段２を示す図である。
検査手段２は光学的な異物検査手法を用いて磁気ディス
クの表面の異物検査を行うものであり、レ−ザ光源２１
より照射されたレ−ザ光を、ハ−フミラ−２０、ミラ−
２５、レンズ２６を通り、スピンドル１９に取り付けら
れた磁気ディスクに対して直角に照射し、その散乱光
を、レンズ２６、ミラ−２５、ハ−フミラ−２０、フィ
ルタ−２２を経由し、検出器２３にて検出する。ここ
で、磁気ディスクの表面と裏面を同時に検査できるよう
光学系は表面光学系と裏面光学系があり、検査する磁気
ディスクがスピンドル８に保持されるとスピンドル８は
回転を始め、また光学系は図に示していない手段で移動
しディスクの内周部から外周部までにわたり磁気ヘッド
の浮上領域以上の全面を異物検査するものである。光学
系で検査した信号は図に示してしていない手段で磁気デ
ィスク表面上の異物や汚れの程度を数量化し、良品と不
良品の判断、分類を自動的に行う。尚、この検査手段２
の一例として、特開平３−２４２５４０号に示されてい
る。

【００１２】この結果の不良品は次の検査手段３以降に
於いては、当該検査手段のスピンドルに保持されるが各
検査手段による検査は行わずにハンドリング用マテハン
装置７で移載し、アンローダ部６の検査手段２不良品カ
セット１５に収納される。検査手段２に於いて良品の磁
気ディスクは次の検査手段３（バニッシュ及びクリーニ
ング工程）のスピンドル９にとりつけられ保持される。
ここで、スピンドル９は回転を始め、回転する磁気ディ
スクの表面に図に示していない部材を押し当てて、内周
部から外周部までの表面の突起（微少な量の異物と汚れ
を含む）を除去する。

【００１３】次に検査手段４においてグライドハイトテ
ストを行う。スピンドル９に保持された回転する磁気デ
ィスクの回転速度を通常より遅くし、この磁気ディスク
面に、検査手段４に取り付けられている磁気ヘッドを浮
上させる。磁気ディスクの表面への検査用磁気ヘッドの
接触は、アコースティック・エミッション・センサで検
出する。検査手段４は図に示していない手段で磁気ディ
スクの内周部から外周部まで移動し、浮上エリア全面を
検査する。

【００１４】検査手段４で判定された結果の不良品は次
の検査手段５以降に於いては、当該検査手段部のスピン
ドル１０に保持されるが検査手段による検査は行わずに
ハンドリング用マテハン装置７で移載し、アンローダ部
６の検査手段４不良品カセット１６に収納される。検査
手段４に於いて良品の磁気ディスクは次の検査手段５
（サーティファイアテスト工程）のスピンドル１０にと
りつけられ保持される。ここで、スピンドル１０は回転
を始め、回転する磁気ディスクの表面に検査用磁気ヘッ
ドを浮上させて、磁気ディスクのリード・ライト試験を
磁気ディスクの内周部から外周部まで検査することによ
りサーティファイアテストが行われる。

【００１５】検査手段５で判定された結果の不良品はハ
ンドリング用マテハン装置７で移載し、アンローダ部６
の検査手段５不良品カセット１７に収納される。また検
査手段５に於いて良品の磁気ディスクは数種類のランク
に分類されるため、アンローダ部６の検査手段５の良品
カセット１８に分類収納され、媒体特性検査が行われ
る。また光学的な異物検査は媒体特性検査の直前すなわ
ち同一検査装置内に構成されるのが好ましいが異物検査
装置と媒体特性検査装置に分離させる構成でも良い。

【００１６】

【発明の効果】以上から、本発明の磁気ディスク検査方
法により、バニッシュ及びクリーニング工程の前に磁気
ディスク表面の異物や汚れを光学的に検査する工程を設
けたので、各工程の検査用磁気ヘッドに異常な異物付着
やかけやすじ等の損傷させる原因となる異物、突起、凹
凸、汚れなどを持つ磁気ディスクを選別し排除すること
が出来る。磁気ヘッドの損傷を未然に防止して、検査用
磁気ヘッドの表面状態を保ち、正しい浮上量を維持し正
確なグライドハイトテスト等を長時間行うことが出来
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である磁気ディスク媒体の検
査方法を実現するための装置を示す図。

【図２】光学系により異物検査を行う図１の検査手段２
を示す図。

【符号の説明】

１…ロ−ダ部 ２、３、４、５…検査手段 ６…アンロ
−ダ部 ７…ハンドリング用マテハン装置 ８、９、１０、１９
…スピンドル １１…ロ−ダロボット １２、２４…磁気ディスク １３…磁気ディスク供給カセット １５…検査手段２不
良カセット １６…検査手段４不良カセット １７…検査手段５不良
カセット １８…良品カセット ２０…ハ−フミラ− ２１…レ−
ザ光源 ２２…レンズ ２３…検出器 ２５…ミラ− ２６…フ
ィルタ− ２７…光路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅野 貢 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 大島 良正 横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日 立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 宇都 幸雄 横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日 立製作所生産技術研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板上に磁性被膜を被膜形成して製造され
   た磁気ディスクを検査する方法であって、該磁気ディス
   クを照射し、該磁気ディスクの表面からの反射光を検出
   することにより磁気ディスクの表面上に存在する異物の
   有無を検査する工程を行い、該検査の後、磁気ディスク
   の表面の突起を研削するバニッシュ工程を行い、該バニ
   ッシュ工程後、磁気ディスクの表面に残った異物を除去
   するクリーニング工程を行い、該クリーニング工程後、
   磁気ディスクの表面に磁気ヘッドが規定の浮上スペーシ
   ングで浮上するか否かを検査するグライドハイトテスト
   行程を行うことを特徴とする磁気ディスクの検査方法。