JP2531734B2 - 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 - Google Patents
金属膜を含む反射防止膜付着透明体Info
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］ 従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような金属層を有する多層反射防
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
［課題を解決するための手段］ この発明は、このような従来の問題点を解決すべくな
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.40
〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が1.
37〜1.50の屈折率で、1.90×λ0/4〜2.30×λ0/4（但し
λ０は中心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の低屈折
率誘電体層と、2.00〜2.40の屈折率で、0.03×λ0/4〜
1.90×λ0/4の光学膜厚の高屈折率誘電体層と、1.37〜
1.50の屈折率で、0.06×λ0/4〜1.60×λ0/4の光学膜厚
の第２の低屈折率誘電体層と、26Å〜58Åの厚みのチタ
ン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニ
ッケル・クロム合金、及びステンレスのいずれか一つの
金属層または合金層と、1.37〜1.50の屈折率で、0.70×
λ0/4〜0.97×λ0/4の光学膜厚の第３の低屈折率誘電体
層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成さ
れてなる。
〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が1.
37〜1.50の屈折率で、1.90×λ0/4〜2.30×λ0/4（但し
λ０は中心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の低屈折
率誘電体層と、2.00〜2.40の屈折率で、0.03×λ0/4〜
1.90×λ0/4の光学膜厚の高屈折率誘電体層と、1.37〜
1.50の屈折率で、0.06×λ0/4〜1.60×λ0/4の光学膜厚
の第２の低屈折率誘電体層と、26Å〜58Åの厚みのチタ
ン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニ
ッケル・クロム合金、及びステンレスのいずれか一つの
金属層または合金層と、1.37〜1.50の屈折率で、0.70×
λ0/4〜0.97×λ0/4の光学膜厚の第３の低屈折率誘電体
層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成さ
れてなる。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基板とし
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
また、本発明において前記第１及び第２の低屈折率誘
電体層として、フッ化マグネシウム（MgF2）または酸化
シリコン（SiO2）のいずれかを用いるのが好ましい。
電体層として、フッ化マグネシウム（MgF2）または酸化
シリコン（SiO2）のいずれかを用いるのが好ましい。
更にまた、本発明において、前記第１及び第２の高屈
折率誘電層として、酸化チタン（TiO2）、酸化タンタル
（Ta2O5）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、チタン酸プラ
セオジム（PrTiO3）、酸化ハフニウム（HfO2）、酸化亜
鉛（ZnS）、酸化スズ（SnO2）、酸化インジウム（In
2O3）、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物（IT
O）のいずれかを用いることができる。
折率誘電層として、酸化チタン（TiO2）、酸化タンタル
（Ta2O5）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、チタン酸プラ
セオジム（PrTiO3）、酸化ハフニウム（HfO2）、酸化亜
鉛（ZnS）、酸化スズ（SnO2）、酸化インジウム（In
2O3）、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物（IT
O）のいずれかを用いることができる。
酸化インジウムの酸化スズとの混合物としては酸化イ
ンジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを用
いるのが好ましい。
ンジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを用
いるのが好ましい。
［作 用］ このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
［実施例１］ 以下、本発明の実施例について図面を引用して説明す
る。
る。
第１図において、１は屈折率が1.51のガラス板であっ
て、ガラス１の表面に反射防止膜７が形成された。反射
防止膜７はガラス板１側から、屈折率が1.37で、光学膜
厚が2.21×λ0/4（但しλ０＝504nm、以下同じ）のフッ
化マグネシウム層２と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.
42×λ0/4のチタン酸プラセオジム層３と、屈折率が1.3
7で、光学膜厚が1.52×λ0/4のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が44Åのステンレス層５（ステンレスは72重量
％のニッケル、16重量％のクロム、及び８重量％の鉄の
合金である）と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.94×λ
0/4とからなり、各層は順次真空蒸着法で形成された。
て、ガラス１の表面に反射防止膜７が形成された。反射
防止膜７はガラス板１側から、屈折率が1.37で、光学膜
厚が2.21×λ0/4（但しλ０＝504nm、以下同じ）のフッ
化マグネシウム層２と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.
42×λ0/4のチタン酸プラセオジム層３と、屈折率が1.3
7で、光学膜厚が1.52×λ0/4のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が44Åのステンレス層５（ステンレスは72重量
％のニッケル、16重量％のクロム、及び８重量％の鉄の
合金である）と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.94×λ
0/4とからなり、各層は順次真空蒸着法で形成された。
反射防止膜７を形成したガラス板１のガラス面側をガ
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
［実施例２］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変え
た。
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変え
た。
すなわち、反射防止膜６は屈折率が1.37で、光学膜厚
が1.98×λ0/4のフッ化マグネシウム層２と、屈折率が
2.15で、光学膜厚が1.09×λ0/4のチタン酸プラセオジ
ム層３と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.20×λ0/4の
フッ化マグネシウム層４と、膜厚が58Åのステンレス層
５と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.92×λ0/4のフッ
化マグネシウム層６とからなり、これらの層はガラス板
１上に順次真空蒸着法により形成された。
が1.98×λ0/4のフッ化マグネシウム層２と、屈折率が
2.15で、光学膜厚が1.09×λ0/4のチタン酸プラセオジ
ム層３と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.20×λ0/4の
フッ化マグネシウム層４と、膜厚が58Åのステンレス層
５と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.92×λ0/4のフッ
化マグネシウム層６とからなり、これらの層はガラス板
１上に順次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実
施例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり視感度反射率が0.088％、視感度透過率
が35％であった。
施例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり視感度反射率が0.088％、視感度透過率
が35％であった。
［実施例３］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜７は屈折率が1.37で、光学膜厚
が2.04×λ0/4のフッ化マグネシウム層２と、屈折率が
2.15で、光学膜厚が1.84×λ0/4のチタン酸プラセオジ
ム層３と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.65×λ0/4の
フッ化マグネシウム層４と、膜厚が26Åのステンレス層
５（ステンレスは72重量％のニッケルと、16重量％のク
ロムと８重量％の鉄とからなる合金である）と、屈折率
が1.37で、光学膜厚が0.71×λ0/4のフッ化マグネシウ
ム層６とからなり、各層はガラス板１面上に順次真空蒸
着法で形成された。
が2.04×λ0/4のフッ化マグネシウム層２と、屈折率が
2.15で、光学膜厚が1.84×λ0/4のチタン酸プラセオジ
ム層３と、屈折率が1.37で、光学膜厚が0.65×λ0/4の
フッ化マグネシウム層４と、膜厚が26Åのステンレス層
５（ステンレスは72重量％のニッケルと、16重量％のク
ロムと８重量％の鉄とからなる合金である）と、屈折率
が1.37で、光学膜厚が0.71×λ0/4のフッ化マグネシウ
ム層６とからなり、各層はガラス板１面上に順次真空蒸
着法で形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実
施例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり、視感度反射率が0.074％、視感度透過
率が65％であった。
施例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表
に示したとおり、視感度反射率が0.074％、視感度透過
率が65％であった。
［発明の効果］ 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さくすること
ができる。
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さくすること
ができる。
従って、CRTの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層によりCRTの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
属層、または合金層によりCRTの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の低屈折率誘電体層、 3:高屈折率誘電体層、 4:第２の低屈折率誘電体層、 5:金属層または合金層、 6:第３の低屈折率誘電体層、 7:反射防止膜
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の低屈折率誘電体層、 3:高屈折率誘電体層、 4:第２の低屈折率誘電体層、 5:金属層または合金層、 6:第３の低屈折率誘電体層、 7:反射防止膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−143846（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−127001（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−202408（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−126152（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−186202（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】屈折率が1.40〜1.70の透明基板の表面に光
の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板に
おいて、該反射防止膜が1.37〜1.50の屈折率で、1.90×
λ0/4〜2.30×λ0/4（但しλ０は中心波長、以下同じ）
の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、2.00〜2.40の
屈折率で、0.03×λ0/4〜1.90×λ0/4の光学膜厚の高屈
折率誘電体層と、1.37〜1.50の屈折率で、0.06×λ0/4
〜1.60×λ0/4の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層
と、26Å〜58Åの厚みのチタン、クロム、ジルコニウ
ム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及
びステンレスのいずれか一つの金属層または合金層と、
1.37〜1.50の屈折率で、0.70×λ0/4〜0.97×λ0/4の光
学膜厚の第３の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が
該透明基板表面から順次形成されてなる金属膜を含む反
射防止膜付着透明体。 - 【請求項２】前記第１、第２、及び第３の低屈折率誘電
体層がフッ化マグネシウム、または酸化シリコンのいず
れかである特許請求の範囲第１項に記載の金属膜を含む
反射防止膜付着透明体。 - 【請求項３】前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化
タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジウ
ム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化錫、酸化インジウ
ム、及び酸化インジウムと酸化錫との混合物（ITO）の
いずれかである特許請求の範囲第１項、または第２項に
記載の金属膜を含む反射防止膜付着透明体。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63077883A JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077883A JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01249330A JPH01249330A (ja) | 1989-10-04 |
| JP2531734B2 true JP2531734B2 (ja) | 1996-09-04 |
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ID=13646473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63077883A Expired - Lifetime JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2531734B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009131136A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 遮熱樹脂基材またこれを用いた建築部材 |
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-
1988
- 1988-03-30 JP JP63077883A patent/JP2531734B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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| JPH01249330A (ja) | 1989-10-04 |
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