JPS5944568B2 - 曲率測定装置のセツト方法 - Google Patents
曲率測定装置のセツト方法Info
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- JPS5944568B2 JPS5944568B2 JP50095462A JP9546275A JPS5944568B2 JP S5944568 B2 JPS5944568 B2 JP S5944568B2 JP 50095462 A JP50095462 A JP 50095462A JP 9546275 A JP9546275 A JP 9546275A JP S5944568 B2 JPS5944568 B2 JP S5944568B2
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- Japan
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- reference model
- stylus
- axis
- pick
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
- G01B7/293—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures for measuring radius of curvature
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は曲率測定方法、特に、被検体を子ーブル上に
載置し被検体とピックアップとを基準軸に対して互いに
相対的に回転可能にしピックアップにより被検体をトラ
バース（ ｔｒａｖｅｒｓｅ）するようにした曲面測定
装置又は面形状測定装置のようなスピンドル型触針装置
に適した測定装置のセット方法に関する。
載置し被検体とピックアップとを基準軸に対して互いに
相対的に回転可能にしピックアップにより被検体をトラ
バース（ ｔｒａｖｅｒｓｅ）するようにした曲面測定
装置又は面形状測定装置のようなスピンドル型触針装置
に適した測定装置のセット方法に関する。
前述の装置においては、テーブルをベッドに固定してピ
ックアップを基準軸に対して回転可能にするか又はピッ
クアップを固定してテーブルを回転可能にするようにな
つている。
ックアップを基準軸に対して回転可能にするか又はピッ
クアップを固定してテーブルを回転可能にするようにな
つている。
またこの種の装置では、作業テーブル上に直接的に移動
可能なスライドを設け、このスライドの位置を所定の表
示機構により表示可能とし基準位置に対するその移動を
測定し得るようにすることが知られている。作業テーブ
ルに担持されたこの種のスライドを有する曲面測定装置
又は面形状測定装置は以下ゞ前述した装置７という。比
較力法により被検体の曲率を高い精度で測定するために
は、所定温度状態で既知の曲率を有する基準モデルを使
用する必要がある。
可能なスライドを設け、このスライドの位置を所定の表
示機構により表示可能とし基準位置に対するその移動を
測定し得るようにすることが知られている。作業テーブ
ルに担持されたこの種のスライドを有する曲面測定装置
又は面形状測定装置は以下ゞ前述した装置７という。比
較力法により被検体の曲率を高い精度で測定するために
は、所定温度状態で既知の曲率を有する基準モデルを使
用する必要がある。
これが必要な理由は、測定装置のピツクアツプがごく限
られた範囲でしか動き得ずこのため終局的に被検体の曲
率を知るにはピツクアツプの半径力向位置を所定の既知
の値にセツトしこの既知の値をピツクアツプの出力に加
える必要があるからである。このようにピツクアツプは
ごく限られた範囲でしか動き得ないから、種々の寸法の
被検体の曲率を測定することが必要な場合には、ピツク
アツプの全移動範囲より幾分小さい寸法で互いに異なる
広い範囲の複数の基準モデルを予め利用する必要があつ
た。この種の曲面測定装置を頻繁に用いる１つの用途と
しては、製造工程を制御しながら製品をごく小さい誤差
で製造するため製造中に被検体を検査する場合がある。
られた範囲でしか動き得ずこのため終局的に被検体の曲
率を知るにはピツクアツプの半径力向位置を所定の既知
の値にセツトしこの既知の値をピツクアツプの出力に加
える必要があるからである。このようにピツクアツプは
ごく限られた範囲でしか動き得ないから、種々の寸法の
被検体の曲率を測定することが必要な場合には、ピツク
アツプの全移動範囲より幾分小さい寸法で互いに異なる
広い範囲の複数の基準モデルを予め利用する必要があつ
た。この種の曲面測定装置を頻繁に用いる１つの用途と
しては、製造工程を制御しながら製品をごく小さい誤差
で製造するため製造中に被検体を検査する場合がある。
このような高い精度の製造技術では、測定装置はしばし
ば単一の基準モデルを使用しながら長時間にわたつて作
動され、多数の基準モデルの必要はそれほど切実ではな
い。しかしより一般的な用途においては、多数の基準モ
デルを用意することは極めて面倒なことであり、近似寸
法の基準モデルを要せずにいかなる寸法の被検体でもそ
の曲率を測定し得るようにするためには基準軸からのピ
ツクアツプの半径力向距離を調整する方法が必要とされ
る。この力法は単にピツクアツプ用支持体の目盛尺を用
いるだけでは達成できない。何故なら測定精度は１００
０分の２インチ以下だからである。この発明は上記従来
の事情に鑑みなされたもので、その目的は単一の基準モ
デルを用いてピツクアツプを所定の半径力向位置にセツ
トすることのできる曲率測定装置のセツトカ法を提供す
ることにある。
ば単一の基準モデルを使用しながら長時間にわたつて作
動され、多数の基準モデルの必要はそれほど切実ではな
い。しかしより一般的な用途においては、多数の基準モ
デルを用意することは極めて面倒なことであり、近似寸
法の基準モデルを要せずにいかなる寸法の被検体でもそ
の曲率を測定し得るようにするためには基準軸からのピ
ツクアツプの半径力向距離を調整する方法が必要とされ
る。この力法は単にピツクアツプ用支持体の目盛尺を用
いるだけでは達成できない。何故なら測定精度は１００
０分の２インチ以下だからである。この発明は上記従来
の事情に鑑みなされたもので、その目的は単一の基準モ
デルを用いてピツクアツプを所定の半径力向位置にセツ
トすることのできる曲率測定装置のセツトカ法を提供す
ることにある。
上記目的を達成するためこの発明のセツトカ法によれば
、Ｘ−Ｙ座標軸テーブル上に基準モデルを載置し基準モ
デルを基準軸に心合せする工程と、Ｘ−Ｙ座標軸テーブ
ルを調節して基準モデルをその心合せされた位置から基
準軸に対して所定の距離だけ半径力向へ移動させる工程
と、ピツクアツプの触針が基準モデルの表面に接触する
まで基準軸Ａ−Ａに対するピツクアツプ本体６の半径力
向位置を調節する工程と、回転テーブル２ａを回転させ
て基準モデル１６を基準軸Ａ−Ａに対して偏心して回転
させるとともに触針を基準モヂルの表面上を移動させピ
ツクアツプの出力信号の変換点を測定する工程と、を備
えている。
、Ｘ−Ｙ座標軸テーブル上に基準モデルを載置し基準モ
デルを基準軸に心合せする工程と、Ｘ−Ｙ座標軸テーブ
ルを調節して基準モデルをその心合せされた位置から基
準軸に対して所定の距離だけ半径力向へ移動させる工程
と、ピツクアツプの触針が基準モデルの表面に接触する
まで基準軸Ａ−Ａに対するピツクアツプ本体６の半径力
向位置を調節する工程と、回転テーブル２ａを回転させ
て基準モデル１６を基準軸Ａ−Ａに対して偏心して回転
させるとともに触針を基準モヂルの表面上を移動させピ
ツクアツプの出力信号の変換点を測定する工程と、を備
えている。
ここで、変換点とは、ピツクアツプの触針とＸ−Ｙ座標
軸テーブルとの相対的な移動により発生するピツクアツ
プの出力信号が増加状態から減少状態に変化する点、あ
るいは減少状態から増加状態へ変化する点を意味してい
る。例えばＸ−Ｙテーブル上に載置された円柱形状の基
準モデルの周面にピツクアツプの触針を接触させた状態
で、回転子−ブルを基準軸の回りで回転させて基準モデ
ルの周面を触針によりトラバースした場合を考える。基
準モヂルの中心軸が基準軸と一致していない場合、基準
モデルは偏心した状態で回転される。そのため、ピツク
アツプの触針は回転テーブルの回転にともなつて揺動さ
れる。したがつて、ピツクアツプの出力信号も順時変化
される。そして、出力信号の増加、減少が変化する点，
つまり出力信号がその最大値あるいは最小値を通過する
点を変換点として規定している。ここで、ピツクアツプ
の出力信号は、ピツタアツプの触針が基準モデルの周面
に接触している点と、基準軸とを結ぶ線分上を基準モデ
ルの中心が通過した際、変換点を示す。前述した型の装
置において、スライドの位置を表示するための手段はゲ
ージプロツク機構、スリツププロツク機構又はマイクロ
メータヘツド機構を含む公知の手段でよい。
軸テーブルとの相対的な移動により発生するピツクアツ
プの出力信号が増加状態から減少状態に変化する点、あ
るいは減少状態から増加状態へ変化する点を意味してい
る。例えばＸ−Ｙテーブル上に載置された円柱形状の基
準モデルの周面にピツクアツプの触針を接触させた状態
で、回転子−ブルを基準軸の回りで回転させて基準モデ
ルの周面を触針によりトラバースした場合を考える。基
準モヂルの中心軸が基準軸と一致していない場合、基準
モデルは偏心した状態で回転される。そのため、ピツク
アツプの触針は回転テーブルの回転にともなつて揺動さ
れる。したがつて、ピツクアツプの出力信号も順時変化
される。そして、出力信号の増加、減少が変化する点，
つまり出力信号がその最大値あるいは最小値を通過する
点を変換点として規定している。ここで、ピツクアツプ
の出力信号は、ピツタアツプの触針が基準モデルの周面
に接触している点と、基準軸とを結ぶ線分上を基準モデ
ルの中心が通過した際、変換点を示す。前述した型の装
置において、スライドの位置を表示するための手段はゲ
ージプロツク機構、スリツププロツク機構又はマイクロ
メータヘツド機構を含む公知の手段でよい。
又はインデツクススクリユ一をアナログ型若しくはデジ
タル型変位変換器に接続して使用してもよい。このよう
にピツクアツプを基準モデルに対して所定の位置にセツ
トすれば、基準モデルが基準軸に正確に心合せされ得る
という事実に基き半径力向距離を測定することが可能と
なる。
タル型変位変換器に接続して使用してもよい。このよう
にピツクアツプを基準モデルに対して所定の位置にセツ
トすれば、基準モデルが基準軸に正確に心合せされ得る
という事実に基き半径力向距離を測定することが可能と
なる。
ピツクアツプを正確に所定位置にセツトするために円柱
形状の基準モデルの曲面を使用した場合、ピツクアツプ
の半径方向距離は、Ｘ−Ｙテーブルの移動距離に基準モ
デルの半径を加えた値となる。また、この発明のセツト
方法によれば、基準軸に曲率中心を一致させた半円筒形
の基準モデルを使用しピツクアツプの触針をその周面に
接触させることによリピツクアツプを所定位置にセツト
することもできる。この場合ピツクアツプの触針は、前
記所定位置にて基準モデルに接触せしめられる前述の調
節を行なう前に、基準モデルの平面部に接触せしめられ
る。もし半円筒形基準モデルの曲率中心がその平面部上
にあれば、基準軸に対して心合せする際に基準モデルの
平面部に接触するピツクアツプの位置から前記所定位置
にて平面部に接触する位置までピツクアツプを動かすの
に必要な表示機構の総移動量はピツクアツプの、半径力
向への総移動量に相当する。前述した型の装置はピツク
アツプ出力をグラフ上に表示する手段と協同するのが好
ましい。
形状の基準モデルの曲面を使用した場合、ピツクアツプ
の半径方向距離は、Ｘ−Ｙテーブルの移動距離に基準モ
デルの半径を加えた値となる。また、この発明のセツト
方法によれば、基準軸に曲率中心を一致させた半円筒形
の基準モデルを使用しピツクアツプの触針をその周面に
接触させることによリピツクアツプを所定位置にセツト
することもできる。この場合ピツクアツプの触針は、前
記所定位置にて基準モデルに接触せしめられる前述の調
節を行なう前に、基準モデルの平面部に接触せしめられ
る。もし半円筒形基準モデルの曲率中心がその平面部上
にあれば、基準軸に対して心合せする際に基準モデルの
平面部に接触するピツクアツプの位置から前記所定位置
にて平面部に接触する位置までピツクアツプを動かすの
に必要な表示機構の総移動量はピツクアツプの、半径力
向への総移動量に相当する。前述した型の装置はピツク
アツプ出力をグラフ上に表示する手段と協同するのが好
ましい。
さらに、既知となつている基準曲率に従つて前述した型
の装置により被検体の実際平均曲率を測定する場合、ま
ず、前述したセツトカ法によりピツクアツプの出力信号
の値が基準曲率と一致するようにピツクアツプを位置決
めし、次に前記基準モデルの代りに被検体を設置する。
そして、被検体を基準軸に心合せした後ピツクアツプの
触針を被検体に接触させながら該被検体の周面をトラバ
ースし、トラバースを行ないながらピツクアツプの平均
出力信号値と前記変換点値との間の差を測定し被検体の
平均曲率を検知するものである。この場合、基準モデル
を正確に心合せする代りに比較的粗く心合せし、ピツク
アツプがこの比較的粗く心合せされた基準モデルをトラ
バースする際にコンピユータを用いてピツクアツプ出力
信号から最小２乗基準円の半径を算出するようにしても
よい。そしてこのデータは記録され、ピツクアツプの半
撃力向位置セツト時に作業テーブルの変位量に加算（テ
ーブルの変位力向によつては減算）される。この種の操
作を行なうのに適した回路は例えば英国特許出願第３６
７２５／７４号に記載されている。また変換点を測定す
るためピツクアツプ出力信号のグラフを視覚的に検査す
る代りに電気的センサ手段を用いてもよい。
の装置により被検体の実際平均曲率を測定する場合、ま
ず、前述したセツトカ法によりピツクアツプの出力信号
の値が基準曲率と一致するようにピツクアツプを位置決
めし、次に前記基準モデルの代りに被検体を設置する。
そして、被検体を基準軸に心合せした後ピツクアツプの
触針を被検体に接触させながら該被検体の周面をトラバ
ースし、トラバースを行ないながらピツクアツプの平均
出力信号値と前記変換点値との間の差を測定し被検体の
平均曲率を検知するものである。この場合、基準モデル
を正確に心合せする代りに比較的粗く心合せし、ピツク
アツプがこの比較的粗く心合せされた基準モデルをトラ
バースする際にコンピユータを用いてピツクアツプ出力
信号から最小２乗基準円の半径を算出するようにしても
よい。そしてこのデータは記録され、ピツクアツプの半
撃力向位置セツト時に作業テーブルの変位量に加算（テ
ーブルの変位力向によつては減算）される。この種の操
作を行なうのに適した回路は例えば英国特許出願第３６
７２５／７４号に記載されている。また変換点を測定す
るためピツクアツプ出力信号のグラフを視覚的に検査す
る代りに電気的センサ手段を用いてもよい。
この種の操作に適した回路も前記英国特許出願に記載さ
れている。以下図面を参照しながうこの発明の実施例に
ついて詳細に説明する。
れている。以下図面を参照しながうこの発明の実施例に
ついて詳細に説明する。
第１図に示す装置は曲率測定装置で、ベツド１に回転テ
ーブル２ａが設けられ、更に該テーブルにＸ−Ｙ座標軸
テーブル２ｂが設けられている。
ーブル２ａが設けられ、更に該テーブルにＸ−Ｙ座標軸
テーブル２ｂが設けられている。
テーブル２ｂは工作物（第１図の４又は第２図の５）を
固定してこれとともに動かすための図示しないクランプ
手段を備えている。回転テーブル２ａはこの装置の基準
軸である軸Ａ−Ａを中心に回転可能となつている。また
該テーブル２ａはノブ１４ａ及び１５ａにより基準軸Ａ
−Ａに対して互いに直交する力向に所定量だけ調節する
ことができる。Ｘ−Ｙ座標軸テーブル２ｂは相当量移動
可能であり、この移動は調節ノブ１４ｂ及び１５ｂの制
御を受けながら適切な連続型表示手段によつて測定する
ことができる。Ｘ−Ｙ座標軸テーブル２ｂの移動量は、
誤差±２μの高い精度で制御される。ベツド１には垂直
に延びたコラム３が設けられており、このコラムには、
コラムに沿つて、垂直方向、つまり矢印１３力向へ調節
可能なキヤリツジ１２が取付けられている。
固定してこれとともに動かすための図示しないクランプ
手段を備えている。回転テーブル２ａはこの装置の基準
軸である軸Ａ−Ａを中心に回転可能となつている。また
該テーブル２ａはノブ１４ａ及び１５ａにより基準軸Ａ
−Ａに対して互いに直交する力向に所定量だけ調節する
ことができる。Ｘ−Ｙ座標軸テーブル２ｂは相当量移動
可能であり、この移動は調節ノブ１４ｂ及び１５ｂの制
御を受けながら適切な連続型表示手段によつて測定する
ことができる。Ｘ−Ｙ座標軸テーブル２ｂの移動量は、
誤差±２μの高い精度で制御される。ベツド１には垂直
に延びたコラム３が設けられており、このコラムには、
コラムに沿つて、垂直方向、つまり矢印１３力向へ調節
可能なキヤリツジ１２が取付けられている。
キヤリツジ１２は、略水平に延びるピツクアツプ支持ア
ーム８を支持しており、この支持アームはノブ９によつ
て水平方向、つまり矢印１０方向に沿つて調節可能と成
つている。支持アーム８の自由端にはブラケツト７が取
付けられており、このブラケツトからピツクアツプが延
出している。このピツクアツプは、ブラケツト７に取付
けられたピツクアツプ本体６とピツクアツプ本体に第１
図において矢印１０力向に沿つて揺動可能に取付けられ
た触針１１とを有している。そして、ピツクアツプは、
ピツクアツプ本体６に対する触針１１の揺動位置に応じ
て出力信号を発生する。ブラケツト７はピツクアツプ６
が第１図のように水平に突出し得るように、又は第２図
のように垂直に突出し得るように２つの位置に調節する
ことができる。第１図の配置状態は円筒体の外周面を検
知するのに特に適し、また第２図の配置状態は中空円筒
体の内周面を検知するのに特に適している。この発明に
なる力法を実施する際、まず半円筒形の基準モデル１６
がＸ−Ｙ座標軸テーブル２ｂ上に設置されピツクアツプ
の触針１１が基準モデルの曲面に接触せしめられる。
ーム８を支持しており、この支持アームはノブ９によつ
て水平方向、つまり矢印１０方向に沿つて調節可能と成
つている。支持アーム８の自由端にはブラケツト７が取
付けられており、このブラケツトからピツクアツプが延
出している。このピツクアツプは、ブラケツト７に取付
けられたピツクアツプ本体６とピツクアツプ本体に第１
図において矢印１０力向に沿つて揺動可能に取付けられ
た触針１１とを有している。そして、ピツクアツプは、
ピツクアツプ本体６に対する触針１１の揺動位置に応じ
て出力信号を発生する。ブラケツト７はピツクアツプ６
が第１図のように水平に突出し得るように、又は第２図
のように垂直に突出し得るように２つの位置に調節する
ことができる。第１図の配置状態は円筒体の外周面を検
知するのに特に適し、また第２図の配置状態は中空円筒
体の内周面を検知するのに特に適している。この発明に
なる力法を実施する際、まず半円筒形の基準モデル１６
がＸ−Ｙ座標軸テーブル２ｂ上に設置されピツクアツプ
の触針１１が基準モデルの曲面に接触せしめられる。
次に、子一ブル２ａ，２ｂを基準軸Ａ−Ａを中心として
回転させ、ピツクアツプ６の触針によつて基準モデル１
６の曲面をトラバースすることにより、基準モデルの心
合せがなされる。つまり、上述したように、基準モデル
１６の中心軸が基準軸Ａ−Ａに対して偏心している場合
、ピツクアツプの出力信号は順次変化する。そこで、基
準モデル１６の心合せは、ピツクアツプの出力信号が一
定値となるか、または実用上支障のない程度に一定値に
近づくまで、ノブ１４ａおよび１５ａを調節して基準モ
デルとともに回転テーブル２ａの横方向の位置を調節す
ることによつて成される。ピツクアツプ出力信号が直線
グラフに図示される場合、この出力は直線を呈し、また
円グラフに図示される場合は、予めグラフ上に描かれて
いる複数の円の１つに対して同心的な完全な半円を呈す
る。基準モデル１６の中心軸が基準軸Ａ−Ａに合つた後
、第３図に示すように触針１１は基準モデル１６の曲面
に接触する初期位置から動かされる。また、基準モデル
１６はＸ−Ｙ座標軸回転テーブル２ｂのノブ１４ｂの動
作により装置の基準軸Ａ−Ａに対して半径力向に沿つて
所定の半径距離、例えばＲ，だけ直線的に動かされる。
半円筒形状の基準モデルを使用する場合、上記所定の半
径距離は被検体の対応する半径に設定される。Ｘ−Ｙテ
ーブル２ｂの初期位置および調節後の最終位置は、ノブ
１４ｂによつて制御される表示機構によつて記録される
。次に、ノブ９によつてピツクアツプの位置が調節され
、触針１１が基準モデル１６の平面に接触される。次い
で、テーブル２ａが一力向へ所定角度だけ回動され、ピ
ツクアツプの触針１１によつて基準モデル１６の平面が
ドラバースされる。
回転させ、ピツクアツプ６の触針によつて基準モデル１
６の曲面をトラバースすることにより、基準モデルの心
合せがなされる。つまり、上述したように、基準モデル
１６の中心軸が基準軸Ａ−Ａに対して偏心している場合
、ピツクアツプの出力信号は順次変化する。そこで、基
準モデル１６の心合せは、ピツクアツプの出力信号が一
定値となるか、または実用上支障のない程度に一定値に
近づくまで、ノブ１４ａおよび１５ａを調節して基準モ
デルとともに回転テーブル２ａの横方向の位置を調節す
ることによつて成される。ピツクアツプ出力信号が直線
グラフに図示される場合、この出力は直線を呈し、また
円グラフに図示される場合は、予めグラフ上に描かれて
いる複数の円の１つに対して同心的な完全な半円を呈す
る。基準モデル１６の中心軸が基準軸Ａ−Ａに合つた後
、第３図に示すように触針１１は基準モデル１６の曲面
に接触する初期位置から動かされる。また、基準モデル
１６はＸ−Ｙ座標軸回転テーブル２ｂのノブ１４ｂの動
作により装置の基準軸Ａ−Ａに対して半径力向に沿つて
所定の半径距離、例えばＲ，だけ直線的に動かされる。
半円筒形状の基準モデルを使用する場合、上記所定の半
径距離は被検体の対応する半径に設定される。Ｘ−Ｙテ
ーブル２ｂの初期位置および調節後の最終位置は、ノブ
１４ｂによつて制御される表示機構によつて記録される
。次に、ノブ９によつてピツクアツプの位置が調節され
、触針１１が基準モデル１６の平面に接触される。次い
で、テーブル２ａが一力向へ所定角度だけ回動され、ピ
ツクアツプの触針１１によつて基準モデル１６の平面が
ドラバースされる。
この間、ピツクアツプの出力信号が記録される。触針１
１によつて基準モデル１６の平面をトラバースする間、
触針が基準モデルの平面に接触している位置と基準軸Ａ
−Ａとの間の半径距離は変化する。そのため、触針１１
は、ピツクアツプ本体６に対して第２図において矢印１
０力向へ揺動し、それによりピツクアツプの出力信号も
変化する。そして、触針１１が、基準モデル１６の曲面
の曲率中心が位置した基準モデル平面上の点を通過した
時、ピツクアツプの出力信号は変換点、つまり最大値あ
るいは最小値に達する。また、上記半径距離は、触針１
１が基準モデル１６の曲率中心、つまり中心軸を通過し
た時に最小となる。この最小半径距離はノブ１４ｂによ
つて調節されたＸ−Ｙ座標軸テーブル２ｂの半径力向移
動距離Ｒに相当する。そして、ピツクアツプの出力信号
の変換点の値は、この最小半径距離に一致した値となる
。一担、出力信号の変換点が確認されると、ピツクアツ
プ出力信号のための効果的な基準が確立される。実施に
おいて、ピツクアツプ出力信号の変換点値が、不便なレ
ベルにある場合、つまり、その変換点値がグラフの小数
目盛上、例えば１２．３５゛上に示される場合、ピツク
アツプ本体６は、変換点値が便利なレベル、つまりその
変換点値がグラフの整数目盛上、例えば゛３”上に示さ
れるまでその半径方向距離が再調整される。この再調整
は、触針１１が基準モデル１６の平面に接触した状態で
、ノブ９を調節してピツクアツプ本体６のみを動かすこ
とによつて行われる。これにより、ピツクアツプは、そ
の出力信号が上記確立された変換点の値を示す位置、例
えば基準軸Ａ−Ａに対する半径距離Ｒの位置へ容易にセ
ツトされる。次いで、基準モデル１６が取り外され、Ｘ
−Ｙ座標軸テーブル２ｂ上に被検体がセツトされる。
１によつて基準モデル１６の平面をトラバースする間、
触針が基準モデルの平面に接触している位置と基準軸Ａ
−Ａとの間の半径距離は変化する。そのため、触針１１
は、ピツクアツプ本体６に対して第２図において矢印１
０力向へ揺動し、それによりピツクアツプの出力信号も
変化する。そして、触針１１が、基準モデル１６の曲面
の曲率中心が位置した基準モデル平面上の点を通過した
時、ピツクアツプの出力信号は変換点、つまり最大値あ
るいは最小値に達する。また、上記半径距離は、触針１
１が基準モデル１６の曲率中心、つまり中心軸を通過し
た時に最小となる。この最小半径距離はノブ１４ｂによ
つて調節されたＸ−Ｙ座標軸テーブル２ｂの半径力向移
動距離Ｒに相当する。そして、ピツクアツプの出力信号
の変換点の値は、この最小半径距離に一致した値となる
。一担、出力信号の変換点が確認されると、ピツクアツ
プ出力信号のための効果的な基準が確立される。実施に
おいて、ピツクアツプ出力信号の変換点値が、不便なレ
ベルにある場合、つまり、その変換点値がグラフの小数
目盛上、例えば１２．３５゛上に示される場合、ピツク
アツプ本体６は、変換点値が便利なレベル、つまりその
変換点値がグラフの整数目盛上、例えば゛３”上に示さ
れるまでその半径方向距離が再調整される。この再調整
は、触針１１が基準モデル１６の平面に接触した状態で
、ノブ９を調節してピツクアツプ本体６のみを動かすこ
とによつて行われる。これにより、ピツクアツプは、そ
の出力信号が上記確立された変換点の値を示す位置、例
えば基準軸Ａ−Ａに対する半径距離Ｒの位置へ容易にセ
ツトされる。次いで、基準モデル１６が取り外され、Ｘ
−Ｙ座標軸テーブル２ｂ上に被検体がセツトされる。
その後、被検体は基準軸Ａ−Ａに心合せされる。この心
合せは上述したように、被検体の周面をピツクアツプの
触針でトラバースし、ピツクアツプの出力信号が一定に
なるようにテーブル２ａの位置を調整することによつて
成される。そして、被検体の周面トラバースを行いなが
らピツクアツプの平均出力信号値と上記変換点の値との
間の差を測定することにより、被検体の平均曲率が検知
される。これまで概略した力法は凹面の曲率を測定する
装置をセツトするのに適している。
合せは上述したように、被検体の周面をピツクアツプの
触針でトラバースし、ピツクアツプの出力信号が一定に
なるようにテーブル２ａの位置を調整することによつて
成される。そして、被検体の周面トラバースを行いなが
らピツクアツプの平均出力信号値と上記変換点の値との
間の差を測定することにより、被検体の平均曲率が検知
される。これまで概略した力法は凹面の曲率を測定する
装置をセツトするのに適している。
凸面の曲率を測定するには基準モデルを第３図と逆力向
に調節してやればよい。もち論ピツクアツプの出力はこ
の場合逆力向において変換点を示す。半円筒形の基準モ
デルの代りに円筒形のものを用いる場合も実質的に同様
の力法を用いることができる。
に調節してやればよい。もち論ピツクアツプの出力はこ
の場合逆力向において変換点を示す。半円筒形の基準モ
デルの代りに円筒形のものを用いる場合も実質的に同様
の力法を用いることができる。
円筒形の基準モデルは半円筒形のものに較べて製造が容
易である点で都合がよい。第４図に示すように、基準モ
デルは、ピツクアツプの触針１１によりその周面をトラ
バースすることによつて基準軸Ａ−Ａに心，合せされる
。次いで基準モデルは距離Ｒ（この距離は基準モデルの
半径を考慮に入れて設定される）だけ半径力向へ移動さ
れる。そして、再びピツクアツプの触針１１によつて基
準モデルの周面をトラバースすることにより、ピツクア
ツプ出力信号の変換点が測定される。更に、変換点の値
がグラフ上の便利なｌノベルに位置するように、ピツク
アツプ本体６が調整される。なお、円柱形状の基準モデ
ルを使用した場合、ピツクアツプ出力信号の変換点の値
は、基準モデルの半径にＸ−Ｙ軸子一ブルの移動距離Ｒ
を加えた値と一致する。このように、ピツクアツプの触
針１１の移動は、Ｘ−Ｙ軸テーブルの精度と同じ精度で
行われ、触針はＸ−Ｙ軸テーブルと正確に等距離だけ動
かされたことになる。この発明の力法を半円筒形基準モ
デルで行なつた場合、基準モデルの半径を知る必要がな
いという利点がある。
易である点で都合がよい。第４図に示すように、基準モ
デルは、ピツクアツプの触針１１によりその周面をトラ
バースすることによつて基準軸Ａ−Ａに心，合せされる
。次いで基準モデルは距離Ｒ（この距離は基準モデルの
半径を考慮に入れて設定される）だけ半径力向へ移動さ
れる。そして、再びピツクアツプの触針１１によつて基
準モデルの周面をトラバースすることにより、ピツクア
ツプ出力信号の変換点が測定される。更に、変換点の値
がグラフ上の便利なｌノベルに位置するように、ピツク
アツプ本体６が調整される。なお、円柱形状の基準モデ
ルを使用した場合、ピツクアツプ出力信号の変換点の値
は、基準モデルの半径にＸ−Ｙ軸子一ブルの移動距離Ｒ
を加えた値と一致する。このように、ピツクアツプの触
針１１の移動は、Ｘ−Ｙ軸テーブルの精度と同じ精度で
行われ、触針はＸ−Ｙ軸テーブルと正確に等距離だけ動
かされたことになる。この発明の力法を半円筒形基準モ
デルで行なつた場合、基準モデルの半径を知る必要がな
いという利点がある。
幾何学的に要求されることは、曲面が充分正確で曲率中
心がモデルの平らな面上にあることだけである。
心がモデルの平らな面上にあることだけである。
第１図は公知の曲率測定装置の平面図、第２図はピツク
アツプを他の位置にセツトした場合の同側面図、第３図
は半円筒形の基準モデルを用いてこの発明の方法を実施
した場合を示す略図、第４図は円筒形の基準モデルの場
合の略図である。 ２ａ・・・・・・回転テーブル、２ｂ・・・・・・Ｘ−
Ｙ座標軸テーブル、６・・・・・・ピツクアツプ、１１
・・・・・・触針、１６・・・・・・基準モデル、Ａ−
Ａ・・・・・・基準軸。
アツプを他の位置にセツトした場合の同側面図、第３図
は半円筒形の基準モデルを用いてこの発明の方法を実施
した場合を示す略図、第４図は円筒形の基準モデルの場
合の略図である。 ２ａ・・・・・・回転テーブル、２ｂ・・・・・・Ｘ−
Ｙ座標軸テーブル、６・・・・・・ピツクアツプ、１１
・・・・・・触針、１６・・・・・・基準モデル、Ａ−
Ａ・・・・・・基準軸。
Claims (1)
- １ 基準軸Ａ−Ａの回りで相対的に回転可能な回転テー
ブル２ａおよびピックアップと、回転テーブル２ａ上に
配設されているとともにその移動距離を示す測定手段を
有したＸ−Ｙ座標軸テーブル２ｂと、基準軸Ａ−Ａに対
する回転テーブル２ａの位置を調節する調節手段１４ａ
、１５ａと、を具備し、上記ピックアップはピックアッ
プ本体６と、ピックアップ本体に所定の方向に沿つて揺
動可能に取付けられた触針１１とを有し、基準軸Ａ−Ａ
の半径方向におけるピックアップ本体６に対する触針１
１の揺動位置の関数として変化する出力信号を発生する
曲率測定装置のセット方法において、少なくとも部分的
に円筒表面を有する基準モデル１６をＸ−Ｙ座標軸テー
ブル２ｂ上に配置する工程と、基準モデル１６の円筒表
面上に触針１１を接触させた状態で回転テーブル２ａお
よびピックアップを相対的に回転させて基準モデル１６
の円筒表面上を触針１１でトラバースするとともにピッ
クアップの出力信号が略一定するまで回転テーブル２ａ
の基準軸Ａ−Ａに対する位置を調節することにより基準
モデル１６を基準軸Ａ−Ａに心合せする工程と、Ｘ−Ｙ
座標軸テーブル２ｂを調節して基準モデル１６をその心
合せされた位置から基準軸Ａ−Ａに対して測定される被
検体の半径に対応する所定の距離だけ半径方向へ移動さ
せる工程と、ピックアップの触針１１が基準モデル１６
の表面に接触するまで基準軸Ａ−Ａに対するピックアッ
プ本体６の半径方向位置を調節する工程と、回転テーブ
ル２ａを回転させて基準モデル１６を基準軸Ａ−Ａに対
して偏心して回転させるとともに触針１１を基準モデル
１６の表面上を移動させピックアップ６の出力信号の変
換点を測定する工程と、を具備したことを特徴とする曲
率測定装置のセット方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB34767/74A GB1479621A (en) | 1974-08-07 | 1974-08-07 | Measuring apparatus |
| GB3476774 | 1974-08-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5141545A JPS5141545A (ja) | 1976-04-07 |
| JPS5944568B2 true JPS5944568B2 (ja) | 1984-10-30 |
Family
ID=10369707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50095462A Expired JPS5944568B2 (ja) | 1974-08-07 | 1975-08-07 | 曲率測定装置のセツト方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4080741A (ja) |
| JP (1) | JPS5944568B2 (ja) |
| DE (1) | DE2535347A1 (ja) |
| FR (1) | FR2281555A1 (ja) |
| GB (1) | GB1479621A (ja) |
| IT (1) | IT1041467B (ja) |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478581A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-22 | Toshiba Mach Co Ltd | Centering method in lathe and its device |
| JPS5811075B2 (ja) * | 1977-12-05 | 1983-03-01 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
| JPS5826773B2 (ja) * | 1978-01-18 | 1983-06-04 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡等における試料照射電流検出装置 |
| US4137641A (en) * | 1978-03-06 | 1979-02-06 | Angelo Lauri | Means for inspecting an annular workpiece |
| IT1120818B (it) * | 1979-09-14 | 1986-03-26 | Finike Italiana Marposs | Apparecchio per il controllo di dimensioni diametrali |
| IT1120819B (it) * | 1979-09-14 | 1986-03-26 | Finike Italiana Marposs | Apparecchiatura per il controllo dimensionale di una pista di roto lamento di un anello di un cusci netto |
| JPS57141502A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Curvature measuring device for concave spherical surface |
| JPH0236208Y2 (ja) * | 1984-12-11 | 1990-10-02 | ||
| EP0240150B1 (en) * | 1986-03-04 | 1991-04-17 | Rank Taylor Hobson Limited | Workpiece position control |
| GB8605325D0 (en) * | 1986-03-04 | 1986-04-09 | Rank Taylor Hobson Ltd | Workpiece position control |
| GB8605324D0 (en) * | 1986-03-04 | 1986-04-09 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus |
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| US5359784A (en) * | 1991-05-02 | 1994-11-01 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Method of centering in roundness measuring instrument and system therefor |
| JPH0518517U (ja) * | 1991-08-22 | 1993-03-09 | リコーエレメツクス株式会社 | 口腔衛生装置 |
| DE4238139C2 (de) * | 1992-11-12 | 2002-10-24 | Zeiss Carl | Koordinatenmeßgerät |
| JP3161116B2 (ja) * | 1993-01-12 | 2001-04-25 | 松下電器産業株式会社 | 微小ギャップ幅測定装置及び方法 |
| DE4410195C1 (de) * | 1994-03-24 | 1995-11-09 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Messen kegliger Gewinde |
| GB9612383D0 (en) * | 1995-12-07 | 1996-08-14 | Rank Taylor Hobson Ltd | Surface form measurement |
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| JPH11179656A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-07-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 粗さ・真円度測定機能を有する自動定寸装置 |
| US6817108B2 (en) * | 2003-02-05 | 2004-11-16 | Homer L. Eaton | Articulation measuring arm having rotatable part-carrying platen |
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| CN101929835B (zh) * | 2009-06-22 | 2013-03-20 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 工件内孔表面粗糙度测量装置 |
| CN102679927B (zh) * | 2012-05-31 | 2015-07-15 | 中国航空动力机械研究所 | 测量装置及其使用方法 |
| JP6153816B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-06-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法 |
| CN106168471A (zh) * | 2015-12-04 | 2016-11-30 | 日照瑞沃德精密科技有限公司 | 基于圆度圆柱度的精密测量装置及其测量方法 |
| CN105444725B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-02-06 | 晋西车轴股份有限公司 | 一种空心轴深小孔表面质量自动化检测装置 |
| CN110986840A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-04-10 | 新兴铸管股份有限公司 | 一种检测高温方坯用量尺 |
| DE102019008821A1 (de) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Mitutoyo Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Zweipunktgröße eines Werkstücks |
| CN112729214B (zh) * | 2020-11-27 | 2022-06-14 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于试验数据修正基准点坐标的测量方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3499227A (en) * | 1968-05-06 | 1970-03-10 | Caterpillar Tractor Co | Contour recorder |
| GB1350566A (en) * | 1972-09-27 | 1974-04-18 | Bjoro Vzaimozameny Aemosti V M | Worktable for positioning workpieces in measuring devices for checking linear dimensions |
| US3826011A (en) * | 1973-01-05 | 1974-07-30 | Aniello L D | Pre-setting tool gauge for spindle machines |
-
1974
- 1974-08-07 GB GB34767/74A patent/GB1479621A/en not_active Expired
-
1975
- 1975-08-06 FR FR7524565A patent/FR2281555A1/fr active Granted
- 1975-08-07 IT IT69054/75A patent/IT1041467B/it active
- 1975-08-07 DE DE19752535347 patent/DE2535347A1/de active Granted
- 1975-08-07 JP JP50095462A patent/JPS5944568B2/ja not_active Expired
- 1975-08-11 US US05/603,582 patent/US4080741A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2281555A1 (fr) | 1976-03-05 |
| FR2281555B1 (ja) | 1979-10-05 |
| GB1479621A (en) | 1977-07-13 |
| DE2535347C2 (ja) | 1987-02-19 |
| US4080741A (en) | 1978-03-28 |
| DE2535347A1 (de) | 1976-02-26 |
| JPS5141545A (ja) | 1976-04-07 |
| IT1041467B (it) | 1980-01-10 |
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