JPS63317748A

JPS63317748A - 磁気ディスク欠陥のマップ表示における欠陥集中箇所表示方式

Info

Publication number: JPS63317748A
Application number: JP15305687A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kawamoto; 川本　広昭; Kazutoshi Nakahara; 中原　和敏; Kei Nara; 圭奈良
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1987-06-19
Filing date: 1987-06-19
Publication date: 1988-12-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、磁気ディスクの欠陥データのマ・ノブ表示
において、欠陥が一定の密度以上に集中している箇所を
表示する方式に閃するものである。

［従来の技術］記憶媒体として多用されている磁気ディスクの表面には
品質を阻害する各種の欠陥があり、製造過程において欠
陥検査装置により検査されている。

検査によりえられた欠陥データは大きさ別の個数の表示
とともに、表面上の欠陥の位置を示すマップ表示が行わ
れ、これらにより欠陥の程度と分布の特徴が目視で容易
に把握され品質管理に役立っている。以下図によりこれ
を説明する。

第４図（ａ）は、従来の磁気ディスク検査装置における
欠陥検出方法、検出データの集約処理およびマツプ表示
の方式の概要を示すブロック系統図て′、第７１図（ｂ
）は図（ａ＞における集約処理手順の詳相図て′ある。

第４図（ａ）においで、磁気ディスク１はスピンドル２
にロードされて回転し、この表面に検出光学部６の投光
器３よりレーザ光を照射して微小なスボ・ソトＳｐを形
成する。スボ・・Ｉトはｌ２Ｉ（ｂ）における円周１ａ
〜ｌｂで示す記憶の有効範囲を内側から半径方向に一定
のビ・ソチδｒで移動して表面が走査される、表面に欠
陥が存在するときは散乱光が生じて受光レンズ４を通し
て検出器５に人力する。検出器５の検出信号は連続した
アナログ信号であるが、これを信号処理部７において矢
印Ｃに示す回転方向の微小長さδ１毎にサンプリングし
て欠陥の大きさの数値がデジタルｆヒされる。ここで、
微小な欠陥を精度良く検出するためにスポットＳｐの直
径を十分小さくし、同時に走査に隙間が生じないように
半径方向の送りと・ソチδｒをスポットＳｐの直径より
小さくしてオーパラ・ツブさせである。従って、欠陥に
対してδｌが小さい場合および半径方向のスポ・・ｌト
のオーバラップにより“欠陥が重複して走査される場合
には、１個の欠陥が２個またはそれ以上の個数として検
出される個数エラーが発生する。一方、欠陥データをマ
ツプ表示する場合、δｌ　＞、＜δｒの面積はディスプ
レイ上で目視するには小さすぎるので、それぞれに対し
て一定の倍数の長さΔ１とΔｒの方形のセルＳを定め、
セル内の欠陥信号を集約して、その中の最大のもの１個
で代表させる。

これにより上記の個数エラーは殆ど無くすることができ
る。この場合のセルの大きさの例としてΔ１とΔｒとが
０．５ｍｍのものが行われいる。以上の各セル内のデー
タの集約は信号処理部（ハード回路）７とマイクロコン
ピュータ８のデータ集約処理８ａにより行われ、集約さ
れた欠陥データとしてセルの１ａ（ｒ、θ）と欠陥の大
きさがメモリに格納８ｂされる。

マ・・１１表示処理８ｃにおいては、上記の欠陥セル（
欠陥が存在するセル）のｒ、θ座標をＸ、　Ｙ座標に変
換するほか、その池の必要な処理が行われ、同時に個数
集計処理８ｄにおいては磁気ディスク１の全面の欠陥個
数が大きさ別に集計され、それぞれディスプレイ９にマ
ツプ表示９ａおよび個数データ９ｂとして表示されるも
のである。

さて、磁気ディスクに発生する欠陥には各種多様のもの
があるが、品質上の観点からは孤立して散在するらのよ
り、連続して傷とか汚れのような大きい範囲に、４墨っ
たものがより品質を害するものとされる。これをマツプ
表示でみると、広い範囲に分散する１００個が許される
としても、狭い範囲に集中した１００個は致命的である
。しかしながら、従来のディスプレ・イでは、マップ表
示と個数表示がなされているが、このような集中欠陥の
ｐ１定に便利な表示がなされていないため、磁気ディス
クの良否の判定が困・雅な場合が多く、適切な表示が要
望されている。

「発明の目的」以上説明した事情に鑑み、この発明は従来の磁気ディス
クの欠陥検査装置に、集中した欠陥な認識する機能を加
え、マツプ表示の該当する位置に適当なマーク分付加す
る欠陥集中箇所表示方式を提供することを目的とするも
のである。

［問題点を解決するための手段］この発明は、回転走査形式により磁気ディスクの表面を
レーザスポットで走査・サンプリングしてえられる欠陥
データを、該表面を方形の一定の微小面積に分割したセ
ル単位毎に最大の欠陥の１個を代表値として集約し、該
代表値をディスプレイの相当する位置にプロ・ソトして
表示する磁気ディスクの欠陥のマツプ表示における欠陥
集中箇所の表示方式であって、欠陥を有するセル（欠陥
セル）の座標および欠陥の大きさのデータを格納したメ
モリより、上記回転走査の順序に逐次欠陥セルをシーク
して、シークされた欠陥セルを中心としてセルの縦横寸
法のそれぞれ一定倍の寸法の範囲内に存在する欠陥セル
のｒｇＡ数をカウントし、これが一定の基準値を越えた
とき欠陥が集中していると判定して中心の欠陥セルの座
標を記憶し、欠陥のマツプ表示面にその座標を中心とし
て、欠陥の集中範囲を示すマークを表示するものである
。

上記の集中範囲のマークとして、中心の欠陥セルの位置
を中心とし、集中範囲に相当する円周をマツプ表示に重
ねて描くものである。

［作用］この発明による磁気ディスク欠陥のマップ表示における
欠陥集中箇所表示方式においては、マ・・ｌプ表示のた
めにセル単位でメモリに格納されている欠陥データにつ
いて、走査の順序に欠陥セルをシークし、シークされた
欠陥セルを中心として。

上下、左右に一定の範囲内にある欠陥セルの個数をカウ
ントして、カウント数が一定の基準数を越えるとき、そ
の欠陥セルを中心としてマ・ソア表示面に欠陥の集中範
囲に相当するマーク（円周）を表示するもので、これに
より従来困難であった目視による集中欠陥の識別が容易
となるものである。

［実施例］第１図はこの発明において、集中した欠陥の判定方法の
説明図で、欠陥セルのデータを格納したメモリを欠陥検
出走査と同じ順序にシークして、図示の欠陥セルＳがシ
ークされたものとすると、この欠陥セルＳを一中心とし
て、矢印Ｃで示す回転方向にし、半径方向にＨの長さの
範囲Ｅ内にある欠陥セルの個数をカウントする９ＬとＨ
の長さはセルに対して適当の＠数とし、１例として単位
セルの辺の長さΔ１．Δｒを約０．５ｍｍとしてそれぞ
れ１０倍の約５ｍｍ角が使用されている。次にカウント
の具体的な方法としては、中心の欠陥セルＳの座標ｒ、
θに対してそれぞれ長さＨ／２およびＬ　／　２を加算
または減算した方形の４頂点ｐ、、ｐ２．ｐ３．ｐ４内
にある欠陥セルをメモリよりシークしてカウントする６
マイクロコンピユータには予め一定の基準値例えば５０
を設定しておき、カウント値が基準値を越えたときこの
範囲Ｅを欠陥の集中範囲と判定して、中心の欠陥セルＳ
の座標を中心として集中範囲Ｅをカバーする円周りを表
示するものである。

第２図は、この発明による磁気ディスク欠陥のマツプ表
示における欠陥集中箇所の表示方式の実施例のブロック
構成図で、検出光学部６よりの欠陥信号は信号処理部７
とマイクロコンピュータ８によるデータ集約処理８ａに
より欠陥データがセル単位に集約されて、８ｂにおいて
メモリに格納される。ここまでは従来と同様である。メ
モリの欠陥データは集中判定処理８ｅにより第１図によ
る集中判定がなされ、集中範囲の中心の欠陥セルの座標
データが、メモリの全欠陥セルのデータとともにマツプ
表示・集中表示処理８ｆにおいて処理されてディスプレ
イ９に転送され、従来のマップ表示９ａに重ねて集中範
囲を示す円周ｌＯを表示する。この円周表示の技法は公
知のプログラムによるもので内容説明は省略する。なお
、従来と同様に磁気ディスクの全面に対する欠陥の個数
がデジタル数表示９ｂで表示される。

以上において、マツプ表示は磁気ディスクの全面につい
て行われるが、集中箇所の表示に関しては必ずしも全面
のすべてに対して行うことが必要でない。その理由は、
基準値の定め方により、たとえ１箇所でも集中箇所があ
る場合はその磁気ディスクは不良とされるので、さらに
集中箇所を求めることは必要がないからである。またこ
の場合、欠陥セルについて逐次上記の集中判定処理を行
い集中箇所が１箇所確定したときはそれ以後の集中判定
処理は行わないものである。もしさらに集中判定処理を
行うときは、はとんど同じ：＆囲が対象となって集中箇
所の表示が何回か重複することが起こり有害無益である
。これらにより、ここではシークされた欠陥セルに対し
て集中判定処理を行った結果、最初に集中と判定された
１箇所のみをディスプレイに表示するものである。

第３図は、この発明による欠陥集中箇所の表示方式によ
る実例で、磁気ディスク１の記録の有効範囲１ａ〜１ｂ
内の欠陥が大きさ別にカラーでマップ表示され、その中
の１箇所の集中欠陥に対してその範囲が円周１０で示さ
れている。この場合、集中の判定は磁気ディスクの内側
より外側の方向に行われているので、最初に集中欠陥と
判定された１箇所が表示され、それより外側の集中箇所
は不問となっている。

［発明の効果］以上の説明により明らかなように、この発明による磁気
ディスク欠陥のマップ表示における欠陥集中筒所表示方
式においては、欠陥セルか一定の基準数以上に集中して
いる箇所に対して、マツプ表示面に円周でその筒所を表
示するので、磁気ディスクの欠陥検査データの目視判定
が極めて容易となり、特別の熟練を必要とせず短時間に
行うことができる効果には大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による磁気ディスク欠陥のマツプ表
示におけろ欠陥集中箇所の表示方式における、欠陥の集
中の判定方法の説明図、第２図はこの発明による磁気デ
ィスク欠陥のマップ表示における欠陥集中箇所の表示方
式の実施例のプロ・ツク構成図、第３図は第２図の構成
によりえられた、欠陥のマップ表示および欠陥集中箇所
の表示の実例のハードコピーの説明図、・第４図（ａ）
および（ｂ）は従来から行われ、かつこの発明が適用さ
れる、磁気ディスク欠陥のマツプ表示方式の説明図であ
る。１・・・磁気ディスク、１ａ〜ｌｂ・・・磁気ディスクの配信の有効範囲、２・
・・スピンドル、　　　３・・・投光器、４・・・受光
レンズ、　　　５・・・検出器、６・・・検出光学部、
　　　７・・・信号処理部。８・・・マイクロコンピュータ、８ａ・・・データ集約処理、８ｂ・・・メモリに格納処
理、８−・・・・マツプ表示処理、８ｄ・・・個数集計
処理。８Ｐ・・・集中判定処理、８「・・・マツプ表示・集中箇所表示処理。９・・・ディスプレイ、９ａ・・・欠陥のマップ表示、
９ｂ・・・欠陥の個数表示、１０・・・円周表示。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、回転走査形式により磁気ディスクの表面をレー
ザスポットで走査・サンプリングしてえられる欠陥デー
タを、該表面を方形の一定の微小面積に分割したセル単
位毎に最大の欠陥の１個を代表値として集約し、該代表
値をディスプレイの相当する位置にプロットして表示す
る磁気ディスク欠陥のマップ表示において、上記欠陥を
有するセル（欠陥セル）の座標および欠陥の大きさのデ
ータを格納したメモリより、上記回転走査の順序に逐次
該欠陥セルをシークし、該シークされた欠陥セルを中心
として、セルの縦横寸法のそれぞれ一定倍の寸法の範囲
内に存在する欠陥セルの個数をカウントして、該カウン
ト数が一定の基準値を越えたとき上記欠陥が集中してい
ると判定して該中心の欠陥セルの座標を記憶し、上記欠
陥のマップ表示面に該座標を中心として、上記欠陥の集
中範囲を示すマークを表示することを特徴とする、磁気
ディスク欠陥のマップ表示における欠陥集中箇所表示方
式。
（２）、上記中心の欠陥セルの位置を中心とし、集中範
囲に相当する円周を描いて上記集中範囲のマークとする
、特許請求の範囲第１項記載の磁気ディスク欠陥のマッ
プ表示における欠陥集中箇所表示方式。