JPH01316643A - ディスク欠陥検査装置 - Google Patents
ディスク欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH01316643A JPH01316643A JP14971488A JP14971488A JPH01316643A JP H01316643 A JPH01316643 A JP H01316643A JP 14971488 A JP14971488 A JP 14971488A JP 14971488 A JP14971488 A JP 14971488A JP H01316643 A JPH01316643 A JP H01316643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- line sensor
- sensor
- video
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 5
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はメツキ磁気ディスク等の表面の欠陥検査装置に
関するものである。
関するものである。
メツキ磁気ディスクの表面上の欠陥をディスクのトラッ
クに沿って検査する検査装置においては、従来、２次元
のセンサーを用いてディスク表面の画像を取り込み、そ
の画像データから欠陥を抽出した後、θテーブルをセン
サのスキャン方向の画（ｆｉの幅に相当する角度だけ送
り、再び、ディスク表面の画像を取り込んで欠陥を抽出
するという処理を全周にわたって繰り返すことによって
、検査を実行していた。
クに沿って検査する検査装置においては、従来、２次元
のセンサーを用いてディスク表面の画像を取り込み、そ
の画像データから欠陥を抽出した後、θテーブルをセン
サのスキャン方向の画（ｆｉの幅に相当する角度だけ送
り、再び、ディスク表面の画像を取り込んで欠陥を抽出
するという処理を全周にわたって繰り返すことによって
、検査を実行していた。
しかしながら、上記のようにθテーブルを間欠送りしな
ら２次元センサーによって画像を取り込み欠陥検査を行
なう方法では、隣合う画像の境界を正確に判断するため
に、極めて高精度なθテーブルが必要であった。また、
２次元センサーで取り込んだ矩形領域に対し、トラック
に沿って検査を行なうために必要とされる扇型の領域を
切り出すためには、ディスク中心からの正確な゛距離情
報を必要とし、切り出しのための演算を必要とした。
ら２次元センサーによって画像を取り込み欠陥検査を行
なう方法では、隣合う画像の境界を正確に判断するため
に、極めて高精度なθテーブルが必要であった。また、
２次元センサーで取り込んだ矩形領域に対し、トラック
に沿って検査を行なうために必要とされる扇型の領域を
切り出すためには、ディスク中心からの正確な゛距離情
報を必要とし、切り出しのための演算を必要とした。
本発明の目的は、これらの問題を解決し、高速に精度良
く欠陥検査を行なうことが可能な欠陥検査装置を提供す
ることにある。
く欠陥検査を行なうことが可能な欠陥検査装置を提供す
ることにある。
本発明のディスク欠陥検査装置はディスクを保持するθ
テーブルと、対物レンズが前記θテーブルに載置された
前記ディスクの表面に対し垂直に向くように設置された
高倍率の光学系と、前記光学系の接眼部に前記ディスク
の半径方向の映像を取り込むように配置されたラインセ
ンサと、前記ラインセンサの出力を蓄えるフレームメモ
リと、前記フレームメモリに接続された画像処理装置と
を備える。
テーブルと、対物レンズが前記θテーブルに載置された
前記ディスクの表面に対し垂直に向くように設置された
高倍率の光学系と、前記光学系の接眼部に前記ディスク
の半径方向の映像を取り込むように配置されたラインセ
ンサと、前記ラインセンサの出力を蓄えるフレームメモ
リと、前記フレームメモリに接続された画像処理装置と
を備える。
本発明においては、θテーブルを一定速度で回転させる
ことによって、ラインセンサをディスクのトラックに沿
ってスキャンさせる。ラインセンサの出力をこれに接続
されたフレームメモリに蓄え、そのフレームメモリに蓄
えられな画像に対し、２値化及び欠陥個数計測等を実行
する。
ことによって、ラインセンサをディスクのトラックに沿
ってスキャンさせる。ラインセンサの出力をこれに接続
されたフレームメモリに蓄え、そのフレームメモリに蓄
えられな画像に対し、２値化及び欠陥個数計測等を実行
する。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を明示するための構成図であ
る。被検査対象である磁気ディスク１は、モータドライ
バ３によって制御される３６０度回転可能なθテーブル
２上にセットされる。θテーブル２の回転軸上には、検
査の開始点を示すスリット光を投影するランプ４が設け
られている。ディスク１の上方には、ディスク表面を拡
大するための光学系６が設けられており、対物レンズ５
からディスク表面の映像が取り込まれる。光学系６で拡
大された映像は、光学系６の接眼部に設けらてたＣＣＤ
ラインセンサ７へ送られる。ラインセンサ７は、ディス
ク１の半径方向の映像を取り込むように設置されており
、θテーブル２を回転させることによって、ラインセン
サ７の幅でディスク表面をトラックに沿ってスキャンす
る。ラインセンサ７の出力は、フレームメモリ８に蓄え
られるようになっており、この画像データに対して画像
処理装置９は、２値化及び欠陥個数計測処理等を実行す
るようになっている。
る。被検査対象である磁気ディスク１は、モータドライ
バ３によって制御される３６０度回転可能なθテーブル
２上にセットされる。θテーブル２の回転軸上には、検
査の開始点を示すスリット光を投影するランプ４が設け
られている。ディスク１の上方には、ディスク表面を拡
大するための光学系６が設けられており、対物レンズ５
からディスク表面の映像が取り込まれる。光学系６で拡
大された映像は、光学系６の接眼部に設けらてたＣＣＤ
ラインセンサ７へ送られる。ラインセンサ７は、ディス
ク１の半径方向の映像を取り込むように設置されており
、θテーブル２を回転させることによって、ラインセン
サ７の幅でディスク表面をトラックに沿ってスキャンす
る。ラインセンサ７の出力は、フレームメモリ８に蓄え
られるようになっており、この画像データに対して画像
処理装置９は、２値化及び欠陥個数計測処理等を実行す
るようになっている。
第２図は第１図に示すラインセンサ７によるディスク表
面のスキャンの様子を示す図である。検査を実行する際
には、まず、光学系６の対物レンズ５をディスク１上の
検査を行なうトラック（被検査トラック）１２に合わせ
る０次に、θテーブル２を一定の速度で回転させると、
ラインセンサ７はトラックに沿ってスキャンを開始する
。ラインセンサ７がランプ４で投影されるマーカ１０を
検出すると、フレームメモリ８にラインセンサ７がラン
プ４で投影されるマーカ１０を検出すると、フレームメ
モリ８にラインセンサ７の出力が記憶され始める。つま
り、フレームメモリ８には、傾斜部分で示される領域（
スキャン領域）１１の画像データが記憶されていく。フ
レームメモリ８はディスクの最外周トラックの画像デー
タを取り込むのに十分な容量を備えており、ラインセン
サ７が再びマーカ１０を検出するまで、データを記憶し
続ける。ラインセンサ７が再びマーカ１０を検出すると
、θテーブル２は回転を停止し、スキャンが終了する。
面のスキャンの様子を示す図である。検査を実行する際
には、まず、光学系６の対物レンズ５をディスク１上の
検査を行なうトラック（被検査トラック）１２に合わせ
る０次に、θテーブル２を一定の速度で回転させると、
ラインセンサ７はトラックに沿ってスキャンを開始する
。ラインセンサ７がランプ４で投影されるマーカ１０を
検出すると、フレームメモリ８にラインセンサ７がラン
プ４で投影されるマーカ１０を検出すると、フレームメ
モリ８にラインセンサ７の出力が記憶され始める。つま
り、フレームメモリ８には、傾斜部分で示される領域（
スキャン領域）１１の画像データが記憶されていく。フ
レームメモリ８はディスクの最外周トラックの画像デー
タを取り込むのに十分な容量を備えており、ラインセン
サ７が再びマーカ１０を検出するまで、データを記憶し
続ける。ラインセンサ７が再びマーカ１０を検出すると
、θテーブル２は回転を停止し、スキャンが終了する。
画像処理装置９は得られたフレームメモリ８の画像デー
タに対し、２値化及び欠陥個数計測等の検査を実行する
。
タに対し、２値化及び欠陥個数計測等の検査を実行する
。
以上に述べた通り、ディスクのトラックに沿った画像デ
ータを切れ目なく連続的にフレームメモリに取り込むこ
とが出来るので、２次元センサを利用する従来技術にお
いて生じていた、θテーブルの位置決め精度不足による
画像境界付近の検査精度低下の問題が解決し、境界画像
データ処理も不要となるため、検査精度の向上及び高速
化が可能となる。
ータを切れ目なく連続的にフレームメモリに取り込むこ
とが出来るので、２次元センサを利用する従来技術にお
いて生じていた、θテーブルの位置決め精度不足による
画像境界付近の検査精度低下の問題が解決し、境界画像
データ処理も不要となるため、検査精度の向上及び高速
化が可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は第１
図に示すラインセンサのスキャンの様子を示す図である
。 １：磁気ディスク、２：θテーブル、３：モータドライ
バ、４：ランプ、５：対物レンズ、６：光学系、７：ラ
インセンサ、８：フレームメモリ、９：画像処理装置、
・１０：マーカ、１１ニスキヤン領域、１２：被検査ト
ラック。
図に示すラインセンサのスキャンの様子を示す図である
。 １：磁気ディスク、２：θテーブル、３：モータドライ
バ、４：ランプ、５：対物レンズ、６：光学系、７：ラ
インセンサ、８：フレームメモリ、９：画像処理装置、
・１０：マーカ、１１ニスキヤン領域、１２：被検査ト
ラック。
Claims (1)
- ディスクを保持するθテーブルと、対物レンズが前記θ
テーブルに載置された前記ディスクの表面に対し垂直に
向くように設置された高倍率の光学系と、前記光学系の
接眼部に前記ディスクの半径方向の映像を取り込むよう
に配置されたラインセンサと、前記ラインセンサの出力
を蓄えるフレームメモリと、前記フレームメモリに接続
された画像処理装置とを備えることを特徴とするディス
ク欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971488A JPH01316643A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ディスク欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971488A JPH01316643A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ディスク欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316643A true JPH01316643A (ja) | 1989-12-21 |
Family
ID=15481217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14971488A Pending JPH01316643A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ディスク欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01316643A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04198846A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Orc Mfg Co Ltd | 円形体印刷検査装置および検査方法 |
| JP2011122998A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP14971488A patent/JPH01316643A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04198846A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Orc Mfg Co Ltd | 円形体印刷検査装置および検査方法 |
| JP2011122998A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置 |
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