JPH01180333A - 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 - Google Patents
金属膜を含む反射防止膜付着透明体Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］
従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防上膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に透電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭ＥＩ２−５８２０２で公知である
。この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層
反射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層
により光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとす
るものである。
透明板として、透明基板の一方の面に透電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭ＥＩ２−５８２０２で公知である
。この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層
反射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層
により光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとす
るものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を何する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を何する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
［課題を解決するための手段］
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が１．３７〜１．５０の屈折率で、Ｏ−５ｘλＯ／４
〜１．８×λ０／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）
の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、３０λ〜７５
Ａのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケルクロム合金、及びステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、２．００〜２．４０１７
）屈折率で、０．３ｘλＯ／４−０．８×λＯ／４の光
学膜厚の高屈折率誘電体層と、１゜３７〜１．５０の屈
折率で、１．０×λ０／４〜１．２×λ０／４の光学膜
厚の第２の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透
明基板表面から順次形成されてなる。
０〜１．７０の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が１．３７〜１．５０の屈折率で、Ｏ−５ｘλＯ／４
〜１．８×λ０／４（但しλＯは中心波長、以下同じ）
の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、３０λ〜７５
Ａのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケルクロム合金、及びステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、２．００〜２．４０１７
）屈折率で、０．３ｘλＯ／４−０．８×λＯ／４の光
学膜厚の高屈折率誘電体層と、１゜３７〜１．５０の屈
折率で、１．０×λ０／４〜１．２×λ０／４の光学膜
厚の第２の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透
明基板表面から順次形成されてなる。
本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において前記第１及び第２の低屈折率誘電
体層として、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）または酸
化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いるのが好まし
い。
体層として、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）または酸
化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いるのが好まし
い。
更にまた、本発明において、前記第１及び第２の高屈折
率誘電層として、酸化チタン（Ｔ ｉ ０２ ）、酸化
タンタル（Ｔａ２ ｏｓ ） 、酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒ０２）、チタン酸プラセオジム（ＰｒＴｉ０３）、酸
化ハフニウム（Ｈｆ０２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化
スズ（Ｓｎ０２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及
び酸化インジウムと酸化スズとの混合物（ＩＴＯ）のい
ずれかを用いることができる。
率誘電層として、酸化チタン（Ｔ ｉ ０２ ）、酸化
タンタル（Ｔａ２ ｏｓ ） 、酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒ０２）、チタン酸プラセオジム（ＰｒＴｉ０３）、酸
化ハフニウム（Ｈｆ０２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化
スズ（Ｓｎ０２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及
び酸化インジウムと酸化スズとの混合物（ＩＴＯ）のい
ずれかを用いることができる。
酸化インジウムと酸化スズとの混合物としては酸化イン
ジウムと酸化スズとの重量比が９５：５の割合のものを
用いるのが好ましい。
ジウムと酸化スズとの重量比が９５：５の割合のものを
用いるのが好ましい。
［作 用］
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明にお〜）ては透明板に入射する光
は熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明にお〜）ては透明板に入射する光
は熱論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
［実施例１コ
以下、本発明の実施例について図面を引用して説明する
。
。
第１図において、１は屈折率が１．５１のガラス板であ
って、ガラス１の表面に反射防止膜６が形成された。反
射防止膜６はガラス板本側から順次屈折率が１．３７で
、光学膜厚が１．３４９×λ０／４（但しλＯ＝５０４
ｎｍｓ以下同じ）のフッ化マグネシウム層２と、膜厚が
８８Ａのステンレス層３（ステンレスは７２重量％のニ
ッケル、１６重量％のクロム、及び８重量％の鉄の合金
である）と、屈折率が２．４０で、光学膜厚がＯ０８４
３２×λＯ／４の酸化チタン層４と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１．０８５９ｘλ０／４のフッ化マグネ
シウム層５とからなり、各層はガラス板１面上に順次真
空蒸着法で形成された。
って、ガラス１の表面に反射防止膜６が形成された。反
射防止膜６はガラス板本側から順次屈折率が１．３７で
、光学膜厚が１．３４９×λ０／４（但しλＯ＝５０４
ｎｍｓ以下同じ）のフッ化マグネシウム層２と、膜厚が
８８Ａのステンレス層３（ステンレスは７２重量％のニ
ッケル、１６重量％のクロム、及び８重量％の鉄の合金
である）と、屈折率が２．４０で、光学膜厚がＯ０８４
３２×λＯ／４の酸化チタン層４と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１．０８５９ｘλ０／４のフッ化マグネ
シウム層５とからなり、各層はガラス板１面上に順次真
空蒸着法で形成された。
反射防止膜６を形成したガラス板１のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
第１表
［実施例２コ ゛
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如く変えた。
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如く変えた。
すなわち、反射防止膜６は屈折率が１．３７で、光学膜
厚が１．５７５７×λ０／４のフッ化マグネシウム層２
と、膜厚が４８Ａのニッケル・クロム合金層３（８０重
量％のニッケルと１０重量％のニッケル・クロム合金）
と、屈折率が２．１５で、光学膜厚が０．６９５９×λ
０／４のチタン酸プラセオジム層と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１．１１Ｂ２×λＯ／４のフッ化マグネ
シウム層５とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。
厚が１．５７５７×λ０／４のフッ化マグネシウム層２
と、膜厚が４８Ａのニッケル・クロム合金層３（８０重
量％のニッケルと１０重量％のニッケル・クロム合金）
と、屈折率が２．１５で、光学膜厚が０．６９５９×λ
０／４のチタン酸プラセオジム層と、屈折率が１．３７
で、光学膜厚が１．１１Ｂ２×λＯ／４のフッ化マグネ
シウム層５とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり視感度反射率が０．０８％、視感度透過率
が６５％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり視感度反射率が０．０８％、視感度透過率
が６５％であった。
［実施例３］
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
であって、反射防止膜６の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜６は屈折率が１．３７で、光学膜
厚が０．５９８９×λ０／４のフッ化マグネシウム層２
と、膜厚が３ＯＡのステンレス層３（ステンレスは７２
重量％のニッケルと１６重量％のクロムと８重量％の鉄
とからなる合金である）と、屈折率が２．４０で、光学
膜厚が０．３５８１×λ０／４の酸化チタン層４と、屈
折率が１゜３７で、光学膜厚が１．１４８７×λ０／４
のフッ化マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板
１面上に順次真空蒸着法で形成された。
厚が０．５９８９×λ０／４のフッ化マグネシウム層２
と、膜厚が３ＯＡのステンレス層３（ステンレスは７２
重量％のニッケルと１６重量％のクロムと８重量％の鉄
とからなる合金である）と、屈折率が２．４０で、光学
膜厚が０．３５８１×λ０／４の酸化チタン層４と、屈
折率が１゜３７で、光学膜厚が１．１４８７×λ０／４
のフッ化マグネシウム層５とからなり、各層はガラス板
１面上に順次真空蒸着法で形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜１％、視感度透過率
が８０％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜１％、視感度透過率
が８０％であった。
［発明の効果］
以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層によりＣＲＴの蛍光面に入射する光
が吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
属層、または合金層によりＣＲＴの蛍光面に入射する光
が吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の低屈折率誘電体層、３：金属層
または合金層、 ４：高屈折率誘電体層 ５：第２の低屈折率誘電体層、 ６：反射防止膜 第１図 第２図
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の低屈折率誘電体層、３：金属層
または合金層、 ４：高屈折率誘電体層 ５：第２の低屈折率誘電体層、 ６：反射防止膜 第１図 第２図
Claims (3)
- （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の表面に
光の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板
において、該反射防止膜が１．３７〜１．５０の屈折率
で、０．５×λ０／４〜１．８×λ０／４（但しλ０は
中心波長、以下同じ）。 の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、３０Ａ〜７５
Ａのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケル・クロム合金、及びステンレスのいずれ
か一つの金属層または合金層と、２．００〜２．４０の
屈折率で、０．３×λ０／４〜０．８×λ０／４の光学
膜厚の高屈折率誘電体層と、１．３７〜１．５０の屈折
率で、１．０×λ０／４〜１．２×λ０／４の光学膜厚
の第２の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明
基板表面から順次形成されてなる金属層を含む反射防止
膜付着透明板。 - （２）前記第１及び第２の低屈折率誘電体層がフッ化マ
グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
請求の範囲第１項に記載の金属膜を含む反射防止膜付着
透明板。 - （３）前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化タンタ
ル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジウム、酸化
ハフニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、及
び酸化インジウムと酸化スズとの混合物（ＩＴＯ）のい
ずれかである特許請求の範囲第１項または第２項に記載
の金属膜を含む反射防止膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63003450A JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63003450A JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180333A true JPH01180333A (ja) | 1989-07-18 |
| JP2531722B2 JP2531722B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=11557670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63003450A Expired - Lifetime JP2531722B2 (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531722B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100363770B1 (ko) * | 1994-09-26 | 2003-03-06 | 청화 픽처 튜우브스 리미티드 | 비디오디스플레이패널의정전기방지및반사방지코팅 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009131136A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 遮熱樹脂基材またこれを用いた建築部材 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56126152A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-02 | Teijin Ltd | Laminate |
| JPS5912001A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Hitachi Ltd | 倉庫設備 |
| JPS59202408A (ja) * | 1983-04-18 | 1984-11-16 | バルツエルス・アクチエンゲゼルシヤフト | 薄層配列 |
| JPS60156001A (ja) * | 1984-01-26 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62143002A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 誘電体多層膜無反射コ−テイング |
| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
| JPS62186202A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Seiko Epson Corp | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
-
1988
- 1988-01-11 JP JP63003450A patent/JP2531722B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62143846A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Nippon Soken Inc | 透明基板の反射防止処理方法 |
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|---|---|---|---|---|
| KR100363770B1 (ko) * | 1994-09-26 | 2003-03-06 | 청화 픽처 튜우브스 리미티드 | 비디오디스플레이패널의정전기방지및반사방지코팅 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531722B2 (ja) | 1996-09-04 |
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