JPS59202408A - 薄層配列 - Google Patents
薄層配列Info
- Publication number
- JPS59202408A JPS59202408A JP59073864A JP7386484A JPS59202408A JP S59202408 A JPS59202408 A JP S59202408A JP 59073864 A JP59073864 A JP 59073864A JP 7386484 A JP7386484 A JP 7386484A JP S59202408 A JPS59202408 A JP S59202408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- layers
- thickness
- optically effective
- thin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、支持体上に施された交互のＭｇＦ３層および
Ｔ ＩＯ２層からなり単層の平均光学的厚さ少なくとも
］ ＯＯｎｍを有する光学的に有用な多層系を含む薄層
配列に関する。光学的厚さとは本明細書においては、実
際の厚さ×層材ネ＋の屈折率のＸ７（を意味する。Ｍｇ
Ｆ２／Ｔ］０２からなる多層系はたとえば熱フイルタ−
、分光体（５ｔｒａｈｌｅｎｔｅｉｌｅｒ ）、金属不
含の高反射鏡などに用いられろ。
Ｔ ＩＯ２層からなり単層の平均光学的厚さ少なくとも
］ ＯＯｎｍを有する光学的に有用な多層系を含む薄層
配列に関する。光学的厚さとは本明細書においては、実
際の厚さ×層材ネ＋の屈折率のＸ７（を意味する。Ｍｇ
Ｆ２／Ｔ］０２からなる多層系はたとえば熱フイルタ−
、分光体（５ｔｒａｈｌｅｎｔｅｉｌｅｒ ）、金属不
含の高反射鏡などに用いられろ。
薄層はそれらが蒸着、陰極スパッターによって支持体上
に施されたものであっても、化学的方法で施されたもの
であってもほとんどすべて、多かれ少なかれ著しい引張
応力または圧縮ｊ、四力を示し、これは太きすぎる場合
は層の亀裂の形成または剥れによって示される。文献中
では層における応力につき種々の原因が考察されており
、錘々の層材料に関してこれについての数値が挙げられ
ている。
に施されたものであっても、化学的方法で施されたもの
であってもほとんどすべて、多かれ少なかれ著しい引張
応力または圧縮ｊ、四力を示し、これは太きすぎる場合
は層の亀裂の形成または剥れによって示される。文献中
では層における応力につき種々の原因が考察されており
、錘々の層材料に関してこれについての数値が挙げられ
ている。
総論ばゝ薄膜ハンドブック“（マツフグローヒル社、１
９７０）第１２章にみられる。
９７０）第１２章にみられる。
一般に、専門家には層における応力が種々の異なる因子
に依存すること、および製造条件のごくわずかな変化で
も本質的に異なる応力を与えろ可能性があることについ
ては理解されているということができる。層材料の化学
的性質およびこれにより生じる熱膨張率のほかに、特に
不純物も同じ層材料にオ６いて応力の大きさが変動する
原因であると思われる。応力のある状態はひび割れまた
は支持体からのもしくは層相互の裂けによる層の損傷を
生じるだけでなく、さらに光学面の変形も起こす。これ
は精密な光学的用途、たとえば干渉系においてその障害
が目立つ。これらの変形は、層のイＪへ断面において層
の表面に対し垂直に作用する層応力（はとんどが］θノ
ｌｉ当たりの力として表わされる）を測定するための測
定法の基礎にすらなる。
に依存すること、および製造条件のごくわずかな変化で
も本質的に異なる応力を与えろ可能性があることについ
ては理解されているということができる。層材料の化学
的性質およびこれにより生じる熱膨張率のほかに、特に
不純物も同じ層材料にオ６いて応力の大きさが変動する
原因であると思われる。応力のある状態はひび割れまた
は支持体からのもしくは層相互の裂けによる層の損傷を
生じるだけでなく、さらに光学面の変形も起こす。これ
は精密な光学的用途、たとえば干渉系においてその障害
が目立つ。これらの変形は、層のイＪへ断面において層
の表面に対し垂直に作用する層応力（はとんどが］θノ
ｌｉ当たりの力として表わされる）を測定するための測
定法の基礎にすらなる。
蒸着されたＭｇＦ３層については、文献（Ａ、 Ｅ。
エノス、アプライド・オノテイクス、ｖｏｌ、 ５＋
５１頁、１９６６年１月）から以下のととが知られてい
る。すなわち光学技術においてきわめて多く使用されて
おり、〔標準波長（Ｂｅｚｕｇｓｗｅｌｌｅｎ ｌａｎ
ｇｅ ）に応じて’） ］ ＯＯｎｍまたはそれ以上の
層厚をもつ箔層は、層を大気の湿度に暴露した場合５０
００１（ｐｌｏｌｌｆに及ぶ応力を示し、その鮫１Ｊび
約：３１０ （ｌｋｐ／ｃｎｔＦに低下する。もちろん
層の１吸湿ばてきる限り瞳けなげればなら〕゛よい。吸
湿により吸収；ｉＢ；が現われ、これは特にＩＲの使用
に際して障害が目☆二つからである。しかしいずれにし
ろＭｇｌ５２層θ）場合、上記のように高い内部応力が
生じ４）。
５１頁、１９６６年１月）から以下のととが知られてい
る。すなわち光学技術においてきわめて多く使用されて
おり、〔標準波長（Ｂｅｚｕｇｓｗｅｌｌｅｎ ｌａｎ
ｇｅ ）に応じて’） ］ ＯＯｎｍまたはそれ以上の
層厚をもつ箔層は、層を大気の湿度に暴露した場合５０
００１（ｐｌｏｌｌｆに及ぶ応力を示し、その鮫１Ｊび
約：３１０ （ｌｋｐ／ｃｎｔＦに低下する。もちろん
層の１吸湿ばてきる限り瞳けなげればなら〕゛よい。吸
湿により吸収；ｉＢ；が現われ、これは特にＩＲの使用
に際して障害が目☆二つからである。しかしいずれにし
ろＭｇｌ５２層θ）場合、上記のように高い内部応力が
生じ４）。
Ｔ１０３層ニ関シテハ、これも：３６００ ｋ ｐ１０
ｔｔｉ程度の高い応力をもつことが知られてし・る（
Ｗ、・・イトマン、アプライド・オプテイクス、Ｖｏｌ
、Ｈｌ。
ｔｔｉ程度の高い応力をもつことが知られてし・る（
Ｗ、・・イトマン、アプライド・オプテイクス、Ｖｏｌ
、Ｈｌ。
届］２．２６８５頁、］９７］年１２月）。上記θつ両
文献においては、ある層の引張応力が他の層材料の圧縮
応力によって補償されるよりなｌ］′Ｉ、層からなる層
系の作成を試みるべきであると−１−ｉｆ奨されている
。しかし問題となっている層利Ｘ”ｌの用途についてそ
の都度限定された選択を行う際にはほとんどの場合この
課題を解決することはできず、このＭｇ Ｆ ２／’Ｔ
ｉ Ｏ２層系についてはこれは解決不可能であると思
われる。上記の層材料においては双方とも前記に引用し
た文献から推定されるように高い引張応力が生じ、これ
はすなわち相互に１ｉ償できないからである。従ってＴ
ＩＯ２およびＭｇＦ、からなる交互層系は（特に層数
の多い層配列の場合）、これらが多数のごく微細なひび
割れを生じ（Ｈ。
文献においては、ある層の引張応力が他の層材料の圧縮
応力によって補償されるよりなｌ］′Ｉ、層からなる層
系の作成を試みるべきであると−１−ｉｆ奨されている
。しかし問題となっている層利Ｘ”ｌの用途についてそ
の都度限定された選択を行う際にはほとんどの場合この
課題を解決することはできず、このＭｇ Ｆ ２／’Ｔ
ｉ Ｏ２層系についてはこれは解決不可能であると思
われる。上記の層材料においては双方とも前記に引用し
た文献から推定されるように高い引張応力が生じ、これ
はすなわち相互に１ｉ償できないからである。従ってＴ
ＩＯ２およびＭｇＦ、からなる交互層系は（特に層数
の多い層配列の場合）、これらが多数のごく微細なひび
割れを生じ（Ｈ。
アンデルスゝゝ光学用薄層“、シーツノトガルト、１９
６５年、１６４頁）、亀裂により散乱する光線のため不
透明に見えろ点で不満足なものである。
６５年、１６４頁）、亀裂により散乱する光線のため不
透明に見えろ点で不満足なものである。
しかし他の点ではその特性は良好であるため、この両者
の層材料を干渉用フィルターとしての用途に使用するこ
とが望まれている。
の層材料を干渉用フィルターとしての用途に使用するこ
とが望まれている。
そこで本発明は、系が多数の単層（ずなわち１０以上〕
からなる場合でも本質的にひび割れの形成が少なく、す
なわち実際上亀裂のない状態を維持し、支持体から剥離
することのないＭｇＦ２／ＴｌＯ２交互層系に関する新
規な配列を定めることを課題とする（１０層の場合、従
来普通はすでに亀裂が生していた）。
からなる場合でも本質的にひび割れの形成が少なく、す
なわち実際上亀裂のない状態を維持し、支持体から剥離
することのないＭｇＦ２／ＴｌＯ２交互層系に関する新
規な配列を定めることを課題とする（１０層の場合、従
来普通はすでに亀裂が生していた）。
本発明による薄層配列は、支持体と光学的に有効な多層
系との間に、その厚さか光学的に有効な系の層の平均単
層厚の］、／′５以下てあ’−） Ｍｇ Ｆ ２層重Ｇ
よびＴ１０３層少なくとも１層か補助層としてさらに挿
入されていることを特徴とする 特に補助層として作用する交互のＭｇＦ２Ｊ□〆ＩＪ６
よびＴ ｒ ０２層からなるパケット全体が挿入され、
補助層の平均単層厚は光学的にイτ効なＭｇＰ２／Ｔｔ
ｏ２多層系の標準波長の最高冴。に選ばれイ）（標準波
長とは、この場合目標設定に応じてこの波長領域で最大
の反射または透過を得るために、系の￥１′価に際して
基礎とする波長を意味する）。
系との間に、その厚さか光学的に有効な系の層の平均単
層厚の］、／′５以下てあ’−） Ｍｇ Ｆ ２層重Ｇ
よびＴ１０３層少なくとも１層か補助層としてさらに挿
入されていることを特徴とする 特に補助層として作用する交互のＭｇＦ２Ｊ□〆ＩＪ６
よびＴ ｒ ０２層からなるパケット全体が挿入され、
補助層の平均単層厚は光学的にイτ効なＭｇＰ２／Ｔｔ
ｏ２多層系の標準波長の最高冴。に選ばれイ）（標準波
長とは、この場合目標設定に応じてこの波長領域で最大
の反射または透過を得るために、系の￥１′価に際して
基礎とする波長を意味する）。
本発明により達成されろ進歩は、おそらくこれらのきわ
めて曹い補助層がその上に乗ぜられたより厚い層からな
る光学的に有効な系のゝす・＼す″をａ午ずことに基づ
くのであろう（これにより支コ寺体に対する系の結合が
弱まることは／９Ｉ：い）。この仮説を用いると以下の
ように説明てきろてあろう。
めて曹い補助層がその上に乗ぜられたより厚い層からな
る光学的に有効な系のゝす・＼す″をａ午ずことに基づ
くのであろう（これにより支コ寺体に対する系の結合が
弱まることは／９Ｉ：い）。この仮説を用いると以下の
ように説明てきろてあろう。
すなわち、本発明による配列における光学的に有効な薄
層の系は補助層系のため、支持体にこれと直接に結合し
た場合と同様に良好に付着するが、一方ではそのすへり
が可能なことによりこれが支持体と強固に結合した場合
に起こるように亀裂を生じることはない。
層の系は補助層系のため、支持体にこれと直接に結合し
た場合と同様に良好に付着するが、一方ではそのすへり
が可能なことによりこれが支持体と強固に結合した場合
に起こるように亀裂を生じることはない。
以下に本発明を実施態様に基づいてより詳細に説明する
。添付された 第１図は、光学的に有効な厚さの４層からなり、かつこ
れよりも本質的に薄い単層１０層からなる補助層の系を
含む薄層配列の構造を示し、第２図は、補助層の系が光
学的に有効な層の間に形成された第２の実施態様を示す
ものである。この場合、ガラス製キャリヤーが光学的に
有効な層の第１部と共に、これに続く補助層の系および
さらに光学的に有効な系に対して特許請求の範囲第１項
に記載される意味の支持体を形成する。
。添付された 第１図は、光学的に有効な厚さの４層からなり、かつこ
れよりも本質的に薄い単層１０層からなる補助層の系を
含む薄層配列の構造を示し、第２図は、補助層の系が光
学的に有効な層の間に形成された第２の実施態様を示す
ものである。この場合、ガラス製キャリヤーが光学的に
有効な層の第１部と共に、これに続く補助層の系および
さらに光学的に有効な系に対して特許請求の範囲第１項
に記載される意味の支持体を形成する。
第１図において各記号は下記のものを意味する。
１：支持体
２： 交互に１０層のＴ ｉｏ２／ＭｇＦ２からなる補
助層パケット（単層の光学的層厚は”／４０であり、標
準波長λ０は５５０ ｎｍである）。
助層パケット（単層の光学的層厚は”／４０であり、標
準波長λ０は５５０ ｎｍである）。
３： 光学的厚さλｏ／４のＴ １０２層４： 光学的
厚さλｏ／４のＭｇＦ２層５： 光学的厚さλｏ／４
のＴｉＯ２層６： 光学的厚さλｏ／４のＭｇＦ２層第
２図において各記号は下記のものを意味する。
厚さλｏ／４のＭｇＦ２層５： 光学的厚さλｏ／４
のＴｉＯ２層６： 光学的厚さλｏ／４のＭｇＦ２層第
２図において各記号は下記のものを意味する。
７：支持体
８および］０： 光学的厚さλｏ／４のＴ ｉ Ｏ２層
９および１］： 光学的厚さλｏ／４のＭｇＦ３層］２
： 交互に８層のＴ：０３．／ＭｇＦ２からなる層ノく
ケノト（単一層の光学的層厚はこの例ではλ０１５０と
なる） １３および１５： 光学的厚さλ０／４のＴ】０３層］
４および１６： 光学的厚さλ０／４のＭｇ Ｆ ２層
破線部（第１図の層４と５の間、ならびに第２図の９と
１０の間および］４と１５の間）には、場合により設け
られる光学的に有効な多層系に相応して、光学的厚さλ
０／４のＭｇＦ２およびＴ １０２がさらに配置される
。
９および１］： 光学的厚さλｏ／４のＭｇＦ３層］２
： 交互に８層のＴ：０３．／ＭｇＦ２からなる層ノく
ケノト（単一層の光学的層厚はこの例ではλ０１５０と
なる） １３および１５： 光学的厚さλ０／４のＴ】０３層］
４および１６： 光学的厚さλ０／４のＭｇ Ｆ ２層
破線部（第１図の層４と５の間、ならびに第２図の９と
１０の間および］４と１５の間）には、場合により設け
られる光学的に有効な多層系に相応して、光学的厚さλ
０／４のＭｇＦ２およびＴ １０２がさらに配置される
。
Ｔ ｉＯ２層またはＭｇＦ’３層の材料の屈折率は双方
の例において２３または１３８である。注意すべきこと
は、層の厚さが支持体に対し、および相互に比較して正
しい尺度で示されていない可能性があるということであ
る。
の例において２３または１３８である。注意すべきこと
は、層の厚さが支持体に対し、および相互に比較して正
しい尺度で示されていない可能性があるということであ
る。
層は既知の方法、たとえば真空中での蒸着により、また
は陰極スパッターにより付与することができる。しかし
付与する方法自体は本発明の対象ではない。これに関し
ては多数の専門文献を参照されたい。
は陰極スパッターにより付与することができる。しかし
付与する方法自体は本発明の対象ではない。これに関し
ては多数の専門文献を参照されたい。
第１図は光学的に有効な厚さの４層からなり、かつこれ
よりも本質的に薄い単層１０層からなる補助層の系含む
薄層配列の構造を示す。 第２図は補助層の系が光学的に有効な層の間に形成され
た実施態様を示す。 これらの図において各記号は下記のものを意味する。 ］および７： 支持体 ２： 補助層パケット（交互に１０層のＴ ＩＯｙ脩ｇ
Ｆ２、λ 単層の光学的層厚 ０／４ｏ） ３．５ ； ８，１０ ；］３，１５’ 、 ＴｌＯ２
層（光学的層厚λＱ／４）４．６ ；９，１ ］ ：
］ ４，１６ ： ＭｇＦ’２層（光学的層厚λｏ／
４）１２： 補助層パケット（交互に８層のＴ ｉ ０
．４層ｇ Ｆ ２、単層の光学的層厚λｏ１５０） 特許出願人 バルノエルス・アクチェンゲセルシャ
フト代理人 弁理士 湯 浅 恭 普：。 （夕１４蕊）′
よりも本質的に薄い単層１０層からなる補助層の系含む
薄層配列の構造を示す。 第２図は補助層の系が光学的に有効な層の間に形成され
た実施態様を示す。 これらの図において各記号は下記のものを意味する。 ］および７： 支持体 ２： 補助層パケット（交互に１０層のＴ ＩＯｙ脩ｇ
Ｆ２、λ 単層の光学的層厚 ０／４ｏ） ３．５ ； ８，１０ ；］３，１５’ 、 ＴｌＯ２
層（光学的層厚λＱ／４）４．６ ；９，１ ］ ：
］ ４，１６ ： ＭｇＦ’２層（光学的層厚λｏ／
４）１２： 補助層パケット（交互に８層のＴ ｉ ０
．４層ｇ Ｆ ２、単層の光学的層厚λｏ１５０） 特許出願人 バルノエルス・アクチェンゲセルシャ
フト代理人 弁理士 湯 浅 恭 普：。 （夕１４蕊）′
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （旬 支持体上に施された交互のＭｇＦ２層およびＴ
ＩＯ２層からなり単層の平均光学的厚さ少なくとも］
ＯＯｎｍを有する光学的に有効な多層系を含む薄層配列
であって、支持体と光学的に有効な多層系との間に、そ
の厚さが光学的に有効な系の層の平均単層厚の’１５以
下であるＭｇＦ２層およびＴｌＯ２層のうちの少なくと
も１層が補助層としてさらに挿入されていることを特徴
とする薄層配列。 （２）多肢の交互のＭｇＦ ２層およびＴｌＯ２層から
７、ｃるパケットが挿入されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の薄層配列。 （３）補助層の平均単層厚が光学的に有効な多層系の標
準波長の最高’／／Ｉ Ｏであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の薄層配列。 （４）支持体がすでに層を施されたキャリヤーからなる
ことを特徴とする特許請求の範囲８ｉ！１項記載の薄層
配列。 （５）光学的に有効な多層系が少なくとも１０層の単層
からなることを特徴とする特許ｉ’＋’：’Ｉ求の範囲
第１項記載の薄層配列。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH2065/839 | 1983-04-18 | ||
| CH206583 | 1983-04-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202408A true JPS59202408A (ja) | 1984-11-16 |
Family
ID=4225075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59073864A Pending JPS59202408A (ja) | 1983-04-18 | 1984-04-12 | 薄層配列 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202408A (ja) |
| DE (1) | DE3404736A1 (ja) |
| FR (1) | FR2544505A1 (ja) |
| GB (1) | GB2138966A (ja) |
| NL (1) | NL8401158A (ja) |
| SE (1) | SE8402167L (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01180333A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
| JPH01200952A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
| JPH01249330A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3941797A1 (de) * | 1989-12-19 | 1991-06-20 | Leybold Ag | Belag, bestehend aus einem optisch wirkenden schichtsystem, fuer substrate, wobei das schichtsystem insbesondere eine hohe antireflexwirkung aufweist, und verfahren zur herstellung des belags |
| DE4117256A1 (de) * | 1989-12-19 | 1992-12-03 | Leybold Ag | Belag, bestehend aus einem optisch wirkenden schichtsystem, fuer substrate, wobei das schichtsystem insbesondere eine hohe antireflexwirkung aufweist |
| DE3941796A1 (de) * | 1989-12-19 | 1991-06-20 | Leybold Ag | Belag, bestehend aus einem optisch wirkenden schichtsystem, fuer substrate, wobei das schichtsystem insbesondere eine hohe antireflexwirkung aufweist, und verfahren zur herstellung des belags |
| US5170291A (en) * | 1989-12-19 | 1992-12-08 | Leybold Aktiengesellschaft | Coating, composed of an optically effective layer system, for substrates, whereby the layer system has a high anti-reflective effect, and method for manufacturing the coating |
| TW584742B (en) * | 2002-01-25 | 2004-04-21 | Alps Electric Co Ltd | Multilayer film optical filter, method of producing the same, and optical component using the same |
| US11867935B2 (en) * | 2021-09-28 | 2024-01-09 | Viavi Solutions Inc. | Optical interference filter |
| US20230168418A1 (en) * | 2021-12-01 | 2023-06-01 | Viavi Solutions Inc. | Optical interference filter |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7405071A (nl) * | 1974-04-16 | 1975-10-20 | Philips Nv | Gloeilamp met infrarood filter. |
| NL178924C (nl) * | 1975-10-13 | 1986-06-02 | Philips Nv | Elektrische reflectorlamp. |
| US4247167A (en) * | 1977-05-27 | 1981-01-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Dichroic mirror with at least ten layers |
| US4189205A (en) * | 1978-02-21 | 1980-02-19 | Infrared Industries, Inc. | Coated copper reflector |
-
1984
- 1984-02-10 DE DE19843404736 patent/DE3404736A1/de not_active Withdrawn
- 1984-04-10 FR FR8405662A patent/FR2544505A1/fr not_active Withdrawn
- 1984-04-11 NL NL8401158A patent/NL8401158A/nl not_active Application Discontinuation
- 1984-04-12 JP JP59073864A patent/JPS59202408A/ja active Pending
- 1984-04-17 GB GB08409958A patent/GB2138966A/en not_active Withdrawn
- 1984-04-18 SE SE8402167A patent/SE8402167L/ not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01180333A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
| JPH01200952A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
| JPH01249330A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE8402167D0 (sv) | 1984-04-18 |
| DE3404736A1 (de) | 1984-10-18 |
| NL8401158A (nl) | 1984-11-16 |
| GB2138966A (en) | 1984-10-31 |
| FR2544505A1 (fr) | 1984-10-19 |
| SE8402167L (sv) | 1984-10-19 |
| GB8409958D0 (en) | 1984-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4794857B2 (ja) | 割れに対する窒化チタンの脆弱性の低減 | |
| US4128303A (en) | Anti reflection coating with a composite middle layer | |
| CN107209285B (zh) | 分层系统和包括分层系统的光学元件 | |
| US6335142B1 (en) | Light absorbing coating with high absorption capacity | |
| JPS59202408A (ja) | 薄層配列 | |
| WO1991009329A1 (en) | Magnesium film reflectors | |
| WO1999064900A1 (en) | Durable silver coating for mirrors | |
| TWI438166B (zh) | 達成太陽光控制之分隔功能性層堆疊及氮化鈦層 | |
| JP3342042B2 (ja) | 反射型色分解回折格子 | |
| JPS60124243A (ja) | 熱線遮蔽積層体 | |
| JP2000111702A (ja) | 反射防止膜 | |
| JP3224316B2 (ja) | 二波長反射防止膜 | |
| JP4320866B2 (ja) | 反射防止積層体、光学機能性積層体、および表示装置 | |
| JP2003004919A (ja) | 高反射ミラー | |
| JPH11281801A (ja) | 赤外反射防止膜 | |
| JPH03163402A (ja) | 反射鏡 | |
| JPS58113901A (ja) | 積層型光学構体 | |
| JPH03191301A (ja) | 反射鏡 | |
| JP2004184703A (ja) | 反射鏡 | |
| JP2777937B2 (ja) | 樹脂製光学素子及びその製造方法 | |
| JPH09281301A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JPH0291603A (ja) | 光学多層膜 | |
| JP2814595B2 (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JPS63187201A (ja) | 反射防止膜 | |
| JPH0526162B2 (ja) |