JPS5940342A - 情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、情報記録媒体の製造方法に関し、例えばビデ
オ及び／又はオーディオ情報を反射光で読取って光電変
換し、情報を読出すようにした光ディスクの原盤の製造
方法に関するものである。

この種の光ディスクを用いた装置として、第１図に示す
如き方式が知られている。これによればレーザー光源１
からのレーザー光２を偏光ビームスプリッタ３、偏光面
を４分の１波長分だけ回転ディスク６に導びき、このデ
ィスクでの反射光をミラー４、ビームスプリッタ３へ照
射することによってディスク６からの反射光のみをシリ
ンドリカルレンズ７方向へ反射せしめ更に４分割フォト
ダイオードからなるフォトディテクタ８に導ひき、いわ
ゆる非点収差法によってフォーカシングを行ないながら
光学系をディスクの径方向（白矢印方向）へ精密に送る
ようにしている。

上記光ディスクにおける情報の書込み時又は読取シ時の
トラッキング法として、一般にプリグループ方式が採用
されている。例えば第２図に示す如く、ディスクの透明
樹脂基板９の一面に断面粗形状のトラッキング用プリグ
ループ１０が多数本形成され、この上の全面にＴｅＯｘ
等の記録材料層１１が被着される。そして、一点鎖線で
示すレーザー光２を基板９側から照射し、そのスポット
径に対応した照射位置にある記録材料が例えば昇華して
選択的に除去され、これによって例えば幅０．８μｍ１
深さ７００Ａの溝１０に所定の書込み部分１２がピット
状に形成される。従って、書込み（又は読取シ）ビーム
の中心がグループ１０の中心から外れた場合、その反射
光分布はグループ１０の長さ方向（紙面垂直方向）の軸
を中心として非対称となり、この非対称成分を上記のデ
ィテクタで光電変換して検知することによって、ビーム
がグループの中心から外れている旨を示すトラッキング
エラー信号を検出することができる。

ところが、上記の公知の光デイスク方式では次の（１）
〜（２）の如き欠点があることが分った。

（ＩＸトラッキング可能区間が短かいこと。

例えばトラックピッチ（プリグループのピッチ）は２．
５μｍ１プリグループの幅は０．８μｍル−ザー光のス
ポットサイズは１．０μｍであるが、第２図に２′で示
す二点鎖線のレーザー光のスポット位置がトラッキング
可能区間Ａ（即ち１．８μｍ幅の領域）を外れると、ス
ポットはグループ１０に全くかからず、トラッキングエ
ラー信号が得られないことになる。

（２）、プリグループのサイズ変化による反射光量の変
化が大きいこと。

プリグループの条件として、その形状によって反射光量
を減少させないようにすることが挙げられる。このため
、プリグループの設計時には、グループの幅及び深さ等
が制御される。しかし、幅及び深さ等が設計値からずれ
た場合、グループ形状が上記の如く大臣形状であるから
、その段差部分の位置やサイズの影響で反射光量及びト
ラッキングエラー信号が大きく変化し、再生信号に悪影
響を及ぼしたシ、トラッキングが正しく行なわれないこ
とがある。

上記の加えて、公知のディスクは製造が容易でないこと
が分った。

上記したｙｔ形のプリグループを形成する工程として、
第３Ａ図に示す如く、ガラス等の基板３０上に５ｔｙｘ
層１３、光反射膜１４１．フォトレジスト３１を積層せ
しめ、レーザー光３２の選択的照射を行なう。

この場合、レーザー光３２はフォトレジスト３１を貫通
してその底部にまで当たる程強く照射する。とれによっ
て、第３Ｂ図の如く、次の現像によって露光された部分
（或いはネガ型の場合には非露光部分）のフォトレジス
ト３１が完全に除去される。

そして更に、第３Ｃ図の如く、フォトレジスト３１をマ
スクとして下地をエツチングし、マザーディスク１５を
作成する。一般にこのマザーディスクの上記エツチング
加工面にはＮｉメッキ等を施してスタンパ−を作成し、
次にこのスタンパ−によって樹脂板をプレス成形し、上
記エツチング加工面の凹凸形状に対応したプリグループ
を有するディスク基板を得る。このディスク基板上には
上記した記録材料層１１を被着する。

こうした製造工程では、上記した如くマザーディスクを
作る過程で必ず面倒なエツチング工程が入る。しかも、
得られた原盤の表面凹凸形状の段差が急なだめに、以降
のプレス成形において原形に正確に追随したプリグルー
プが得られないことがある。

本発明者は、上記した欠陥について検討を重ねた結果、
容易かつ精度良く情報記録媒体を製造することに成功し
、本発明に到達したものである。

即ち、本発明は、基体の表面側にレーザー光を選択的に
照射せしめ、レーザー光のエネルギー分布に対応した断
面形状に前記表面側を加工する工程を含むことを特徴と
する情報記録媒体の製造方法に係るものである。

以下、本発明を実施例について図面参照下に詳　細に説
明する。

第４図にマザーディスクの製造工程を示したが、まず第
４Ａ図の如く、ガラス、アクリル樹脂等のディスク状基
板３０の上に本実施例ではフォトレジスト３１を塗布し
、次に例えばガウス分布で近似される強度分布をもつレ
ーザー光３２を選択的に照射する０レーザー光３２の強
度とフォトレジスト３１の厚さを調節することによりて
、現像後に第４Ｂ図の如く、ビーム３２の照射部分には
ガウス分布の形状を有するグループ３３（即ち、レーザ
ー光の強度の大きい中央部分は深く、その周囲は曲線状
に浅くなっているグループ）が形成される。この際、光
学系を精密に機械送りしながら基板３０を定速回転させ
ると、基板全面にグループ３３を形成できるが、このグ
ループ３３に基いて後記プリグループ２０を形成するこ
とができる。

とのようにして得られた原＠Ｌ３４をマザー盤として、
これにニッケル等のメッキ加工を施し、第４Ｃ図の如き
スタンパ３５を製作する。従って第４Ｂ図のマザー盤か
ら直接スタンパを得ることができるので、エツチング等
の工程は不要となり、製造工数を減らせる。

次に、第４Ｄ図の如く、スタンパ３５によりアクリル樹
脂又はポリ塩化ビニル等の樹脂９をプレス成形し、第４
Ｅ図の如くプリグループ２０付きのディスク９を形成す
る。

更に、第４Ｆ図の如く、ディスク基板９上に記録材料１
１、例えばＴｅＯｘやハロゲン化銀乳剤を厚さ約１００
ＯＡに被着する。この場合、回転塗布法や真空蒸着法等
で記録材料１１を被着すると、グループ２０は曲線状で
あるから、グループの全体に被着された均一な厚みの記
録材料層を形成できる。

第４Ｇ図は、透明樹脂膜３６を記録材料層の保護等のた
めに被覆した状態を示し、これで書込み前の光ディスク
を完成する。前記第２図や、以下の第５．６図には都合
上、この透明樹脂板は図示しない０ 上記したことから明らかなように、本発明によるマザー
ディスクの製作工程では、レーザー光３２の強度と７オ
トレジスト３１の厚さを調節するととによって、フォト
レジスト３１自体にプリグループに対応した曲線状断面
を具備せしめ得るから、直接的にスタンパ−の作成工程
に入ることができ、面倒なエツチング工程を省略できる
。また、曲線状断面によって、上記プレス成形時に、そ
の形状に良く追随したディスク基板を作成でき、成形不
良が生じない。

第５図及び第６図は、本発明による方法を適用して得ら
れる光ディスクの一例を示すものである。

このディスクで注目すべき構成は、透明樹脂基板９の一
面に、上記マザーディスク形状に対応した規則的で連続
な断面曲線状のプリグループ２０が設けられていること
である。この曲線形状は、ガウス型で近似されたものと
なっている。

このように構成すれば、下記の如く、既述した公知のデ
ィスクの諸欠陥をことごとく解消することができる。

（１）、トラッキング可能区間を犬きくできること。

上記のプリグループ２０はトラック間隔に亘って断面曲
線状に形成されているから、例えばグループ２０又は記
録部分１２の位置がずれてレーザー光２のスポット位置
が二点鎖線の如く（２′として示す）にずれても、その
スポット位置はなおプリグループ２０にかかつているこ
とになる。このために、トラッキング可能区間人は、ト
ラック間隔に等しい長さまで（例えば２．５μｍに）拡
大できる。第７図には、トラッキングエラー信号（相対
値を示す）の様子を示したが、従来の第２図に示したよ
うなＸｉ形状のグループに比べ、本発明によるグループ
ではトラッキング可能区間が大きいためにエラー信号が
拾い易くなるため、エラー信号をよシ大きくすることが
できる。これは、トラッキングサーボを行なう上で大き
な利点である０ （２）、プリグループのサイズ変化による反射光量の変
化が小さいこと。

プリグループの深さを種々変えたところ、第８図の如く
、本発明によるプリグループでは、充分なトラッキング
エラー信号の得られる範囲を拡大できる。ここでλはレ
ーザー光の波長を示す。これは、本発明による得られる
プリグループが断面曲線状であるために、このプリグル
ープの深さの影響が、天Ｅ形断面のものに比べて顕著に
は生じないからであシ、従って再生信号が良好となシ、
トラッキングを正しく行なうことができる。

（３）、）ラッキングエラーによってディスクからの反
射光量が減少しないこと。

トラッキングエラーが殆んどないときには、従来のディ
スクでもプリグループによる反射光量の減少は少ないが
、トラッキングエ２−が生じると矩形グループでは反射
光量が著しく減少してしまう（第９図参照）。とれに対
し、本発明によシ得られるディスクではプリグループが
断面曲線状であるために、トラッキングエラ一時の反射
光量の減少はそれ稚虫じない。

なお、上述した例において、プリグループ２０の断面形
状は種々選択できると共に、プリグループを有す基体上
に形成する記録材料もレーザー光で昇華するタイプや光
反射率が低下するもの等が使用可能である。また、本発
明による方法において特に第４Ａ図のフォトレジストと
してネカ型のものも使用可能である。この場合には、基
板の側からレーザー光を照射するとよい。また、基体そ
のものを昇華性の金属板等で形成し、この表面をレーザ
ー光の強度分布に応じて、断面がガウス型曲線となるよ
うに選択的に昇華除去することもできる。この場合には
フォトレジスト等の感光層は不要である。またこのマザ
ーディスクを形成するために基体上に形成される物質は
、前記フォトレジスト等の感光性のものの他にも、レー
ザー光の熱によっても変性する、結果的にレーザー光の
エネルギー分布に対応した形状を呈する材料でもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は従来例を示すものであって、第１図は
情報記録（再生）装置の光学系の概略図、 第２図はその光ディスクの拡大断面図、第３Ａ図〜第３
Ｃ図はそのマザーディスクの製造方法を工程順に示す各
断面図、 第４図〜第９図は本発明の実施例を示すものであって、 第４Ａ図〜第４Ｇ図はマザーディスクの製造工程を含む
光ディスクの製造方法を工程順に示す各拡大断面図、 第５図は光ディスクの拡大断面図、 第６図はその斜視図、 第７図はプリグループの位置ずれに対するトラッキング
エラー信号の変化を示すグラフ、第８図はプリグループ
の深さによるトラッキングエラー信号の変化を示すグラ
フ、 第９図はプリグループの位置ずれに対する反射光量比を
示すグラフ、 である。 なお、図面に示された符号において、 １−−−−−−−−−−レーザー光源 ２．２１３２−一−−−レーザー光 ３−−−−−−−−−−ビームスプリッタ３１−一−−
−−−−−−’／４板 ４−−−−−−−−−ミラー ５−−−−−−−−−一対物レンズ ６．１６−−−−−−−−光ディスク ７、−−−−−−−−−−シリンドリカルレンズ８−−
−−−−−−−７オトデイテクタ９−−−−−−−−一
基板 １０２０−−−−−−プリグループ １１−−−−−−−−一記録材料層 １２−−−−−−−−−記録部分 ３１−一一一−−−−７オトレジスト ３４−−−−−−−−−−マザー盤 ３５−−−−−−−−−スタンパ である。 代理人　弁理士　逢　坂　　宏 第１）幻 糖２１図 第３８１］ 第３０Ｉ掲

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基体の表面側にレーザー光を選択的に照射せしめ、
   レーザー光のエネルギー分布に対応した断面形状に前記
   表面側を加工する工程を含むことを特徴とする情報記録
   媒体の製造方法。 ２、基体の少なくとも表面側を感光層で形成し、この感
   光層にレーザー光を照射し、その断面をガウス型で近似
   された曲線形状に加工する、特許請求の範囲の第１項に
   記載した方法。 ３、マザーディスクを特徴する特許請求の範囲の第１項
   又は第２項（記載した方法。