JP2654881B2 - リードフレームの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に用いるリ
ードフレームの製造方法に係り、詳細にはプレス加工と
エッチング加工の技術とを組み合わせてリードフレーム
の条材を形成する方法であって、インナーリード及び素
子搭載部のダムバーで囲まれた領域の形状をエッチング
で形成する際に、予めプレス加工で形成された位置決め
用のパイロットピンを嵌合して機械的に位置決めを行
い、プレス加工で形成された所要の形状位置とエッチン
グ加工で形成された所要の形状の接続位置ずれを防止し
た多ピン系のリードフレームの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のリードフレームの製造方
法としては、先に出願人が提案した特開昭６２−１１４
２５４号公報に記載のものがある。この発明は図４に示
すように、インナーリード７０に対応して配列されたア
ウターリード７１と、該アウターリード７１を相互に連
結保持する外枠のサイドレール７２及び該サイドレール
７２に配列された所要数の位置決めパイロット孔７３の
所要の形状加工をプレス加工で形成した後、全面に液状
のフォトレジストを塗布してフォトレジスト膜を形成
し、素子搭載パッド７４と該素子搭載パッド７４の周囲
に放射状に配置したインナーリード７０、サポートフレ
ーム７５など、即ち、前記インナーリード７０を相互に
連結保持するダムバー７６〜７９で囲まれた領域部分
（図の斜線部分）８０に所要形状のレジストマスクパタ
ーンを形成し、露出金属部のエッチング加工を行ってリ
ードフレームの所要の形状を形成する方法が提案されて
いる。なお、図において８１は貫通孔を示す。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この方法によれば、前
記プレス加工で形成された条材の全面を液状のフォトレ
ジストを塗布してフォトレジスト膜を形成するため、前
記位置決めパイロット孔７３も被覆され、前記条材とガ
ラスマスクパターンの位置決めが不安定で、プレス加工
で形成された所要の形状位置とエッチング加工で形成さ
れた所要の形状位置の接続部分の位置ずれを生じるとい
う問題点があった。これを解消するため、前記条材の全
面をフォトレジスト膜でマスキングした後、前記位置決
めパイロット孔周辺のフォトレジスト膜を剥離除去する
か、前記位置決めパイロット孔周辺をマスキングしてフ
ォトレジスト膜を形成した後、該フォトレジスト膜を除
去する作業工程が必要であった。前記位置決めパイロッ
ト孔周辺のフォトレジスト膜を除去する余分な作業を必
要とし、フォトレジスト膜の形成工程が複雑となり作業
性を低下させ、コストの上昇やフォトレジスト膜の損傷
を生じ、生産性を低下させるなどの問題があった。他の
方法として、高精度な位置決め性能を有する間欠搬送装
置を用いるか、形成されたレジストマスクパターンの一
部をカメラで読み取り、送り量を補正して位置決めする
方法があるが高価な位置決め設備を必要とする問題があ
った。本発明の目的とするところは、前記問題点を解消
して前記条材とガラスマスクパターンとの位置決めを容
易に、且つ、高精度に行い、プレス加工で形成された所
要の形状位置とエッチング加工で形成された所要の形状
位置の接続部分の位置ずれをなくし、形状位置の接続精
度を向上させ、生産性の高い、高品質のリードフレーム
を製造する方法を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する請求
項１記載のリードフレームの製造方法は、金属帯状材上
に所要の形状を備えた単体のリードフレームを連接した
条材を形成する際に、外枠を含むアウターリードの形状
をプレス加工で形成する工程と、前記プレス加工で形成
された残りの領域部分の所要形状をエッチング加工で形
成するエッチング工程とを有するリードフレームの製造
方法において、前記金属帯状材に、アウターリード、こ
れを支持する内枠及び位置決めパイロット孔を備えた外
枠を有する条材を形成するプレス加工工程と、前記プレ
ス加工の工程で形成された前記条材の前記外枠部分を除
く、少なくともダムバーで囲まれた領域の表裏面をフォ
トレジストのドライフイルムで被覆する第１の被覆形成
工程と、前記第１の被覆形成工程で形成されたドライフ
イルムの表裏面にインナーリード及び素子搭載部の所要
の形状を形成した上下一対のガラスマスクプレートと前
記条材とを機械的に位置決め固定して、前記所要の形状
を焼付け、更に現像して除去部分の金属面を露出させた
所要の形状のレジストマスクを形成するレジストマスク
パターン形成工程と、前記ドライフイルムの被覆領域外
の未被覆部分に液状レジストを塗布する第２の被覆形成
工程と、前記第１及び第２の被覆形成工程によって所定
の被覆形成処理された前記条材の露出金属部分をエッチ
ング加工で除去して所要の形状を形成するエッチング加
工工程とを有し、しかも、前記レジストマスクパターン
形成工程においては、着脱自在とした前記ガラスマスク
プレートと前記条材との位置決めは、前記ガラスマスク
プレートの保持部に備えたパイロットピンと前記条材に
形成されたパイロット孔とを用いて機械的に行ってい
る。また、請求項２記載のリードフレームの製造方法
は、請求項１記載の方法において、前記条材の搬送途中
位置に基準ピンを備えた仮位置決め部を備えると共に、
該仮位置決め部の前後にテンション付勢部を備え、該仮
位置決め部の前記基準ピンを基準に、前記条材を送り方
向及びその逆方向に所定のテンションを付勢した状態
で、前記レジストマスクパターン形成工程の前記ガラス
マスクプレートと前記条材との機械的位置決めが行われ
ている。そして、請求項３記載のリードフレームの製造
方法は、請求項２記載の方法において、前記基準ピン
は、前記パイロットピン径より小さなピン径で構成さ
れ、前記条材の位置補正範囲の自由度が確保されてい
る。

【０００５】

【作用】請求項１〜３記載のリードフレームの製造方法
においては、プレス工程で形成された条材の被覆にフォ
トレジストのテープ状のドライフイルムを用いているか
ら、パイロット孔等の必要な部分を残してフォトレジス
ト膜を形成することができる。前記レジストマスクプレ
ートの保持部が着脱自在となっているので、エッチング
部分のマスターパターンの変更が可能である。そして、
第１の被覆形成工程で前記プレス加工で形成された条材
のパイロット孔（基準孔）が確保されているから、前記
条材と前記ガラスマスクプレートとの高精度の位置合わ
せがパイロットピンで機械的に且つ容易にできる作用を
有する。特に、請求項２記載のリードフレームの製造方
法においては、仮位置決め部の基準ピンを基準に前記条
材に送り方向及びその逆方向に所定のテンションを付勢
しているから、条材の自重による撓みが少なくなって、
搬送寸法が正確になり、位置決め精度が向上する。そし
て、請求項３記載のリードフレームの製造方法において
は、仮位置決め部の基準ピン径がパイロットピン径、即
ち、パイロット孔より小さいので、レジストマスクプレ
ート保持部に備えた位置決めパイロットピンと前記条材
のパイロット孔で前記条材と前記ガラスマスクプレート
との位置決め補正を行うことも可能となり、これによっ
て位置決めによるパイロット孔の損傷が無くなり高精度
な位置合わせが可能となる。

【０００６】

【実施例】続いて、図面を参照しつつ、本発明を具体化
した一実施例について説明し、本発明の理解に供する。
図１は本発明の一実施例に係るリードフレームの製造方
法を示す側面図、図２（ａ）〜（ｄ）は同製造方法の概
略工程図、図３（ａ）〜（ｆ）は同製造方法の各工程の
断面図を示す。図２（ａ）、図３（ａ）に示すように金
属帯状材（Ｎｉ−Ｆｅ合金）１０上に、パンチ及びダイ
を適切な工程順序で配列した順送り金型装置を用いて、
金属帯状材１０を所定量間欠搬送し、リードフレームの
形状の内、エッチング加工領域１１を除くアウターリー
ド１２、パイロット孔１３を適切な位置に配列した外枠
（サイドレール）１４、スリット１５を有する内枠１６
及び貫通孔１７等の所要形状を打抜き、帯状に形成され
た中間工程のリードフレームとなる条材を形成する。な
お、図３（ａ）における４８は打ち抜き部を示す。

【０００７】次に、図２（ｂ）、図３（ｂ）に示すよう
に、前記中間工程のリードフレームの金属帯状材１０の
パイロット孔１３を含む外枠１４の一部を除いた領域１
８にフォトレジストのドライフイルム１９を粘着して第
１の被覆層を備えた条材２０を形成する（第１の被覆形
成工程）。

【０００８】前記第１の被覆形成工程で形成した前記条
材２０を図１に示すようにバックテンション付勢部２１
と、第１搬送部２２と、露光装置２３に着脱自在とした
ガラスマスクパターン保持装置２４、２９と、仮位置決
め部２５と、第２搬送部２６とに通し、第２搬送部２６
の上流のフロントテンション付勢部２７に前記条材２０
を装着して、仮位置決め部２５の基準ピン２８を前記条
材のパイロット孔１３に挿入し、これを基準に前記条材
２０の前後方向に、テンションを付勢する。

【０００９】そして、前記ガラスマスクパターン保持装
置２４と下部のガラスマスクパターン保持装置２９に備
えた位置決めピン３０を前記条材２０のパイロット孔１
３に挿入して、該条材２０を位置決めすると共に、前記
保持装置２４、２９に備えた上下一対のマスクプレート
３１、３２で前記条材２０を挟持固定した後、前記マス
クプレート３１、３２上に形成された所定形状のマスク
パターンを前記条材２０の前記ドライフイルム１９上に
露光して図２（ｃ）、図３（ｃ）に示すように所要形状
のフォトレジストマスクパターンを前記条材２０のドラ
イフイルム１９の表裏面に焼付形成する。なお、図３
（ｃ）における１９ａは露光部分を示す。

【００１０】次に、第１搬送部２２のグリッパー機構３
３と、第２搬送部２６のグリッパー機構３４とで前記条
材２０を挟持した後、前記保持装置２４、２９の前記マ
スクプレート３１、３２の前記条材２０の挟持を解除す
ると共に、前記仮位置決め部２５の基準ピン２８の挿入
及び前記条材２０のテンション付勢を解除する。

【００１１】そして、前記第１搬送部２２のステッピン
グモーターの駆動機構３５に直結したボールネジ３６を
駆動し、該ボールネジ３６に螺合した第１搬送部２２
と、これと連結バー３７を介して一体化した第２搬送部
２６とで該条材２０を所定量間欠搬送する。この後、前
記仮位置決め部２５の基準ピン２８を該条材２０のパイ
ロット孔１３に挿入し、次に前記バックテンション付勢
部２１とフロントテンション付勢部２７とを作動させ
て、該条材２０を挾持すると共に、前記第１搬送部２２
と、前記第２搬送部２６の挟圧を解除してこれを初期位
置に復帰させ、前記バックテンション付勢部２１とフロ
ントテンション付勢部２７のシリンダー３８、３９を作
動して、前記仮位置決め部２５の前後にテンションを付
勢する。なお、図１において３８ａ、３９ａはテンショ
ン付勢用のスプリングを示す。

【００１２】以後は前記工程を繰り返して、図２（ｃ）
に示すようにインナーリード４０、サポートリード４
１、素子搭載部４２等が連続配列された所要形状のフォ
トレジストマスク４３が該条材２０のドライフイルム１
９の表面に形成される。そして、前記ドライフイルム１
９に現像及び乾燥の処理を行った後、図３（ｄ）に示す
ように、該条材２０のドライフイルム１９の領域外の基
材露出領域を液状レジストで被覆して第２の被覆層（レ
ジスト膜４３ａ）を形成し、図３（ｅ）に示すように、
エッチング加工でフォトレジストマスクパターンの露出
部を除去する。

【００１３】更に、前記マスキング部分を除去すれば、
図２（ｄ）、図３（ｆ）に示すようにプレス加工で形成
された領域と、ダムバー４４〜４７で囲まれたエッチン
グ加工された領域とからなるリードフレームが得られ
る。ここで、図３（ｅ）、（ｆ）において、４９はエッ
チング加工部分を示し、図２（ｃ）において５０はレジ
ストパターンを示す。

【００１４】なお、以上の実施例においてはインナーリ
ード先端部をエッチングで形成するようにしているが、
インナーリード先端部が繋がるように連結片を残してエ
ッチング加工した後、該連結片をプレス加工で除去して
も良い。また、リードフレームの所要部分にめっきの処
理が必要な場合には、めっきは前記連結部の除去の前後
いずれでも良い。

【００１５】

【発明の効果】請求項１〜３記載のリードフレームの製
造方法においては、プレス工程で形成された条材の被覆
にフォトレジストのテープ状のドライフイルムを用いて
いるから、必要な部分を残してフォトレジスト膜を形成
することができ、従来の方法で用いた液状フォトレジス
トのように被覆した後に位置決め孔やサイドレールの側
面のフォトレジスト膜を除去してレジストマスクを形成
する必要がない。前記レジストマスクプレートの保持部
が着脱自在となっているので、エッチング部分のマスタ
パターンの変更に容易に対応できる。そして、第１の被
覆形成工程で前記プレス加工で形成された条材のパイロ
ット孔（基準孔）が確保されているから、パイロットピ
ンで機械的に前記条材と前記ガラスマスクプレートとの
高精度の位置合わせがパイロットピンで機械的に且つ容
易にできる。特に、請求項２記載のリードフレームの製
造方法においては、仮位置決め部の基準ピンを基準に前
記条材に送り方向及びその逆方向に所定のテンションを
付勢しているから、従来の方法に比べ条材の自重による
撓みが少なく、ライン全体のテンションの付勢の付加力
が少なくてすみ、従って、搬送寸法が正確になり、位置
決め精度が向上する。請求項３記載のリードフレームの
製造方法においては、パイロットピン径より小さい位置
決め部の基準ピンで条材の仮位置決めをするから、レジ
ストマスクプレート保持部に備えた位置決めパイロット
と条材のパイロット孔とで前記条材と前記ガラスマスク
プレートの位置決めの補正を行うことも可能となり、こ
れによって位置決め孔の損傷が無くなり高精度な位置合
わせが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るリードフレームの製造
方法を示す側面図である。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は同製造方法の概略工程図であ
る。

【図３】（ａ）〜（ｆ）は同製造方法の各工程の断面図
を示す。

【図４】従来例に係るリードフレームの平面図である。

【符号の説明】

１０ 金属帯状材 １１ エッチン
グ加工領域 １２ アウターリード １３ パイロッ
ト孔 １４ 外枠 １５ スリット １６ 内枠 １７ 貫通孔 １８ 領域 １９ ドライフ
イルム ２０ 条材 ２１ バックテ
ンション付勢部 ２２ 第１搬送部 ２３ 露光装置 ２４ ガラスマスクパターン保持装置 ２５ 仮位置決
め部 ２６ 第２搬送部 ２７ フロント
テンション付勢部 ２８ 基準ピン ２９ ガラスマスクパターン保持装置 ３０ 位置決め
ピン ３１ マスクプレート ３２ マスクプ
レート ３３ グリッパー機構 ３４ グリッパ
ー機構 ３５ 駆動機構 ３６ ボールネ
ジ ３７ 連結バー ３８ シリンダ
ー ４０ インナーリード ４１ サポート
リード ４２ 素子搭載部 ４３ フォトレ
ジストマスク ４３ａ レジスト膜 ４４ ダムバー ４５ ダムバー ４６ ダムバー ４７ ダムバー ４８ 打抜き部
分 ４９ エッチング加工部分 ５０ レジスト
パターン

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属帯状材上に所要の形状を備えた単体
   のリードフレームを連接した条材を形成する際に、外枠
   を含むアウターリードの形状をプレス加工で形成する工
   程と、前記プレス加工で形成された残りの領域部分の所
   要形状をエッチング加工で形成するエッチング工程とを
   有するリードフレームの製造方法において、 前記金属帯状材に、アウターリード、これを支持する内
   枠及び位置決めパイロット孔を備えた外枠を有する条材
   を形成するプレス加工工程と、 前記プレス加工の工程で形成された前記条材の前記外枠
   部分を除く、少なくともダムバーで囲まれた領域の表裏
   面をフォトレジストのドライフイルムで被覆する第１の
   被覆形成工程と、 前記第１の被覆形成工程で形成されたドライフイルムの
   表裏面にインナーリード及び素子搭載部の所要の形状を
   形成した上下一対のガラスマスクプレートと前記条材と
   を機械的に位置決め固定して、前記所要の形状を焼付
   け、更に現像して除去部分の金属面を露出させた所要の
   形状のレジストマスクを形成するレジストマスクパター
   ン形成工程と、 前記ドライフイルムの被覆領域外の未被覆部分に液状レ
   ジストを塗布する第２の被覆形成工程と、 前記第１及び第２の被覆形成工程によって所定の被覆形
   成処理された前記条材の露出金属部分をエッチング加工
   で除去して所要の形状を形成するエッチング加工工程と
   を有し、 しかも、前記レジストマスクパターン形成工程において
   は、着脱自在とした前記ガラスマスクプレートと前記条
   材との位置決めは、前記ガラスマスクプレートの保持部
   に備えたパイロットピンと前記条材に形成されたパイロ
   ット孔とを用いて機械的に行うことを特徴とするリード
   フレームの製造方法。
2. 【請求項２】 前記条材の搬送途中位置に基準ピンを備
   えた仮位置決め部を備えると共に、該仮位置決め部の前
   後にテンション付勢部を備え、該仮位置決め部の前記基
   準ピンを基準に、前記条材を送り方向及びその逆方向に
   所定のテンションを付勢した状態で、前記レジストマス
   クパターン形成工程の前記ガラスマスクプレートと前記
   条材との機械的位置決めが行われる請求項１記載のリー
   ドフレームの製造方法。
3. 【請求項３】 前記基準ピンは、前記パイロットピン径
   より小さなピン径で構成され、前記条材の位置補正範囲
   の自由度が確保されている請求項２記載のリードフレー
   ムの製造方法。