JPH05152480A - リードフレームの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 条材とガラスマスクパターンとの位置決めを
容易に、且つ、高精度に行い、プレス加工で形成された
所要の形状位置とエッチング加工で形成された所要の形
状位置の接続部分の位置ずれをなくし、形状位置の接続
精度を向上させ、生産性の高い、高品質のリードフレー
ムを製造する方法を提供する。 【構成】 金属帯状材１０上に所要の形状を備えた単体
のリードフレームを連接した条材２０を形成する際に、
外枠１４を含むアウターリード１２等の形状をプレス加
工で形成する工程と、前記プレス加工で形成された残り
の領域部分の所要形状をエッチング加工で形成するエッ
チング工程とを有するリードフレームの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に用いるリ
ードフレームの製造方法に係り、詳細にはプレス加工と
エッチング加工の技術とを組み合わせてリードフレーム
の条材を形成する方法であって、インナーリード及び素
子搭載部のダムバーで囲まれた領域の形状をエッチング
で形成する際に、予めプレス加工で形成された位置決め
用のパイロットピンを嵌合して機械的に位置決めを行
い、プレス加工で形成された所要の形状位置とエッチン
グ加工で形成された所要の形状の接続位置ずれを防止し
た多ピン系のリードフレームの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のリードフレームの製造方
法としては、先に出願人が提案した特開昭６２−１１４
２５４号公報に記載のものがある。この発明は図４に示
すように、インナーリード７０に対応して配列されたア
ウターリード７１と、該アウターリード７１を相互に連
結保持する外枠のサイドレール７２及び該サイドレール
７２に配列された所要数の位置決めパイロット孔７３等
の所要の形状加工をプレス加工で形成した後、全面に液
状のフォトレジストを塗布してフォトレジスト膜を形成
し、素子搭載パッド７４と該素子搭載パッド７４の周囲
に放射状に配置したインナーリード７１、サポートフレ
ーム７５など、即ち、前記インナーリード７０を相互に
連結保持するダムバー７６〜７９で囲まれた領域部分
（図の斜線部分）８０に所要形状のレジストマスクパタ
ーンを形成し、露出金属部のエッチング加工を行ってリ
ードフレームの所要の形状を形成する方法が提案されて
いる。なお、図において８１は貫通孔を示す。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この方法によれば、前
記プレス加工で形成された条材の全面を液状のフォトレ
ジストを塗布してフォトレジスト膜を形成するため、前
記位置決めパイロット孔７３も被覆され、前記条材とガ
ラスマスクパターンの位置決めが不安定で、プレス加工
で形成された所要の形状位置とエッチング加工で形成さ
れた所要の形状位置の接続部分の位置ずれを生じるとい
う問題点があった。これを解消するため、前記条材の全
面をフォトレジスト膜でマスキングした後、前記位置決
めパイロット孔周辺のフォトレジスト膜を剥離除去する
か、前記位置決めパイロット孔周辺をマスキングしてフ
ォトレジスト膜を形成した後、該フォトレジスト膜を除
去する作業工程が必要であった。前記位置決めパイロッ
ト孔周辺のフォトレジスト膜を除去する余分な作業を必
要とし、フォトレジスト膜の形成工程が複雑となり作業
性を低下させ、コストの上昇やフォトレジスト膜の損傷
を生じ、生産性を低下させるなどの問題があった。他の
方法として、高精度な位置決め性能を有する間欠搬送装
置を用いるか、形成されたレジストマスクパターンの一
部をカメラで読み取り、送り量を補正して位置決めする
方法があるが高価な位置決め設備を必要とする問題があ
った。本発明の目的とするところは、前記問題点を解消
して前記条材とガラスマスクパターンとの位置決めを容
易に、且つ、高精度に行い、プレス加工で形成された所
要の形状位置とエッチング加工で形成された所要の形状
位置の接続部分の位置ずれをなくし、形状位置の接続精
度を向上させ、生産性の高い、高品質のリードフレーム
を製造する方法を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する請求
項１記載のリードフレームの製造方法は、金属帯状材上
に所要の形状を備えた単体のリードフレームを連接した
条材を形成する際に、外枠を含むアウターリード等の形
状をプレス加工で形成する工程と、前記プレス加工で形
成された残りの領域部分の所要形状をエッチング加工で
形成するエッチング工程とを有するリードフレームの製
造方法において、前記金属帯状材に、アウターリード、
これを支持する内枠及び位置決めパイロット孔等を備え
た外枠を有する条材を形成するプレス加工の工程と、前
記プレス加工の工程で形成された前記条材の前記外枠部
分を除く、少なくともダムバーで囲まれた領域の表裏面
をフォトレジストのドライフイルムで被覆する第１の被
覆形成工程と、前記第１の被覆形成工程で形成されたド
ライフイルムの表裏面にインナーリード及び素子搭載部
の所要の形状を形成した上下一対のガラスマスクプレー
トと、前記条材とを機械的に位置決め固定して、前記所
要の形状を焼付け、更に現像して除去部分の金属面を露
出させた所要の形状のレジストマスクを形成するレジス
トマスクパターン形成の工程と、前記ドライフイルムの
被覆領域外の未被覆部分に液状レジストを塗布する第２
の被覆形成工程と、前記第１及び第２の被覆形成工程に
よって所定の被覆形成処理された前記条材の露出金属部
分をエッチング加工で除去して所要の形状を形成するエ
ッチング加工の工程とを有して構成される。請求項２記
載のリードフレームの製造方法は、請求項１記載記載の
第１の被覆形成工程において、前記レジストマスクパタ
ーン形成工程において、着脱自在とした前記ガラスマス
クプレートの保持部と、前記条材との位置決めは、前記
保持部に備えたパイロットピンと前記条材に備えたパイ
ロット孔とを用いて機械的に行われるようにして構成さ
れている。請求項３記載のリードフレームの製造方法
は、請求項１記載の方法において、条材の搬送途中位置
に基準ピンを備えた仮位置決め部を備えると共に、該仮
位置決め部の前後にテンション付勢部を備え、該仮位置
決め部の前記基準ピンを基準に、前記条材を送り方向及
びその逆方向に所定のテッションを付勢している。そし
て、請求項４記載のリードフレームの製造方法は、請求
項３記載の方法において、更に基準ピンは、前記パイロ
ット径より小さなピン径で構成され、前記条材の位置補
正範囲の自由度が確保されるようにしている。

【０００５】

【作用】請求項１〜４記載のリードフレームの製造方法
においては、プレス工程で形成された条材の被覆にフォ
トレジストのテープ状のドライフイルムを用いているか
ら、必要な部分を残してフォトレジスト膜を形成するこ
とができる。前記レジストマスクプレートの保持部が着
脱自在となっているので、エッチング部分のマスタパタ
ーンの変更が可能である。特に、請求項２記載のリード
フレームの製造方法においては、第１の被覆形成工程で
前記プレス加工で形成された条材のパイロット孔（基準
孔）が確保されているから、前記条材と前記ガラスマス
クプレートとの高精度の位置合わせがパイロットピンで
機械的に且つ容易にできる作用を有する。請求項３記載
のリードフレームの製造方法においては、位置決め部の
基準ピンを基準に前記条材に送り方向及びその逆方向に
所定のテンションを付勢しているから、条材の自重によ
る撓みが少なく、ライン全体のテンション付勢の付加力
が少なく、従って、搬送寸法が正確になり、位置決め精
度が向上する。請求項４記載のリードフレームの製造方
法においては、位置決め部の基準ピンで条材の仮位置決
めしスプリングによるテンション付加を行っているから
レジストマスクプレート保持部に備えた位置決めパイロ
ットピンと前記条材のパイロット孔で前記条材と前記ガ
ラスマスクプレートとの位置決め補正を行うことも可能
となり、これによって位置決めの損傷が無くなり高精度
な位置合わせが可能となる。

【０００６】

【実施例】続いて、図面を参照しつつ、本発明を具体化
した一実施例について説明し、本発明の理解に供する。
図１は本発明の一実施例に係るリードフレームの製造方
法を示す側面図、図２（ａ）〜（ｄ）は同製造方法のは
概略工程図、図３（ａ）〜（ｆ）は同製造方法の各工程
の断面図を示す。図２（ａ）、図３（ａ）に示すように
金属帯状材（Ｎｉ−Ｆｅ合金）上に、パンチ及びダイを
適切な工程順序で配列した順送り金型装置を用いて、該
金属帯状材を所定量間欠搬送し、リードフレームの形状
の内、エッチング加工領域１１を除くアウターリード１
２、パイロット孔１３を適切な位置に配列した外枠（サ
イドレール）１４、スリット１５を有する内枠１６及び
貫通孔１７等の所要形状を打抜き、帯状に形成された中
間工程のリードフレームを形成する。なお、図３（ａ）
における４８は打ち抜き部を示す。

【０００７】次に、図２（ｂ）、図３（ｂ）に示すよう
に、前記中間工程のリードフレームの帯状材のパイロッ
ト孔１３を含む外枠１４の一部を除いた領域１８にフォ
トレジストのドライフイルム１９を粘着して第１の被覆
層を備えた条材２０を形成する（第１の被覆工程）。

【０００８】前記第１の被覆工程で形成した前記条材２
０を図１に示すようにバックテンション付勢部２１と、
第１搬送部２２と、露光装置２３に着脱自在としたガラ
スマスクパターン保持装置２４、２９と、仮位置決め部
２５と、第２搬送部２６とを通し、第２搬送部２６の上
流のフロントテンション付勢部２７に前記条材２０を装
着して、仮位置決め部２５の基準ピン２８を前記条材の
パイロット孔１３に挿入し、これを基準に前記条材２０
の前後方向に、テンションを付勢する。

【０００９】そして、前記ガラスマスクパターン保持装
置２４と下部のガラスマスクパターン保持装置２９に備
えた位置決めピン３０を前記条材２０のパイロット孔１
３に挿入して、該条材２０を位置決めすると共に、前記
保持装置２４、２９に備えた上下一対のマスクプレート
３１、３２で前記条材２０を挟持固定した後、前記マス
クプレート３１、３２上に形成された所定形状のマスク
パターンを前記条材２０の前記ドライフイルム１９上に
露光して図２（ｃ）、図３（ｃ）に示すように所要形状
のフォトレジストマスクパターンを前記条材２０のドラ
イフイルム１９の表裏面に焼付形成する。なお、図３
（ｃ）における１９ａは露光部分を示す。

【００１０】次に、第１搬送部２２のグリッパー機構３
３と、第２搬送部２６のグリッパー機構３４とで前記条
材２０を挟持した後、前記保持装置２４、２９の前記マ
スクプレート３１、３２の前記条材２０の挟持を解除す
ると共に、前記仮位置決め部２５の基準ピン２８の挿入
及び前記条材２０のテンション付勢を解除する。

【００１１】そして、前記第１搬送部２２のステッピン
グモーターの駆動機構３５に直結したボールネジ３６を
駆動し、該ボールネジ３６に螺合した第１搬送部２２
と、これと連結バー３７を介して一体化した第２搬送部
２６とで該条材２０を所定量間欠搬送する。この後、前
記仮位置決め部２５の基準ピン２８を該条材２０のパイ
ロット孔１３に挿入し、次に前記バックテンション付勢
部２１とフロントテンション付勢部２７とを作動させ
て、該条材２０を挟持すると共に、前記第１搬送部２２
と、前記第２搬送部２６の挟圧を解除してこれを初期位
置に復帰させ、前記バックテンション付勢部２１とフロ
ントテンション付勢部２７のシリンダー３８、３９を作
動して、前記仮位置決め部２５の前後にテンションを付
勢する。なお、図１において３８ａ、３９ａはテンショ
ン付勢用のスプリングを示す。

【００１２】以後は前記工程を繰り返して、図２（ｃ）
に示すようにインナーリード４０、サポートリード４
１、素子搭載部４２等が連続配列された所要形状のフォ
トレジストマスク４３が該条材２０のドライフイルム１
９の表面にに形成される。そして、前記ドライフイルム
１９に現像及び乾燥の処理を行った後、図３（ｄ）に示
すように、該条材２０のドライフイルム１９の領域外の
基材露出領域を液状レジストで被覆して第２の被覆層
（レジスト膜４３ａ）を形成し、図３（ｅ）に示すよう
に、エッチング加工でフォトレジストマスクパターンの
露出部を除去する。

【００１３】更に、前記マスキング部分を除去すれば、
図２（ｄ）、図３（ｆ）に示すようにプレス加工で形成
された領域と、ダムバー４４〜４７で囲まれたエッチン
グ加工された領域とからなるリードフレームが得られ
る。ここで、図３（ｅ）、（ｆ）において、４８は打抜
き部分、４９はエッチング加工部分を示し、図２（ｃ）
において５０はレジストパターンを示す。

【００１４】なお、以上の実施例においてはインナーリ
ード先端部をエッチングで形成するようにしているが、
インナーリード先端部が繋がるように連結片を残してエ
ッチング加工した後、該連結片をプレス加工で除去して
も良い。また、リードフレームの所要部分にめっきの処
理が必要な場合には、めっきは前記連結部の除去の前後
いずれでも良い。

【００１５】

【発明の効果】請求項１〜４記載のリードフレームの製
造方法においては、プレス工程で形成された条材の被覆
にフォトレジストのテープ状のドライフイルムを用いて
いるから、必要な部分を残してフォトレジスト膜を形成
することができ、従来の方法で用いた液状フォトレジス
トのように被覆した後に位置決め孔やサイドレールの側
面のフォトレジスト膜を除去してレジストマスクを形成
する必要がない。前記レジストマスクプレートの保持部
が着脱自在となっているので、エッチング部分のマスタ
パターンの変更に容易に対応できる。特に、請求項２記
載のリードフレームの製造方法においては、第１の被覆
形成工程で前記プレス加工で形成された条材のパイロッ
ト孔（基準孔）が確保されているから、パイロットピン
で機械的に前記条材と前記ガラスマスクプレートとの高
精度の位置合わせがパイロットピンで機械的に且つ容易
にできる。請求項３記載のリードフレームの製造方法に
おいては、位置決め部の基準ピンを基準に前記条材に送
り方向及びその逆方向に所定のテンションを付勢してい
るから、従来の方法に比べ条材の自重による撓みが少な
く、ライン全体のテンションの付勢の付加力が少なくて
すみ、従って、搬送寸法が正確になり、位置決め精度が
向上する。請求項４記載のリードフレームの製造方法に
おいては、位置決め部の基準ピンで条材の仮位置決めを
するから、レジストマスクプレート保持部に備えた位置
決めパイロットと条材のパイロット孔とで前記条材と前
記ガラスマスクプレートの位置決めの補正を行うことも
可能となり、これによって位置決め孔の損傷が無くなり
高精度な位置合わせが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るリードフレームの製造
方法を示す側面図である。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は同製造方法のは概略工程図で
ある。

【図３】（ａ）〜（ｆ）は同製造方法の各工程の断面図
を示す。

【図４】従来例に係るリードフレームの平面図である。

【符号の説明】

１０ 金属帯状材 １１ エッチング加工領域 １２ アウターリード １３ パイロット孔 １４ 外枠 １５ スリット １６ 内枠 １７ 貫通孔 １８ 領域 １９ ドライフイルム ２０ 条材 ２１ バックテンション付勢部 ２２ 第１搬送部 ２３ 露光装置 ２４ ガラスマスクパターン保持装置 ２５ 仮位置決め部 ２６ 第２搬送部 ２７ フロントテンション付勢部 ２８ 基準ピン ２９ ガラスマスクパターン保持装置 ３０ 位置決めピン ３１ マスクプレート ３２ マスクプレート ３３ グリッパー機構 ３４ グリッパー機構 ３５ 駆動機構 ３６ ボールネジ ３７ 連結バー ３８ シリンダー ３９ シリンダー ４０ インナーリード ４１ サポートリード ４２ 素子搭載部 ４３ フォトレジストマスク ４３ａ レジスト膜 ４４ ダムバー ４５ ダムバー ４６ ダムバー ４７ ダムバー ４８ 打抜き部分 ４９ エッチング加工部分 ５０ レジストパターン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属帯状材上に所要の形状を備えた単体
   のリードフレームを連接した条材を形成する際に、外枠
   を含むアウターリード等の形状をプレス加工で形成する
   工程と、前記プレス加工で形成された残りの領域部分の
   所要形状をエッチング加工で形成するエッチング工程と
   を有するリードフレームの製造方法において、 前記金属帯状材に、アウターリード、これを支持する内
   枠及び位置決めパイロット孔等を備えた外枠を有する条
   材を形成するプレス加工の工程と、 前記プレス加工の工程で形成された前記条材の前記外枠
   部分を除く、少なくともダムバーで囲まれた領域の表裏
   面をフォトレジストのドライフイルムで被覆する第１の
   被覆形成工程と、 前記第１の被覆形成工程で形成されたドライフイルムの
   表裏面にインナーリード及び素子搭載部の所要の形状を
   形成した上下一対のガラスマスクプレートと、前記条材
   とを機械的に位置決め固定して、前記所要の形状を焼付
   け、更に現像して除去部分の金属面を露出させた所要の
   形状のレジストマスクを形成するレジストマスクパター
   ン形成の工程と、 前記ドライフイルムの被覆領域外の未被覆部分に液状レ
   ジストを塗布する第２の被覆形成工程と、 前記第１及び第２の被覆形成工程によって所定の被覆形
   成処理された前記条材の露出金属部分をエッチング加工
   で除去して所要の形状を形成するエッチング加工の工程
   とを有することを特徴とするリードフレームの製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記レジストマスクパターン形成工程に
   おいて、着脱自在とした前記ガラスマスクプレートの保
   持部と、前記条材との位置決めは、前記保持部に備えた
   パイロットピンと前記条材に備えたパイロット孔とを用
   いて機械的に行われる請求項１記載のリードフレームの
   製造方法。
3. 【請求項３】 前記条材の搬送途中位置に基準ピンを備
   えた仮位置決め部を備えると共に、該仮位置決め部の前
   後にテンション付勢部を備え、該仮位置決め部の前記基
   準ピンを基準に、前記条材を送り方向及びその逆方向に
   所定のテンションを付勢している請求項１記載のリード
   フレームの製造方法。
4. 【請求項４】 前記基準ピンは、前記パイロット径より
   小さなピン径で構成され、前記条材の位置補正範囲の自
   由度を確保されている請求項３記載のリードフレームの
   製造方法。