JPS595206A - 耐熱回折格子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 近年２回折格子には特殊な場合を除き、レプリカグレー
ティングが多く用いらするが、こ１は格子を形成してい
る部分が樹脂であるため、熱によって変形しやすく、耐
熱性の点でその使用範囲には制約があった。たとえば９
通常の分光器に用いらｌる場合には問題ないが、シンク
ロトロンからの強力な放射光を用いた分光研究や最近急
速に実用化に向って進展しつつある光通信の分野で用い
られる回折格子としては耐熱性の点で実用にはと九どな
らなかった。

この発明は、耐熱性にすぐれ、光学的に安定な酸化けい
素（Ｓｉ０２）の薄膜に格子を形成するとともに酸化ケ
イ素膜とこれを保持する樹脂層及び基板との間に適当な
厚みの熱線反射膜を介設して。

基板への熱の伝達を抑え耐熱性を改善した回折格子を提
供することを目的とするものである。

以下、第１図の公知のレプリカグレーティングと対比し
ながら第２図及び第３図に示されたこの発明による回折
格子について説明する。

第１図はネガマスターグレーティング１からマスターグ
レーティングと同じ特性の回折格子を複製する通常のレ
プリカグレーティングの複製過程とその構成を示すもの
で、これはネガマスターグレーティングｌにシリコンオ
イルなどの離型剤４をコーティングしたのら、たとえば
アルミニウムの反射膜３を蒸着し、アクリル樹脂などの
樹脂７ＩＩ５を介してガラス基板２で受け、しかるのら
、ネガマスターグレーティング１を分離してなる構成で
あるのに対し、第２図のこの発明による回折格子は、ま
ず離型剤４をコーティングし１反射膜３を蒸着したのら
、酸化ケイ素（ＳｉＯｚ）膜６を形成し。

次いで適当な厚みの酸化チタンなどの熱線反射膜７を蒸
着し、これを樹脂＄５を介して基板２に保持するととも
に、ネガマスターグレーティング１を分離してなる構成
であ−で、第１図の反射膜３を蒸着したあとすぐζζ樹
脂層５を介して受ける構成に対して大幅に熱特性が改善
されたものである。

次に第３図のこの発明によ乙回折格子は、マスターグレ
ーティングからネガマスターグレーティング１を作るの
に、一般に行オ］れている樹脂によるのではなく、＋を
鋳法によってニッケルの比較的厚い層に形成した耐熱ネ
ガマスターグレーティハング１′に、同様に離型剤４を
コーティングし１反射膜３を蒸着したのち、酸化ケイ素
のアルコール溶液（塗布拡散剤）を塗布して、蒸着によ
るよりも更に厚い酸化ケイ素膜６をネガマスターグレー
ティング１′に形成する。すなわち、在来のネガマスタ
ーグレーティングでは塗布拡散剤を蒸散させることに必
要な熱に耐え得なかったが、ニッケル上にネガマスター
グレーティングを形成することによりこれが可能となる
。しかして、熱線反射膜７を蒸着し、これを樹脂層５を
介して基板２に保持するとともにネガマスターグレーテ
ィング１′を分離してなる構成である。

以上のようにこの発明による回折格子は、耐熱性が大幅
に改善され、あらゆる分野で有効に用いることができる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のレプリカグレーティングの複製過程とそ
の構成を示す縦断面図、第２図及び第３図はこの発明に
よる耐熱回折格子の複製過程とその構成を示す縦断面図
である。 図中、　　１．ｉはネガマスターグレーティング。 ２は基板、３は反射膜、４は離型剤、５は樹脂層。 ６．６′は酸化ケイ素膜、７は熱線反射膜である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　マスターグレーティングから複製さまたネガマス
   ターグレーテイング面に離型剤をコーティングし１反射
   膜を蒸着したのら、酸化ケイ素膜を形成し９次いで適当
   な厚みの熟練反射膜を蒸着して、こ１．を樹脂層を介し
   て基板で受けるとともに、ネガマスターグレーティング
   から分離してなる。マスターグレーティングと同じ特性
   を有する耐熱回折格子。