JPS595206A - 耐熱回折格子 - Google Patents
耐熱回折格子Info
- Publication number
- JPS595206A JPS595206A JP11429082A JP11429082A JPS595206A JP S595206 A JPS595206 A JP S595206A JP 11429082 A JP11429082 A JP 11429082A JP 11429082 A JP11429082 A JP 11429082A JP S595206 A JPS595206 A JP S595206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- master grating
- film
- diffraction grating
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
近年2回折格子には特殊な場合を除き、レプリカグレー
ティングが多く用いらするが、こ1は格子を形成してい
る部分が樹脂であるため、熱によって変形しやすく、耐
熱性の点でその使用範囲には制約があった。たとえば9
通常の分光器に用いらlる場合には問題ないが、シンク
ロトロンからの強力な放射光を用いた分光研究や最近急
速に実用化に向って進展しつつある光通信の分野で用い
られる回折格子としては耐熱性の点で実用にはと九どな
らなかった。
ティングが多く用いらするが、こ1は格子を形成してい
る部分が樹脂であるため、熱によって変形しやすく、耐
熱性の点でその使用範囲には制約があった。たとえば9
通常の分光器に用いらlる場合には問題ないが、シンク
ロトロンからの強力な放射光を用いた分光研究や最近急
速に実用化に向って進展しつつある光通信の分野で用い
られる回折格子としては耐熱性の点で実用にはと九どな
らなかった。
この発明は、耐熱性にすぐれ、光学的に安定な酸化けい
素(Si02)の薄膜に格子を形成するとともに酸化ケ
イ素膜とこれを保持する樹脂層及び基板との間に適当な
厚みの熱線反射膜を介設して。
素(Si02)の薄膜に格子を形成するとともに酸化ケ
イ素膜とこれを保持する樹脂層及び基板との間に適当な
厚みの熱線反射膜を介設して。
基板への熱の伝達を抑え耐熱性を改善した回折格子を提
供することを目的とするものである。
供することを目的とするものである。
以下、第1図の公知のレプリカグレーティングと対比し
ながら第2図及び第3図に示されたこの発明による回折
格子について説明する。
ながら第2図及び第3図に示されたこの発明による回折
格子について説明する。
第1図はネガマスターグレーティング1からマスターグ
レーティングと同じ特性の回折格子を複製する通常のレ
プリカグレーティングの複製過程とその構成を示すもの
で、これはネガマスターグレーティングlにシリコンオ
イルなどの離型剤4をコーティングしたのら、たとえば
アルミニウムの反射膜3を蒸着し、アクリル樹脂などの
樹脂7II5を介してガラス基板2で受け、しかるのら
、ネガマスターグレーティング1を分離してなる構成で
あるのに対し、第2図のこの発明による回折格子は、ま
ず離型剤4をコーティングし1反射膜3を蒸着したのら
、酸化ケイ素(SiOz)膜6を形成し。
レーティングと同じ特性の回折格子を複製する通常のレ
プリカグレーティングの複製過程とその構成を示すもの
で、これはネガマスターグレーティングlにシリコンオ
イルなどの離型剤4をコーティングしたのら、たとえば
アルミニウムの反射膜3を蒸着し、アクリル樹脂などの
樹脂7II5を介してガラス基板2で受け、しかるのら
、ネガマスターグレーティング1を分離してなる構成で
あるのに対し、第2図のこの発明による回折格子は、ま
ず離型剤4をコーティングし1反射膜3を蒸着したのら
、酸化ケイ素(SiOz)膜6を形成し。
次いで適当な厚みの酸化チタンなどの熱線反射膜7を蒸
着し、これを樹脂$5を介して基板2に保持するととも
に、ネガマスターグレーティング1を分離してなる構成
であ−で、第1図の反射膜3を蒸着したあとすぐζζ樹
脂層5を介して受ける構成に対して大幅に熱特性が改善
されたものである。
着し、これを樹脂$5を介して基板2に保持するととも
に、ネガマスターグレーティング1を分離してなる構成
であ−で、第1図の反射膜3を蒸着したあとすぐζζ樹
脂層5を介して受ける構成に対して大幅に熱特性が改善
されたものである。
次に第3図のこの発明によ乙回折格子は、マスターグレ
ーティングからネガマスターグレーティング1を作るの
に、一般に行オ]れている樹脂によるのではなく、+を
鋳法によってニッケルの比較的厚い層に形成した耐熱ネ
ガマスターグレーティハング1′に、同様に離型剤4を
コーティングし1反射膜3を蒸着したのち、酸化ケイ素
のアルコール溶液(塗布拡散剤)を塗布して、蒸着によ
るよりも更に厚い酸化ケイ素膜6をネガマスターグレー
ティング1′に形成する。すなわち、在来のネガマスタ
ーグレーティングでは塗布拡散剤を蒸散させることに必
要な熱に耐え得なかったが、ニッケル上にネガマスター
グレーティングを形成することによりこれが可能となる
。しかして、熱線反射膜7を蒸着し、これを樹脂層5を
介して基板2に保持するとともにネガマスターグレーテ
ィング1′を分離してなる構成である。
ーティングからネガマスターグレーティング1を作るの
に、一般に行オ]れている樹脂によるのではなく、+を
鋳法によってニッケルの比較的厚い層に形成した耐熱ネ
ガマスターグレーティハング1′に、同様に離型剤4を
コーティングし1反射膜3を蒸着したのち、酸化ケイ素
のアルコール溶液(塗布拡散剤)を塗布して、蒸着によ
るよりも更に厚い酸化ケイ素膜6をネガマスターグレー
ティング1′に形成する。すなわち、在来のネガマスタ
ーグレーティングでは塗布拡散剤を蒸散させることに必
要な熱に耐え得なかったが、ニッケル上にネガマスター
グレーティングを形成することによりこれが可能となる
。しかして、熱線反射膜7を蒸着し、これを樹脂層5を
介して基板2に保持するとともにネガマスターグレーテ
ィング1′を分離してなる構成である。
以上のようにこの発明による回折格子は、耐熱性が大幅
に改善され、あらゆる分野で有効に用いることができる
ものである。
に改善され、あらゆる分野で有効に用いることができる
ものである。
第1図は従来のレプリカグレーティングの複製過程とそ
の構成を示す縦断面図、第2図及び第3図はこの発明に
よる耐熱回折格子の複製過程とその構成を示す縦断面図
である。 図中、 1.iはネガマスターグレーティング。 2は基板、3は反射膜、4は離型剤、5は樹脂層。 6.6′は酸化ケイ素膜、7は熱線反射膜である。
の構成を示す縦断面図、第2図及び第3図はこの発明に
よる耐熱回折格子の複製過程とその構成を示す縦断面図
である。 図中、 1.iはネガマスターグレーティング。 2は基板、3は反射膜、4は離型剤、5は樹脂層。 6.6′は酸化ケイ素膜、7は熱線反射膜である。
Claims (1)
- 1、 マスターグレーティングから複製さまたネガマス
ターグレーテイング面に離型剤をコーティングし1反射
膜を蒸着したのら、酸化ケイ素膜を形成し9次いで適当
な厚みの熟練反射膜を蒸着して、こ1.を樹脂層を介し
て基板で受けるとともに、ネガマスターグレーティング
から分離してなる。マスターグレーティングと同じ特性
を有する耐熱回折格子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11429082A JPS595206A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 耐熱回折格子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11429082A JPS595206A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 耐熱回折格子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS595206A true JPS595206A (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=14634145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11429082A Pending JPS595206A (ja) | 1982-06-30 | 1982-06-30 | 耐熱回折格子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS595206A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6025604A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-08 | Mitsubishi Metal Corp | スロ−アウエイチツプ |
-
1982
- 1982-06-30 JP JP11429082A patent/JPS595206A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6025604A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-08 | Mitsubishi Metal Corp | スロ−アウエイチツプ |
JPH0132002B2 (ja) * | 1983-07-19 | 1989-06-29 | Mitsubishi Metal Corp |
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