JP2531722B2 - 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 - Google Patents
金属膜を含む反射防止膜付着透明体Info
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
付着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金
層を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
[従来の技術] 従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30%〜80%となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30%〜80%となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような金属層を有する多層反射防
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約1%程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6%程度にまで
しか下げることができなかった。
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約1%程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6%程度にまで
しか下げることができなかった。
[課題を解決するための手段] この発明は、このような従来の問題点を解決すべくな
されもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
されもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.40
〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が1.
37〜1.50の屈折率で、0.5×λ0/4〜1.8×λ0/4(但しλ
0は中心波形、以下同じ)の光学膜厚の第1の低屈折率
誘電体層と、30Å〜75Åのチタン、クロム、ジルコニウ
ム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及
びステンレスのいずれか一つの金属層または合金層と、
2.00〜2.40の屈折率で、0.3×λ0/4〜0.8×λ0/4の光学
膜厚の高屈折率誘電体層と、1.37〜1.50の屈折率で、1.
0×λ0/4〜1.2×λ0/4の光学膜厚の第2の低屈折率誘電
体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
されてなる。
〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するための反
射防止膜を付着した透明板において、該反射防止膜が1.
37〜1.50の屈折率で、0.5×λ0/4〜1.8×λ0/4(但しλ
0は中心波形、以下同じ)の光学膜厚の第1の低屈折率
誘電体層と、30Å〜75Åのチタン、クロム、ジルコニウ
ム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、及
びステンレスのいずれか一つの金属層または合金層と、
2.00〜2.40の屈折率で、0.3×λ0/4〜0.8×λ0/4の光学
膜厚の高屈折率誘電体層と、1.37〜1.50の屈折率で、1.
0×λ0/4〜1.2×λ0/4の光学膜厚の第2の低屈折率誘電
体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
されてなる。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基板とし
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
また、本発明において前記第1及び第2の低屈折率誘
電体層として、フッ化マグネシウム(MgF2)または酸化
シリコン(SiO2)のいずれかを用いるのが好ましい。
電体層として、フッ化マグネシウム(MgF2)または酸化
シリコン(SiO2)のいずれかを用いるのが好ましい。
更にまた、本発明において、前記第1及び第2の高屈
折率誘電層として、酸化チタン(TiO2)、酸化タンタル
(Ta2O5)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、チタン酸プラ
セオジム(PrTiO3)、酸化ハフニウム(HfO2)、硫化亜
鉛(ZnS)、酸化スズ(SnO2)、酸化インジウム(In2O
3)、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(ITO)
のいずれかを用いることができる。
折率誘電層として、酸化チタン(TiO2)、酸化タンタル
(Ta2O5)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、チタン酸プラ
セオジム(PrTiO3)、酸化ハフニウム(HfO2)、硫化亜
鉛(ZnS)、酸化スズ(SnO2)、酸化インジウム(In2O
3)、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(ITO)
のいずれかを用いることができる。
酸化インジウムと酸化スズとの混合物としては酸化イ
ンジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを用
いるのが好ましい。
ンジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを用
いるのが好ましい。
[作 用] このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
[実施例1] 以下、本発明の実施例について図面を引用して説明す
る。
る。
第1図において、1は屈折率が1.51のガラス板であっ
て、ガラス1の表面に反射防止膜6が形成された。反射
防止膜6はガラス板1側から順次屈折率1.37で、光学膜
厚が1.349×λ0/4(但しλ0=504nm、以下同じ)のフ
ッ化マグネシウム層2と、膜厚が66Aのステンレス層3
(ステンレスは72重量%のニッケル、16重量%のクロ
ム、及び8重量%の鉄の合金である)と、屈折率が2.40
で、光学膜厚が0.6432×λ0/4の酸化チタン層4と、屈
折率が1.37で、光学膜厚が1.0859×λ0/4のフッ化マグ
ネシウム層5とからなり、各層はガラス板1面上に順次
真空蒸着法で形成された。
て、ガラス1の表面に反射防止膜6が形成された。反射
防止膜6はガラス板1側から順次屈折率1.37で、光学膜
厚が1.349×λ0/4(但しλ0=504nm、以下同じ)のフ
ッ化マグネシウム層2と、膜厚が66Aのステンレス層3
(ステンレスは72重量%のニッケル、16重量%のクロ
ム、及び8重量%の鉄の合金である)と、屈折率が2.40
で、光学膜厚が0.6432×λ0/4の酸化チタン層4と、屈
折率が1.37で、光学膜厚が1.0859×λ0/4のフッ化マグ
ネシウム層5とからなり、各層はガラス板1面上に順次
真空蒸着法で形成された。
反射防止膜6を形成したガラス板1のガラス面側をガ
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第2図に、透過率特性を第3図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第1表に夫々示した。
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第2図に、透過率特性を第3図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第1表に夫々示した。
[実施例2] 第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜6の多層膜を以下の如く変え
た。
板であって、反射防止膜6の多層膜を以下の如く変え
た。
すなわち、反射防止膜6は屈折率が1.37で、光学膜厚
が1.5757×λ0/4のフッ化マグネシウム層2と、膜厚が4
6Åのニッケル・クロム合金層3(90重量%のニッケル
と10重量%のニッケル・クロム合金)と、屈折率が2.15
で、光学膜厚が0.6959×λ0/4のチタン酸プラセオジム
層と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.1162×λ0/4のフ
ッ化マグネシウム層5とからなり、これらの層はガラス
板1上に順次真空蒸着法により形成された。
が1.5757×λ0/4のフッ化マグネシウム層2と、膜厚が4
6Åのニッケル・クロム合金層3(90重量%のニッケル
と10重量%のニッケル・クロム合金)と、屈折率が2.15
で、光学膜厚が0.6959×λ0/4のチタン酸プラセオジム
層と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.1162×λ0/4のフ
ッ化マグネシウム層5とからなり、これらの層はガラス
板1上に順次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実
施例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表
に示したとおり視感度反射率が0.08%、視感度透過率が
65%であった。
施例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表
に示したとおり視感度反射率が0.08%、視感度透過率が
65%であった。
[実施例3] 第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜6の多層膜を以下の如くした。
板であって、反射防止膜6の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜6は屈折率が1.37で、光学膜厚
が0.5969×λ0/4のフッ化マグネシウム層2と、膜厚が3
0Åのステンレス層3(ステンレスは72重量%のニッケ
ルと16重量%のクロムと8重量%の鉄とからなる合金で
ある)と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.3561×λ0/4
の酸化チタン層4と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.14
67×λ0/4のフッ化マグネシウム層5層とからなり、各
層はガラス板1面上に順次真空蒸着法で形成された。
が0.5969×λ0/4のフッ化マグネシウム層2と、膜厚が3
0Åのステンレス層3(ステンレスは72重量%のニッケ
ルと16重量%のクロムと8重量%の鉄とからなる合金で
ある)と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.3561×λ0/4
の酸化チタン層4と、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.14
67×λ0/4のフッ化マグネシウム層5層とからなり、各
層はガラス板1面上に順次真空蒸着法で形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実
施例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表
に示したとおり、視感度反射率が0.1%、視感度透過率
が80%であった。
施例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表
に示したとおり、視感度反射率が0.1%、視感度透過率
が80%であった。
[発明の効果] 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を0.1%以下のきわめて小さくすること
ができる。
止膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れる
ことにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を0.1%以下のきわめて小さくすること
ができる。
従って、CRTの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層によりCRTの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
属層、または合金層によりCRTの蛍光面に入射する光が
吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層ま
たは合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電
防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第1図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第2図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第3図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第1の低屈折率誘電体層、 3:金属層または合金層、 4:高屈折率誘電体層 5:第2の低屈折率誘電体層、 6:反射防止膜
射防止膜付着透明板の断面図、第2図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第3図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第1の低屈折率誘電体層、 3:金属層または合金層、 4:高屈折率誘電体層 5:第2の低屈折率誘電体層、 6:反射防止膜
Claims (3)
- 【請求項1】屈折率が1.40〜1.70の透明基板の表面に光
の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板に
おいて、該反射防止膜が1.37〜1.50の屈折率で、0.5×
λ0/4〜1.8×λ0/4(但しλ0は中心波形、以下同じ)
の光学膜厚の第1の低屈折率誘電体層と、30Å〜75Åの
チタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケ
ル、ニッケル・クロム合金、及びステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、2.00〜2.40の屈折率で、
0.3×λ0/4〜0.8×λ0/4の光学膜厚の高屈折率誘電体層
と、1.37〜1.50の屈折率で、1.0×λ0/4〜1.2×λ0/4の
光学膜厚の第2の低屈折率誘電体層とからなり、該各層
が該透明基板表面から順次形成されてなる金属層を含む
反射防止膜付着透明板。 - 【請求項2】前記第1及び第2の低屈折率誘電体層がフ
ッ化マグネシウム、または酸化シリコンのいずれかであ
る特許請求の範囲第1項に記載の金属膜を含む含む反射
防止膜付着透明板。 - 【請求項3】前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化
タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジウ
ム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化インジ
ウム、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(IT
O)のいずれかである特許請求の範囲第1項または第2
項に記載の金属膜を含む反射防止膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63003450A JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63003450A JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180333A JPH01180333A (ja) | 1989-07-18 |
| JP2531722B2 true JP2531722B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=11557670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63003450A Expired - Lifetime JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531722B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009131136A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 遮熱樹脂基材またこれを用いた建築部材 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0708063A1 (en) * | 1994-09-26 | 1996-04-24 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Antistatic and antireflective coating for screens |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126152A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-02 | Teijin Ltd | Laminate |
| JPS5912001A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Hitachi Ltd | 倉庫設備 |
| DE3404736A1 (de) * | 1983-04-18 | 1984-10-18 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden | Duennschichtanordnung |
| JPS60156001A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62143002A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 誘電体多層膜無反射コ−テイング |
| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
| JPS62186202A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
-
1988
- 1988-01-11 JP JP63003450A patent/JP2531722B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009131136A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 遮熱樹脂基材またこれを用いた建築部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01180333A (ja) | 1989-07-18 |
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