JPS5961156A - キヤリヤテ−プの製造方法 - Google Patents
キヤリヤテ−プの製造方法Info
- Publication number
- JPS5961156A JPS5961156A JP17117882A JP17117882A JPS5961156A JP S5961156 A JPS5961156 A JP S5961156A JP 17117882 A JP17117882 A JP 17117882A JP 17117882 A JP17117882 A JP 17117882A JP S5961156 A JPS5961156 A JP S5961156A
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- Japan
- Prior art keywords
- tape
- holes
- width
- carrier tape
- exposed
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は牛導体集苗回路（Ｉｃ）素子用リード線を供給
するためのキャリヤテープの製造方法に関するものであ
る。
するためのキャリヤテープの製造方法に関するものであ
る。
ＩＣ素子上の電極と外部リードとの接続は、ワイヤーボ
ンディングで行なうのが一般的であるが、近年ＩＣ素子
の実装を自動化するため、第１図に示すよう々キャリヤ
テープを用いるように々ってきた。
ンディングで行なうのが一般的であるが、近年ＩＣ素子
の実装を自動化するため、第１図に示すよう々キャリヤ
テープを用いるように々ってきた。
このキャリヤテープは２００μ程度又はそれ以下の厚さ
の銅、鉄、鉄−ニッケル合金等の金属箔テープ１の両縁
部にスプロケット孔２と中央部に複数の微細リード３の
集合体であるフィンガーリードを長手方向に多数組連続
的に形成し、必要に応じて表面を金、錫等で被覆し、た
もので、このフィンガーのインナーリードをＴＣｉ子」
二の１１極に重ね合せて一括ボンデイングする方が二で
、多数のＩＣ素子を前記テープに数例けておき、次いで
アウターリードを一括切断して所要の外部リードに接続
するように使用さｔする。その際、スプロケット孔２け
上記一括ボンデイングと一括切断の際の位置合せに用い
ら扛る。
の銅、鉄、鉄−ニッケル合金等の金属箔テープ１の両縁
部にスプロケット孔２と中央部に複数の微細リード３の
集合体であるフィンガーリードを長手方向に多数組連続
的に形成し、必要に応じて表面を金、錫等で被覆し、た
もので、このフィンガーのインナーリードをＴＣｉ子」
二の１１極に重ね合せて一括ボンデイングする方が二で
、多数のＩＣ素子を前記テープに数例けておき、次いで
アウターリードを一括切断して所要の外部リードに接続
するように使用さｔする。その際、スプロケット孔２け
上記一括ボンデイングと一括切断の際の位置合せに用い
ら扛る。
このようなキャリヤテープの製造は基本的には従来の連
続的フォトエツチングを適用し得るが、テープ厚が通常
の素材に比べて極めて薄く、特別の配慮が必要である。
続的フォトエツチングを適用し得るが、テープ厚が通常
の素材に比べて極めて薄く、特別の配慮が必要である。
例えば通常の素材の場合、先ずスプロケット孔を設け、
これをテープ送りと露光位置合せに用いることができる
が、金属箔テープにこの方法を適用するとスプロケット
孔２が変形してＩＣ素子の一括ポンデイングを正確に行
なうことがアきなくなる。このため、金属箔テープの送
シをピンチローラ−で行なうようにしていた。ところが
、この方法によると折角精密パターンで露光したフォト
レジストをローラーで押すため、潜像パターンが変形し
、現像したとき所要のスプロケット孔及びフィンガーリ
ード用のパターンが変形してしまう欠点があった。この
ような欠点を解消するには米国特許第４，２２７，９８
３号に記載の方法のように、所要のキャリヤテープ幅よ
り広幅の金属箔テープを素材とし、余白部をグリップロ
ーラーで挾んで送るようにすれば良い。しかしながら、
フォトレジストを塗布１〜た金属箔テープに連続的に露
光する場合、位置決めをグリップローラーの送りとロー
ラーガイドで行なうとスプロケット孔及びフィンガーリ
ードを１組とする各相間で距離の不揃いや、方向の不揃
いが生じ易い。これはグリップローラーの送り精度及び
ローラーガイドと金属箔テープとのクリアランスに寄因
する。各相間の距離及び方向の不揃いが大き過ぎるとＩ
Ｃ素子の一括ボンデイングの際、スプロケット孔２で位
置は多少修正されるものの修正途中でボンディングされ
てしまうことになる。これを避けるにはボンディングの
位置合せに要する時間を長ぐする以外にはない。
これをテープ送りと露光位置合せに用いることができる
が、金属箔テープにこの方法を適用するとスプロケット
孔２が変形してＩＣ素子の一括ポンデイングを正確に行
なうことがアきなくなる。このため、金属箔テープの送
シをピンチローラ−で行なうようにしていた。ところが
、この方法によると折角精密パターンで露光したフォト
レジストをローラーで押すため、潜像パターンが変形し
、現像したとき所要のスプロケット孔及びフィンガーリ
ード用のパターンが変形してしまう欠点があった。この
ような欠点を解消するには米国特許第４，２２７，９８
３号に記載の方法のように、所要のキャリヤテープ幅よ
り広幅の金属箔テープを素材とし、余白部をグリップロ
ーラーで挾んで送るようにすれば良い。しかしながら、
フォトレジストを塗布１〜た金属箔テープに連続的に露
光する場合、位置決めをグリップローラーの送りとロー
ラーガイドで行なうとスプロケット孔及びフィンガーリ
ードを１組とする各相間で距離の不揃いや、方向の不揃
いが生じ易い。これはグリップローラーの送り精度及び
ローラーガイドと金属箔テープとのクリアランスに寄因
する。各相間の距離及び方向の不揃いが大き過ぎるとＩ
Ｃ素子の一括ボンデイングの際、スプロケット孔２で位
置は多少修正されるものの修正途中でボンディングされ
てしまうことになる。これを避けるにはボンディングの
位置合せに要する時間を長ぐする以外にはない。
本発明は、このような従来の欠点を除去するもので、ス
プロケット孔用パターン及びフィンガーリード用パター
ンの方向が正確に揃えられ、かつ各相間の距離が一定の
キャリヤテープを製造する方法を提供するものである。
プロケット孔用パターン及びフィンガーリード用パター
ンの方向が正確に揃えられ、かつ各相間の距離が一定の
キャリヤテープを製造する方法を提供するものである。
以下本発明の一実施例を図面により詳細に説明する。
第２図は本発明キャリヤテープの製造方法における各工
程の一実施例を説明するだめの図で、（Ａ）乃至（Ｇ）
はその金属箔テープの変化の様子を断面で示したもので
ある。第２図に示すように、素材の金属箔テープ４はキ
ャリヤテープの所要幅の両側に位置合せ用貫通孔を形成
し得る幅を有するものを用いる（Ａ工程）。この金属箔
テープ４に先ずプレス加工によりテープ両縁部に一定間
隔の貫通孔５を形成する（ＢＩ程）。なお、テープ４の
送りはグリップローラー等で行なわれるが、プレス金型
後工程に位置決めピンを設けておけば貫通孔５間の距離
及びテープ幅方向のずれは最小限に避けられる。
程の一実施例を説明するだめの図で、（Ａ）乃至（Ｇ）
はその金属箔テープの変化の様子を断面で示したもので
ある。第２図に示すように、素材の金属箔テープ４はキ
ャリヤテープの所要幅の両側に位置合せ用貫通孔を形成
し得る幅を有するものを用いる（Ａ工程）。この金属箔
テープ４に先ずプレス加工によりテープ両縁部に一定間
隔の貫通孔５を形成する（ＢＩ程）。なお、テープ４の
送りはグリップローラー等で行なわれるが、プレス金型
後工程に位置決めピンを設けておけば貫通孔５間の距離
及びテープ幅方向のずれは最小限に避けられる。
次いで、テープ４の両面にキャリヤテープの所要幅だけ
フォトレジスト６を塗布する（Ｃ工程）。
フォトレジスト６を塗布する（Ｃ工程）。
フォトレジストにはネガ型、ポジ型があるが、露光マス
クを何れかの種類に合わせたものを用いれば、どちらで
も差支えない。そしてレジスト６を塗布した金属箔テー
プ４は所要のマスクを用いて両面露光さｎｌ レジスト
層にスプロケット孔用パターン７及びフィンガーリード
用パターン８の潜像を形成する（Ｄ工程）。露光後感光
【−た又は感光していないレジストのみを溶解除去（現
像と称する。Ｅ工程）シ、両面からエツチング液を噴射
すれば、露出金属部が溶解されて表裏頁面する（Ｆ工程
）。この時、レジストを塗布し々いテープ両縁部は完全
に溶解さ扛ている。エツチング後、残留のフォトレジス
ト６を除去すれにｊ’、第１図に示すようなキャリヤテ
ープ９が得られ（Ｇエイ♀）、こｎは一連の上記工程の
最後に巻き取らｎ、る。
クを何れかの種類に合わせたものを用いれば、どちらで
も差支えない。そしてレジスト６を塗布した金属箔テー
プ４は所要のマスクを用いて両面露光さｎｌ レジスト
層にスプロケット孔用パターン７及びフィンガーリード
用パターン８の潜像を形成する（Ｄ工程）。露光後感光
【−た又は感光していないレジストのみを溶解除去（現
像と称する。Ｅ工程）シ、両面からエツチング液を噴射
すれば、露出金属部が溶解されて表裏頁面する（Ｆ工程
）。この時、レジストを塗布し々いテープ両縁部は完全
に溶解さ扛ている。エツチング後、残留のフォトレジス
ト６を除去すれにｊ’、第１図に示すようなキャリヤテ
ープ９が得られ（Ｇエイ♀）、こｎは一連の上記工程の
最後に巻き取らｎ、る。
以上の工程は連続して行っても良いし、各工程毎に、又
はいくつかの工程に分割して行なっても良い。なお、上
ｎＥ〕工程中、プレス工程及び露光工程は間欠送りを必
要とするが、これらを連暁したユニ程中で行なう場合は
、各工程の前後で金属箔テープをたる寸せておくように
すれば良い。
はいくつかの工程に分割して行なっても良い。なお、上
ｎＥ〕工程中、プレス工程及び露光工程は間欠送りを必
要とするが、これらを連暁したユニ程中で行なう場合は
、各工程の前後で金属箔テープをたる寸せておくように
すれば良い。
上記の実施例は金属箔テープから１本のキャリヤテープ
を製造する場合であるが、複数本のキャリヤテープを同
時に製造するには、複数本分の幅より広幅の金属箔テー
プを用い、露光において幅）５向に複数組のスプロケッ
ト孔用パターン及びフィンガーリード用パターンと各糾
問を切離すためのスリットパターンを有するフォトマス
クを用い１１、は良い。又一度の露光でテープ長手方向
に複数組のスプロケット孔用パターン及びフィンガーリ
ード用パターンを露光することも可能である。
を製造する場合であるが、複数本のキャリヤテープを同
時に製造するには、複数本分の幅より広幅の金属箔テー
プを用い、露光において幅）５向に複数組のスプロケッ
ト孔用パターン及びフィンガーリード用パターンと各糾
問を切離すためのスリットパターンを有するフォトマス
クを用い１１、は良い。又一度の露光でテープ長手方向
に複数組のスプロケット孔用パターン及びフィンガーリ
ード用パターンを露光することも可能である。
以上詳細に説明１〜だように、本発明によればスプロケ
ット孔及びフィンガーリードの各糾問の距離及び方向が
正確に揃ったキャリヤテープが製造できるようＫなり、
ボンディング速度の向上とボンディング不良の低下に大
きな効果がある。
ット孔及びフィンガーリードの各糾問の距離及び方向が
正確に揃ったキャリヤテープが製造できるようＫなり、
ボンディング速度の向上とボンディング不良の低下に大
きな効果がある。
第１図はキャリヤテープの説明図、第２図は本発明キャ
リヤテープの製造方法における各工程の一実施例を示す
説明図である。 ４・・・金属箔テープ素材、５・・スプロケット孔、６
・・・フォトレジスト。
リヤテープの製造方法における各工程の一実施例を示す
説明図である。 ４・・・金属箔テープ素材、５・・スプロケット孔、６
・・・フォトレジスト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）テープの両縁部にスプロケット孔を、中央部にフ
ィンガリードを多数組連続的に形成したキャリヤテープ
を製造する方法において、ｒ′９［要のテープ幅より広
い金属箔テープを素材とし、該金属箔テープ両縁部にプ
レス打抜きで一定間隔の貫通孔を形成し、キャリヤテー
プの所要幅だけ両面にフォトレジストを塗布し、前記貫
通孔を用いて位置合せをし、スプロケット孔用パターン
及びフィンガリード用パターンを両面露光し、感光した
又は感光していないレジストのみを除去ｌ〜だ後、露出
金属部をエツチングし、最後に残留レジストを除去する
ことを特徴とするキャリヤテープの製造方法。 （２ン テープの両級部にスズロケット孔を、中央部
にフィンガリードを多数組連続的に形成したキャリヤテ
ープを製造する方法において、所要のテープ複数本分の
幅より広い金属箔テープを素材とし、該金属箔テープ両
縁部にプレス打抜きで一定間隔の貫通孔を形成し、次い
でキャリヤテープ複数本分の幅だけ両面にフォトレジス
トを塗布し、前記貫通孔を用いて位置合せをし、テープ
幅方向に複数組のスプロケット孔用パターン及びフィン
ガーリード用パターン並びに各紐間の切離し用スリット
パターンを両面露光１／、感光した又は感光していない
レジストのみを除去した後、露出金属部をエツチングし
、最後に残留レジストを除去して同時に複数本が得られ
るようにしたことを特徴とするキャリヤテープの製造方
法。 （３）前記両面露光工程において、金属箔テープの長手
方向に複数組のスプロケット孔用パターン及びフィンガ
ーリード用パターンを同時に露光することを特徴とする
特許Ｒ青水の範囲第１項又は第２項記載のキャリヤテー
プの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17117882A JPS5961156A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | キヤリヤテ−プの製造方法 |
| GB08610713A GB2172430B (en) | 1982-09-30 | 1983-09-23 | Manufacture of carrier tapes |
| GB08325545A GB2129612B (en) | 1982-09-30 | 1983-09-23 | Manufacture of carrier tapes |
| US06/535,862 US4512843A (en) | 1982-09-30 | 1983-09-26 | Manufacturing a carrier tape or tapes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17117882A JPS5961156A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | キヤリヤテ−プの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961156A true JPS5961156A (ja) | 1984-04-07 |
| JPH0153506B2 JPH0153506B2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=15918442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17117882A Granted JPS5961156A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | キヤリヤテ−プの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961156A (ja) |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP17117882A patent/JPS5961156A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0153506B2 (ja) | 1989-11-14 |
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