JP2531725B2 - 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 - Google Patents
金属膜を有する反射防止膜付着透明板Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］ 従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような金属層を有する多層反射防
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
［課題を解決するための手段］ この発明は、このような従来の問題点を解決すべくな
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.40
〜1.70の透明基板の光の反射を防止するための反射防止
膜が付着した透明板において、該反射防止膜が15〜150
Åの厚みのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデ
ン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレス
のいずれかの第１の金属層または合金層と、1.50〜2.40
の屈折率で、0.60×λ0/4〜1.10×λ0/4（但しλ０は中
心波長、以下同じ）の光学膜厚である中屈折率または高
屈折率誘電体層と、３〜75Åのチタン、クロム、ジルコ
ニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合
金、及びステンレスのいずれかの第２の金属層または合
金層と、1.38〜1.50の屈折率で、0.90×λ0/4〜1.20×
λ0/4の低屈折率誘電体層とからなり、各層が該透明基
板表面から順次形成されている。
〜1.70の透明基板の光の反射を防止するための反射防止
膜が付着した透明板において、該反射防止膜が15〜150
Åの厚みのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデ
ン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレス
のいずれかの第１の金属層または合金層と、1.50〜2.40
の屈折率で、0.60×λ0/4〜1.10×λ0/4（但しλ０は中
心波長、以下同じ）の光学膜厚である中屈折率または高
屈折率誘電体層と、３〜75Åのチタン、クロム、ジルコ
ニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合
金、及びステンレスのいずれかの第２の金属層または合
金層と、1.38〜1.50の屈折率で、0.90×λ0/4〜1.20×
λ0/4の低屈折率誘電体層とからなり、各層が該透明基
板表面から順次形成されている。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基板とし
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
また、本発明において、前記中屈折率または高屈折率
誘電体層として、酸化アルミニウム（Al2O3）、酸化ビ
スマス（Bi2O3）、酸化ニオブ（Nb2O5）、酸化インジウ
ム（In2O5）、酸化プラセオジム（Pr2O3）、酸化スズ
（SnO2）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、酸化チタン（Ti
O2）、錫をドープした酸化インジウム（例えば、酸化イ
ンジウムと酸化スズの重量比が95:5であるITO）及びチ
タン酸プラセオジム（PrTiO3）のいずれかの誘電体層を
用いることができる。更にまた、本発明において前記低
屈折率誘電体層としてフッ化マグネシウム（MgF2）、及
び酸化シリコン（SiO2）のいずれかの誘電体層を用いる
ことができる。
誘電体層として、酸化アルミニウム（Al2O3）、酸化ビ
スマス（Bi2O3）、酸化ニオブ（Nb2O5）、酸化インジウ
ム（In2O5）、酸化プラセオジム（Pr2O3）、酸化スズ
（SnO2）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、酸化チタン（Ti
O2）、錫をドープした酸化インジウム（例えば、酸化イ
ンジウムと酸化スズの重量比が95:5であるITO）及びチ
タン酸プラセオジム（PrTiO3）のいずれかの誘電体層を
用いることができる。更にまた、本発明において前記低
屈折率誘電体層としてフッ化マグネシウム（MgF2）、及
び酸化シリコン（SiO2）のいずれかの誘電体層を用いる
ことができる。
［作 用］ このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
［実施例１］ 以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第１図において、１は屈折率が1.51のガラス板であっ
て、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止膜６は膜厚が47Aの第１のステンレス合金
層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16重量
％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金である。）
と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.75×λ0/4（但し、
λ０＝504nm、以下同じ）のチタン酸プロセオジウム層
３と、膜厚が10Åの第２のステンレス合金層４（ステン
レス合金層の組成は第１のステンレス合金層２と同じ）
と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.03×λ0/4のフッ化
マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板１の面上
に順次真空蒸着法で形成された。
て、ガラス板１の表面に反射防止膜６が形成されてい
る。反射防止膜６は膜厚が47Aの第１のステンレス合金
層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16重量
％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金である。）
と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.75×λ0/4（但し、
λ０＝504nm、以下同じ）のチタン酸プロセオジウム層
３と、膜厚が10Åの第２のステンレス合金層４（ステン
レス合金層の組成は第１のステンレス合金層２と同じ）
と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.03×λ0/4のフッ化
マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板１の面上
に順次真空蒸着法で形成された。
反射防止膜６を形成したガラス板１のガラス面側をガ
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３に、視感度反射率及び視感
度透過率を第１表に夫々示した。
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３に、視感度反射率及び視感
度透過率を第１表に夫々示した。
なお、従来例においては視感度反射率が0.65％、視感
度透過率が80％のものしか得られなかった。
度透過率が80％のものしか得られなかった。
［実施例２］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如く変え
た。
板であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如く変え
た。
すなわち、反射防止膜６は膜厚が92Åのステンレス合
金層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16重
量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が2.40で光学膜厚が0.79×λ0/4（但
し、λ０＝504nm、以下同じ）の酸化チタン層３と、膜
厚が20Åのステンレス合金層４（ステンレス合金層の組
成はステンレス合金層２と同じ）と、屈折率が1.37で、
光学膜厚が1.01×λ0/4のフッ化マグネシウム層５とか
らなり、これらの層はガラス板１上に順次真空蒸着法に
より形成された。
金層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16重
量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が2.40で光学膜厚が0.79×λ0/4（但
し、λ０＝504nm、以下同じ）の酸化チタン層３と、膜
厚が20Åのステンレス合金層４（ステンレス合金層の組
成はステンレス合金層２と同じ）と、屈折率が1.37で、
光学膜厚が1.01×λ0/4のフッ化マグネシウム層５とか
らなり、これらの層はガラス板１上に順次真空蒸着法に
より形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板の光
学特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に
示した。
学特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に
示した。
［実施例３］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
板であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜は６は膜厚が39Åのステンレス
合金層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16
重量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が1.62で、光学膜厚が1.01×λ0/4
（但し、λ０＝504nm、以下同じ）の酸化アルミニウム
層３と、膜厚が34Åのステンレス合金層４（ステンレス
合金層の組成はステンレス合金層２と同じ）と、屈折率
が1.37で、光学膜厚が0.94×λ0/4のフッ化マグネシウ
ム層５とからなり、これらの層はガラス板１に順次真空
蒸着法により形成された。
合金層２（ステンレス合金層は72重量％のニッケル、16
重量％のクロム、及び８重量％の鉄からなる合金であ
る。）と、屈折率が1.62で、光学膜厚が1.01×λ0/4
（但し、λ０＝504nm、以下同じ）の酸化アルミニウム
層３と、膜厚が34Åのステンレス合金層４（ステンレス
合金層の組成はステンレス合金層２と同じ）と、屈折率
が1.37で、光学膜厚が0.94×λ0/4のフッ化マグネシウ
ム層５とからなり、これらの層はガラス板１に順次真空
蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板の光
学特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に
示した。
学特性を実施例１と同様にして測定し、結果を第１表に
示した。
［発明の効果］ 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、５％〜60％の広い範囲の視感度透過率のも
のを得ることができ、CRT等の反射防止板として使用し
た場合には視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さい
値にすることができる。
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、５％〜60％の広い範囲の視感度透過率のも
のを得ることができ、CRT等の反射防止板として使用し
た場合には視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さい
値にすることができる。
従って、CRTの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層により、CRTの蛍光面に入射する光
が吸収され、コントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
属層、または合金層により、CRTの蛍光面に入射する光
が吸収され、コントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の金属層または合金層 3:中屈折率または高屈折率誘電体層 4:第２の金属層または合金層 5:低屈折率誘電体層 6:反射防止膜
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の金属層または合金層 3:中屈折率または高屈折率誘電体層 4:第２の金属層または合金層 5:低屈折率誘電体層 6:反射防止膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−143846（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−127001（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−202408（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−126152（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−186202（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】屈折率が1.40〜1.70の透明基板の光の反射
を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
て、該反射防止膜が15〜150Åの厚みのチタン、クロ
ム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・
クロム合金、及びステンレスのいずれかの第１の金属層
または合金層と、1.50〜2.40の屈折率で、0.60×λ0/4
〜1.10×λ0/4（但しλ０は中心波長、以下同じ）の光
学膜厚である中屈折率または高屈折率誘電体層と、３〜
75Åのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニ
ッケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレスのいず
れかの第２の金属層または合金層と、1.38〜1.50の屈折
率で、0.90×λ0/4〜1.20×λ0/4の低屈折率誘電体層と
からなり、各層が該透明基板表面から順次形成されてな
る金属膜を有する反射防止膜付着透明板。 - 【請求項２】前記中屈折率または高屈折率誘電体層が酸
化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ニオブ、酸化イン
ジウム、酸化プラセオジウム、酸化スズ、酸化ジルコニ
ウム、酸化チタン、錫をドープした酸化インジウム、及
びチタン酸プラセオジムのいずれかの誘電体層である特
許請求の範囲第１項に記載の金属膜を有する反射防止膜
付着透明板。 - 【請求項３】前記低屈折率誘電体層がフッ化マグネシウ
ムまたは酸化シリコンの誘電体層である特許請求の範囲
第１項または第２項に記載の反射防止膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025226A JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025226A JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200952A JPH01200952A (ja) | 1989-08-14 |
| JP2531725B2 true JP2531725B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=12160052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63025226A Expired - Lifetime JP2531725B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531725B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126152A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-02 | Teijin Ltd | Laminate |
| JPS59127001A (ja) * | 1983-01-11 | 1984-07-21 | Toyota Motor Corp | 二酸化珪素膜と酸化チタン膜とで構成される高耐久性多層膜およびその製造方法 |
| DE3404736A1 (de) * | 1983-04-18 | 1984-10-18 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden | Duennschichtanordnung |
| JPS60156001A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62143002A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 誘電体多層膜無反射コ−テイング |
| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
| JPS62186202A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63025226A patent/JP2531725B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01200952A (ja) | 1989-08-14 |
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