JPH01200952A - 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 - Google Patents
金属膜を有する反射防止膜付着透明板Info
- Publication number
- JPH01200952A JPH01200952A JP63025226A JP2522688A JPH01200952A JP H01200952 A JPH01200952 A JP H01200952A JP 63025226 A JP63025226 A JP 63025226A JP 2522688 A JP2522688 A JP 2522688A JP H01200952 A JPH01200952 A JP H01200952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- oxide
- transparent plate
- dielectric layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 7
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 claims description 3
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical group O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);praseodymium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Pr+3].[Pr+3] MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910003447 praseodymium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 28
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 7
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/361—Coatings of the type glass/metal/inorganic compound/metal/inorganic compound/other
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3621—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a fluoride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［Ｍ梁上の利用分呵コ
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］
従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誘゛心体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
３０９Ａ〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属
層を形成したものが特開昭６２−５８２０２で公知であ
る。この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多
層反射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属
層により光を吸収して透明基板の透過率を調整しようと
するものである。
透明板として、透明基板の一方の面に誘゛心体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
３０９Ａ〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属
層を形成したものが特開昭６２−５８２０２で公知であ
る。この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多
層反射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属
層により光を吸収して透明基板の透過率を調整しようと
するものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金Ｔａ層ををする多層反射防止膜付着透明
板をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用す
る場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度に
までしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金Ｔａ層ををする多層反射防止膜付着透明
板をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用す
る場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度に
までしか下げることができなかった。
［課題を解決するための手段］
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が１
５〜１５０Ａの厚みのチタン、クロム、ジルコニウム、
モリブデン、ニッケル、ニッケル令クロム合金、及びス
テンレスのいずれかの第１の金属層または合金層と、１
．５０〜２．４０の屈折率で、０．６０×λ０／４〜１
゜１０×λＯ／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）の
光学膜厚である中屈折率または高屈折率誘電体層と、３
〜７５Ａのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン
、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレスの
いずれかの第２の金属層または合金層と、１．３８〜１
．５０の屈折率で、０．９０×λ０／４〜１．２０×λ
０／４の低屈折率誘電体層とからなり、各層が該透明基
板表面から順次形成されている。
０〜１．７０の透明基板の光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が１
５〜１５０Ａの厚みのチタン、クロム、ジルコニウム、
モリブデン、ニッケル、ニッケル令クロム合金、及びス
テンレスのいずれかの第１の金属層または合金層と、１
．５０〜２．４０の屈折率で、０．６０×λ０／４〜１
゜１０×λＯ／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）の
光学膜厚である中屈折率または高屈折率誘電体層と、３
〜７５Ａのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン
、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレスの
いずれかの第２の金属層または合金層と、１．３８〜１
．５０の屈折率で、０．９０×λ０／４〜１．２０×λ
０／４の低屈折率誘電体層とからなり、各層が該透明基
板表面から順次形成されている。
本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において、前記中屈折率または高屈折率誘
電体層として、酸化アルミニウム（Ａ１２０３ ） 、
酸化ビスマス（Ｂ ｉ２０３ ） 、酸化ニオブ（Ｎｂ
２０５ ） 、酸化インジウム（Ｉｎ２０５）、酸化プ
ラセオジム（Ｐ ｒ２０３ ） 、酸化スズ（Ｓｎ０２
）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、酸化チタン（Ｔｉ
０２）、錫をドープした酸化インジウム（例えば、酸化
インジウムと酸化スズの重量比が９５：５であるＩＴＯ
）及びチタン酸プラセオンム（ＰｒＴｉ０３）のいずれ
かの誘電体層を用いることができる。更にまた、本発明
において前記低屈折率誘電体層としてフッ化マグネシウ
ム（ＭｇＦ２ ） 、及び酸化シリコン（Ｓｉ０２）の
いずれかの誘電体層を用いることができる。
電体層として、酸化アルミニウム（Ａ１２０３ ） 、
酸化ビスマス（Ｂ ｉ２０３ ） 、酸化ニオブ（Ｎｂ
２０５ ） 、酸化インジウム（Ｉｎ２０５）、酸化プ
ラセオジム（Ｐ ｒ２０３ ） 、酸化スズ（Ｓｎ０２
）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、酸化チタン（Ｔｉ
０２）、錫をドープした酸化インジウム（例えば、酸化
インジウムと酸化スズの重量比が９５：５であるＩＴＯ
）及びチタン酸プラセオンム（ＰｒＴｉ０３）のいずれ
かの誘電体層を用いることができる。更にまた、本発明
において前記低屈折率誘電体層としてフッ化マグネシウ
ム（ＭｇＦ２ ） 、及び酸化シリコン（Ｓｉ０２）の
いずれかの誘電体層を用いることができる。
［作 用］
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
［実施例１コ
以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第１図において、１は屈折率が１．５１のガラス板であ
って、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止Ｍ６は膜厚が４７Ａの第１のステンレス合
金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、１
６重四％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が２．１５で、光学膜厚が０．７５×
λ０／４（但し、λｏ＝５０４ｎｍｘ以下同じ）のチタ
ン酸プラセオジウム層３と、膜厚がＩＯＡの第２のステ
ンレス合金層４（ステンレス合金層の組成は第１のステ
ンレス合金層２と同じ）と、屈折率が１．３７で、光学
膜厚が１．０３×λＯ／４のフッ化マグネシウム層５と
からなり、各層はガラス板１の面上に順次真空蒸着法で
形成された。
って、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止Ｍ６は膜厚が４７Ａの第１のステンレス合
金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、１
６重四％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が２．１５で、光学膜厚が０．７５×
λ０／４（但し、λｏ＝５０４ｎｍｘ以下同じ）のチタ
ン酸プラセオジウム層３と、膜厚がＩＯＡの第２のステ
ンレス合金層４（ステンレス合金層の組成は第１のステ
ンレス合金層２と同じ）と、屈折率が１．３７で、光学
膜厚が１．０３×λＯ／４のフッ化マグネシウム層５と
からなり、各層はガラス板１の面上に順次真空蒸着法で
形成された。
反射防止膜６を形成したガラス板１のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
第 １ 表
なお、従来例においては視感度反射率が０．６５％、視
感度透過率が８０％のものしか得られなかった。
感度透過率が８０％のものしか得られなかった。
［実施例２］
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止Ｍｊ：６の多層膜を以下の如く変え
た。
であって、反射防止Ｍｊ：６の多層膜を以下の如く変え
た。
すなわち、反射防止膜６は膜厚が９２Ａのステンレス合
金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、１
６重量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が２．４０で、光学膜厚がＱ、７９×
λＯ／４（但し、λ０＝５０４ｎｍ１以下同じ）の酸化
チタン層３と、膜厚が２０Ａのステンレス合金層４（ス
テンレス合金層の組成はステンレス合金層２と同じ）と
、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１．ＯＩ×λ０／４
のフッ化マグネシウム層５とからなり、これらの層はガ
ラス板１丑に順次真空蒸着法により形成された。
金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、１
６重量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が２．４０で、光学膜厚がＱ、７９×
λＯ／４（但し、λ０＝５０４ｎｍ１以下同じ）の酸化
チタン層３と、膜厚が２０Ａのステンレス合金層４（ス
テンレス合金層の組成はステンレス合金層２と同じ）と
、屈折率が１．３７で、光学膜厚が１．ＯＩ×λ０／４
のフッ化マグネシウム層５とからなり、これらの層はガ
ラス板１丑に順次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板の光学
特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に示
した。
特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に示
した。
［実施例３］
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜は６は膜厚が３９Ａのステンレス
合金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、
１６重Ｕ％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金で
ある。）と、屈折率が１゜６３で、光学膜厚が１．０１
×λ０／４（但し、λＯ＝５０４ｎｍ１以下同じ）の酸
化アルミニウム層３と、膜厚が３４人のステンレス合金
８４（ステンレス合金層の組成はステンレス合金層２と
同じ）と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が０゜９４×
λ０／４のフッ化マグネシウム層５とからなり、これら
の層はガラス板１上に順次真空蒸着法により形成された
。
合金層２（ステンレス合金層は７２重量％のニッケル、
１６重Ｕ％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金で
ある。）と、屈折率が１゜６３で、光学膜厚が１．０１
×λ０／４（但し、λＯ＝５０４ｎｍ１以下同じ）の酸
化アルミニウム層３と、膜厚が３４人のステンレス合金
８４（ステンレス合金層の組成はステンレス合金層２と
同じ）と、屈折率が１．３７で、光学膜厚が０゜９４×
λ０／４のフッ化マグネシウム層５とからなり、これら
の層はガラス板１上に順次真空蒸着法により形成された
。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板の光学
特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に示
した。
特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に示
した。
［発明の効果コ
以１−のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、５％〜６０％の広い範囲の視感度透過率の
ものを得ることができ、ＣＲＴ等の反射防止板として使
用した場合には視感度反射率を０．１％以下のきわめて
小さい値にすることができる。
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、５％〜６０％の広い範囲の視感度透過率の
ものを得ることができ、ＣＲＴ等の反射防止板として使
用した場合には視感度反射率を０．１％以下のきわめて
小さい値にすることができる。
従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層により、ＣＲＴの蛍光面に入射する
光が吸収され、コントラストがよ（なる。また前記金属
層または合金層をアースすることにより、前記透明板に
帯電防止機能を付与することができる。
属層、または合金層により、ＣＲＴの蛍光面に入射する
光が吸収され、コントラストがよ（なる。また前記金属
層または合金層をアースすることにより、前記透明板に
帯電防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の金属層または合金層３：中屈折
率または高屈折率透電体層 ４：第２の金属層または合金層 ５：低屈折率誘電体層 ６：反射防止膜 第１図
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の金属層または合金層３：中屈折
率または高屈折率透電体層 ４：第２の金属層または合金層 ５：低屈折率誘電体層 ６：反射防止膜 第１図
Claims (3)
- （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の光の反
射を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
て、該反射防止膜が１５〜１５０Åの厚みのチタン、ク
ロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル
、クロム合金、及びステンレスのいずれかの第１の金属
層または合金層と、１．５０〜２．４０の屈折率で、０
．６０×λ０／４〜１．１０×λ０／４（但しλ０は中
心波長、以下同じ）の光学膜厚である中屈折率または高
屈折率誘電体層と、３〜７５Ａのチタン、クロム、ジル
コニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル、クロム合
金、及びステンレスのいずれかの第２の金属層または合
金層と、１．３８〜１．５０の屈折率で、０．９０×λ
０／４〜１．２０×λ０／４の低屈折率誘電体層とから
なり、各層が該透明基板表面から順次形成されてなる金
属膜を有する反射防止膜付着透明板。 - （２）前記中屈折率または高屈折率誘電体層が酸化アル
ミニウム、酸化ビスマス、酸化ニオブ、酸化インジウム
、酸化プラセオジウム、酸化スズ、酸化ジルコニウム、
酸化チタン、錫をドープした酸化インジウム、及びチタ
ン酸プラセオジムのいずれかの誘電体層である特許請求
の範囲第１項に記載の金属膜を有する反射防止膜付着透
明板。 - （３）前記低屈折率誘電体層がフッ化マグネシウムまた
は酸化シリコンの誘電体層である特許請求の範囲第１項
または第２項に記載の反射防止膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025226A JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025226A JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200952A true JPH01200952A (ja) | 1989-08-14 |
| JP2531725B2 JP2531725B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=12160052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63025226A Expired - Lifetime JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531725B2 (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126152A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-02 | Teijin Ltd | Laminate |
| JPS59127001A (ja) * | 1983-01-11 | 1984-07-21 | Toyota Motor Corp | 二酸化珪素膜と酸化チタン膜とで構成される高耐久性多層膜およびその製造方法 |
| JPS59202408A (ja) * | 1983-04-18 | 1984-11-16 | バルツエルス・アクチエンゲゼルシヤフト | 薄層配列 |
| JPS60156001A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62143002A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 誘電体多層膜無反射コ−テイング |
| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
| JPS62186202A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63025226A patent/JP2531725B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126152A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-02 | Teijin Ltd | Laminate |
| JPS59127001A (ja) * | 1983-01-11 | 1984-07-21 | Toyota Motor Corp | 二酸化珪素膜と酸化チタン膜とで構成される高耐久性多層膜およびその製造方法 |
| JPS59202408A (ja) * | 1983-04-18 | 1984-11-16 | バルツエルス・アクチエンゲゼルシヤフト | 薄層配列 |
| JPS60156001A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62143002A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 誘電体多層膜無反射コ−テイング |
| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
| JPS62186202A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531725B2 (ja) | 1996-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06510382A (ja) | 導電性光減衰型反射防止被膜 | |
| JPWO2002029830A1 (ja) | 導電性を有する多層反射防止膜付透明基板、この多層反射防止膜付透明基板を用いた透明タッチパネルおよびこの透明タッチパネルを用いた電子機器 | |
| JP2001209038A (ja) | 液晶表示素子用基板 | |
| JP2003094548A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2590133B2 (ja) | 導電性反射防止膜を有する透明板 | |
| JP2565525B2 (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| JP2525838B2 (ja) | 反射防止膜付着透明板 | |
| JPH01168855A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JPH07111482B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JP2531734B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP2590136B2 (ja) | 導電性反射防止膜の付着透明板 | |
| JPH06263483A (ja) | 導電性反射防止膜および導電性反射防止ガラス | |
| JP4834939B2 (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JPH01200952A (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| JPH02113202A (ja) | 中性濃度フィルター | |
| JPH052101A (ja) | 光学部品 | |
| JP2565538B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP2531722B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JPH0756004A (ja) | 導電性反射防止膜 | |
| JPH01168854A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JP2691989B2 (ja) | 中性濃度フィルター | |
| JPS62143846A (ja) | 透明基板の反射防止処理方法 | |
| JPH01198701A (ja) | 着色反射防止膜 | |
| JPH0534502A (ja) | 反射防止膜を有する光学部材 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 12 |