JP3361938B2 - 磁気ディスクの有効エリアの欠陥検査方法 - Google Patents

磁気ディスクの有効エリアの欠陥検査方法

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修 石綿
真樹夫 浅野
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ディスクの
有効エリアの表面に存在する欠陥を検査する方法に関す
る。 【0002】 【従来の技術】コンピュータシステムの記録媒体に使用
されるハード磁気ディスクは、素材の鏡面ディスク、ま
たは磁気膜が塗布されたディスク(便宜上これらを総称
して磁気ディスクまたは単にディスクという)の段階
で、表面に存在する欠陥の有無が検査される。図2は、
欠陥検査装置10の要部の構成を示し、回転機構2と検
査光学系3および欠陥検出処理部4とにより構成され、
回転機構2には被検査のディスク1が装着される。図2
において、ディスク1には、中心孔に対する内周エッジ
1aと外周円に対する外周エッジ1bとがあり、内周エ
ッジ1aと外周エッジ1bは、それぞれ斜め方向にカッ
トされて、斜面をなすチャンファCH1,CH2 が形成さ
れており、両チャンファCH1,CH2 の内側のハッチン
グで示す範囲が、データ記録などに対する有効エリア1
aとされている。被検査のディスク1は、回転機構2の
スピンドル21に装着されてモータ(M)22により回転
し、その表面に対して検査光学系3よりレーザビームL
T が投射されてスポットSP が形成され、これがディス
ク1の半径Rの方向に移動して、内周エッジ1aから外
周エッジ1bまでの全範囲がスパイラル状に走査され
る。 【0003】表面に欠陥Kが存在すると、これがスポッ
トSP を散乱し、散乱光SR は検査光学系3に受光さ
れ、その受光信号は欠陥検出処理部4の欠陥検出回路41
に入力して、表面欠陥Kとその大きさが検出される。検
出された欠陥データはMPU42に入力して、これに内蔵
されたデータ処理プログラム(PG)により処理され
て、表面欠陥Kは大きさ別に個数がカウントされる。一
方、スピンドル21にはその回転角度を検出するロータリ
エンコーダ23が設けられ、これが出力する角度信号は、
上記の欠陥データとともにMPU42に入力し、これとス
ポットSP の走査位置とにより、各欠陥が存在する位置
の座標が算出され、この各座標データと各欠陥の大きさ
別の個数データが編集され、プリンタ(PR)43により
大きさ別の個数はプリントされ、その分布状態がマップ
表示される。 【0004】図3は両チャンファCH1,CH2 の断面を
示す。上記のスポットSP の走査においては、両チャン
ファCH1,CH2 を除外して有効エリア1cのみを走査
することが望ましいが、スポットSP の直径はかなり大
きく、またディスク1が偏心することもありうるので、
やむなく上記したように全範囲が走査されている。この
ため両チャンファCH1,CH2 は、それぞれ散乱光SR
を散乱して検査光学系3に受光され、欠陥検出回路41に
より表面欠陥Kとして検出される。しかしこれは真の表
面欠陥Kではなく、いわば疑似欠陥K’であるにもかか
わらず、MPU42により大きさ別にカウントされ、これ
が有効エリア1cの表面欠陥Kの個数に加算されてプリ
ンタ43によりプリントされ、またマツプ表示にも疑似欠
陥K’が加えられている。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】上記の疑似欠陥K’は
無益有害であり、これが加わった個数データとマップ表
示はともに不正確で、その信頼性が甚だしく損なわれ
る。そこで疑似欠陥K’のデータを除去することが必要
である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、疑似
欠陥K’を除去して真の表面欠陥Kのデータを出力する
ことを課題とする。 【0006】 【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決した磁気ディスクの表面欠陥検査方法であって、
回転するディスクに対して、検査光学系によりレーザス
ポットS を投射して、内周エッジから外周エッジま
でのディスクの全範囲をスパイラル状に走査し、全範囲
内におけるスポットS の各散乱光を検査光学系によ
り受光し、その受光信号を欠陥検出回路に入力して全範
囲内の各欠陥を検出する。検出された各欠陥のうちの複
数個が連続する円弧の範囲の散乱光による欠陥を、両チ
ャンファの散乱光による疑似欠陥と判定して除去する手
段を設け、この手段により疑似欠陥のデータを除去し
て、内周エッジと外周エッジ間の両チャンファを除外し
た有効エリアの表面欠陥データを出力するものである。 【0007】 【発明の実施の形態】上記の欠陥検査方法においては、
回転するディスクの内周エッジから外周エッジまでのデ
ィスクの全範囲がスポットS によりスパイラル状に
走査され、この全範囲内におけるスポットS の各散
乱光を受光した検査光学系の受光信号が、欠陥検出回路
に入力されてこの範囲内の各欠陥が検出される。これに
対してこの各欠陥うちの疑似欠陥を判定して除去する手
段が設けられる。 【0008】ここで、疑似欠陥の判定除去手段を原理的
に説明すると、チャンファはディスク面上で円形をなし
ており、その全周にはスポットSP が照射されるが、か
ならずしもこれを散乱せず、さりとて極めて小部分が孤
立分散して散乱することもなく、ほとんどの場合ある程
度の長さの円弧の範囲が連続して散乱するので、これが
連続した複数個の欠陥として検出される。ただし、複数
個の欠陥が厳密には連続せず、部分的に飛びとびがあっ
ても全体としてほぼ連続しているときは、連続している
と見なすものとする。そこで複数個の欠陥がこのように
連続しているとき、これをチャンファの散乱光による疑
似欠陥と判定する。またこの場合、複数個の欠陥の連続
性の判定方法としては、各欠陥の座標が前記したロータ
リエンコーダの角度信号と、スポットSP の走査位置と
により判明するので、データ処理により各座標が連続し
ていることを識別することにより、各欠陥の連続性が判
定される。 【0009】上記の判定除去手段により疑似欠陥のデー
タが除去されて、有効エリア内の表面欠陥のデータのみ
が出力されて、表面欠陥の個数が正確にプリントされ、
また分布状態も正しくマップ表示され、欠陥検査データ
の信頼性が損なわれることなく、疑似欠陥が加算された
場合に比較すればむしろ向上する。また、これにより、
有効エリアとチャンファエリアとを区分けしないで欠陥
検査ができるので、有効エリアの限界ぎりぎりまで欠陥
検出が可能になる。 【0010】 【実施例】図1は、この発明における欠陥検査装置1
0’の一実施例の要部構成を示す。欠陥検査装置10’
は、前記した図2の欠陥検査装置10と同一の構成であ
るが、ただし、MPU42に疑似欠陥判定除去プログラム
を付加したもので、MPU42を除く各部の動作は欠陥検
査装置10と同一である。従来と同様に、被検査の鏡面
ディスク1は回転機構2のスピンドル21に装着されてモ
ータ(M)22により回転し、その表面に対して検査光学
系3より投射されたレーザスポットSP は、内周エッジ
1aから外周エッジ1bまでのディスク1の全範囲をス
パイラル状に走査して、表面欠陥Kと両チャンファとに
よるスポットSP の散乱光SR がともに検査光学系3に
受光され、その受光信号は欠陥検出回路41に入力して、
受光した散乱光SR に対する各欠陥と、それぞれの大き
さとが検出される。 【0011】各検出信号はMPU42に入力して、付加さ
れた疑似欠陥判定除去プログラムにより処理され、各欠
陥のうちの連続する複数個の欠陥は疑似欠陥K’と判定
されて除去され、有効エリア1c内の表面欠陥Kのみが
大きさ別にカウントされて、プリンタ(PR)43により
プリントされ、その分布状態がマップ表示される。 【0012】 【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の欠陥検
査方法においては、磁気ディスクの中心孔の内周エッジ
と外周エッジに形成された両チャンファによる疑似欠陥
に対して、これを判定して除去する手段が設けられ、こ
の手段により無益有害な疑似欠陥が除去されて、内周エ
ッジと外周エッジ間の、データ記録などに使用する有効
エリアの表面に存在する欠陥のデータのみを出力するも
ので、磁気ディスクの素材の鏡面ディスクまたは磁気膜
が塗布されたディスクの欠陥検査における、検査データ
の信頼性の向上に寄与する効果には大きいものがある。
【図面の簡単な説明】 【図1】 図1は、この発明における欠陥検査装置の一
実施例の要部の概略構成図である。 【図2】 図2は、欠陥検査装置の要部の概略構成図
と、被検査のディスクの説明図である。 【図3】 図3は、内周エッジと外周エッジのチャンフ
ァの断面図である。 【符号の説明】 1…磁気ディスク(ディスク)、1a…内周エッジ、1
b…外周エッジ、1c …有効エリア、2…回転機構、21
…スピンドル、22…モータ、23…ロータリエンコーダ、
3…検査光学系、4…欠陥検出処理部、41…欠陥検出回
路、42…MPU、43…プリンタ(PR) 10…従来の欠陥検査装置、10’…この発明における
欠陥検査装置、LT …レーザビーム、SP …レーザスポ
ット、SR …散乱光、K…表面欠陥、K’…疑似欠陥、
CH…チャンファ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 23/00 G11B 5/84 G11B 27/00

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】内周エッジと外周エッジにそれぞれチャン
    ファが形成された磁気ディスクの欠陥検査において、回
    転する該磁気ディスクの表面に対して、検査光学系によ
    りレーザスポットS を投射して、該内周エッジから
    該外周エッジまでの該磁気ディスクの全範囲をスパイラ
    ル状に走査し、該全範囲内における該スポットSの各
    散乱光を該検査光学系により受光し、その受光信号を欠
    陥検出回路に入力して該全範囲内の各欠陥を検出し、該
    検出された各欠陥のうちの複数個が連続する円弧の範囲
    の散乱光による欠陥を、前記両チャンファの散乱光によ
    る該疑似欠陥と判定して除去する手段を設け、該手段に
    より該疑似欠陥のデータを除去して、前記内周エッジと
    外周エッジ間の両チャンファを除外した有効エリアの表
    面欠陥データを出力することを特徴とする、磁気ディス
    クの有効エリアの欠陥検査方法。
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